KR960014941A - 스크린프린팅(Screen Printing)방법을 이용한 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 실리콘웨어퍼를 세척한 후 압저항체를 실리콘기판상에 형성하는 단계; 실리콘기판상에 금속박막을 진공증착하는 단계; 이 금속박막은 사진식각 및 습식시각으로 패터닝한 후 열처리하는 단계; 이 금속박막위에 스크린프린트용 금속마스크를 저렬하여 메탈페이스트를 프린팅하는 단계와; 이 메탈페이스트를 열처리하여 경화시키는 단계로 이루어져 워하는 정확한 양과 두께로 조절된 질양을 한번에 다수개 제조할 수 있는 반도체 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도 (가)(나)(다)(라) 및 (마)는 본 발명의 원리에 따라 반드체가속도센서 및 진동센서의 질량을 제조하는 단계를 보인 도면.
Claims (1)
- 반도체 가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법에 있어서, 실리콘웨이퍼(1)를 세척한 후 압저항체(2)를 제조하고, 이 실리콘웨어퍼(1)의 전면에 다층박막으로 되는 금속박막(5)을 진공증착하며, 이 금속박막(5)을 사진식각과 습식시각으로 패터닝한 후 열처리하여 질량패드(9)를 형성하고, 이 질량패드와 일치하는 패터닝구멍을 가진 금속마스크(10)를 위치시켜 메탈페이스트(6)를 프린팅하며, 금속마스크(10)를 제거한 다음 메탈페이스(6)를 소정온도로 열처리하며 정화시기는 단계로 이루어진 스크린프린팅방법을 이용한 반도체가속도센서 및 진동센서의 질량제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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| KR960012899B1 KR960012899B1 (ko) | 1996-09-25 |
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1994
- 1994-10-04 KR KR1019940025356A patent/KR960012899B1/ko not_active IP Right Cessation
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