KR890702410A - 다전극 플라즈마 리액터 전력분산장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

다전극 플라즈마 리액터 전력분산장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 단일전극 챔버용 종전 기술의 L형 반응정합 네트워크를 도시한 전기회로도. 제2도는 공지 기술의 다수 전극 리액터용 회로 도표. 제3도는 본 발명의 가장 적합한 실시예를 개략적으로 도시한 도면.

Claims (12)

1. RF 발진기, 상기 RF 발진기에 전기적으로 연결된 정합 네트워크, 챔버내에 배이된 총 적어도 두 개의 전력공급 전극 그리고 전술한 챔버 각각에 배치된 적어도 하나의 접지표면을 갖는 적어도 하나의 반응챔버, 이때 전력공급 전극 및 전술한 접지표면이 서로 관련하여 위치하며 각 전력공급 전극용의 적어도 한 플라즈마가 RF 전력이 적용됨에 따라 발생되도록 하는 반응챔버, 전술한 정합 내트워크와 전술한 전력공급 전극사이에 배치되어 전술한 정합 네트워크로부터 전술한 정합 내크워크로부터 전술한 전력공급 전극으로 RF전력을 공급하도록 하는 전극 전력회로, 이때의 회로가 정합 네트워크로부터 연결된 한 입력전력선과 전력공급 전극에 연결된 출력 전력선을 가지며 전술한 RF전력을 전술한 전력공급 전극들로 분산시키도록 동작하는 회로수단을 포함하고, 전술한 회로수단이 다양한 전력공급 전극과 접지표면 사이의 임피던스 변화에 자동으로 반응하여 각 전력공급 전극과 접지 표면사이에 발생된 전술한 플라즈마의 균형을 이루도록 하기 위해 전술한 전력공급 전극에 적용된 RF 전력을 변경시키도록 하는 전극전력 회로를 포함함을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 전력회로.
2. 제1항에 있어서, 전술한 회로수단이 적어도 하나의 차동 구동 변압기를 포함함을 특징으로 하는 다수 전극 변압기를 포함함을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 전력회로.
3. 제2항에 있어서, 전술한 전력공급전극(powered electrode)이 자동구동(differential drive) 변압기로부터의 한 출력선에 전기적으로 연결됨을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 전력회로.
4. 제1항에 있어서, 두 전력 공급전극이 전술한 한 챔버내에 배치되며, 한 접지전극이 전술한 챔버내 두 전력공급 전극사이에 배치되고, 그리고 전술한 회로수단이 두 출력라인을 갖는 한 차동 구동 변압기를 포함하며, 이때 전술한 전력공급 전극 각각이 전술한 두 출력 라인중 하나에 연결됨을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 전력회로.
5. 제4항에 있어서, 전술한 차동 구동 변압기가 두 개의 출력단을 갖는 한 출력코일을 포함하며, 전술한 출력단 각각이 전술한 전력공급 전극에 전기적으로 연결되고, 전술한 출력코일이 그 중앙탭에서 접지되며, DC차단 커패시터가 전술한 전기회로내 전술한 전력공급 전극 각각과 전술한 차동 구동 변압기의 접지중앙 탭 사이에서 전기적으로 연결됨을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 리액터 전력회로.
6. 제1항에 있어서, 전술한 회로수단이 적어도 하나의 중앙-탭 코일을 포함하고, 각 중앙-탭 코일이 두 개의 출력단을 가지며, 그리고 각 전력공급 전극이 중앙 탭 코일의 한 출력단에 연결되고, 정합 네트워크가 중앙-탭 코일의 중앙-탭에 연결됨을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 리액터 전력회로.
7. 제1항에 있어서, 두 전력공급 전극이 전술한 한 챔버내에 배치되며, 한 접지전극이 전술한 챔버내 두 전력공급 전극 사이에 배치되고, 그리고 전술한 회로수단이 코일의 중앙 탭에 연결된 입력 전력 라인을 갖는 중앙-탭 코일을 포함하고ㅡ 그리고 전술한 코일이 두 출력 라인을 가지며, 이때 전술한 전력공급이 전극 각각이 전술한 두 출력 라인중 하나에 연결됨을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 리액터 전력회로.
8. 제1항에 있어서, 전술한 회로수단이 차동 구동 변압기의 숫자(D)와 중앙-탭 코일의 숫자(C)를 포함하는 회로 앨리먼트의 숫자((Y)를 포함하고, 이때 Y=D+C이며, 전술한 챔버가 전력공급 전극의 숫자(N)를 포함하고, 이때 Y=N-1이고 N는 1보다 큰 정수임을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 리액터 전력회로.
9. 플라즈마가 발생되는 벽으로 규정된 한 챔버를 포함하며, 다수의 전력공급 전극과 적어도 하나의 접지표면이 전술한 챔버내에 배치되고, 이에 의히여 전술한 플라즈마가 전력공급 전극과 접지표면 사이에서 맞부딪쳐지며, 전술한 전력공급 전극이 RF전력 분산회로 수단으로 연결되고, 전술한 회로수단이 그 RF 전력 입력에서 RF 전원에 결합되며, 전술한 회로수단이 전술한 전력공급 전극과 전술한 접지표면 사이의 각기 다른 임피던스와 상관하여 전력공급 전극과 접지표면 사이에서 발생된 플라즈마의 균형을 이루기 위해 전력공급 전극 각각으로 공급된 RF 전력을 변경시키도록 함을특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 리액터.
10. 제9항에 있어서, 접지전극이 전술한 전력공급 전극 각각의 사이에 배치됨을특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 리액터.
11. 제10항에 있어서, 전술한 전력공급 전극과 접지전극이 평면부재로 형성되며, 각 전력공급 전극과 접지 전극 사이에 같은 거리가 유지되도록 전술한 챔버내에 배치됨을특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 리액터.
12. 제11항에 있어서, 전술한 회로수단이 자동 구동 변압기의 숫자(D)와 중앙-탭 코일의 숫자(C)를 포함하는 회로 엘리먼트 숫자(Y)를 포함하고, 이때 Y=D+C이고 그리고 전술한 챔버는 전력공급 전극의 숫자(Y)를 포함하며, 이때 Y=N-1이고 N는 1보다 큰 정수임을 특징으로 하는 다수 전극 플라즈마 리액터.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.