KR930003356A - 트렌치 커패시터 제조방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 트랜치 커패시터 제조공정도 및 평면도.
Claims (1)
- 실리콘 기판(1)을 식각하여 트렌치를 형성하고 이 트렌치에 커패시터를 제조하는 방법에 있어서, 커패시터 영역을 정의한 후 실리콘기판(1)을 1차 식각하여 질화막(3)을 증착하는 공정과, 트렌치 내벽에 질화막(3)을 패터닝하고 증착될 산화막(4)의 기계적 안정성을 위한 기판(1)의 2차 식각공정과, 산화막(4)을 증착하여 3차 실리콘 식각시 마스크가 될부분인 기판(1) 표면과 질화막(3)내벽에 산화막(4) 패턴 형성과 습식식각에 의해 질화막(3)을 제거하는 공정과, 산화막(4)을 마스크로 하여 기판(1)을 3차 식각하여 트렌치 공정을 완성한 뒤 유전체막(5)을 형성하고 플레이트 폴리실리콘(5) 증착하는 공정을 차례로 실시하여 제조함을 특징으로 하는 트렌치 커패시터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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| KR1019910011804A KR930010112B1 (ko) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | 트랜치 커패시터 제조방법 |
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| KR930003356A true KR930003356A (ko) | 1993-02-24 |
| KR930010112B1 KR930010112B1 (ko) | 1993-10-14 |
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Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030021619A (ko) * | 2001-09-07 | 2003-03-15 | 주식회사 효성 | 폴리에스터 섬유의 제조방법 |
| KR100404545B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2003-11-05 | 주식회사 효성 | 폴리에스터 극세 섬유의 제조방법 |
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1991
- 1991-07-11 KR KR1019910011804A patent/KR930010112B1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR100404545B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2003-11-05 | 주식회사 효성 | 폴리에스터 극세 섬유의 제조방법 |
| KR20030021619A (ko) * | 2001-09-07 | 2003-03-15 | 주식회사 효성 | 폴리에스터 섬유의 제조방법 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930010112B1 (ko) | 1993-10-14 |
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