KR930006878A - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents
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Abstract
캐리어의 측벽에 있는 두 갈래진 단벽부들을 가진, 성형가능 플래스틱, 내변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어이다. 두 갈래진 단벽부들이, 캐리어의 단벽과 측벽들의 사이에, 삼각형의 기둥 모양 서포트들을 형성하여, 캐리어는, 비교적 짧은 시한으로 주변온도와 180℃의 사이를 오르 내리는 때라도 구조적 보전성을 유지한다. 캐리어의 구조적 보전성은, 완전체로 형성돼 두 갈래진 단벽부들에 관해 직각으로 배치된, 굴곡을 가지는 단벽에 의해 더 향상된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 웨이퍼 캐리어의 일부 환영의 사시도,
제2도는 제1도의 웨이퍼 캐리어의 단면도(斷面圖),
제3도는 제2도의 3-3선에서의 웨이퍼 캐리어의 부분 평면도,
제4도는 제2도의 4-4선에서의 단면도,
제5도는 제2도의 5-5선에서 잡은 웨이퍼 캐리어의 상세 단면도,
제6도는 제2도의 6-6선에서의 웨이퍼 캐리어의 상세 단면도.
Claims (13)
- 웨이퍼 캐리어에 있어서, a) 리브를 붙인 한 쌍의 프레임 부가 그들 사이에 웨이퍼를 맞물어 서로로부터 웨이퍼를 사이띄어 떨어지게 서로 가로로 배치되고, 사이드 프레임부들은 각각 웨이퍼에 그리고 웨이퍼로부터 유체를 흐르게하는 구멍들을 함유하며, b)사이드 프레임 부들을 사이 띄어 떨어져 있는 관계에 고정하는 한 쌍의 엔드 프레임 부가 사이드 프레임 부들 사이에 배치되고, 그리고 c) 엔드 프레임 부들 중의 하나가 한 쌍의 두 갈래진 단벽부와 그리고 두 갈래진 단벽부들 사이에 중간 패널부를 함유하고, 두 갈래진 단벽부들은 각각 사이드 프레임부들 중의 하나와 합류되고 있음으로써 굴곡에 대한 웨이퍼 캐리어의 내성이 향상되게 한, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제1항에 있어서, 두 갈래진 단벽부들은 각각 두께가 대략 같은, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제1항에 있어서, 취급장치에 의해 맞물리는, 사이드 프레임 부로부터 완전체로 외향에 연장하는, 한쌍의 플랜지를 더 함유하고, 두 갈래진 단벽부들이 각각 플랜지 중의 하나에 인접하여 배치된, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제1항에 있어서, 두 갈래진 단벽부들 사이를 연장하는 굴곡 중간 패널을 더 함유하는, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제1항에 있어서, 두 갈래진 단벽부들은 각각 한 쌍의 엔드 패널 부로 이루어지고, 엔드 패널 부들 중의 하나는 길이가 그 밖의 엔드 패털 부보다 큰, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제1항에 있어서, 한 쌍의 직립지지 패널이 두 갈래진 단벽부와 완전체로 형성돼 사이드 프레임 인접에 삼각형지지 기둥을 구성하는 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 웨이퍼 캐리어에 있어서, a) 리브를 붙인 한 쌍의 프레임 부가 그들 사이에 웨이퍼를 맞물어 서로로부터 웨이퍼를 사이띄어 떨어지게 서로 가로로 배치되고, 사이드 프레임부들은 각각 웨이퍼에 그리고 웨이퍼로부터의 유체를 흐르게하는 구멍들을 함유하며, b)사이드 프레임 부들을 사이 띄어 떨어져 있는 관계에 고정하기 위해 한 쌍의 엔드 프레임 부가 사이드 프레임 부 사이로 사이드 프레임 부에 완전체로 합류되며, 그리고 c) 엔드 프레임 부들 중의 하나가, 1)두 갈래진 단벽부들의 각각이 사이드 프레임 부들 중의 하나를 맞무는, 한 쌍의 분기의 단벽부, 2) 병행의 중간 패널 부들 중의 하나가 적어도 부분적으로 사이에 배치되어 분기의 단벽부들을 맞물고 있고, 한쪽은 위에 그리고 다른 쪽은 서로에 보통 병행으로 그리고 편심으로 배치된 한 쌍의 병행의 중간 패널부 및, 3) 편심의 중간 패널 부들 사이에 배치되고 맞물어 병행의 중간 패널 부들에 관해 비스듬히 연장하는 중간 커넥터 패널부로 이루어져 있음으로써, 굴곡에 대한 웨이퍼 캐리어의 내성이 향상되는, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제7항에 있어서, 두 갈래진 단벽부들은 각각 두께가 대략 같은 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제7항에 있어서, 두 갈래진 단벽부들은 각각 한 쌍의 엔드 패널 부로 이루어져 있고, 엔드 패널 부들 중의 하나는 길이가 그 밖의 엔드 패털 부보다 큰, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제9항에 있어서, 엔드 패널 부들 중의 보다 긴 것이 리브를 붙인 사이드 프레임 부와 중간 패널 부들의 각각의 사이에 합류되는, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제9항에 있어서, 엔드 패널 부들 중의 보다 긴 것이 중간 패널 부들의 각각에 비스듬히 배열되는, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 제7항에 있어서, 분기의 단벽부들 및 비스듬한 중간 패널 부가 서로 비스듬하게 배열되는, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.
- 웨이퍼 캐리어에 있어서, a) 리브를 붙인 한 쌍의 프레임 부가 그들 사이에 웨이퍼를 맞물어 서로로부터 웨이퍼를 사이띄어 떨어지게 서로 가로로 배치되고, 사이드 프레임부들은 각각 웨이퍼에 그리고 웨이퍼로부의 유체를 흐르게하는 구멍들을 함유하며, b)사이드 프레임 부들을 사이 띄어 떨어져 있는 관계에 고정하는 한 쌍의 엔드 프레임 부가 사이드 프레임 부 사이에 배치되고, c) 취급장비에 의해 맞물려지는 한 쌍의 플랜지가 사이드 프레임 부로부터 완전체로 외향으로 연장하고, 플랜지들은 엔드 프레임 부들 중의 하나에 인접하여 배치되고 있으며, d)엔드 프레임 부들 중의 하나가, 1)한쌍의 분기된 단벽부는, 분기된 단벽부들의 각각이 사이드 프레임부들 중의 하나를 맞물어 한 쌍의 엔드 패널 부를 함유하고, 엔드 패널 부들 중의 하나는 길이가 그 밖의 엔드 패널부들 보다 크며, 엔드 패널 부들은 같은 두께를 가지고, 2)항 상의 병행 중간 패널 서로 보통 평행으로 그리고 편심으로 배치되어 엔드 패널 부들 중의 적어도 긴 것 사이에 합류되며, 병행의 중간 패널 부들의 각각은 엔드패널 부들 중의 긴 것에 관해 비스듬하게 연장하고, 또 3) 비스듬한 중간 패널 부가 사이에 배치되어 병행의 중간 패널 부들과 엔드 패널 부들 중의 긴 것에 맞물고 있고, 비스듬한 중간 패널 부는 병행의 중간 패널 부들에 관해 그리고 엔드 패널 부들 중의 긴 것에 관해 비스듬히 연장함으로써, 만곡에 대한 웨이퍼 캐리어의 내성이 향상되게한, 성형가능 플래스틱, 내 변형 및 만곡 웨이퍼 캐리어.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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