KR20220081272A - 유지 방법 및 유지 장치 - Google Patents

Abstract

유지 방법은, 유지 대상물 (WK) 의 일방의 면 (WK1) 측으로부터 당해 유지 대상물 (WK) 을 지지면 (12A) 으로 지지하는 지지 공정과, 지지 공정의 전단 또는 후단에서 지지면 (12A) 에 유체 (WT) 를 공급하는 유체 공급 공정과, 유체 (WT) 를 경화시키는 경화 처리를 실시하여 당해 유체 (WT) 를 경화시키고, 유지 대상물 (WK) 을 지지면 (12A) 으로 유지하는 경화 공정을 실시하고, 경화 공정에서는, 유체 (WT) 를 통해서 지지면 (12A) 에 지지된 유지 대상물 (WK) 측으로부터 당해 유체 (WT) 에 경화 처리를 실시한다.

Description

유지 방법 및 유지 장치{HOLDING METHOD AND HOLDING APPARATUS}

본 발명은 유지 방법 및 유지 장치에 관한 것이다.

유지 대상물을 지지면으로 유지하는 유지 방법이 알려져 있다 (예를 들어, 문헌 1 : 일본 공개특허공보 2011-096929호 참조).

문헌 1 에 기재된 반도체 소자의 제조 방법 (유지 방법) 에서는, 임시 재치대 (3) 의 상면 (지지면) 에 공급된 액체 (50) (유체) 를, 지지면측으로부터 동결시키는 (경화시킨다) 냉각 처리 (경화 처리) 를 실시하고, 반도체 소자 칩 (1A) (유지 대상물) 을 지지면으로 유지하기 때문에, 임시 재치대 (3) 와 같은 지지면을 갖는 부재마다 경화 처리를 실시하지 않으면 안되어, 에너지의 쓸데없는 소비를 야기한다는 문제가 있다.

본 발명의 목적은, 에너지의 쓸데없는 소비를 최대한 저감할 수 있는 유지 방법 및 유지 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명은 청구항에 기재한 구성을 채용하였다.

본 발명에 의하면, 유체를 통해서 지지면에 지지된 유지 대상물측으로부터 당해 유체에 경화 처리를 실시하므로, 지지면을 갖는 부재마다 경화 처리를 실시하지 않아도 되고, 에너지의 쓸데없는 소비를 최대한 저감할 수 있다.

또, 유체 전처리 공정을 실시해 두면, 유지 대상물을 지지면으로 지지한 후의 유체 경화 시간을 단축할 수 있다.

도 1a 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 유지 장치의 설명도이다.
도 1b 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 유지 장치의 설명도이다.
도 1c 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 유지 장치의 설명도이다.
도 1d 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 유지 장치의 설명도이다.
도 1e 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 유지 장치의 설명도이다.

이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

또한, 본 실시형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있으며, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, Y 축과 평행한 도 1a ∼ 도 1e 의 앞쪽 방향에서 바라 본 경우를 기준으로 하고, 방향을 나타낸 경우, 「상」 이 Z 축의 화살표 방향이고 「하」 가 그 반대 방향, 「좌」 가 X 축의 화살표 방향이고 「우」 가 그 반대 방향, 「전」 이 Y 축의 화살표 방향이고 「후 」 가 그 반대 방향으로 한다.

본 발명의 유지 장치 (EA) 는, 유지 대상물 (WK) 의 일방의 면 (WK1) 측으로부터 당해 유지 대상물 (WK) 을 지지면 (12A) 으로 지지하는 지지 수단 (10) 과, 지지면 (12A) 에 유체로서의 물 (WT) 을 공급하는 유체 공급 수단 (20) 과, 물 (WT) 을 경화 즉 동결시키는 경화 처리로서의 냉각 처리를 실시하여 당해 물 (WT) 을 동결시키고, 유지 대상물 (WK) 을 지지면 (12A) 으로 지지면 (12A) 유지하는 경화 수단 (30) 을 구비하고 있다.

또한, 유지 대상물 (WK) 은, 모재 (WKB) 로부터 형성되는 것이며, 당해 모재 (WKB) (유지 대상물 (WK)) 에는, 타방의 면 (WK2) 에 접착 시트 (AS) 가 첩부 (貼付) 되어, 일체물 (UP) 을 형성하고 있다.

본 실시형태의 경우, 유지 장치 (EA) 는, 유지 대상물 (WK) 로부터 접착 시트 (AS) 를 박리하는 박리 수단 (40) 과, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하고, 당해 모재 (WKB) 로부터 소정의 간격을 띄우고 복수의 유지 대상물 (WK) 을 형성하는 이간 수단 (50) 과의 근방에 배치되어 있다.

지지 수단 (10) 은, 구동 기기로서의 직동 모터 (11) 와, 직동 모터 (11) 의 출력축 (11A) 에 지지되고, 지지면 (12A) 을 갖는 지지 부재로서의 테이블 (12) 을 구비하고 있다.

테이블 (12) 은, 상면에 형성된 오목부 (12B) 와 연통하는 유로 (12C) 와, 오목부 (12B) 내에 배치되고, 그 상면이 지지면 (12A) 으로 된 수지나 금속 등으로 구성된 다공질 부재 (12D) 를 구비하고 있다.

지지면 (12A) 에는, 도 1a 중 AA 를 붙인 도면에 나타내는 바와 같이, 소수성을 갖는 소수부 (12E) 가 격자상으로 형성되고, 당해 소수부 (12E) 에 의해 친수부 (12F) 가 구획되어 있다. 소수부 (12E) 에는, 지지면 (12A) 에 격자상으로 형성된 홈의 내면에, 수지나 금속 등의 발수성을 갖는 부재가 배치되고, 친수부 (12F) 에는, 조면 (粗面) 가공이나 블라스트 가공 등의 조면 처리에 의해, 거친 면으로 되는 조면 처리가 실시되어 있다.

유체 공급 수단 (20) 은, 물 (WT) 을 수용하는 탱크 (21) 와, 가압 펌프나 터빈 등의 가압 수단 (22) 과, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 감압 수단 (23) 과, 탱크 (21) 에 대한 가압 수단 (22) 및 감압 수단 (23) 의 연통 상태를 전환하는 전환 밸브 (24) 와, 배관 (25A) 을 통해서 유로 (12C) 에 접속됨과 함께, 탱크 (21) 에 접속된 가압측 배관 (21A) 및 감압측 배관 (21B) 의 연통 상태를 전환하는 전환 밸브 (25) 를 구비하고 있다.

경화 수단 (30) 은, 복수의 아암에 의해 구성되고, 그 작업 범위 내에 있어서, 작업부인 선단 아암 (31A) 으로 지지한 것을 어느 위치, 어느 각도로도 변위 가능한 구동 기기로서의 소위 다관절 로봇 (31) 과, 선단 아암 (31A) 에 지지된 지지 플레이트 (32) 와, 지지 플레이트 (32) 에 형성된 관통공 (32A) 에 삽입 통과되고, 상단측에 플랜지부 (33A) 가 형성된 복수의 가이드 부재 (33) 와, 가이드 부재 (33) 의 하단측에 지지되고, 페르체 소자나 히트 파이프의 냉각측 등의 도시되지 않은 냉각 수단에 의해 냉각 처리가 가능한 냉각 플레이트 (34) 와, 냉각 플레이트 (34) 를 지지 플레이트 (32) 로부터 이간하는 방향으로 탄성 지지하는 탄성 지지 수단으로서의 복수의 스프링 (35) 을 구비하고, 물 (WT) 을 통해서 지지면 (12A) 에 지지된 유지 대상물 (WK) 측으로부터 당해 물 (WT) 에 냉각 처리를 실시하는 구성으로 되어 있다.

박리 수단 (40) 은, 직동 모터 (11) 를 구비하고, 당해 직동 모터 (11) 를 지지 수단 (10) 과 겸용하는 구성으로 되어 있다.

이간 수단 (50) 은, 구동 기기로서의 복수의 직동 모터 (51) 와, 각 직동 모터 (51) 의 출력축 (51A) 에 각각 지지되고, 1 쌍의 파지 부재 (52A) 를 갖는 유지 수단으로서 구동 기기로서의 척 실린더 (52) 를 구비하고 있다.

이상의 유지 장치 (EA) 의 동작을 설명한다.

먼저, 도 1a 중 실선으로 나타내는 초기 위치에 각 부재가 배치된 유지 장치 (EA) 에 대하여, 당해 유지 장치 (EA) 의 사용자 (이하, 간단히 「사용자」 라고 한다) 가, 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통해서 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그러면, 유체 공급 수단 (20) 이 전환 밸브 (24, 25) 를 구동하고, 도 1b 에 나타내는 바와 같이, 가압 수단 (22) 과 탱크 (21) 를 연통시킴과 함께, 가압측 배관 (21A) 을 통해서 탱크 (21) 와 오목부 (12B) 를 연통시킨 후, 당해 가압 수단 (22) 을 구동하고, 탱크 (21) 내의 압력을 상승시켜 지지면 (12A) 의 친수부 (12F) 에 물 (WT) 을 공급한다 (유체 공급 공정). 또한, 친수부 (12F) 에 공급된 물 (WT) 은, 카메라나 투영기 등의 촬상 수단이나, 광학 센서나 초음파 센서 등의 각종 센서 등으로 구성된 도시되지 않은 유체 검지 수단에 의해 감시되고, 유체 공급 수단 (20) 은, 이 도시되지 않은 유체 검지 수단의 감시 상태를 기초로 하여, 친수부 (12F) 에 공급한 물 (WT) 이 소수부 (12E) 에 넘쳐 나오지 않도록, 탱크 (21) 내의 압력을 조정한다. 이어서, 경화 수단 (30) 이, 지지 수단 (10) 으로 유지 대상물 (WK) 을 지지하기 전에, 물 (WT) 이 동결하지 않을 정도로 당해 물 (WT) 에 냉각 처리를 실시하는 유체 전처리 공정을 실시해 둔다. 즉, 경화 수단 (30) 이 다관절 로봇 (31) 및 도시되지 않은 냉각 수단을 구동하고, 도 1b 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 냉각 플레이트 (34) 를 지지면 (12A) 에 접근시키고, 물 (WT) 이 동결하지 않을 정도의 온도로서의 2 ℃ ∼ 3 ℃ 가 되도록, 당해 물 (WT) 에 냉각 처리를 실시한다 (유체 전처리 공정). 또한, 지지면 (12A) 상의 물 (WT) 은, 열전쌍이나 적외선 센서 등의 도시되지 않은 온도 검지 수단에 의해 온도가 감시되고, 경화 수단 (30) 은, 이 도시되지 않은 온도 검지 수단의 감시 상태를 기초로 하여, 물 (WT) 의 온도를 조정한다. 그 후, 경화 수단 (30) 이 도시되지 않은 냉각 수단의 구동을 정지한 후, 다관절 로봇 (31) 을 구동하고, 냉각 플레이트 (34) 를 초기 위치에 복귀시킨다. 다음으로, 다관절 로봇이나 벨트 컨베이어 등의 도시되지 않은 반송 수단이, 도 1a 에 나타내는 바와 같이, 일체물 (UP) 을 테이블 (12) 상방의 소정 위치에 반송하면, 이간 수단 (50) 이 직동 모터 (51) 및 척 실린더 (52) 를 구동하고, 동 (同) 도면 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 파지 부재 (52A) 로 접착 시트 (AS) 를 파지한다. 그리고, 이간 수단 (50) 이 직동 모터 (51) 를 구동하고, 접착 시트 (AS) 를 잡아 당겨 모재 (WKB) 로부터 복수의 유지 대상물 (WK) 을 형성한다 (이간 공정). 이 때, 각 유지 대상물 (WK) 은, 지지면 (12A) 의 각 친수부 (12F) 각각에 대응하도록, 상호 간격이 넓어진다.

이어서, 지지 수단 (10) 이 직동 모터 (11) 를 구동하고, 도 1c 에 나타내는 바와 같이, 테이블 (12) 을 상승시켜 지지면 (12A) 으로 유지 대상물 (WK) 을 지지한다 (지지 공정). 이 때, 각 유지 대상물 (WK) 은, 각 친수부 (12F) 에 공급된 물 (WT) 을 통해서 당해 각 친수부 (12F) 에 각각 지지된다. 그 후, 경화 수단 (30) 이 다관절 로봇 (31) 및 도시되지 않은 냉각 수단을 구동하고, 도 1c 에 나타내는 바와 같이, 냉각 플레이트 (34) 를 접착 시트 (AS) 에 접근시킴으로써, 유지 대상물 (WK) 측으로부터 물 (WT) 에 냉각 처리를 실시하여 당해 물 (WT) 을 동결시키고, 당해 유지 대상물 (WK) 을 지지면 (12A) 으로 유지한다 (경화 공정). 이 때, 경화 수단 (30) 은, 냉각 플레이트 (34) 를 접착 시트 (AS) 에 맞닿게 해도 되고, 맞닿게 하지 않아도 된다. 또, 예를 들어, 물 (WT) 이 동결하여 당해 물 (WT) 의 체적이 팽창하고, 유지 대상물 (WK) 이 냉각 플레이트 (34) 측에 꽉 눌린다고 해도, 지지 플레이트 (32) 와의 사이에 설치된 스프링 (35) 에 의해, 유지 대상물 (WK) 에 가해지는 부하가 저감된다. 다음으로, 경화 수단 (30) 이 도시되지 않은 냉각 수단의 구동을 정지시킴과 함께, 다관절 로봇 (31) 을 구동하고, 냉각 플레이트 (34) 를 초기 위치에 복귀시킨다. 그리고, 박리 수단 (40) 이 직동 모터 (11) 를 구동하고, 도 1d 에 나타내는 바와 같이, 테이블 (12) 을 하강시켜 유지 대상물 (WK) 로부터 접착 시트 (AS) 를 박리한다 (박리 공정).

모든 유지 대상물 (WK) 로부터 접착 시트 (AS) 가 박리되고, 테이블 (12) 이 초기 위치에 복귀하면, 박리 수단 (40) 이 직동 모터 (11) 의 구동을 정지시킨 후, 이간 수단 (50) 이 직동 모터 (51) 및 척 실린더 (52) 를 구동하고, 파지 부재 (52A) 를 초기 위치에 복귀시킨다. 또한, 파지 부재 (52A) 에 의한 지지를 잃은 접착 시트 (AS) 는, 사용자나 도시되지 않은 반송 수단에 수수되어 폐기된다. 이어서, 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 도시되지 않은 가열 수단에 의해 가열하거나, 자연 해동하거나 하여, 동결한 물 (WT) 을 해동한다 (유체화 공정). 이 때, 친수부 (12F) 로 지지된 각 유지 대상물 (WK) 은, 물 (WT) 의 작용에 의해 소정의 위치, 소정의 각도로 위치 결정된다. 그 후, 유체 공급 수단 (20) 이 전환 밸브 (24, 25) 를 구동하고, 도 1e 에 나타내는 바와 같이, 감압 수단 (23) 과 탱크 (21) 를 연통시킴과 함께, 감압측 배관 (21B) 를 통해서 탱크 (21) 와 오목부 (12B) 를 연통시킨 후, 당해 감압 수단 (23) 을 구동하고, 탱크 (21) 내의 압력을 하강시킨다 (유체 회수 공정). 이에 따라, 지지면 (12A) 위에 있던 물 (WT) 이 회수되고, 유지 대상물 (WK) 이 소정의 위치, 소정의 각도가 위치 결정된 상태에서 지지면 (12A) 에 지지된다. 다음으로, 사용자나 도시되지 않은 반송 수단이 지지면 (12A) 상으로부터 유지 대상물 (WK) 을 모두 제거하고 (제거 공정), 이후 상기 동일한 공정이 반복된다.

이상과 같은 실시형태에 의하면, 물 (WT) 을 통해서 지지면 (12A) 에 지지된 유지 대상물 (WK) 측으로부터 당해 물 (WT) 에 냉각 처리를 실시하므로, 지지면 (12A) 을 갖는 부재 (테이블 (12), 다공질 부재 (12D)) 마다 냉각 처리를 실시하지 않아도 되어, 에너지의 쓸데없는 소비를 최대한 저감할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은, 이것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은, 주로 특정한 실시형태에 관해서 특별히 도시되고, 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 목적의 범위로부터 일탈하는 일 없이, 이상 서술한 실시형태에 대하여, 형상, 재질, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 다양한 변형을 가할 수 있는 것이다. 또, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니기 때문에, 그들의 형상, 재질 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 제외한 부재의 명칭에 의한 기재는, 본 발명에 포함된다.

예를 들어, 지지 수단 (10) 은, 해동한 물 (WT) 을 회수한 후에, 감압 수단 (23) 또는 유체 공급 수단 (20) 으로부터 독립된 다른 감압 수단에 의해, 지지면 (12A) 으로 유지 대상물 (WK) 을 흡착 유지해도 되고, 직동 모터 (11) 를 박리 수단 (40) 과 겸용하지 않아도 되고, 친수부 (12F) 에는 물 (WT) 이 통과하는 구멍이 형성되고, 소수부 (12E) 에는 물 (WT) 이 통과하는 구멍이 형성되어 있지 않아도 되고, 친수부 (12F) 및 소수부 (12E) 의 양방에 물 (WT) 이 통과하는 구멍이 형성 되어 있어도 되고, 소수성이나 친수성을 갖는 시트, 필름, 테이프 등을 지지면 (12A) 에 첩부하거나, 소수성이나 친수성을 발휘하는 표면 처리나 코팅을 지지면 (12A) 에 실시하거나 하여 소수부 (12E) 나 친수부 (12F) 를 형성해도 되고, 지지면 (12A) 에 소수부 (12E) 나 친수부 (12F) 가 형성되어 있지 않아도 된다.

유체 공급 수단 (20) 은, 노즐이나 호스 등의 공급 부재로 테이블 (12) 의 외측으로부터 지지면 (12A) 에 물 (WT) 을 공급해도 되고, 유로 (12C) 와는 다른 회수용의 유로를 테이블 (12) 에 형성하고, 당해 회수용의 유로로부터 물 (WT) 을 회수해도 되고, 전환 밸브 (24, 25) 를 채용하지 않고, 예를 들어, 가압 수단 (22) 및 감압 수단 (23) 을 개별적으로 탱크 (21) 와 접속하거나, 탱크 (21) 로부터 개별적으로 오목부 (12B) 에 접속하거나 해도 된다.

유체 공급 수단 (20) 으로 공급하는 유체는, 물 (WT) 에 한정되지 않고, 알코올 용액이나 오일 등의 액체 외에, 젤체여도 되고, 냉각 처리에 의해 승화하는 단체 (單體) 가스, 혼합 가스 등의 기체여도 되고, 구체적으로는, 예를 들어, 접착제, 드라이아이스, UV 경화 수지, 시멘트 등이어도 되고, 경화 처리에 의해 경화하는 것이면 무엇이든 되며, 경화 처리가 실시되기 전의 상태일 때보다 단단해짐으로써, 유지 대상물 (WK) 에 대한 원하는 유지력이 얻어지는 것이면 무엇이든 된다. 또한, 본원에서 말하는 「경도」 란, 브리넬 경도, 비커스 경도, 로크 웰 경도 등으로 나타내는 경도를 말하는 것이어도 되고, 영률, 강성률, 인장 강도, 압축 강도, 전단 강도 등으로 나타내는 경도를 말하는 것이어도 된다.

경화 수단 (30) 은, 냉각 공기나 냉각 가스 등의 냉각 매체로 물 (WT) 을 동결시켜도 되고, 유체가 경화 처리로서의 가열 처리로 경화하는 것, 예를 들어, 열경화성 수지나 가열 경화제 등의 경우, 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단을 채용해도 되고, 유체가 경화 처리로서의 자외선이나 X 선 등의 에너지선조사 처리로 경화하는 것, 예를 들어, 에너지선 경화성 수지나 에너지선 경화제 등의 경우, 에너지선을 조사 가능한 고압 수은 램프나 LED (발광 다이오드, Light Emitting Diode) 램프 등의 에너지선 조사 수단을 채용해도 되고, 유체가 경화 처리로서의 건조 처리에 의해 경화하는 것, 예를 들어, 접착제나 시멘트 등의 경우, 송풍기나 가열 수단을 채용해도 되고, 유체의 특성, 특징, 성질, 재질, 조성 및 구성이나, 분위기의 조건, 그 밖의 요인 등의 여러 조건을 고려하여 유체를 경화시킬 수 있는 것이면 무엇을 채용해도 되며, 상기 실시형태에서는, 유지 대상물 (WK) 의 타방의 면 (WK2) 측 (상방) 으로부터 물 (WT) 에 냉각 처리를 실시하였지만, 예를 들어, 유지 대상물 (WK) 의 좌방, 전방, 우로 비스듬한 후방, 좌로 비스듬한 전방, 우로 비스듬한 상방 또는, 좌로 비스듬한 상방과 같은 유지 대상물 (WK) 측으로부터 물 (WT) 에 냉각 처리를 실시해도 된다.

경화 수단 (30) 은, 상기한 냉각 수단이나 냉각 매체에 의해, 탱크 (21) 내의 물 (WT) 이나 배관 (21A, 25A) 내의 물 (WT) 을 직접 냉각시키거나, 탱크 (21), 배관 (21A, 25A) 및 지지면 (12A) 중 적어도 1 개를 개재하여 간접적으로 물 (WT) 을 냉각시키거나 함으로써, 지지 수단 (10) 으로 유지 대상물 (WK) 을 지지하기 전에, 유체 전처리 공정을 실시해 두도록 해도 되고, 경화 공정을 실시하는 것과 유체 전처리를 실시하는 것을 동일한 것으로 구성해도 되고, 상이한 것으로 구성해도 된다. 또한, 유체 전처리 공정을 실시해 두는 경우, 유체가 경화하지 않을 정도의 온도로는, 유체가 물 (WT) 인 경우, 2 ℃ 이하여도 되고, 3 ℃ 이상이어도 되며, 유체가 가열 처리에 의해 경화하는 것인 경우, 예를 들어, 당해 유체를 60 ℃ 나 120 ℃ 와 같은 온도로 가열 처리해도 되고, 유체의 특성, 특징, 성질, 재질, 조성 및 구성이나, 분위기의 조건, 그 밖의 요인 등의 여러 조건을 고려하여 유체가 경화하지 않는 온도이면 몇 번이라도 된다.

박리 수단 (40) 은, 테이블 (12) 을 하강시키지 않고 또는 하강시키면서, 척 실린더 (52) 를 상승시켜 유지 대상물 (WK) 로부터 접착 시트 (AS) 를 박리해도 되고, 지지면 (12A) 내에서 유지 대상물 (WK) 과 접착 시트 (AS) 를 상대 회전시켜 유지 대상물 (WK) 로부터 접착 시트 (AS) 를 박리해도 되고, 초음파 진동 장치나 바이브레이터 등의 진동 수단으로 테이블 (12) 을 진동시켜 유지 대상물 (WK) 로부터 접착 시트 (AS) 를 박리하기 쉽게 해도 되고, 지지 수단 (10) 과 겸용되는 일이 없는 구동 기기를 채용해도 되고, 상기에서 예시한 것 대신에 또는 병용하여, 매엽 (枚葉) 또는 띠상의 접착 테이프나 점착 테이프 등의 박리용 테이프를 접착 시트 (AS) 에 첩부하고, 당해 박리용 테이프에 장력을 부여하여 유지 대상물 (WK) 로부터 접착 시트 (AS) 를 박리해도 되고, 본 발명의 유지 장치 (EA) 에 구비되어 있어도 되고, 구비되어 있지 않아도 되며, 박리 수단 (40) 이 구비되어 있지 않은 경우, 다른 장치로 유지 대상물 (WK) 로부터 접착 시트 (AS) 를 박리해도 된다.

이간 수단 (50) 은, 접착 시트 (AS) 의 면내에 있어서 1 방향 또는 2 방향 이상의 방향으로 장력을 부여하고, 유지 대상물 (WK) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 접착 시트 (AS) 를 개재하여 유지 대상물 (WK) 과 일체화된 링 프레임 등의 프레임 부재가 사용되는 경우, 프레임 부재를 지지하여 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여함으로써, 유지 대상물 (WK) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 본 발명의 유지 장치 (EA) 에 구비되어 있어도 되고, 구비되어 있지 않아도 되며, 이간 수단 (50) 이 구비되어 있지 않은 경우, 다른 장치로 유지 대상물 (WK) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.

유지 장치 (EA) 는, 지지면 (12A) 상에 남겨진 유체나 그 밖의 티끌 등의 먼지를 제거하는 블레이드, 와이퍼 또는 유체를 날려 버리는 블로어 등의 먼지 제거 수단을 채용하여, 지지면 (12A) 에 유체를 공급하기 전이나, 지지면 (12A) 으로부터 유체를 회수한 후에, 지지면 (12A) 위로부터 먼지를 제거해도 되고, 모재 (WKB) 에 대하여, 두께 방향으로 관통하는 절입 또는, 장력이 부여됨으로써 모재 (WKB) 가 분열하여, 당해 모재 (WKB) 가 복수의 유지 대상물 (WK) 이 되는 두께 방향으로 관통하는 일이 없는 절입을 형성하는 커터날이나 레이저 커터 등의 모재 절단 수단이 구비되어 있어도 되고, 장력이 부여됨으로써 모재 (WKB) 가 분열하여, 당해 모재 (WKB) 가 복수의 유지 대상물 (WK) 이 되는 취약한 개질층을 모재 (WKB) 에 형성하는 레이저 조사 장치나 약액 투여 수단 등의 취약층 형성 수단이 구비되어 있어도 되고, 모재 (WKB) 를 연삭하여 당해 모재 (WKB) 의 두께를 얇게 하는 그라인더나 지석 등의 연삭 수단이 구비되어 있어도 되며, 두께 방향으로 관통하는 일이 없는 절입이 형성된 모재 (WKB) 에 대하여, 당해 절입이 형성된 면의 반대측의 면으로부터 당해 절입에 도달할 때까지 연삭함으로써, 모재 (WKB) 로부터 복수의 유지 대상물 (WK) 을 형성하는 그라인더나 지석 등의 연삭 개편화 (個片化) 수단이 구비되어 있어도 된다.

유지 장치 (EA) 는, 지지 공정의 전단에서 유체 공급 공정을 실시해도 되고, 지지 공정의 후단에서 유체 공급 공정을 실시해도 되고, 지지 공정의 전단과 당해 지지 공정의 후단의 양방에서 유체 공급 공정을 실시해도 되며, 유체 전처리 공정, 이간 공정, 박리 공정, 유체화 공정, 유체 회수 공정 및 제거 공정 중 적어도 1 개의 공정은 실시하지 않아도 되고, 실시해도 된다.

모재 (WKB) 는, 두께 방향으로 관통하는 절입이 형성되고, 당해 절입에 의해 복수의 유지 대상물 (WK) 이 형성되어 있는 것이어도 되고, 장력이 부여됨으로써 분열하여, 복수의 유지 대상물 (WK) 이 되는 두께 방향으로 관통할 일이 없는 절입이 형성된 것이어도 되고, 장력이 부여됨으로써 분열하여, 복수의 유지 대상물 (WK) 이 되는 취약한 개질층이 형성된 것이어도 되며, 접착 시트 (AS) 가 첩부되어 있지 않아도 된다.

유지 대상물 (WK) 은, 접착 시트 (AS) 가 첩부되어 있지 않아도 되고, 모재 (WKB) 로부터 형성된 것이 아니라, 미리 소정의 간격을 띄우고 배치된 것이어도 된다.

일체물 (UP) 은, 접착 시트 (AS) 가 프레임 부재에 지지되어 있어도 된다.

프레임 부재는, 링 프레임 이외에, 환상 (環狀) 이 아닌 (외주가 연결되어 있지 않다) 것이나, 원형, 타원형, 다각형, 그 밖의 형상이어도 된다.

상기 실시형태에서는, 유지 대상물로서 복수의 유지 대상물 (WK) 을 예시했지만, 유지 대상물은 1 개여도 된다.

본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대해서 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 조금도 한정되지는 않으며, 하물며, 상기 실시형태에서 나타낸 단순한 일 실시형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 지지 공정은, 유지 대상물의 일방의 면측으로부터 당해 유지 대상물을 지지면으로 지지하는 공정이라면 어떠한 공정이어도 되고, 출원 당초의 기술 상식에 대조하여 그 기술 범위 내의 것이라면 조금도 한정되는 일은 없다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일).

접착 시트 (AS), 모재 (WKB), 유지 대상물 (WK) 및 박리용 테이프의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 접착 시트 (AS), 모재 (WKB), 유지 대상물 (WK) 및 박리용 테이프는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 접착 시트 (AS) 및 박리용 테이프는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 되며, 감열 접착성의 것이 채용된 경우에는, 접착 시트 (AS) 나 박리용 테이프를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단을 설치한다는 적절한 방법으로 접착되면 된다. 또, 이와 같은 접착 시트 (AS) 나 박리용 테이프는, 예를 들어, 접착제층만의 단층의 것, 기재와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버 층을 갖는 등 3 층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되며, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또, 모재 (WKB) 및 유지 대상물 (WK) 로는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그것들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되며, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 읽는 법을 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.

상기 실시형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 2 축 또는 3 축 이상의 관절을 구비한 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있을 뿐만 아니라, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.

상기 실시형태에 있어서, 지지 (유지) 수단이나 지지 (유지) 부재 등의 피지지 부재 (피유지 부재) 를 지지 (유지) 하는 것이 채용되어 있는 경우, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롱력, 접착제 (접착 시트, 접착 테이프), 점착제 (점착 시트, 점착 테이프), 자력, 베르누이 흡착, 흡인 흡착, 구동 기기 등으로 피지지 부재를 지지 (유지) 하는 구성을 채용해도 되고, 절단 수단이나 절단 부재 등의 피절단 부재를 절단 또는, 피절단 부재에 절입이나 절단선을 형성하는 것이 채용되어 있는 경우, 상기에서 예시한 것 대신에 또는 병용하여, 커터날, 레이저 커터, 이온 빔, 화력, 열, 수압, 전열선, 기체나 액체 등의 분사 등으로 절단하는 것을 채용하거나, 적절한 구동 기기를 조합한 것으로 절단하는 것을 이동시켜 절단하도록 하거나 해도 되며, 탄성 지지 수단이 채용되어 있는 경우, 스프링, 고무, 수지 또는 구동 기기 등으로 구성해도 된다.

Claims (3)

1. 유지 대상물의 일방의 면측으로부터 당해 유지 대상물을 지지면으로 지지하는 지지 공정과,
   상기 지지 공정의 전단 또는 후단에서 상기 지지면에 유체를 공급하는 유체 공급 공정과,
   상기 유체를 경화시키는 경화 처리를 실시하여 당해 유체를 경화시키고, 상기 유지 대상물을 상기 지지면으로 유지하는 경화 공정을 실시하고,
   상기 경화 공정에서는, 상기 유체를 통해서 상기 지지면에 지지된 상기 유지 대상물 측으로부터 당해 유체에 상기 경화 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 유지 방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 경화 공정에서는, 상기 지지 공정에서 상기 유지 대상물을 지지하기 전에, 상기 유체가 경화하지 않을 정도로 당해 유체에 상기 경화 처리를 실시하는 유체 전처리 공정을 실시해 두는 것을 특징으로 하는 유지 방법.
3. 유지 대상물의 일방의 면측으로부터 당해 유지 대상물을 지지면으로 지지하는 지지 수단과,
   상기 지지면에 유체를 공급하는 유체 공급 수단과,
   상기 유체를 경화시키는 경화 처리를 실시하여 당해 유체를 경화시키고, 상기 유지 대상물을 상기 지지면으로 유지하는 경화 수단을 구비하고,
   상기 경화 수단은, 상기 유체를 통해서 상기 지지면에 지지된 상기 유지 대상물 측으로부터 당해 유체에 상기 경화 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 유지 장치.

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