JP3185249B2 - セラミックグリーンブロックのカット方法 - Google Patents
セラミックグリーンブロックのカット方法Info
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Description
ブロックのカット方法に関するものである。
を切出す場合や、Siウエハをカットする場合、ダイシ
ングソーが用いられることが多い。ダイシングソーの特
徴として、カット時の寸法精度が高いことが挙げられ
る。しかし、ダイシングソーによれば、カットに際し
て、通常、高速の回転刃が適用されるため、軟らかい材
料や粘り着く材料のカットには、適していない。
トには、通常、ブレードによる押切りが適用されてい
る。これは、セラミックグリーンブロックは軟らかいた
め、ブレードによる押切りが可能であり、また、ダイシ
ングソー等に比べると、カットのスピードが速く、かつ
設備も安価であるため、所望のコストに見合うためであ
る。
カットすることにより得られたチップは、たとえば、セ
ラミック電子部品を得るための要素として用いられてい
る。
品の小型化および高性能化が進むと、セラミックグリー
ンブロックからチップを切出すに当たって、より高いカ
ット精度が要求されるようになってきた。
は、そのカット原理からもわかるように、カット時のブ
ロックまたはチップの移動などが原因となり、高精度の
カットを得ることが難しい。また、ブレードによる押切
りによって、内部に金属膜または金属箔等の硬い部分を
持つセラミックグリーンブロックをカットすることは困
難である。
度の面では満足できるが、セラミックグリーンブロック
のような軟らかいものに対しては、高速カットを適用す
ることができないため、このようなダイシングソーをカ
ット工程に適用するとその工程に要するコストが高くな
るという問題がある。
グソーを適用しながら、ダイシングソーによるカットを
能率的に行なうことができる、セラミックグリーンブロ
ックのカット方法を提供しようとすることである。
術的課題を解決するため、ダイシングソーでカットする
に当たって、セラミックグリーンブロックを熱処理して
その硬度を増してから、カットを実施することを特徴と
している。
リーンブロックは、少なくともカットする部分がセラミ
ックグリーン体のみで構成される場合に限らず、金属ペ
ースト膜または金属箔等の異種の材料を含んでいてもよ
い。
クが熱処理されることにより、セラミックグリーンブロ
ックの硬度が増す。
ックグリーンブロックに対しても、ダイシングソーによ
る高速カットを適用できるようになる。
シングソーでカットするため、カット精度を高めること
ができるとともに、平滑な切断面を得ることができる。
ップを得る目的で適用すれば、精度の高いチップの切出
しを行なえるため、電子部品チップの小型化や高性能化
に対応することができる。
いて説明する。
合したものを用いた。 BaTiO3 固溶体仮焼原料 100重量部 バインダ 10 〃 可塑剤 4 〃 トルエン 50 〃 エタノール 50 〃 上述の調合で得られたスラリーを、ドクターブレード法
で、厚さ20μm、幅100mm、長さ100mの寸法
にシート成形し、圧着機を用いて、次の3種類のセラミ
ックグリーンブロックを作製した。
×50mm×1mmとしたセラミックグリーンブロック シートの片面にNiペーストを3μmの厚みで塗布
したものを圧着し、50mm×50mm×1mmとした
セラミックグリーンブロック シートと厚さ3μmのNi箔を交互に圧着し、50
mm×50mm×1mmとしたセラミックグリーンブロ
ック これらのブロック〜を、ダイシングソーを用いて、
硬化処理なしで、カットした(送りスピード:50mm
/秒)。得られた切断面の表面粗さを以下に示す。
イシングソーを用いて、上記比較例と同じ送りスピード
でカットした。
0℃で5時間の熱処理を行ない、可塑剤を解離させて硬
化させた後、それぞれ、カットした。その切断面の表面
粗さを以下に示す。
た場合に得られた切断面の表面粗さと同等の切断面表面
粗さを得るには、ダイシングソーの送りスピードを2m
m/秒にまで落とす必要があった。したがって、これら
の実験例から、セラミックグリーンブロックを熱処理に
よって硬化処理することにより、ダイシングソーによる
カット時間を、1/25に短縮できることがわかった。
Claims (1)
- 【請求項1】 セラミックグリーンブロックを熱処理し
てその硬度を増してから、ダイシングソーでカットす
る、セラミックグリーンブロックのカット方法。
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US09/348,713 US6910473B1 (en) | 1991-06-26 | 1999-06-30 | Method of cutting ceramic green block |
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-
1996
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Also Published As
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