KR890007383A - GaAs 단결정제조장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명 GaAs 단결정제조장치의 단면도.
Claims (4)
- 고압용기(1)의 내부에 회전축(2)에 축착된 도가니(3)를 감싸고 있는 서스셉터(4)가 설치되고 상기 도가니(3)의 내부에는 결정원료용액(5) 및 액체봉지제(6)가 담겨져 있으며 상기 서스셉터(4)의 주위에는 히터(9)를 설치하여서된 GaAs 단결정제조장치에 있어서 상기 도가니(3)를 감싸고 있는 서스텝터(4)를 상하부 서스텝터(4a)(4b)로 분리형성하여 하부 서스셉터(4b)가 도가니(3)의 내부의 액체봉지제(6)위치까지 상당하는 높이로 인하여 그 이상 부분은 히터(9)로 직접 가열되게함으로써 액체 봉지제(6)와 결정원료용액(5)의 계면온도구배를 낮출 수 있게 한 것을 특징으로하는 GaAs 단결정제조장치.
- 제1항에 있어서, 상부 서스셉터(4a)를 도가니(3)의 상면을 덮게하여 액체봉지제(6)를 히터(9)로 집중가열 할 수 있게 한 것을 특징으로하는 GaAs 단결정제조장치.
- 제1항에 있어서, 상부 서스셉터(4a)를 상향하면서 내경을 좁게 형성하여 도가니(3)의 방열 및 카본입자의 혼입방지할 수 있도록 구성한 것을 특징으로하는 GaAs 단결정제조장치.
- 제1항에 있어서, 상부 서스셉터(4a)를 상하로 이동조정할 수 있게하여 액체봉지제(6)에 가열되는 온도를 조절할 수 있게하여 성장결정의 직경을 제어하는 것을 특징으로하는 GaAs단결정제조장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019870011172A KR920007335B1 (ko) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | GaAs 단결정 제조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019870011172A KR920007335B1 (ko) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | GaAs 단결정 제조장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR890007383A true KR890007383A (ko) | 1989-06-19 |
| KR920007335B1 KR920007335B1 (ko) | 1992-08-31 |
Family
ID=19265047
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| KR (1) | KR920007335B1 (ko) |
-
1987
- 1987-10-02 KR KR1019870011172A patent/KR920007335B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920007335B1 (ko) | 1992-08-31 |
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