KR920015427A - 엑스선 노광장치용 마스크 제조방법 - Google Patents
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- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 공정단면도.
Claims (2)
- 순수 규소 박막에 다결정 규소막을 증기 증착법으로 4~5μm증착하는 공정과, 상기 다결정 규소막위에 금을 형성하여 패터닝하는 공정과, 상기 순수 규소 박막 배면에 레지스트를 형성하여 식각한 후 상기 순수 규소 박막을 상기 다결정 규소막까지 식각하고 레지스트를 제거하는 공정을 차례로 실시하여서 이루어짐을 특징으로 하는 엑스선 노광 장치용 마스크 제조방법.
- 제1항에 있어서, 순수 규소 박막위에 질화규소막을 4~5μm증착함을 특징으로 하는 엑스선 노광 장치용 마스크 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910000291A KR940005279B1 (ko) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | 엑스선 노광장치용 마스크 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910000291A KR940005279B1 (ko) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | 엑스선 노광장치용 마스크 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920015427A true KR920015427A (ko) | 1992-08-26 |
| KR940005279B1 KR940005279B1 (ko) | 1994-06-15 |
Family
ID=19309621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910000291A KR940005279B1 (ko) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | 엑스선 노광장치용 마스크 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940005279B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100310541B1 (ko) * | 1998-09-21 | 2001-11-15 | 박종섭 | 스텐실 마스크 |
-
1991
- 1991-01-10 KR KR1019910000291A patent/KR940005279B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100310541B1 (ko) * | 1998-09-21 | 2001-11-15 | 박종섭 | 스텐실 마스크 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940005279B1 (ko) | 1994-06-15 |
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