KR920020752A - 서브-미크론 폴리실리콘 게이트 제조방법 - Google Patents
서브-미크론 폴리실리콘 게이트 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 폴리실리콘 게이트 공정 단면도.
Claims (1)
- 기판(1)위에 산화막(2), 폴리실리콘(3), 산화막(4)을 형성하고 P/R(5)을 사용하여 상기 산화막(4)을 선택적 제거하는 공정과, 상기 P/R(5)을 제거하고 산화막(4)을 셀프 어라인된 마스크로 하여 폴리실리콘(3)을 습식에치하는 공정과, 상기 산화막(4)을 불산을 사용하여 절반정도가 폴리실리콘(3)위에 남게 제거하는 공정과, 상기 잔존하는 산화막(4)을 마스크로하여 폴리실리콘(3)을 에치하는 공정을 차례로 실시하여서 이루어짐을 특징으로 하는 서브-미크론 폴리실리콘 게이트 제조방법.* 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910005774A KR920020752A (ko) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 서브-미크론 폴리실리콘 게이트 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910005774A KR920020752A (ko) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 서브-미크론 폴리실리콘 게이트 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920020752A true KR920020752A (ko) | 1992-11-21 |
Family
ID=67400471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910005774A KR920020752A (ko) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 서브-미크론 폴리실리콘 게이트 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920020752A (ko) |
-
1991
- 1991-04-11 KR KR1019910005774A patent/KR920020752A/ko not_active Application Discontinuation
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