KR910017619A - 집적회로내 리액터 제조방법 - Google Patents
집적회로내 리액터 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명의 평면형 나선구조 형상의 리엑터를 나타낸 개략도, 제 2도는 제 1도(A)의 가-가 선 단면도로 본 본 발명의 제조공정도.
Claims (1)
- 기판(1)위에 산화막(2)과 메탈1(3) 및 절연층(4)을 형성하고 사진식각법에 의해 절연층(4)을 선택적으로 식각하여 삽입부(4a)를 형성한 후 메탈2(5)을 증착시켜 이 메탈2(5)과 메탈1(3)이 삽입부(4a)를 통하여 연결되게 하며 사진 식각법에 의해 상기 메탈2(5)을 식각하여 평면형 나선구조 형상의 리액터를 제조함을 특징으로 하는 집적회로 내 리액터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900004332A KR910017619A (ko) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 집적회로내 리액터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900004332A KR910017619A (ko) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 집적회로내 리액터 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910017619A true KR910017619A (ko) | 1991-11-05 |
Family
ID=67470287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900004332A KR910017619A (ko) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 집적회로내 리액터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR910017619A (ko) |
-
1990
- 1990-03-30 KR KR1019900004332A patent/KR910017619A/ko not_active Application Discontinuation
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