KR890004113B1 - 자기 콘덴서 - Google Patents
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Abstract
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Description
제1도는 본 발명의 실시예에 관한 적층형 자기콘덴서를 제작하기 위한 미소결 자기쉬트를 보여주는 단면도.
제2도는 적층형 자기콘덴서의 단면도.
제3도는 제2성분의 조성범위를 몰%로 보여주는 삼각도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 자기층 11 : 내부전극
15 : 외부전극
본 발명은 니켈등의 비금속에 의하여 내부전극이 형성된 적층자기콘덴서 또는 보통의 자기콘덴서에 관한것이다. 더욱 상세히 말하면, 신규의 유전체자기로 형성된 콘덴서에 관한것이다.
일본 특허출원 공개번호 59-138003호의 공보에는, {(BaXCaySrz)O}k(TinZr1-n)O2로 구성되는 주성분과, Li2O와 MO(단, MO는 BaO, CaO 및 SrO 중 적어도 1종의 금속산화물)로 구성되는 부성분을 포함하는 유전체자기조성물이 공개되어있다. 이 자기조성물은 비산화성분위기안에서 소결할 수 있으므로, 이것을 사용하여 니켈등의 비금속을 내부전극으로 하는 적층자기콘덴서를 제공할 수 있다.
그러나 상기와같은 종래의 유전체의 125℃에서의 단위두께당 직류파괴전압(내전압)은 비교적 낮은이다. 따라서 자동차에 사용하는 적층자기콘덴서에 요구되는 사용 온도범위인 -50℃∼+125℃를 만족시키고 또한 비교적 높은 정격(定格)전압으로 하기위해서는, 한쌍의 전극간의 자기의 두께를 크게하여 파괴전압을 높이지 않으면 안되며 필연적으로 적층 자기콘덴서의 외형규모가 커지지않을 수 없있다.
상기 목적을 달성하기위한 본 발명에관한 자기콘덴서는, 유전체자기와, 이곳에 설정된 적어도 2개의 전으로 구성된다. 그리하여 상기 유전체자기는 {(Ba1-x-yCaxSry)O}k(Ti1-zZrz)O2(단, z, y, z, k 및 1-k-y)는 0.02x0.27, 0<y0.37, 0<z0.26, 1.00k1.04, 0.60(1-x-y)<0.98을 만족하는 수치)의 조인 제1성분 100중량부와, B2O3(산화붕소), SiO2(산화규소) 및 , Li2O(산화리듐)으로 구성되며, 이들의 조성위가 몰%로 표시되는 삼각도에 있어서 B2O3가 10몰%, SiO2가 50몰%, Li2O가 40몰%인 점(A)과, B2O3가 5몰%, SiO2가 1몰%, Li2O가 49몰%인 점(B)과, B2O3가 80몰%, SiO2가 1몰%, Li2O가 19몰%인 점(C)과, B2O3가 89몰%, SiO2가 10몰%, Li2O가 1몰%인 점(D)과, B2O3가 24몰%, SiO2가 75몰%, Li2O가 1몰%인 점 (E)과, B2O3가 5몰%, SiO2가 75몰%, Li2O가 20몰%인 점(F)을 순차로 연결하는 6개의 직선으로 둘러싸인 영역내인 제2성분 0.2∼10.0중략부로 구성되고 있다.
다음 제1표∼제4표를 참조하여 본 발명에 관한 실시예 및 본 발명을 명확하게 하기위한 비교예에 대하여 설명한다.
제1표에 제시하는 시료번호 1인 1-x-y=0.80, x=0.10, y=0.10, k=1.02, 1-z=0.85, z=0.15인 제1성분, 즉{(Ba0.80Ca0.10Sr0.10)O}1.02(Ti0.85Zr0.15)O2를 얻기위하여 순도 99%이상인 BaCO3, CaCO3, SrCO3, TiO2, 및 ZrO2를 출발원료로 준비하여,
BaCO3590.06g (81.6몰부 상당)
CaCO337.56g (10.2몰부 상당)
SrCO355. 29g (10.2몰부 상당)
TiO2249.35g (85몰부 상당)
ZrO267.73g (15몰부 상당)
을 각각 칭량하였다. 이 칭량에 있어서, 불순물은 중량에 포함시키지 않고 칭량하였다. 다음에 칭량된 이들 원료를 포트 밀(pot mill)에 넣고, 다시 알루미나 볼(alumina boll)과 물2.51를 넣어 15시간 습식교반한 후, 교반물을 스테인레스 용기에 넣어서 열풍식 건조기로 150℃, 4시간 건조하였다. 다음에 이 건조물을 조분쇄하여 이 조분쇄물을 맨밀부분에 넣고, 터널로에서 대기중의 1200℃, 2시간의 소성을 행하여, 상기 조성식의 제1성분을 얻었다.
한편, 시료번호 1인 제2성분을 얻기위하여,
B2O310.46g (10몰%)
SiO245.14g (50몰%)
Li2CO344.40g (40몰%)
를 칭량·혼합하여 이 혼합물과 300cc의 알콜올을 폴리에틸렌 포트에넣고, 알루미나 보올로 15시간 분쇄하였다. 이로인하여 B2O310몰%, SiO250몰%, Li2O 40몰%의 조성인 제2성분의 분말을 얻을 수 있었다.
다음에, 제1성분인 분말 1,000g(1000중량부)에 대하여 상기 제2성분인 분말 30g(3중량부)를 첨가하고, 다시 아크릴산 에스테르폴리머, 글리세린, 축합인산염의 수용액으로 형성되는 유기 바인더를 제1성분과 제2성분과의 합계중략에 대하여 15중량% 첨가하고, 다시 50중략%의 물을 첨가하여, 이들을 보올밑에 넣어서 분쇄 및 혼합하여 자기원료인 슬러리(slurry)를 제작하였다.
다음에, 상기 슬러리를 진공탈포기에 넣어서 탈포하여, 이 슬러리를 리버스롤 코오터(revers roll coater)에 넣어 이로부터 얻어지는 박막성형물을 길다란 폴리에스테르 필름(polyester film)위에 받아드리는 동시에, 이 필름위에서 이를 100℃ 가열하여 건조시켜서 두께가 약의 미소결자기쉬트 (즉 그린쉬트)를 얻었다. 이 쉬트는 길다란 것이지만 이것을 10㎝ 각인 정방형으로 재단하여, 제1도에서 보여주는 7매의 미소결자기쉬트(1) (2) (3) (4) (5) (6) (7)을 얻었다.
한편, 내부전극용의 도전페이스트는, 입자직경이 평균인 니켈분말 10g와, 에틸 셀룰로오즈(ethylcellulose) 0.9g을 부틸 카르비톨(butyl carbitol) 9.1g에 용해시킨것을 교반기에 넣어서 10시간 교반하여서 얻었다. 다음에 이 도전 페이스트를, 제1도 에서 보여주는 6매의 미소결자기쉬트(1)∼(6)위에 길일 7㎜, 폭 2.5㎜인 작은 책모양으로 스크린 인쇄기로 인쇄하여, 내부전극용 페이스트층(8)을 마련하여 50℃에서 30분간 건조시켰다. 더우기 제1도의 제1, 제3 및 제5의 미소결자기쉬트 (1) (3) (5)의 페이스트층(8)은 제2, 제4 및 제6의 미소결자기쉬트(2) (4) (6)의 페이스트층(8)에 대하여 그의 길이의 약 2분의 1만큼 어긋난 위치에 마련되어 있다.
다음에, 페이스트층(8)을 마련한 6매의 미소결자기쉬트(1)∼(6)을 적층하고, 다시 최상부에 페이스트층이 마련되어있지 않는 미소결자기쉬트(7)를 적층하였다. 이어서, 이 적층물에 약 50℃의 온도로 두께방향으로 약 40톤의 압력을 가하여 압착적층체를 얻었으며, 이것을 제1도의 고리선으로 표시하는 위치에 대응시켜서 창살형상으로 재단하여 약 400개의 적층체를 얻었다.
다음에, 이 적층체를 분위기 소성이 가능한 로에 넣어서, 대기 분위기중에서 100℃ h의 속도로 600℃ 까지 온도를 높여 유기 바인더를 연소시켰다. 그후, 로의 분위기를 대기로부터 H22부피%+N298부피%의 분위기로 바꾸었다. 그리하여 로를 상술한 바와같이, 환원성분위기(비산화성분위기)인 상태로 보존하여 적층체 가열온도를 600℃에서 소결온도인 1090℃ 까지 100℃/h 속도로 온도를 높여 1090℃(최고온도)를 3시간 유지한후, 100℃/h의 속도로 600℃ 까지 온도를 내려서, 분위기를 대기분위기 (산화성 분위기)로 바꾸어놓고, 600℃를 30분간 보유하여 산화처리를 하고, 그후 실내온도로 까지 냉각하여 제2도에서 보여주는 바와같이 적층소결체칩(9)을 얻었다. 즉 7개의 유전체자기층(10) 사이에 6개의 내부전극(11)을 가지며, 6개의 내부전극(11)중의 3개가 한쪽측면에 노출되고, 나머지 3개가 다른쪽 측면에 노출되어있는 적층소결체칩(9)을 얻었다. 더우기, 자기층(10)의 1층의 두께는 0.02㎜, 내부전극(11)의 대향면적은 1.93㎜×2.60㎜=5㎟이며, 6개의 내부전극(8)의 합게의 대향면적은 25㎟이다.
상술한 바와같이 비산화성 분위기에서의 소성 및 산화성분위기 에서의 열처리에 의하여 얻어지는 소결후의 자기층(10)의 조성은, 소결전인 제1성분과 제2성분과의 혼합조성과 실질적으로 동일하며, 복합 프로브스카아트(perovskite)형 구조인 제1성분(Ba0.08Ca0.10Sr0.10)O1.02(Ti0.85Zr0.15)O2의 결정입자사이에, B2O310몰%, SiO250몰%, Li2O 40몰%로 이루어지는제2성분이 균일하게 분포한 것이라고 생각된다. 다시 상세하게 설명하면, 이 복합 프로브스카이트형 자기는, (Ba, Ca, Sr) (Ti, Zr)O3계자기라고 부를수도 있는 것이며, BaTiO3, BaZrO3, CaTiO3, CaZrO3, SrTiO3, SrZrO3를 포함하고, 또한 제1성분인 조성식에서의 k가 1보다 큰 경우에는 BaO, CaO, SrO가 프로브스카이트형 결정에 대하여 남아돌 정도로 지나치게 포함하게되며, 다시 결정입자간에 제2성분을 포함하게 된다.
다음에 전극이 노출하는 소결체칩(9)의 한쌍의 측면에 아연과 글래스프리트(glass frit)와 비히클(vehicle)로 이루어지는 도전성 페이스트를 발라 건조시켜 이것을 대기중에서 550℃의 온도로 15분간 구어붙여 아연전극층(12)을 형성하고, 다시 이 위에 무전해 도금법으로 동피착층(13)을 마련하고, 다신 이 위에 전기도금법으로 Pb-Sn납때층(14)을 마련하여 한쌍의 외부전극(15)을 형성하여 적층자기 콘덴서(16)를 얻었다.
다음에, 400개의 적층자기콘덴서로부터 임의로 선택한 10개의 콘덴서(16)의 전기특성을 측정하여 그의 평균치를 얻은바, 제2표의 시료번호 1란에서 보여주는 바와같이, 비유전율가 12,400,가 1.2%, 저항율 ρ가 3.13×106㏁. ㎝, 20㎛의 자기층(10)의 단위두께 1㎛ 당의 125℃에 있어서의 직류파괴전압(BDV)가 33.1V/m(20㎛에서 662V)였다.
더우기, 상기 전기특성은 다음과같은 요령으로 측정하였다.
(A) 비유전율은, 온도 20℃, 주파수 1kHz, 전압(실효치) 0.5V의 조건으로 정전용량을 측정하여 이 측정치와 모든내부전극(11)의 대향면적 25㎟와 자기층(10)의 두께 0.02㎜로부터 계산하여 얻게되었다.
(C) 저항율 ρ(㏁. ㎝)는, 온도 20℃에서 DC 50V를 1분간 인가한후에 한쌍의 외부전극915)간의 저항치를 측정하여 이 측정치와 규모에 기인하여 계산으로 구하였다.
(D) 125℃에서의 직류파괴전압(BDV)즉 내전압은, 항온조안에 시료를 넣고 125℃의 온도로 30분간 보존한후, 그대로의 상태에서 직류전압을 100V/초의 속도로 승압시켜서 파괴했을때의 전압을 측정하여 이 측정치를 자기층(10)의 두께 0.02㎜(20㎛)로 나누어서 구하였다.
이상에서, 시료번호 1의 제작방법 및 그의 특성에 대하여 기술하였지만, 기타 시료번호 2∼89에 대해서도 제1성분 및 제2성분의 조성, 이들의 비율, 그리고 환원성분위기(비산화성분위기)에서의 소성온도를 제1표 및 제2표에서 표시하는 바와같이 변경한 외에는, 시료번호 1과 완전히 동일한 방법으로 적층자기콘덴서를 제작하였고, 동일방법으로 전기특성을 측정하였다.
제1표는, 각기의 시료의 제1성분 {(Ba1-x-yCaxSry)O}k(Ti1-zZrz)O2와 제2성분과의 조성을 표시하고, 제2표는, 각기의 시료의 환원성분위기에서의 소결을 위한 소성온도(최고온도), 그리고 전기적특성을 보여주고 있다. 더우기 제1표의 제1성분의 라인 1-x-y, x, y, k, 1-z, z는 조성식의 각 원소의 비율을 보여주는 수치이다. 제2성분의 첨가량은 제1성분 100중량부에대한 중량부로 표시하였다.
[제1표]
본 발명에서는 비유전을 ε가 5,000 이상, 유전정접 tanδ가 2.5% 이하, 저항율 ρ가 1×104㏁. ㎝이상, 단위두께당의 파괴전압 BDV가 25V/㎛ 이상인 전기적 특성을 목표로하고 있다.
제1표 및 제2표의 시료번호 4, 5, 12, 13, 19, 21, 26, 34, 36, 39, 45, 49, 50, 54, 55, 71, 80, 81, 82, 88에서는 상기목표의 전기특성을 얻을 수가 없다. 따라서, 이들은 본 발명의 범위밖의 것이다. 한편, 상기 시료이외의 본 발명에 따른 시료에 있어서는, 비유전율 ε가 5040 ∼13820, 유전정접 tanδ가 0.7∼2.4%, 저항율 ρ가 2.57 1068.71×106㏁. ㎝, 125℃에서의 파괴전압 BDV가 26.2∼47.5V/㎛ 로 되어 목표로하는 전기적특성을 충분히 만족시킨다.
다음에 조성의 한정이유에 대하여 기술한다.
제2성분이 첨가되지 않는 경우에는, 시료번호 5에서 분명하듯이 소결을 위한 소성온도가 1350℃로서 높은 상태이고, 또한 tanδ가 5.2%로서 크며, 125℃의 BDV도 3.3V/㎛ 로서 대단히 낮다. 이에 대하여 시료번호 6에서 보여주는 바와같이, 제2성분을 100중량부의 제1성분에 대하여 0.2중량부를 첨가하였을 경우에는, 1180℃의 소성으로 목표로하는 전기적특성을 만족시키는 소결체를 얻을 수 있다. 따라서 제2성분의 하한은 0.2중량부이다. 한편, 시료번호 4, 12에서 보여주는 바와같이, 제2성분의 첨가량이 12중량부인 경우에는 tanδ가 4.3%, 4.5%로 되어 목표특성보다도 나빠지지만, 시료번호 11에서 보여주는 바와같이 첨가량이 10중량부인 경우에는 목표로하는 특성을 얻을 수가 있다. 따라서, 제2성분의 첨가량의 상한은 10중량부이다.
시료번호 1에서 44까지는, 주로 제2성분의 조성 및 첨가량을 변화시킨 것이다. 이들 시료와 제3도의 B2O3, SiO2, Li2O 의 조성을 보여주는 삼각도와의 관계를 설명하면, 삼각도의 점(A)는, 시료번호 2 및 33의 B2O310몰%, SiO250몰%, Li2O 40몰%의 조성을 보여주며, 점(B)는, 시료번호 22 및 35의 B2O350몰%, SiO21몰%, Li2O 49몰%의 조성을 보여주고, 점(C)는, 시료번호 29의 B2O380몰%, SiO21몰%, Li2O 19몰%의 조성을 보여주고, 점(D)는 시료번호 44의 B2O389몰%, SiO210몰%, Li2O 1몰%의 조성을 보여주고, 점(E)는, 시료번호 16의 B2O324몰%, SiO275몰%, Li2O 1몰%의 조성을 보여주며, 점(F)는, 시료번호 14 및 37의 B2O35몰%, SiO275몰%, Li2O 20몰%의 조성을 보여준다. 본 발명의 범위에 속하는 시료의 제2성분의 조성은 삼각도의 6개점(A)∼(F)를 순차로 연결하는 6개의 직선으로 둘러쌓여진 영역이내에 포함된다. 이영역내의 조성물은 목표로하는 전기적특성을 가진다. 한편 제2성분의 조성이 삼각도의 점(A)∼(F)로 특정지워진 범위밖에있는 시료번호 13, 19, 21, 26, 34, 39에서는, 125℃에서의 BDV가 20V/㎛ 이하로서, 특성의 개선을 기대할 수 없으며, 또한 시료번호 36에 있어서는 치밀한 소결체를 얻을 수 없다.
시료번호 45∼54는 주로 제1성분중의 k의 값의 변화와 특성의 관계를 보여준다. 시료번호 45 및 50에서 분명하듯이 k가 0.99인 경우에는, tanδ, ρ 및 BDV가 목표로하는 전기적특성보다도 극도로 나빠진다. 또한 시료번호 49 및 54에서 보여주는 바와같이 k의 값이 1.05로 되면, 치밀한 소결체를 얻을 수 없다. 이에대하여, 시료번호 46∼48, 51∼53에서 보여주는 것처럼, k의 값이 1.00에서 1.04의 범위에 있게되면 목표로하는 전기적특성을 얻을 수 있다. 따라서 k의 바람직한 범위는 1.00∼1.04이다.
시료번호 55 89는 주로 제1 성분인 Ba(바륨), Ca(칼슘), Sr(스트롱춤), Ti(치탄), Zr(질코늄)의 비율을 여러가지로 변하시킨 것이다. 시료번호 55에서 보여주는 바와같이 제1성분에 Ca 및 Sr을 함유시키지 않는 x=0, y=0인 경우에는, 600℃의 열처리로 산화되기 어려워지고, tanδ, ρ 및 BDV가 목표로하는 전기적특성에 달하지 않는다. 이에 대하여 시료번호 56에서 보여주는 바와같이, x=0.02 Ca를 함유하는 것은 목표로하는 전기적적특성을 가진다. 한편 시료번호 71에 보여주는 바와같이 x가 0.028로 되도록 Ca를 포함하는 것은 ε가 목표보다도 낮아진다. 이에대하여 예컨대, 시료번호 70에서 보여주는 바와같이, x=0.27로 되도록 Ca를 함유하는 것은 목표로하는 전기적특성을 만족시킨다. 따라서 Ca의 비율 즉 x의 바람직하 범위는 0.02∼0.27이다.
시료번호 81에서 보여주는 바와같이 Sr의 비율 즉 y가 0.39인 자기의 ε의 값은 목표치보다 낮지만, 시료번호 63및 60에서 보여주는 바와같이, x가 0.001, 그리고 0.37의 자기는 목표로하는 전기적 특성을 가지고 있다. 따라서, y의 바람직한 범위는 0.37 이하이다. 더우기 y의 값이 0.001보다도 적은 경우에도, y가 영인경우보다는 특성이 좋은것을 얻을 수 있다.
시료번호 79에서 명백하듯이, Ba의 비율 즉 1-x-y가 0.60이 자기는 목표로하는 전기적 특성을 가진다. 한편 시료번호 80에서 보여주는 바와같이, 1-x-y가 0.58로 되면 ε가 목표치보다도 적어진다. 따라서, 1-x-y의 하한은 0.60이다. 더우기, 1-x-y 의 상한은 x와 y의 상한치에서 필연적으로 0.98로 된다.
시료번호 82에서 명백하듯이, Zr의 비율 즉 z가 0인 자기의 ε 및 tanδ는 목표특성보다 좋지않다. 그리고 시료번호 88에서 보여주듯이, z가 0.28인 자기의 ε는 목표치보다도 낮다. 한편 시료번호 83∼87에서와같이, z가 0.26 이하인 자기는 목표로하는 전기적특성을 가진다. 따라서 z의 바람직한 범위는 0.26이하이다. 더우기 z를 0.01보다 적게하여도, z가 0인 경우보다도 특성이 좋은것을 얻을 수 있다.
본 발명의 작용효과를 명확히 하기위하여 전술한 일본 특허출원 공개번호 59-138003호 공보에 공개되어 있는 자기조성에 의하여 적층자기콘덴서를, 시료번호 1과 동일한 방법으로 동일한 치수로 제작하고, 그의 전기적 특성을 조사하였다. 다음 제3표는 이 자기 조성을 표시하고, 제4표는 소성온도와 전기적특성을 표시한다.
[제3표]
제3표 및 제4표에 있어서의 시료번호 90∼97의 비교예의 BDV는 어느것이나 본 발명에서 목표로하는 25V/μm 보다적다. 따라서 본 발명에 의하여 파괴전압 BDV가 대폭적으로 개선되었다는 것을 알수 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니라 예컨대 다음과같은 변형예가 가능한것이다.
(a) 제1성분중에 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 미량의 MnO2(바람직하기에는 0.05∼0.1중량%) 등의 광화제(鑛化劑)를 첨가하고, 소결정을 향상시켜도 좋다. 그리고 기타의 물질을 필요에따라 첨가하여도 좋다.
(b) 제1성분을 얻기위한 출발원료를, 실시에에서 표시한것 이외의것 예컨대 BaO, SrO, CaO 등의 산화물 또는 수산화물 또는 기타의 화합물로 하여도 좋다. 또한 제2성분의 출발원료를 산화물, 수산화물등 다른 화합물로하여도 좋다.
(c) 산화온도 600℃ 이외의 소결온도보다도 낮은온도(바람직하기에는 500∼1,000℃)로 하여도 무방하다. 즉 니켈등의 전극과 자기의 산화를 고려하여 여러가지로 변경할 수 있다.
(d) 비산화성분위기중의 소성온도를 전극재료를 고려하여 여러가지로 변경할 수 있다.
(e) 소결을 중성분위기에서 하여도 좋다.
(f) 적층자기콘덴서 이외의 일반적인 자기콘덴서에도 물론 적용할 수 있다.
이상에서 알수있는 바와같이, 본 발명에 관한 유전체 자기의 125℃에서의 단위두께당 직류파괴전압(BDV)은 25(V/μm) 이상이다. 따라서 사용온도 범위가 -50∼+125℃에서 정격전압이 높은 자기콘덴서를 소형으로 할수 있다. 그리고 소결시키기위한 처리를 비산화성분위기, 1,000∼1,200℃에서 행할수 있으므로, 니켈등의 비금속을 내부전극으로하는 적층자기콘덴서를 제고할 수 있다. 더우기, 1,200℃ 이하에서 소성하면, 니켈의 용해응집 및 확산을 제한할 수가 있다.
Claims (1)
- 유전체자기와, 유전체자기에 접촉하고 있는 적어도 두개의 전극으로 이루어지는 것이며, 유전체자기가, {(Ba1-x-yCaxSry)O}k(Ti1-zZrz)O2(단, x, y, z, k 및 1-x-y는,의 조성인 제1성분 100중량부와, B2O3, SiO2및 Li2O로 이루어지며 이들의 조성범위가 몰%로 표시되는 삼각도에 있어서, B2O3가 10몰%, SiO2가 50몰%, LiO2가 40몰%인 점(A)과 B2O3가 50몰%, SiO2가 1몰%, Li2O가 49몰%인 점(B)과, B2O3가 80몰%, SiO2가 1몰%, Li2O가 19몰%인 점(C)과, B2O3가 89몰%, SiO2가 10몰%, Li2O가 1몰%인 점(D)과, B2O3가 24몰%, SiO2가 75몰%, Li2O가 1몰%인 점(E)과, B2O3가 5몰%, SiO2가 75몰%, Li2O가 20몰%인 점(F)과 를 순차로 연결하는 6개의 직선으로 둘러쌓인 영역내인 제2성분 0.2∼10.0중량부로 이루어지는것을 특징으로 하는 자기콘덴서.
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