JPH08259193A - カセット搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の基板を収納した基板を、内部に収納さ
れた基板の方向を変化させるためカセットを回動するこ
とができるカセット搬送装置を提供する。 【構成】 複数枚のガラス基板11を水平方向に収納した
カセット13を次の工程に搬送する場合、移動台車21上に
上下動可能に構成されたチャック機構26を、カセット13
の一端側に位置合わせし、相対する側面を一対のクラン
プ36a ，36b によって挟持する。昇降機構25によりチャ
ック機構26に保持したカセット13を搬送に適した高さに
位置させ、次工程の位置に向かって移動台車21を移動さ
せる。移動途中で、チャック機構26に連結した回転駆動
機構40を操作し、クランプ36a ，36b によって保持して
いるカセット13を回動させ、内部に収納したガラス基板
11を垂直にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数枚の基板がほぼ平
行な状態で収納されたカセットを任意の位置まで搬送す
るカセット搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶表示装置に用いられるガラ
ス基板の処理工程では、複数枚のガラス基板に対して同
時に処理を施すため、これら複数のガラス基板をほぼ平
行な状態で収納するカセットが用いられ、このような処
理工程では、通常、図４で示すように、ガラス基板11は
水平状態で取り扱われ、たとえば所定の処理装置までの
搬送に際しては、ガラス基板11を水平状態で搬送するロ
ーラコンベアなどの搬送装置12が用いられる。このた
め、搬送装置12によって搬送されたカセット13に収納さ
れたガラス基板11も、搬送状態のまま、すなわち水平状
態のまま、間隙を介して平行に収納されている。

【０００３】ところで、このようなガラス基板11を、図
５で示すように、バッチ式のオーブン15を用いて焼成処
理する工程では、複数枚のガラス基板11をカセット12に
収納した状態でバッチ式のオーブン15内に挿入して処理
する。この場合、オーブン15の熱効率やガラス基板11の
温度分布の条件などにより、ガラス基板11の方向が垂直
であることが好ましく、カセット13をオーブン15内に挿
入する場合、ガラス基板11を垂直にするためカセット13
を９０°回転させなければならない。

【０００４】このため、従来は、図６で示すように、搬
送装置12により水平な状態でカセット13に収納された複
数のガラス基板11を、次工程の焼成処理を施すべくバッ
チ式のオーブン15内に挿入する際に、一旦、カセット13
を中間位置に配置された作業台16上に置き、内部に収納
された複数のガラス基板11が垂直になるように、この作
業台16上で置き直している。

【０００５】このように、複数枚のガラス基板11を収納
したカセット13が、前工程から図示しない台車で運ばれ
てきたとしても、作業者が一度カセット13を台車からお
ろして作業台16上に移し、内部のガラス基板11が垂直と
なるようにカセットを立て直してから、再び台車に乗せ
て次工程に運んだり、あるいは、台車に載せることなく
そのまま次工程のオーブン15内に挿入するといった作業
が必要である。

【０００６】しかし、液晶表示装置に用いられるガラス
基板11は年々大きくなる傾向にあり、このガラス基板11
を複数枚収納したカセット13はかなりの重量となる。し
たがって、このカセット13の立て直し作業は、大きな作
業スペースを確保しなければならないとともに、作業者
に大きな負担を与える困難な作業であり、安全性の面か
らも問題である。

【０００７】また、他の従来技術として、図７で示すよ
うに、専用の搬送ロボット18を用い、この搬送ロボット
18によって複数枚のガラス基板11を収納したカセット13
を搬送し、オーブンの槽19内に挿入するバッチ式オーブ
ンの搬送システムがある。

【０００８】しかし、このようなバッチ式オーブンの搬
送システムでは、搬送システム全体が高価になってしま
うことと、全体が大きなスペースを必要とする問題があ
る。また、このようなシステムでもカセットの方向を変
える機構が付いていないため、作業者がカセット13を置
き直さなければならない。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このように、ガラスな
どによる基板は、その取り扱い上、水平状態で搬送され
るので、カセット内へも水平状態で収納される。これに
対し、後続する工程では、基板を垂直状態にしなければ
ならない場合があり、この場合は、基板が収納されたか
なりの重量物であるカセットを立て直し操作しなければ
ならない。このため、大きな作業スペースが必要であっ
たり、作業者に大きな負担を与えることとなる。また、
ロボットを用いる場合は、極めて高価な大掛かりな設備
が必要になるなどの問題を有している。

【００１０】本発明の目的は、複数の基板を収納した基
板を、内部に収納された基板の方向を変化させるためカ
セットを回動することができるカセット搬送装置を提供
することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数枚の基板
をほぼ平行に収納したカセットを任意の位置まで搬送す
るカセット搬送装置において、任意の停止位置に固定可
能な移動装置と、一対のクランプを有し、この一対のク
ランプにより前記カセットを挟持するチャック機構と、
このチャック機構に連結されこのチャック機構を回転さ
せる回転駆動機構とを具備したものである。

【００１２】

【作用】本発明は、複数枚の基板を収納したカセット
を、移動装置上の設けられたチャック機構の一対のクラ
ンプによって挟持し、チャック機構に連結された回転駆
動機構により、クランプによって保持されているカセッ
トを回動させて、内部に収納された基板の方向を変化さ
せる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明のカセット搬送装置の一実施例
を図面を参照して説明する。なお、従来例に対応する部
分には、同一符号を付して説明する。

【００１４】図１において、21は移動装置としての移動
台車で、車輪22により任意の方向に移動可能であり、こ
の車輪22に対して設けられたブレーキ機構23により、任
意の停止位置に固定することができる。また、移動台車
21上には昇降機構25が立設されており、チャック機構26
を上下動可能に支持している。

【００１５】そして、この昇降機構25は、移動台車21上
に一体に設けられた支持部材27を有し、この支持部材27
の内側には図３にも示すようにガイドレール28が上下方
向に沿って一体に設けられ、このガイドレール28により
昇降体29を上下方向に案内する。この昇降機構25は、上
下部分がそれぞれぞれ回転自在に支持された縦向の駆動
ネジ30を有しており、この駆動ネジ30は図示しない歯車
などによる伝達機構31を介して連結するハンドル32によ
り回転駆動される。また、この駆動ネジ30には昇降体29
が螺合しており、この昇降体29は駆動ネジ30の回転に伴
って昇降駆動される。

【００１６】また、チャック機構26は、複数枚の基板と
してたとえば液晶表示装置に用いられるガラス基板11を
平行な状態で収納するカセット13を保持するもので、図
１で示すように、昇降体29の前面に、図２で示す回転軸
34を介して回転可能に取り付けられた板状の基台35を有
している。そして、この基台35の前面には、カセット13
を挟持する一対のクランプ36a ，36b が開閉可能に設け
られ、この一対のクランプ36a ，36b は、基台35の裏面
側に設けられたクランプレバー37により任意に開閉操作
できるとともに、図２で示すロック部材38を操作するこ
とにより、被クランプ物に対する任意の締付け状態でロ
ックできる。

【００１７】さらに、図２で示すように、回転軸34を介
してチャック機構26と連結する回転駆動機構40が設けら
れ、図３で示すように、昇降体29の裏側に設けられたハ
ンドル41を操作することにより、チャック機構26を所定
の角度に回動できる。

【００１８】なお、支持部材27の裏側には、図１で示す
ように、手押し用の把手43が一体に設けられている。

【００１９】次に、上記実施例の動作について説明す
る。

【００２０】各工程で所定の処理が終了した複数枚のガ
ラス基板11が、カセット13内に、互いに平行な状態で水
平に収納され、払出し部に設置されている。このガラス
基板11を次の焼成工程のため、図５で示したようなバッ
チ式のオーブン15まで搬送し、このガラス基板11の方向
が垂直となる状態で、オーブン15内に挿入させる。

【００２１】すなわち、まず、移動台車21を移動させる
とともに、昇降機構25のハンドル32を操作して、チャッ
ク機構26がガラス基板11を水平な状態で収納しているカ
セット13の一端部と対向する状態に位置設定する。そし
て、下側のクランプ36b をカセット13の下部に差込ん
で、このカセット13の底面を支持する。

【００２２】次に、ブレーキ機構23を作動させて移動台
車21を固定した後、クランプレバー37を操作し、上側の
クランプ36a を下降させてカセット13の上面に押し付
け、カセット13の上下面を挟圧するとともに、この挟圧
した状態を維持すべくロック部材38で一体的にロックす
る。この操作により、チャック機構26は、カセット13の
一端側の上下面、すなわち相対する側面を、一対のクラ
ンプ36a ，36b により強固に挟持した状態となる。

【００２３】次に、昇降機構25のハンドル41を操作して
チャック機構26を上昇させ、このチャック機構26に保持
されたカセット13を搬送に適した高さまで上昇させる。
その後、ブレーキ機構23を解除し、把手43を押して移動
台車21を移動させ、カセット13に収納された複数のガラ
ス基板11を次の焼成工程まで搬送する。

【００２４】そして、移動台車21が次の工程に達し、ガ
ラス基板11をオーブン15内に挿入する場合は回転駆動機
構40のハンドル41を操作し、チャック機構26を９０°回
動させ、このチャック機構26に保持されたカセット13内
のガラス基板11を垂直状態にする。このようにして、オ
ーブン15に対するカセット13の挿入方向を決めた後、昇
降機構25のハンドル41を操作してチャック機構26を所定
の挿入高さに調整し、カセット13をオーブン15内に挿入
する。カセット13の挿入操作後、ロック部材38によるロ
ックを解除し、クランプレバー37を操作してクランプ36
a ，36b を開き、カセット13から離脱させることにより
オーブン15への挿入を完了する。

【００２５】なお、搬送先の次工程が焼成工程でなく、
ガラス基板11を垂直状態にする必要のない場合は、回転
駆動機構40によるチャック機構26の回動操作を行なわ
ず、目的箇所において昇降機構25によりチャック機構26
を下降させるとともに、このチャック機構26を解除動作
させることにより、カセット13をステージ上に載置すれ
ばよい。

【００２６】また、一連の動作において、移動台車21が
移動すると不安定になる操作については、前述のように
ブレーキ機構23を作動させ、移動台車21を固定した状態
で行なう。

【００２７】

【発明の効果】本発明のカセット搬送装置によれば、複
数の基板を収納したカセットを搬送するに際して、この
カセットを保持したチャック機構を回動させることによ
り基板の方向を任意に設定できるので、重量物であるカ
セットの立て直し作業が不要となり、作業スペースの縮
小化や、作業者への負担の軽減化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカセット搬送装置の一実施例を示す斜
視図である。

【図２】同上回転駆動機構部分を示す側面図である。

【図３】同上昇降機構を示す背面図である。

【図４】基板を収納するカセットと基板搬送設備との関
係を示す斜視図である。

【図５】基板を収納したカセットをバッチ式のオーブン
に挿入した状態を示す斜視図である。

【図６】基板を収納したカセットをバッジ式のオーブン
に挿入する途中でカセットの方向を立て直す過程を示す
斜視図である。

【図７】従来の搬送ロボットを用いた設備を示す斜視図
である。

【符号の説明】

11 ガラス基板 13 カセット 21 移動装置としての移動台車 26 チャック機構、 36a ，36b クランプ 40 回転駆動機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｇ 47/52 １０１ Ｂ６５Ｇ 47/52 １０１Ａ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚の基板をほぼ平行に収納したカセ
   ットを任意の位置まで搬送するカセット搬送装置におい
   て、 任意の停止位置に固定可能な移動装置と、 一対のクランプを有し、この一対のクランプにより前記
   カセットを挟持するチャック機構と、 このチャック機構に連結されこのチャック機構を回転さ
   せる回転駆動機構とを具備したことを特徴とするカセッ
   ト搬送装置。