KR900016508A

KR900016508A - 실리콘단결정의 제조방법 및 장치

Info

Publication number: KR900016508A
Application number: KR1019890005633A
Authority: KR
Inventors: 히로시 가미오; 겐지 아라끼; 요시노부 시마; 마꼬도 스즈끼; 아끼라 가자마; 시게다께 호리에; 야스미쯔 나까하마
Original assignee: 야마시로 요시나리; 닛뽕 고오깡 가부시기가이샤
Priority date: 1988-04-28
Filing date: 1989-04-28
Publication date: 1990-11-13
Also published as: KR930003044B1; US5087429A; EP0340941A1

Abstract

내용 없음.

Description

실리콘단결정의 제조방법 및 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명 실시예를 모식적으로 나타낸 종단면도,

제2도는 그 I - I 단면도,

제3도는 분할부재의 실시예의 측면도.

Claims

용융실리콘이 들어있는 도가니(1)를 그 용융실리콘이 조용히 이동할 수 있도록 안쪽의 단결정육성부(A)와 바깥쪽의 원료공급부(B)로 분할하고, 동원료공급부에 실리콘원료를 연속적으로 공급하면서 전술한 단결정육성부로 루터 실리콘단결정으로 인양하는 방법에 있어서, 원료공급부(B)와 용융실리콘의 온도를 실리콘의 융점보다 적어도 12℃이상 높게 유지하는 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조방법.
제1항에 있어서, 전술한바 분할의 용융액면으로 부터의 노출부 및 그 분할의 원료공급부(B)측을 덮도록 보온한 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조방법.
제1항에 있어서, 원료공급부(B)와 간막이벽 상방에 양자를 덮도록 배설된 대략 링형상의 발열수단을 가열하여 간막이벽 및 원료공급부의 용융실 리콘의 온도를 단결정육성부(A)의 용융실리콘의 온도보다 높게 유지한 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조방법.
제1항에 있어서, 도가니(1)의 바깥쪽에 배치한 가열수단에 의하여 도가니내의 용융실리콘을 가열함과 동시에 원료공급부(B)에 배치되어 일부가 그 원료공급부의 용융실리콘에 침지된 가열수단에 의하여 원료공급부(B)의 용융실리콘을 가열하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 제조방법.
제1항-제4항중의 어느 항에서, 도가니(1)의 외주에 배치된 가열수단과, 도가니의 하방에 배치된 가열수단에 의하여 도가니내의 용융실리콘을 가열하는 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조방법.
제1항-제5항중의 어느 항에서, 원료공급부(B)에 있어서의 용융실리콘과 도가니가 접하는 부분의 면적을 도가니전체에 있어서의 용융실리콘과 도가니가 접하는 부분의 면적의 30-75%에 설정함과 동시에, 원료공급부(B)의 용융실리콘의 자유표면적을 도가니전체의 용융실리콘의 자유표면적의 17-77%에 설정한 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조방법.
도가니(1)에 들어있는 용융실리콘을 인양하여 실리콘단결정(5)을 제조하는 장치에 있어서, 적어도 하나의 작은구멍(12)이 관통설치되어 인양되는 실리콘단결정(5)을 둘러싸도록 도가니 안에 배설되어서 그 도가니를 단결정육성부(A)와 원료공급부(B)로 구분하는 간막이수단과, 원료공급부의 상방에 배설된 입상실리콘(16)의 공급수단과, 간막이수단의 용융액면으로부터의 노출분진 원료공급부를 피복하는 보온수단과, 도가니의 측별과 저부를 각기 독립하여 가열하는 가열수단을 구비한 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조방법.
도가니(1)에 들어있는 용융실리콘을 인양하여 실리콘단결정을 재조하는 장치에 있어서, 적어도 하나의 작은구멍(12)이 관통설치되어 도가니안에 배설되어 그 도가니(1)를 단결정육성부(A)와 원료공급부(B)로 구분하는 간막이수단과, 원료공급부(B)의 상방에 배설된 입상실리콘(16)의 공급수단과. 원료공급부와 간막이수단의 상방에 양자를 덮도록 배설된 대략 링형상의 발열수단과 도가니의 측벽과 저부를 각기 독립하여 가열하는 가열수단을 구비한 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조장치.
도가니(1)에 들어 있는 용융실리콘을 인양하여 실리콘단결정을 제조하는 장치에 있어서, 적 어도 하나의 작은구멍(12)이 관통설치되어, 인양되는 실리콘단결정(5)을 둘러싸도록 도가니(1) 안에 배설되어 그 도가니를 단결정육성부(A)와 원료공급부(B)로 구분하는 간막이수단과, 원료공급부의 상방에 배선된 입상실리콘의 공급수단과, 원료공급부에 일부가 그 원료공급부의 용융실리콘에 침지되고 또한 도가니와 상대적으로 상하에 이동할 수 있도록 배설된 가열수단과, 도가니의 측벽을 가열하는 가열수단을 구비한 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조장치.
도가니(1)에 들어있는 용융실리콘을 인양하여 실리콘단결정을 제조하는 방법에 있어서, 도가니안의 용융실리콘을 인양화는 실리콘단결정(5)을 둘러싸서 통상의 가열수단으로 분할하고, 도가니의 바깥쪽에 배치한 가열수단으로 도가니 안의 용융실리콘을 가열함과 동시에 통상의 가열수단으로 주로 그 가열수단의 바깥쪽의 용융실리콘을 가열하여, 그 가열수단의 바깥쪽의 용융실리콘의 용융액면의 온도를 실리콘의 융점보다 적어도 12℃이상 높게 유지하고, 통상의 가열수단의 안쪽으로부터 실리콘단결정(5)을 인양함과 동시에, 그 가열수단의 바깥쪽에 입상실리콘(16)을 공급하여 통상의 가열수단의 바깥쪽의 실리콘을 그 가열수단의 하부로부터 안쪽으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조방법.
도가니(1)에 들어있는 용융실리콘을 인양하여 실리콘단결정을 제조하는 장치에 있어서, 인양되는 실리콘단결정(5)을 둘러싸고 또한 도가니의 저부와의 사이에 간극이 발생하도록 그 도가니안에 배설되어, 그 도가니를 단결정육성부(A)와 원료공급부(B)로 구분하는 통상의 가열수단과, 원료공급부 (B)외 상방에 배설된 입상실리콘(16)의 공급수단을 구비한 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조방법.
제7항-제10항중의 어느항에서, 원료공급부에 있어서의 용융실리콘과 도가니(1)가 접하는 부분의 면적을 도가니전체에 있어서의 용융실리콘과 도가니가 접하는 부분의 면적의 30-75%에 설치함과 동시에, 원료공급부(B)의 용융실리콘의 자유표면적을 도가니 전체의 용융실리콘의 자유표면적의 10-70%에 설정한 것을 특징으로 하는 실리콘단결정의 제조장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.