KR920018876A - 캐리어레스 웨이퍼 표면처리장치의 웨이퍼 캐리어에 있어서 웨이퍼 반송장치로 웨이퍼를 옮기어 놓기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

캐리어레스 웨이퍼 표면처리장치의 웨이퍼 캐리어에 있어서 웨이퍼 반송장치로 웨이퍼를 옮기어 놓기 위한 방법 및 장치 Download PDF

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이시다 아키라
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Abstract

내용 없음

Description

케리어레스 웨이퍼 표면처리장치의 웨치퍼 케리어에 있어서 웨이퍼 반송장치로 웨이퍼를 옮기어 놓기 위한 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 관계하는 방법 및 장치 제1실시예의 개략적으로 표시하는 사시도.
제5도는 본 발명의 제1실시예에 관계하는 장치의 단면도.

Claims (55)

  1. 각각 소정의 복수 매수의 웨이퍼를 포함하는 웨이퍼군을, 각 웨이퍼가 소정의 제일의 방향의 측선에 따라서 소저의 제1의 간격을 가지고 거의 서로가 평행으로 되게 격납하기 위하며, 운반 가능한 복수개의 웨이퍼 격납수단에서 적어도 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있는 전체의 웨이퍼를 보지하고, 후속하는 웨이퍼의 표면처리 공정에 반송하기 위하여 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로 부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법에 있어서, 각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있는 웨이퍼군을, 각 상기 웨이퍼 격납수단밖의 소정의 직선상에, 각 상기 웨이퍼군내의 웨이퍼간의 상대적 위치관계를 유지하면서, 각 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 축선이 일치하도록, 또 각 상기 웨이퍼군간의 상기 제1의 방향에 있어서 간격이 상기 제1의 간격 보다도 크게 제2의 간격으로 되도록 정열시키는 스텝과, 상기 정열된 웨이퍼군 간의 간격이, 상기 제1의 방향에서 상기 제1의 간격으로 되도록, 상기 웨이퍼군의 적어도 하나를 상기 제1의 방향에 따라서 쉬프트 시키는 스텝과, 상기 쉬프트 된 상기 웨이퍼군을 상기 웨이퍼 반송수단에 의해 보지하는 수텝을 포함하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼군을 정열시키는 스텝은, 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단을, 각 상기 페이퍼군의 축선이 서로 평행으로 되도록 또 각 웨이퍼군간의 상기 제1의 방향에서 거리가 상기 제2의 간격으로 되도록지지수단에 의해서 지지하는 스텝과, 상기 지지수단에 의해서 지지된 각 상기 웨이퍼 격납수단에 웨이퍼군을 각웨이퍼군의 축선이 일치하도록 각 웨이퍼군내의 웨이퍼 상호의 상대적 위치관계를 유지하면서 각 상기 복수개의웨이퍼 격납수단 밖으로 꺼내는 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단을 지지수단에 의해 지지하는 스텝과, 각 상기 웨이퍼 격납 수단을 각 상기 웨이퍼군의 축선이 서로 일치하도록, 또 각 웨이퍼군간의 상기 축선상에서 거리가 상기 제2의 간격이 되도록 상기 지지수단에 의해 지지하는 스텝을 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 방법.
  4. 제3항에 있어서, 각 상기 웨이퍼 격납수단은, 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 상기 웨이퍼군 전부의 가장자리를 노출시키는 개구를 가지고, 상기 제1의 방향에 평행한 2본의 긴변을 가지는 거의 직사각형의 저면과, 상기 저면의 상기 긴변에 따라서, 상기 저면의 판과 거의 직각을 이루도록 서로 평행하게 설치되어, 상기 웨이퍼를 지지하기 위한 2개의 지지측면과, 상기 웨이퍼군이 통과 가능하고 상기 저면에 대향하여 설치된 개구면과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기위한 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 지지측면은 그의 서로 대향하는 면상에, 상기 제1의 간격으로 형성된 각각 상기 웨이퍼의 열가장자리를 지지하기 위한, 상기 웨이퍼군에 포함되는 웨이퍼의 매수와 같은 수의 웨이퍼 보지홈을 가지는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 지지수단은, 상기 복수의 웨이퍼 격납수단이 얹어 놓여진 테이블을 포함하고, 상기테이블은 개구부를 가지며, 상기 개구부는, 상기 테이블상에 얹어 놓여진 상기 복수의 웨이퍼 격납수단의 전체의 웨이퍼에, 상기 저면의 개구를 통해서 향할 수 있는 크기로 형성되어 있고, 상기 지지수단에 의해서 지지하는 스텝은, 상기 복수의 웨이퍼 격납수단을, 각 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 저면의 상기 개구가 상기 테이블의 개구부로 향하도록, 또 상기 복수의 웨이퍼 격납수단의 축선이 일치하도록 상기 테이블상에 얹어 놓은 스텝을 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 지지수단에 의해 지지된 각 상기 웨이퍼 격납수단내의 웨이퍼군을, 각 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단 밖으로 끄집어내는 스텝과, 각각 상기 제1의 간격으로 형성되어, 상기 웨이퍼의 그의 저부 가장 자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 그의 상면에 가지고, 각각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 웨이퍼를 각 웨이퍼가 서로 평행으로 상기 제1의 간격을 보유하도록 상기 웨이퍼 수납홈으로 보지하기 위한, 상기 제1방향으로 쉬프트 가능한 복수개의 웨이퍼 보지수단을 상기 테이블의 개구부 하부에 준비하는 스텝과, 각 상기 웨이퍼 보지수단이 상기 테이블의 개구부 및 상기 웨이퍼 격납수단의 저면을 통과해서, 각 상기 웨이퍼 격납 수단에 격납되어 있던 웨이퍼군을 보지하고, 상기 개구측에서 상기 웨이퍼 격납수단 밖의 소정의 높이로 들어올리도록, 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단과의 상대적 높이를 변화시키는 스텝과를 포함하고, 각 상기 웨이퍼 보지수단의 다른 상기 웨이퍼 보지수단과, 대향하는 단부에 인접하는 상기 웨이퍼 수납홈은, 그 중심이 상기 단부에서 상기 제1의 간격의 절반 이하로 되는 위치에 형성되어 있는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단의 상대적 높이를 변화시키는 스텝과 상기 테이블을 테이블 승강수단을 이용해서, 상기 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 개구측 위에 위치할 때까지 강화시키는 스텝을 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 웨이퍼군의 적어도 하나를 상기 제1의 방향에 따라서 이동시키는 스텝은, 상기 웨이퍼 보지수단의 적어도 하나를 각 상기 웨이퍼 보지수단의 서로에 대향하는 단부에 인접해서 형성된 웨이퍼 수납홈이 서로 상기 제1의 간격으로 떨어져서 위치되도록 상기 제1의 방향에 따라서 쉬프트 시키는 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 웨이퍼 반송수단은 각가 상기 제1의 간격으로 형성되어, 상기 복수개의 웨이퍼 격납 수단에 격납된 전체의 웨이퍼의 매수 이상의 수의, 웨이퍼의 가장자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 가지는 한쌍의 웨이퍼 협지수단, 상기 제1의 방향과 평행으로 각 상기 웨이퍼 수납홈이 서로 대향해서, 상기 제1의 방향과 직교하는 평면을 규정하도록, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 보지함과 동시에, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단의 서로의 거리가, 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 보지하는 제1의 거리와, 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 개방하는 제2의 거리와의 사이에서 변화하도록 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 구동하는 제1의 구동수단과, 상기 제1의 구동수단을 상하 및 횡방향으로 구동하기 위한 제2의 구동수단과를 포함하고, 상기 쉬프트된 웨이퍼군을 상기 웨이퍼 반송수단으로 보지하는 스텝은, 상기 테이블에 얹어 놓여진, 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 축선에서 각 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단까지의 거리가 같게 되도록 상기 테이블의 상기 웨이퍼 격납수단과 간섭하지 않은 위치에 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 위치시키는 스텝과, 서로의 사이의 간격을 상기 제2의 거리로 하도록, 위치시키는 스텝과, 상기 정렬되어, 상기 웨이퍼 보지수단에 의해서 보지된 쉬프트된 상기 웨이퍼를 협지가능한 위치까지 상기 제2의 구동수단에 의해서 상기 한쌍의 웨이퍼 협지 수단을 하강시키는 스텝과, 하강된 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 상기 제1의 구동수단에 의해서, 서로의 거리가 상기 제1의 거리로 되도록 위치시켜사, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단으로 상기 웨이퍼를 협지하는 스텝과, 상기 제2의 구동수단으로, 상기 웨이퍼를 협지하는 상기 한쌍의 웨이퍼 협지 수단을 상기 테이블로 옮겨 싣는 상기 웨이퍼 격납수단과 간섭하지 않는 위치까지 상승시킨 후, 후속하는 공정으로 반송하는 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  11. 제6항에 있어서, 상기 지지수단에 의해서 지지된 각 상기 웨이퍼 격납수단내의 웨이퍼군을, 각 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단 밖으로 끄집어내는 스텝은, 각각 상기 제1의 간격으로 형성되어, 상기 웨이퍼의 그의 아래 가장자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 그 상면에 그 상면에 가지며, 각 웨이퍼가 서로 평행으로 상기 제1의 간격을 보유하도록 상기 웨이퍼 격납수단에 각각 격납된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 수납홈으로 보지하기 위한, 복수개의 제1의 보지수단을 상기 테이블의 개구부 하부에 준비하는 스텝과, 각 상기 제1의 웨이퍼 보지수단이 상기 테이블의 개구부 및 상기 웨이퍼 격납수단의 저면을 통과해서, 각 상기 웨이퍼 격납수단으로 격납되어 있던 웨이퍼군을 보지하여, 상기 개구부에서 상기 웨이퍼 격납수단 밖의 소정의 높이로 상승시키도록, 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단과의 상대적 높이를 변화시키는 스텝과를 포함하며, 각 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의, 다른 상기 제1의 웨이퍼 보지수단과 대향하는 단부에 인접하는 상기 웨이퍼 수납홈은, 그 중심이 상기 단부에서 상기 제1 간격의 절반 이하로 되는 위치에 형성되어 있는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단과의 상개적 높이를 변화시키는 스텝은, 상기 테이블을, 테이블 승강수단을 이용해서, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 제1의 웨이퍼 격납수단의 상기 개구부 상에 위치할 때까지 강하시키는 스텝을 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐피어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 웨이퍼 반송수단은, 서로 상기 제2의 간격으로 떨어져 배치된 상기 웨이퍼군의 전체의 웨이퍼를 보지가능한 길이를 가지고 있고, 상기 웨이퍼군의 적어도 하나를 상기 제1방향에 따라서 이동시키는 스텝은, 각각 상기 제1의 간격으로 형성되어, 상기 웨이퍼의 아래 가장자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 그의 상면에 가지고, 각각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 웨이퍼를 각 웨이퍼가 서로 평행으로 상기 제1의 간격을 보유하도록 상기 웨이퍼 수납홈으로 보지하기 위한 상기 제1의 방향에 쉬프트 가능한 복수개의 제2의 웨이퍼 보지수단을 상기 제1의 웨이퍼 보지수단과 평행으로 배치하여 준비하는 스텝과, 각 상기 제2의 웨이퍼 보지수단의, 또 하나의 사이 제2의 웨이퍼 보지수단과 대향하는 단부에 인접하는 웨이퍼 수납홈은 그의 중심이 상기 단부로부터, 상기 제1의 간격의 절반 이하로 되는 위치로 형성되어 있고, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단에 보지된 상기 웨이퍼를, 상기 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣는 제1의 옮겨 싣는 스텝과, 상기 웨이퍼 반송수단에 의해서, 상기 웨이퍼를 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의 상방에서 상기 제2의 웨이퍼 보지수단의 상방까지 반송하는 스텝과, 상기 웨이퍼 반송수단에 보지되어 있는 웨이퍼를, 상기 제2의 웨이퍼 보지수단에 옮겨 싣는 제2의 옮겨 싣는 스텝과, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의 적어도 하나를, 각 상기 제2의 웨이퍼 보지수단의 서로에 대향하는 단부에 인접하여 형성된 웨이퍼 수납홈이 서로 상기 제1의 간격으로 떨어진 위치로 되도록 상기 제1방향에 따라서 쉬프트 시킨 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기위한 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 웨이퍼 반송수단은, 각각 상기 제1의 간격으로 형성된, 상기 복수개의 제1의 웨이퍼 격납수단에 격납된 전체의 웨이퍼의 매수 이상의 수의 웨이퍼의 가장자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 가지는 한쌍의 웨이퍼 협지수단과, 각 상기 웨이퍼 수납홈이 서로 대향해서, 상기 제1의 방향과 직교하는 평면을 규정하도록 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 상기 제1방향과 평행으로 보지함과 동시에, 상기 한쌍의 웨이퍼 보지수단의 서로의 거리가, 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 보지하는 제1의 거리와, 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 해방하는 제2의 거리와의 사이에서 변화하도록 상기 한쌍의 웨이퍼 보지수단을 구동하는 제1의 구동수단과, 상기 제1의 구동수단을 상하 및 횡방향으로 구동하기 위한 제2의 구동수단과를 포하하고, 상기 제1의 옮겨 싣는 스텝은, 상기 테이블에 얹어진 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 축선에서 각 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단까지의 거리가 같게 되도록 상기 테이블의 상기 웨이퍼 격납수단과 간섭하지 않는 위치로, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 위치시키는 스텝과, 서로간의 거리가 상기 제2의 거리로 되도록, 상기 제1의 구동수단에 의해서 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 위치시키는 스텝과, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단에 의해서 보지된 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼 보지수단이 협지가능할 수 있는 위치까지 상기 제2의 구동수단에 의해서 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 하강시키는 스텝과, 하강된 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 상기 제1의 구동수단에 의해서 서로의 거리가 상기 제1의 거리로 되도록 위치시켜서, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단으로 상기 웨이퍼를 협지하는 스텝과, 상기 제2의 구동수단에 의해서, 상기 웨이퍼를 협지한 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 테이블에 얹어 놓여진 상기 웨이퍼 격납수단과 간섭하지 않는 위치까지 상승시키는 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제2의 옮겨 싣는 스텝은, 상기 웨이퍼를 협지한 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 제2의 웨이퍼 보지수단의 바로 위에서, 상기 제2의 웨이퍼 보지수단과 간섭하지 않는 위치로 위치시키는 스텝과, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단에 상기 한쌍의 웨이퍼 보지수단에 의해 협지된 상기 웨이퍼의 하연을 보지 가능한 위치까지 상기 제2의 구동수단에 의해서 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 하강시키는 스텝과, 하강된 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 제1의 구동수단에 의해, 서로 거리가 상기 제2의 거리로 되도록 위치시켜서, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단에서 상기 웨이퍼를 해방하는 스텝과, 상기 제2의 구동수단에 의해, 상기 웨이퍼를 협지한 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 상기 제2의 웨이퍼 보지수단과 간섭하지 않는 위치까지 상승시키는 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 쉬프트된 상기 웨이퍼군을 상기 웨이퍼 반송수단에 의해서 보지하는 스텝은, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 제2의 웨이퍼 보지수단의 바로 위에서, 상기 제2의 웨이퍼 보지수단과 간섭하지 않는 위치로 위치시키는 스텝과, 상기 제1의 구동수단에 의해 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 서로 간의 거리를 상기 제2의 거리로 하도록 위치시키는 스텝과, 상기 제2의 웨치퍼 보지수단에 의해서 보지된 상기 웨이퍼를 협지 가능한 위치까지 상기 제2의 구동수단에 의해 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 하강시키는 스텝과, 하강된 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 제1의 구동수단에 의해 서로의 거리가 상기 제1의 거리로 되도록 위치시켜서, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단으로 상기 웨이퍼를 협지하는 스텝과, 상기 제2의 구동수단에 의해, 상기 웨이퍼를 협지한 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 제2의 웨이퍼 보지수단과 간섭하지 않는 위치까지 상승시키는 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  17. 제1항에 있어서, 각 상기 웨이퍼는 결정학적 기준 방향을 정하기 위한 오리엔테이숀 플래트(orientation flat)를 가지고, 상기 방법은 또한, 상기 웨이퍼군을 정열시키는 스텝에 앞서서, 상기 웨이퍼의 결정학적 기준방향을 일치시키는 스텝을 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  18. 제17항에 있어서, 각 상기 웨이퍼 격납수단은, 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 상기 웨이퍼군의 전체 웨이퍼의 아래 가장자리를 향하는 개구를 가지며, 상기 제1의 방향으로 평행한 2개의 긴변을 가지는 거의 장방형의 저면과, 상기 저면의 상기 긴변을 따라서 상기 저면의 판과 거의 직각을 이루도록 서로 평행하게 설치되어서, 상기 웨이퍼를 보지하기 위한 2개의 보지측면과, 상기 저면과 대향하여 설치되어서, 상기 웨이퍼군이 통과 가능한 개구면과를 포함하고, 각 상기 보지측면은 서로에 대향하는 면상에 상기 제1의 간격으로 형성되어서 각각 상기 웨이퍼의 옆 가장자리를 지지하기 위하여, 상기 웨이퍼군에 포함된 웨이퍼의 매수와 동수의 웨이퍼 보지홈을 가지고, 상기 지지수단은, 상기 복수의 웨이퍼 격납수단이 설치되는 개구부를 가지는 테이블을 포함하며, 상기 개구부는, 상기 테이블상에 얹어 놓여진 상기 복수의 웨이퍼 격납수단의 전체의 웨이퍼에 상기 저면의 개구를 통해서 향할 수 있는 크기로 형성되어 있고, 상기 웨이퍼의 결정학적 기준방향을 일치시키는 스텝은, 각 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 저사이드의 상기 개구가 상기 테이블의 개구부로 향하도록 하고, 또, 상기 복수의 웨이퍼 격납수단의 상기 축선이 일치하도록 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단을 상기 테이블상에 옮겨 싣는 스텝과, 상기 테이블에 옮겨 실었던 전체의 웨이퍼의 아래 가장자리에 접촉해서 소정의 회전축 주위를 회전하는 것에 의해 상기 웨이퍼를 회전시키기 위한 웨이퍼 회전수단을 상기 테이블의 개구부 하부에 준비하는 스텝과, 상기 웨이퍼 회전수단이, 상기 테이블의 개구부 및 상기 웨이퍼 격납수단의 저면의 상기 개구를 통과해서, 상기 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있던 웨이퍼의 상기 오리엔터에숀 플래트를 제외한 주연과 접촉하는가만 상기 오리엔테이숀 플래트에는 접촉하지 않는 위치까지, 상기 웨이퍼 회전수단과 상기 테이블과의 상대적 높이를 변화시키는 스텝과, 각 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 회전수단에 접촉한 후, 상기 웨이퍼 회전수단과 접촉하지 않을 때까지 상기 웨이퍼 회전수단을 회전시키는 스텝을 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 웨이퍼군을 정열시키는 스텝은, 상기 테이블이 상기 웨이퍼 회전수단과 간섭하지 않을 때까지, 상기 테이블과 상기 웨이퍼 회전수단과의 상대적 높이를 변화시키는 스텝과, 상기 테이블상에 얹어 놓여진 각 상기 웨이퍼 격납수단내의 웨이퍼군을, 각 웨이퍼군의 축선이 일치하도록, 각 웨이퍼군내의 웨이퍼 상호의 상대적 위치관계를 유지하면서 각 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단 밖으로 끄집어 내는 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 지지수단에 의해서 지지된 각 상기 웨이퍼 격납수단내의 웨이퍼군을, 각 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단 밖으로 끄집어 내는 스텝은, 각각 상기 제1의 간격으로 상기 제1의 방향과, 평행인 방향으로 형성되어, 상기 웨이퍼의 아래 가장자리를 수납하기 위한 복수의 웨이퍼 수납홈을 그 상면에 가지고, 각각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 웨이퍼를, 각 웨이퍼가 서로 평행하게 상기 제1의 간격을 보유하도록 상기 웨이퍼 수납홈으로 보지하기 위한, 상기 제1의 방향으로 쉬프트 가능한 복수개의 웨이퍼 보지수단을 상기 웨이퍼 회전수단에 대신해서 상기 테이블의 개구부 하부에 준비하는 스텝과, 각 상기 웨이퍼 보지수단이 상기 테이블의 개구부 및 상기 웨이퍼 격납수단의 저면을 통과해서, 각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있던 웨이퍼군을 보지하고 상기 개구사이드에서 상기 웨이퍼 격납수단 밖의 소정의 높이로 들어 올리도록, 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단과의 상대적 높이를 변화시키는 스텝과를 포함하며, 각 상기 웨이퍼 보지수단의 다른 상기 웨이퍼 보지수단과 대향하는 단부에 인접하는 상기 웨이퍼 수납홈을 그 중심이 상기 단부에서 상기 제1의 간격의 절반이하로 되는 위치에 형성되도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 방법.
  21. 제20항에 있어서, 웨이퍼 보지수단을 상기 웨이퍼 회전수단에 대신해서 상기 테이블의 개구부 하부에 준비하는 스텝은, 상기 웨이퍼 보지수단을, 그 상기 웨이퍼 수납홈의 배열방향이 상기 웨이퍼 회전수단의 회전축의 방향과, 평행으로 되도록 배치되는 스텝과, 상기 테이블을 상기 웨이퍼 회전수단의 상방에서 상기 웨이퍼 보지수단의 상방까지 상기 테이블의 상기 개구부가 상기 웨이퍼 보지수단과 위치를 맞출때까지 이동시키는 스텝과를 포함하고, 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단과의 상대적 높이를 변화시키는 스텝은, 상기 테이블을 상기 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 개구면상에 위치할 때까지 강하시키는 스텝을 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 웨이퍼군의 적어도 하나는 상기 제1의 방향에 따라서 이동시키는 스텝은 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 개방하는 제2의 거리와의 사이에서 변화하도록 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 구동하는 제1의 구동수단과, 상기 제1의 구동수단을 상하 및 횡방향으로 구동하기 위한 제2의 구동수단과를 포함하고, 상기 쉬프트된 웨이퍼군을 상기 웨이퍼 반송수단에 의해 보지하는 스텝은, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 테이블에 얹어 놓여진 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 축선에서 각 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단까지의 거리가 같도록, 상기 테이블의 상기 웨이퍼 격납수단과 간섭하지 않는 위치에 위치시키는 스텝과, 상기 제1의 구동수단에 의해서 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 서로의 사이의 거리를 상기 제2의 거리로 하도록 위치시키는 스텝과, 상기 정열되고 상기 웨이퍼 보지수단에 의해 보지되어 쉬프트 된 상기 웨이퍼를 혐지가능한 위치까지 상기 제2의 구동수단에 의해 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 하강시키는 스텝과, 하강된 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 상기 제1의 구동수단에 의해서, 서로의 거리가 상기 제1의 거리로 되도록 위치시켜서, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단으로 상기 웨이퍼를 협지하는 스텝과, 상기 제2의 구동수단에 의해서, 상기 웨이퍼를 협지한 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 상기 테이블에 얹어 놓여진 상기 웨이퍼 격납수단과 간섭하지 않는 위치까지 상승시킨 후, 후속하는 공정으로 반송하는 스텝과를 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어로부터 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 방법.
  23. 각각 소정의 복수 매수의 웨이퍼를 포함하는 웨이퍼군을, 각 웨이퍼가 소정의 제1의 방향의 축선에 따라서 소정의 제1의 간격에서 서로가 거의 평행하게 되도록 간격을 두어서 격납하기 위한, 운반가능한 복수개의 웨이퍼 격납수단에서, 적어도 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있는 전체의 웨이퍼를 보지하여, 후속하는 웨이퍼의 표면처리 공정에 반송하기 위한 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치에 있어서, 각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있는 웨이퍼군을, 각 상기 웨이퍼 격납수단 외측의 소정의 직선상에, 각 상기 웨이퍼군내의 웨이퍼간의 상대적 위치관계를 유지하면서, 각 상기 웨이퍼군의 상기 축선이 일치하고, 또, 각 상기 웨이퍼 군간의 상기 제1의 방향에서 간격이 상기 제1의 간격보다고 큰 제2의 간격이 되도록 정열시키기 위한 수단과, 상기 정열된 웨이퍼군간의 간격이, 상기 제1의 방향에 있어서, 상기 제1의 간격으로 되도록, 상기 웨이퍼군의 적어도 하나를 상기 제1의 방향에 따라서 쉬프트 시키기 위한 쉬프트 수단을 포함하는 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  24. 제24항에 있어서, 상기 웨이퍼군을 정열시키기 위한 수단은, 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단을 각 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 축선이 서로 평행으로 되도록, 또 각 웨이퍼군간의 상기 제1의 방향에 있어서 거리가 상기 제2의 간격으로 되도록 지지하기 위한 지지수단고, 상기 지지수단에 의해 지지된 각 상기 웨이퍼 격납수단내의 웨이퍼군을, 각 웨이퍼군의 축선이 일치하도록 각 웨이퍼군내의 웨이퍼 상호간의 상대적 위치관계를 유지하면서 각 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단 밖으로 끄집어 내기 위한 웨이퍼군 끄집어 내는 수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  25. 제25항에 있어서, 상기 지지수단은, 각 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 축선이 서로 일치하도록 또 각 웨이퍼 군간의 상기 축선상에서 거리가 상기 제2의 간격으로 되도록 지지하도록 한 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  26. 제26항에 있어서, 각 상기 웨이퍼 격납수단은, 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 상기 웨이퍼군 전체의 웨이퍼 전연이 대향하는 개구를 가지고, 상기 제1의 방향으로 평행한 2개의 긴변을 가지는 거의 장방형의 저면과, 상기 저면의 상기 긴변에 따라서 상기 저면의 판과 거의 직각을 이루도록 서로 평행하게 설치되어, 상기 웨이퍼를 보지하기 위한 2개의 보지측면과 상기 저면과 대향해서 설치되고, 상기 웨이퍼군이 통과가능한 개구부와를 포함하도록 한 에이퍼를 웨이퍼 반송수단으로 옮겨 싣기 위한 장치.
  27. 제27항에 있어서, 각 상기 보지측면은, 서로 대향하는 면상에 상기 제1의 간격으로 형성되어서 각각 상기 웨이퍼의 열 가장자리를 지지하기 위한, 상기 웨이퍼군에 포함된 웨이퍼의 매수와 동수의 웨이퍼 보지홈을 가지도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  28. 제28항에 있어서, 상기 지지수단은 상기 복수의 웨이퍼 격납수단이 얹어 놓여진는 개구부를 가지는 테이블을 포함하고, 상기 개구부는, 상기 테이블상에 얹어 놓여진 상기 복수의 웨이퍼 격납수단의 전체의 웨이퍼에 상기 저면의 개구를 통해서 대향할 수 있는 크기로 형성되어 있고, 상기 지지수단은, 각 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 저면의 상기 개구가 상기 테이블의 개구부에 대향하고, 또 상기 복수의 웨이퍼 격납수단의 축선이 서로 일치하도록 상기 테이블상에 상기 복수의 웨이퍼 격납수단을 위치결정하기 위한 수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  29. 제29항에 있어서, 상기 웨이퍼군 끄집어 내오는 수단은, 각각 상기 제1의 간격으로 형성되어, 상기 웨이퍼와 그의 아래 가장자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 그 상면에 가지고, 각각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 웨이퍼를 각 웨이퍼가 서로 평행으로 상기 제1의 간격을 보유하도록 상기 웨이퍼 수납홈으로 보지하고, 상기 제1방향으로 쉬프트 가능한 상기 테이블의 개구부 하부에 배치된 복수개의 웨이퍼 보지수단과, 상기 테이블과의 간섭하지 않는 위치와 각 상기 웨이퍼 보지수단이 상기 테이블의 개구부 및 상기 웨이퍼 격납수단의 저면의 개구를 통과해서, 각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있던 웨이퍼군을 보지하여 상기 개구측면에서 상기 웨이퍼 격납 수단 밖의 소정의 높이로 끌어올려진 위치와의 사이에서 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단과의 상대적 높이를 변화시키기 위한 승강수단과를 포함하고, 각 상기 웨이퍼 보지수단의 다른 상기 웨이퍼 보지수단과 대향하는 단부에 인접하는 상기 웨이퍼 수납홈이, 그 중심이 상기 단부에서 상기 제1의 간격의 절반 이하로 되는 위치에 형성되도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  30. 제30항에 있어서, 상기 승강수단은, 상기 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 개구측면상에 위치하는 위치와 상기 테이블의 하면의 상기 테이블과 간섭하지 않는 위치와의 사이에서 상기 테이블을승강시키기 위한 테이블 승강수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  31. 제30항에 있어서, 상기 승강수단은, 상기 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 개구부 위에 위치하는 위치와 상기 보지수단의 상면이 상기 테이블의 하면에서 상기 테이블과 간섭하지 않는 위치와의 사이에서 상기 웨이퍼 보지수단을 승강시키기 위한 웨이퍼 보지수단의 승강수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  32. 제31항에 있어서, 상기 쉬프트수단은, 각각 상기 웨이퍼 보지수단의 하부의, 상기 테이블과 간섭하지 않는 위치를 상기 제1의 방향으로 슬라이드 가능하게 보지하기 위하여 상기 테이블 하부에 설치된 슬라이더 수단과, 상기 슬라이더 수단을 구동해서, 상기 제1의 방향으로 슬라이드 시키기 위한 구동수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  33. 제33항에 있어서, 상기 슬라이더 수단은, 한쌍의 슬라이더 수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  34. 제33항에 있어서, 상기 구동수단은, 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 한쪽에 본체가, 다른쪽에 실린더로드가 각각 고정된 에어실린더를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  35. 제31항에 있어서, 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 한쪽에 고정된, 스크류가 조여진 상기 제1방향의 개구부를 가지는 너트와, 상기 너트의 상기 개부구와 맞물린 스크류를 주면에 가지고, 상기 제1방향과 병행하게 배치된 로드와, 상기 로드의 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 다른쪽에 가까운 쪽의 일단을 회전가능하게 지지하기 위한 축수수단과, 상기 축수수단을 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 다른쪽이 고정하는 고정 부재와, 상기 고정부재에 고정되어, 상기 로드를 2축주위로 회전시키기 위한 회전구동수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  36. 제36항에 있어서, 상기 회전구동수단은, 상기 고정부재에 고정된 모터와, 상기 로드의 상기 너트와 맞물린 부분보다도 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 다른축에 가까운 부분에 상기 모터의 회전축의 회전을 전달하기 위한 전동수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  37. 제37항에 있어서, 상기 전동수단은, 상기 로드의 상기 너트와 맞물린 부분보다도 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 다른쪽에 고정된 제1의 플리와, 상기 모터의 회전축에 고정된 제2의 플리와, 상기 제2의 플리 및 상기 제2의 플리간에 걸어 넘어진 전동 벨트와를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  38. 제33항에 있어서, 상기 웨이퍼 전송수단은, 각각 상기 제1의 간격으로 형성되었던, 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단에 격납된 전체의 웨이퍼의 매수 이상의 수의, 웨이퍼의 연을 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 가지는 한쌍의 웨이퍼 협지수단과, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 제1의 방향과 평행으로 각 상기 웨이퍼 수납홈이 서로 대향해서, 상기 제1의 방향과 직교하는 평면을 규정하도록 보지함과 동시에, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단의 서로의 거리가 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 보지하는 제1의 거리와, 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 개방하는 제2의 거리와의 사이에서 변화하도록 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 구동하기 위한 제1의 구동수단과, 상기 제1의 구동수단을 상하 및 횡방향으로 구동하기 위한 제2의 구동수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  39. 제20항에 있어서, 상기 웨이퍼를 끄집어 내는 수단은, 각각 상기 제1의 간격으로 형성되어, 상기 웨이퍼의 아래 가장자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 그의 상면에 가지고, 각각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 웨이퍼를 각 웨이퍼가 서로 평행하게 상기 제1의 간격을 보유하도록 상기 웨이퍼 수납홈으로 보지하고, 상기 테이블의 개구부 하부에 배치가능한 복수개의 제1웨이퍼 보지수단과, 강기 제1의 웨이퍼 보지수단과 상기 테이블들이 서로 간섭하지 않는 위치와, 각 상기 제1의 웨이퍼 보지수단이 상기 테이블의 개구부 및 상기 웨이퍼 격납수단의 저사이드의 개구를 통과해서, 각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있던 웨이퍼군을 보지하여, 상기 개구사이드에서 상기 웨이퍼 격납수단 밖의 소정의 높이로 끌어올리도록 한 위치와의 사이에서, 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단과의 상대적 높이를 변화시키기 위한 승강수단과를 포함하고, 각 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의, 다른 상기 제1의 웨이퍼 보지수단과 대향하는 단부에 인접하는 상기 웨이퍼 수납홈은, 그 중심이 상기 단부에서 상기 제1의 간격의 절반 이하로 되는 위치에 형성되도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  40. 제40항에 있어서, 상기 승강수단은, 상기 테이블을 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 제1의 웨이퍼 격납수단의 상기 개구측 상으로 나가는 위치와, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 테이블과 간섭하지 않는 위치와의 사이에서 승강시키기 위한 테이블 승강수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  41. 제40항에 있어서, 상기 승강수단은, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단을 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 제1의 웨이퍼 격납수단의 상기 개구측 상에 위치하는 위치와 상기 제1의 웨이퍼 보지수단의 상면이 상기 테이블과 간섭하지 않는 위치와의 사이에서 승강시키기 위한 제1의 웨이퍼 보지수단의 승강수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  42. 제41항에 있어서, 상기 웨이퍼 반송수단은, 서로 상기 제2의 간격으로 떨어져서 배치된 상기 웨이퍼군의 전체 웨이퍼를 보지 가능한 길이를 가지고 있고, 상기 쉬프트수단은, 각각 상기 제1의 간격으로 형성되어, 상기 웨이퍼의 아래 가장자리를 수납하기위한 웨이퍼 수납홈을 그 상면에 가지고, 각각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 웨이퍼를 각 웨이퍼가 서로 평행하게 상기 제1의 간격을 보유하도록 상기 웨이퍼 수납홈으로 보지하고, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단과 평행으로 배치된 상기 제1의 방향에 쉬프트 가능한 복수개의 제2의 웨이퍼 보지수단과, 상기 제2의 웨이퍼 보지수단의 적어도 하나를 각 상기 제2의 웨이퍼 보지수단의 서로 대향하는 단부에 인접해서 형성된 웨이퍼 수납홈이, 서로 상기 제1의 간격이 떨어진 위치로 되도록 상기 제1의 방향에 따라서 쉬프트 시키기 위한 수단과를 포함하고, 각 상기 제2의 웨이퍼 보지수단의, 다른 상기 제2의 웨이퍼 보지수단과 대향하는 단부에 인접하는 상기 웨이퍼 수납홈은, 그 중심이 상기 단부에서 상기 제1의 간격의 절반 이하로 되는 위치에 형성되고, 상기 웨이퍼 반송수단은, 상기 제1의 웨이퍼 보지수단에 보지된 상기 웨이퍼를 보지해서, 상기 제2의 웨이퍼 보지수단까지 반송해서 상기 제2의 웨이퍼 보지수단에 옮겨 싣기가 가능하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  43. 제43항에 있어서, 상기 웨이퍼 반송수단은, 각각 상기 제1의 각격으로 형성된, 상기 복수개 제1의 웨이퍼 격납수단에 격납된 전체의 웨이퍼의 매수 이상의 수의, 웨이퍼의 가장자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 가지는 한쌍의 웨이퍼 협지수단과, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을, 상기 제1의 방향과 평행으로 각 상기 웨이퍼 수납홈이 서로 대향해서, 상기 제1방향과 직교하는 평면을 규정하도록 보지함과 동시에, 상시 한쌍의 웨이퍼 협지수단의 서로의 거리와 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 보지하는 제1의 거리와의 사이에서 변화하도록 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 구동하는 제1의 구동수단과, 상기 제1의 구동수단을 상하 및 회방향으로 구동하기 위한 제2의 구동수단과,를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  44. 제24항에 있어서, 각 상기 웨이퍼는 결정학적 기준방향을 정하기 위한 오리엔테이숀 플래트를 가지고, 상기 장치는 또한, 상기 웨이퍼군을 정열시키기에 앞서서, 상기 웨이퍼의 결정학적 기준방향을 일치시키기 위한 기준방향 정열수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  45. 제45항에 있어서, 각 상기 웨이퍼 격납수단은, 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 상기 웨이퍼군의 전체의 웨이퍼의 아래 자장자리에 대향하는 개구를 가지며, 상기 제1의 방향으로 평행한 2개의 긴변을 가지는 거의 장방형의 저면과, 상기 저면의 상기 긴변에 따라서, 상기 저면의 판과의 거의 직각을 이루어지도록 서로 평행하게 설치되어, 상기 웨이퍼를 보지하기 위한 2개의 보지측면과, 상기 저면과 대향해서 설치되고, 상기 웨이퍼군이 통과 가능한 개구측과를 포함하고, 각 상기 보지측면과, 그의 서로 대향하는 면상에 상기 제1의 간격으로 형성되고, 각각 상기 웨이퍼의 옆 가장자리를 지지하기 위한 상기 웨이퍼군에 포함되어 진 웨이퍼의 매수와 동수의 웨이퍼 보지구를 가지며, 상기 지지수단은, 상기 매수의 웨이퍼 격납수단이 얹어 놓여진 개구부를 가지는 테이블을 포함하고, 상기 개구부는, 상기 테이블상에 얹어 놓여진 상기 복수의 웨이퍼 격납수단의 전체의 웨이퍼에, 상기 저면의 개구를 통해서 대향할 수 있는 크기로 형성되어 있고, 상기 기준방향 정렬수단은, 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단은, 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단을, 각 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 저면의 상기 개구가 상기 테이블의 개구부로 대향하도록, 또 상기 복수의 웨이퍼 격납수단의 상기 축선이 일치하도록 상기 테이블상에 위치 결정하는 수단과, 상기 테이블에 얹어 놓여진 전체의 웨이퍼의 아래 가장자리에 접속해서 소정의 회전축 주위로 회전하는 것에 의해 상기 웨이퍼를 회전시키며, 상기 테이블의 개구부 하부에 배치가능한 웨이퍼 회전수단과, 상기 웨이퍼 회전수단이, 상기 테이블의 개구부 및 상기 웨이퍼 격납수단의 저면의 상기 개구를 통과해서, 상기 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있던 웨이퍼의 상기 오리엔테이숀 플래트를 제외한 주연과는 접속하지만, 상기 오리엔테이숀 플래트에는 접속하지 않는 위치와 상기 테이블과 간섭하지 않는 위치와의 사이에서 상기 웨이퍼 회전수단과 상기 테이블과의 상대적 높이를 변화시키기 위한 승간수단과, 각 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 회전수단에 접촉한 후, 상기 웨이퍼 회전수단과 접속하지 않을 때까지 상기 웨이퍼 회전수단을 회전시키기 위한 회전구동 수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  46. 제46항에 있어서, 상기 웨이퍼군을 정열시키기 위한 수단은, 상기 테이블상에 옮겨 놓았던 각 상기 웨이퍼 격납수단내의 웨이퍼군을 각 웨이퍼군의 축선이 일치하도록 각 웨이퍼군내의 웨이퍼 상호의 상대적 위치관계를 유지하면서, 각 상기 복수개의 웨이퍼 격납수단 밖으로 끄집어 내기 위한 웨이퍼 끄집어 내기 수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  47. 제47항에 있어서, 상기 웨이퍼 끄집어 내기 수단은, 각각 상기 제1의 간격에서 상기 제1의 방향과 평행한 방향으로 형성되어, 상기 웨이퍼의 아래 가장자리를 수납하기 위한 복수의 웨이퍼 수납홈을 그 상면에 가지고, 각 웨이퍼가 서로 평행으로 상기 제1의 간격을 보유하도록 상기 웨이퍼 수납홈에서 각각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납된 웨이퍼를 보지하기 위하여 상기 제1의 방향에 쉬프트 가능하고, 상기 테이블의 개구부 하부에 배치 가능한 복수개의 웨이퍼 보지수단과, 상기 웨이퍼 회전수단과 상기 웨이퍼 보지수단과를 상기 테이블의 상기 개구부 하부에 교차적으로 배치하기 위한 수단과를 포함하고, 상기 승강수단은, 각 상기 웨이퍼 보지수단이 상기 테이블의 개구부 및 상기 웨이퍼 격납수단의 저면을 통과해서, 각 상기 웨이퍼 격납수단에 격납되어 있던 웨이퍼군을 보지하고, 상기 개구측면에서 상기 웨이퍼 격납수단 밖으로의 소정의 높이로 끌어 올리도록 상기 테이블과 상기 웨이퍼 보지수단과의 상대적 높이를 변화시키도록 구성되고, 상기 웨이퍼 보지수단의, 다른 또 하나와 대향하는 단부에 인접하는 각 상기 웨이퍼 보지수단의 상기 웨이퍼 수납홈이 그 중심이 상기 단부에서 상기 제1의 간격의 절반이하로 되는 위치에 형성되도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  48. 제48항에 있어서, 상기 웨이퍼 회전수단과, 상기 웨이퍼 보지수단과를 상기 테이블의 상기 개구부 하부로 교체적으로 배치하기 위한 수단은, 상기 웨이퍼 보지수단을 그의 상기 웨이퍼 수납홈의 배열의 방향이 상기 웨이퍼 회전수단의 회전축의 방향과 평행으로 되도록 보지하기 위한 수단과, 상기 테이블을 상기 웨이퍼 회전수단의 상방에서 상기 웨이퍼 보지수단의 상방까지, 상기 테이블의 상기 개구부가 상기 웨이퍼 보지수단과 위치가 맞추어 질때까지 이동시키기 위한 테이블 이동수단과를 포함하고, 상기 승강수단은, 상기 테이블을 상기 웨이퍼 보지 수단의 상면이 상기 웨이퍼 격납수단의 상기 개구사이측 상에 나온 위치와 상기 웨이퍼 보지수단의 상면과 간섭하지 않는 위치와의 사이에서 승강시키기 위한 테이블 승강수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  49. 제49항에 있어서, 상기 웨이퍼군의 적어도 하나를 상기 제1의 방향에 따라서 이동시키기 위한 수단은, 상기 웨이퍼 보지수단의 적어도 하나를 각 상기 웨이퍼 보지수단의 서로에 대향하는 단부에 인접해서 형성된 웨이퍼 수납홈이, 서로 상기 제1의 간격으로 떨어진 위치로 되도록 상기 제1의 방향에 따라서 쉬프트 시키기 위한 수단을 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  50. 제50항에 있어서, 상기 웨이퍼 반송수단은, 각각 상기 제1의 간격으로 형성된, 상기 복수개의 웨이퍼 격납 수단에 격납된 전체의 웨이퍼의 매수 이상의 수의 웨이퍼의 가장자리를 수납하기 위한 웨이퍼 수납홈을 가지는 한쌍의 웨이퍼 협지수단과, 상기 제1의 방향과 평행으로 각 상기 웨이퍼 수납홈이 서로 대향해서 상기 제1의 방향과 직교하는 평면을 규정하도록 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 보지함과 동시에, 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단의 서로의 거기가, 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 보지하는 제1의 거리와 상기 웨이퍼 수납홈의 저부가 상기 웨이퍼의 가장자리를 개방하는 제2의 거리와의 사이에서 변화하도록 상기 한쌍의 웨이퍼 협지수단을 구동하는 제1의 구동수단과, 상기 제1의 구동소단을 상하 및 횡방향으로 구동하기 위한 제2의 구동수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  51. 제51항에 있어서, 상기 웨이퍼 보지수단의 적어도 하나를 쉬프트 시키기위한 수단은, 상기 테이블 하부에 설치되어, 각각 상기 웨이퍼 보지수단의 하부의, 상기 테이블과 간섭하지 않는 위치를 상기 제1의 방향으로 슬라이드 가능하게 보지하기 위한 한쌍의 슬라이더 수단과, 상기 슬라이더 수단을 구동해서, 상기 제1의 방향으로 슬라이드 시키기위한 구동수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  52. 제52항에 있어서, 상기 수동수단은, 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 한쪽에 본체가, 다른쪽에 실린더 로드가 각각 고정된 에어실린더를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  53. 제53항에 있어서, 상기 구동수단은, 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 한쪽에 고정되고, 스크류가 채워진 상기 제1의 방향의 개구부를 가지는 너트와, 상기 너트의 상기 개구부와 맞물린 스크류를 주면에 가지며, 상기 제1의 방향과 병행으로 배치된 로드와, 상기 로드의 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 다른쪽이 가까운 쪽의 일단을 회전가능하게 지지하기 위한 축수수단과, 상기 축수수단을 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 다른쪽에 고정하는 고정부재와 상기 고정부재에 고정되어 상기 로드를 그 축 주위에 회전시키기 위한 회전구동수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  54. 제54항에 있어서, 상기 회전구동수단은, 상기 고정부재에 고정된 모터와, 상기 너트와 맞물린 상기 로드의 부분보다도 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 다른쪽에 가까운 부분에 상기 모터의 회전축의 회전을 전달하기 위한 전동수단과를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
  55. 제55항에 있어서, 상기 전동수단은, 상기 너트와 맞물렸던 상기 로드의 부분보다도 상기 한쌍의 슬라이더 수단의 다른 쪽에 고정된 제1의 플리와, 상기 모터의 회전축에 고정된 제2의 플리와, 상기 제1의 플리 및 상기 제2의 플리 사이에 감겨진 저전동 전동 벨트를 포함하도록 한 웨이퍼를 웨이퍼 반송수단에 옮겨 싣기 위한 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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