JP2022091010A - 保持方法および保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】エネルギーの無駄な消費を極力低減することができる保持方法および保持装置を提供すること。【解決手段】保持方法は、保持対象物ＷＫの一方の面ＷＫ１側から当該保持対象物ＷＫを支持面１２Ａで支持する支持工程と、支持工程の前段または後段で支持面１２Ａに流体ＷＴを供給する流体供給工程と、流体ＷＴを硬化させる硬化処理を施して当該流体ＷＴを硬化させ、保持対象物ＷＫを支持面１２Ａで保持する硬化工程とを実施し、硬化工程では、流体ＷＴを介して支持面１２Ａに支持された保持対象物ＷＫ側から当該流体ＷＴに硬化処理を施す。【選択図】図１

Description

本発明は、保持方法および保持装置に関する。

保持対象物を支持面で保持する保持方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１－０９６９２９号公報

特許文献１に記載された半導体素子の製造方法（保持方法）では、仮載置台３の上面（支持面）に供給された液体５０（流体）を、支持面側から凍結させる（硬化させる）冷却処理（硬化処理）を行い、半導体素子チップ１Ａ（保持対象物）を支持面で保持するため、仮載置台３のような支持面を有する部材ごと硬化処理を施さなければならず、エネルギーの無駄な消費を引き起こすという不都合がある。

本発明の目的は、エネルギーの無駄な消費を極力低減することができる保持方法および保持装置を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、流体を介して支持面に支持された保持対象物側から当該流体に硬化処理を施すので、支持面を有する部材ごと硬化処理を施さなくてもよく、エネルギーの無駄な消費を極力低減することができる。
また、流体前処理工程を実施しておけば、保持対象物を支持面で支持した後の流体硬化時間を短縮することができる。

本発明の一実施形態に係る保持装置の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の保持装置ＥＡは、保持対象物ＷＫの一方の面ＷＫ１側から当該保持対象物ＷＫを支持面１２Ａで支持する支持手段１０と、支持面１２Ａに流体としての水ＷＴを供給する流体供給手段２０と、水ＷＴを硬化すなわち凍結させる硬化処理としての冷却処理を施して当該水ＷＴを凍結させ、保持対象物ＷＫを支持面１２Ａで保持する硬化手段３０とを備えている。
なお、保持対象物ＷＫは、母材ＷＫＢから形成されるものであり、当該母材ＷＫＢ（保持対象物ＷＫ）には、他方の面ＷＫ２に接着シートＡＳが貼付されて、一体物ＵＰを形成している。
本実施形態の場合、保持装置ＥＡは、保持対象物ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離手段４０と、接着シートＡＳに張力を付与し、当該母材ＷＫＢから所定の間隔を空けて複数の保持対象物ＷＫを形成する離間手段５０との近傍に配置されている。

支持手段１０は、駆動機器としての直動モータ１１と、直動モータ１１の出力軸１１Ａに支持され、支持面１２Ａを有する支持部材としてのテーブル１２とを備えている。
テーブル１２は、上面に設けられた凹部１２Ｂと連通する流路１２Ｃと、凹部１２Ｂ内に配置され、その上面が支持面１２Ａとされた樹脂や金属等で構成された多孔質部材１２Ｄとを備えている。
支持面１２Ａには、図１（Ａ）中ＡＡを付した図に示すように、疎水性を有する疎水部１２Ｅが格子状に形成され、当該疎水部１２Ｅによって親水部１２Ｆが区画されている。疎水部１２Ｅには、支持面１２Ａに格子状に形成された溝の内面に、樹脂や金属等の撥水性を有する部材が配置され、親水部１２Ｆには、粗面加工やブラスト加工等の粗面処理によって、粗い面となる粗面処理が施されている。

流体供給手段２０は、水ＷＴを収容するタンク２１と、加圧ポンプやタービン等の加圧手段２２と、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段２３と、タンク２１に対する加圧手段２２および減圧手段２３の連通状態を切り替える切替弁２４と、配管２５Ａを介して流路１２Ｃに接続されるとともに、タンク２１に接続された加圧側配管２１Ａおよび減圧側配管２１Ｂの連通状態を切り替える切替弁２５とを備えている。

硬化手段３０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム３１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット３１と、先端アーム３１Ａに支持された支持プレート３２と、支持プレート３２に形成された貫通孔３２Ａに挿通され、上端側にフランジ部３３Ａが設けられた複数のガイド部材３３と、ガイド部材３３の下端側に支持され、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の図示しない冷却手段によって冷却処理が可能な冷却プレート３４と、冷却プレート３４を支持プレート３２から離間する方向に付勢する付勢手段としての複数のばね３５とを備え、水ＷＴを介して支持面１２Ａに支持された保持対象物ＷＫ側から当該水ＷＴに冷却処理を施す構成となっている。

剥離手段４０は、直動モータ１１を備え、当該直動モータ１１を支持手段１０と兼用する構成となっている。

離間手段５０は、駆動機器としての複数の直動モータ５１と、各直動モータ５１の出力軸５１Ａにそれぞれ支持され、一対の把持部材５２Ａを有する保持手段であって駆動機器としてのチャックシリンダ５２とを備えている。

以上の保持装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された保持装置ＥＡに対し、当該保持装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、流体供給手段２０が切替弁２４、２５を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、加圧手段２２とタンク２１とを連通させるとともに、加圧側配管２１Ａを介してタンク２１と凹部１２Ｂとを連通させた後、当該加圧手段２２を駆動し、タンク２１内の圧力を上昇させて支持面１２Ａの親水部１２Ｆに水ＷＴを供給する（流体供給工程）。なお、親水部１２Ｆに供給された水ＷＴは、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された図示しない流体検知手段によって監視され、流体供給手段２０は、この図示しない流体検知手段の監視状態を基にして、親水部１２Ｆに供給した水ＷＴが疎水部１２Ｅにあふれ出ないように、タンク２１内の圧力を調整する。次いで、硬化手段３０が、支持手段１０で保持対象物ＷＫを支持する前に、水ＷＴが凍結しない程度に当該水ＷＴに冷却処理を施す流体前処理工程を実施しておく。すなわち、硬化手段３０が多関節ロボット３１および図示しない冷却手段を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、冷却プレート３４を支持面１２Ａに接近させ、水ＷＴが凍結しない程度の温度としての２℃～３℃になるように、当該水ＷＴに冷却処理を施す（流体前処理工程）。なお、支持面１２Ａ上の水ＷＴは、熱電対や赤外線センサ等の図示しない温度検知手段によって温度が監視され、硬化手段３０は、この図示しない温度検知手段の監視状態を基にして、水ＷＴの温度を調整する。その後、硬化手段３０が図示しない冷却手段の駆動を停止した後、多関節ロボット３１を駆動し、冷却プレート３４を初期位置に復帰させる。次に、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、一体物ＵＰをテーブル１２上方の所定位置に搬送すると、離間手段５０が直動モータ５１およびチャックシリンダ５２を駆動し、同図中二点鎖線で示すように、一対の把持部材５２Ａで接着シートＡＳを把持する。そして、離間手段５０が直動モータ５１を駆動し、接着シートＡＳを引っ張って母材ＷＫＢから複数の保持対象物ＷＫを形成する（離間工程）。この際、各保持対象物ＷＫは、支持面１２Ａの各親水部１２Ｆそれぞれに対応するように、相互間隔が広げられる。

次いで、支持手段１０が直動モータ１１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、テーブル１２を上昇させて支持面１２Ａで保持対象物ＷＫを支持する（支持工程）。この際、各保持対象物ＷＫは、各親水部１２Ｆに供給された水ＷＴを介して当該各親水部１２Ｆにそれぞれ支持される。その後、硬化手段３０が多関節ロボット３１および図示しない冷却手段を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、冷却プレート３４を接着シートＡＳに接近させることで、保持対象物ＷＫ側から水ＷＴに冷却処理を施して当該水ＷＴを凍結させ、当該保持対象物ＷＫを支持面１２Ａで保持する（硬化工程）。この際、硬化手段３０は、冷却プレート３４を接着シートＡＳに当接させてもよいし、当接させなくてもよい。また、例えば、水ＷＴが凍結して当該水ＷＴの体積が膨張し、保持対象物ＷＫが冷却プレート３４側に押し当てられたとしても、支持プレート３２との間に設けられたばね３５によって、保持対象物ＷＫに加わる負荷が低減される。次に、硬化手段３０が図示しない冷却手段の駆動を停止するとともに、多関節ロボット３１を駆動し、冷却プレート３４を初期位置に復帰させる。そして、剥離手段４０が直動モータ１１を駆動し、図１（Ｄ）に示すように、テーブル１２を下降させて保持対象物ＷＫから接着シートＡＳを剥離する（剥離工程）。

全ての保持対象物ＷＫから接着シートＡＳが剥離され、テーブル１２が初期位置に復帰すると、剥離手段４０が直動モータ１１の駆動を停止した後、離間手段５０が直動モータ５１およびチャックシリンダ５２を駆動し、把持部材５２Ａを初期位置に復帰させる。なお、把持部材５２Ａによる支持を失った接着シートＡＳは、使用者や図示しない搬送手段に受け渡されて廃棄される。次いで、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱手段によって加熱したり、自然解凍したりして、凍結した水ＷＴを解凍する（流体化工程）。この際、親水部１２Ｆで支持された各保持対象物ＷＫは、水ＷＴの作用によって所定の位置、所定の角度で位置決めされる。その後、流体供給手段２０が切替弁２４、２５を駆動し、図１（Ｅ）に示すように、減圧手段２３とタンク２１とを連通させるとともに、減圧側配管２１Ｂを介してタンク２１と凹部１２Ｂとを連通させた後、当該減圧手段２３を駆動し、タンク２１内の圧力を下降させる（流体回収工程）。これにより、支持面１２Ａ上にあった水ＷＴが回収され、保持対象物ＷＫが所定の位置、所定の角度が位置決めされた状態で支持面１２Ａに支持される。次に、使用者や図示しない搬送手段が支持面１２Ａ上から保持対象物ＷＫを全て取り去り（除去工程）、以降上記同様の工程が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、水ＷＴを介して支持面１２Ａに支持された保持対象物ＷＫ側から当該水ＷＴに冷却処理を施すので、支持面１２Ａを有する部材（テーブル１２、多孔質部材１２Ｄ）ごと冷却処理を施さなくてもよく、エネルギーの無駄な消費を極力低減することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、支持手段１０は、解凍した水ＷＴを回収した後で、減圧手段２３または流体供給手段２０から独立した別の減圧手段によって、支持面１２Ａで保持対象物ＷＫを吸着保持してもよいし、直動モータ１１を剥離手段４０と兼用しなくてもよいし、親水部１２Ｆには水ＷＴが通過する孔が形成され、疎水部１２Ｅには水ＷＴが通過する孔が形成されていなくてもよいし、親水部１２Ｆおよび疎水部１２Ｅの両方に水ＷＴが通過する孔が形成されていてもよいし、疎水性や親水性を有するシート、フィルム、テープ等を支持面１２Ａに貼付したり、疎水性や親水性を発揮する表面処理やコーティングを支持面１２Ａに施したりして疎水部１２Ｅや親水部１２Ｆを形成してもよいし、支持面１２Ａに疎水部１２Ｅや親水部１２Ｆが形成されていなくてもよい。

流体供給手段２０は、ノズルやホース等の供給部材でテーブル１２の外側から支持面１２Ａに水ＷＴを供給してもよいし、流路１２Ｃとは別の回収用の流路をテーブル１２に設け、当該回収用の流路から水ＷＴを回収してもよいし、切替弁２４、２５を採用せずに、例えば、加圧手段２２および減圧手段２３を個別にタンク２１と接続したり、タンク２１から個別に凹部１２Ｂに接続したりしてもよい。
流体供給手段２０で供給する流体は、水ＷＴに限らず、アルコール溶液やオイル等の液体の他、ジェル体でもよいし、冷却処理によって昇華する単体ガス、混合ガス等の気体でもよく、具体的には、例えば、接着剤、ドライアイス、ＵＶ硬化樹脂、セメント等でもよく、硬化処理によって硬化するものであれば何でもよく、硬化処理が施される前の状態の時よりも硬くなることで、保持対象物ＷＫに対する所望の保持力が得られるものであれば何でもよい。なお、本願で言う「硬さ」とは、ブリネル硬さ、ビッカース硬さ、ロックウェル硬さ等で表される硬さのことであってもよいし、ヤング率、剛性率、引張強さ、圧縮強さ、せん断強さ等で表される硬さのことであってもよい。

硬化手段３０は、冷却空気や冷却ガス等の冷却媒体で水ＷＴを凍結させてもよいし、流体が硬化処理としての加熱処理で硬化するもの、例えば、熱硬化性樹脂や加熱硬化剤等の場合、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を採用してもよいし、流体が硬化処理としての紫外線やＸ線等のエネルギー線照射処理で硬化するもの、例えば、エネルギー線硬化性樹脂やエネルギー線硬化剤等の場合、エネルギー線を照射可能な高圧水銀ランプやＬＥＤ（発光ダイオード、Light Emitting Diode）ランプ等のエネルギー線照射手段を採用してもよいし、流体が硬化処理としての乾燥処理によって硬化するもの、例えば、接着剤やセメント等の場合、送風機や加熱手段を採用してもよく、流体の特性、特質、性質、材質、組成および構成や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して流体を硬化させることができるものであれば何を採用してもよいし、前記実施形態では、保持対象物ＷＫの他方の面ＷＫ２側（上方）から水ＷＴに冷却処理を施したが、例えば、保持対象物ＷＫの左方、前方、右斜め後方、左斜め前方、右斜め上方または、左斜め上方といった保持対象物ＷＫ側から水ＷＴに冷却処理を施してもよい。
硬化手段３０は、上記した冷却手段や冷却媒体によって、タンク２１内の水ＷＴや配管２１Ａ、２５Ａ内の水ＷＴを直接冷却したり、タンク２１、配管２１Ａ、２５Ａおよび支持面１２Ａのうち少なくとも１つを介して間接的に水ＷＴを冷却したりすることで、支持手段１０で保持対象物ＷＫを支持する前に、流体前処理工程を実施しておくようにしてもよいし、硬化工程を実施するものと流体前処理を実施するものとを同じもので構成してもよいし、異なるもので構成してもよい。なお、流体前処理工程を実施しておく場合、流体が硬化しない程度の温度としては、流体が水ＷＴである場合、２℃以下でもよいし、３℃以上でもよいし、流体が加熱処理によって硬化するものの場合、例えば、当該流体を６０℃や１２０℃といった温度に加熱処理してもよく、流体の特性、特質、性質、材質、組成および構成や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して流体が硬化しない温度であれば何度でもよい。

剥離手段４０は、テーブル１２を下降させずにまたは下降させつつ、チャックシリンダ５２を上昇させて保持対象物ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、支持面１２Ａ内で保持対象物ＷＫと接着シートＡＳとを相対回転させて保持対象物ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、超音波振動装置やバイブレータ等の振動手段でテーブル１２を振動させて保持対象物ＷＫから接着シートＡＳを剥離し易くしてもよいし、支持手段１０と兼用されることのない駆動機器を採用してもよいし、上記で例示したものに代えてまたは併用して、枚葉または帯状の接着テープや粘着テープ等の剥離用テープを接着シートＡＳに貼付し、当該剥離用テープに張力を付与して保持対象物ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、本発明の保持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、剥離手段４０が備わっていない場合、他の装置で保持対象物ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよい。

離間手段５０は、接着シートＡＳの面内において１方向または２方向以上の方向に張力を付与し、保持対象物ＷＫの相互間隔を広げてもよいし、接着シートＡＳを介して保持対象物ＷＫと一体化されたリングフレーム等のフレーム部材が用いられる場合、フレーム部材を支持して接着シートＡＳに張力を付与することで、保持対象物ＷＫの相互間隔を広げてもよいし、本発明の保持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、離間手段５０が備わっていない場合、他の装置で保持対象物ＷＫの相互間隔を広げてもよい。

保持装置ＥＡは、支持面１２Ａ上に残された流体やその他の塵等の塵埃を除去するブレード、ワイパーまたは流体を吹き飛ばすブロア等の塵埃除去手段を採用し、支持面１２Ａに流体を供給する前や、支持面１２Ａから流体を回収した後に、支持面１２Ａ上から塵埃を除去してもよいし、母材ＷＫＢに対し、厚み方向に貫通する切込または、張力が付与されることで母材ＷＫＢが分裂し、当該母材ＷＫＢが複数の保持対象物ＷＫとなる厚み方向に貫通することのない切込を形成するカッター刃やレーザカッタ等の母材切断手段が備わっていてもよいし、張力が付与されることで母材ＷＫＢが分裂し、当該母材ＷＫＢが複数の保持対象物ＷＫとなる脆弱な改質層を母材ＷＫＢに形成するレーザ照射装置や薬液投与手段等の脆弱層形成手段が備わっていてもよいし、母材ＷＫＢを研削して当該母材ＷＫＢの厚みを薄くするグラインダや砥石等の研削手段が備わっていてもよいし、厚み方向に貫通することのない切込が形成された母材ＷＫＢに対し、当該切込が形成された面の反対側の面から当該切込に達するまで研削することで、母材ＷＫＢから複数の保持対象物ＷＫを形成するグラインダや砥石等の研削個片化手段が備わっていてもよい。
保持装置ＥＡは、支持工程の前段で流体供給工程を実施してもよいし、支持工程の後段で流体供給工程を実施してもよいし、支持工程の前段と当該支持工程の後段との両方で流体供給工程を実施してもよいし、流体前処理工程、離間工程、剥離工程、流体化工程、流体回収工程および除去工程のうち少なくとも１つの工程は実施しなくてもよいし、実施してもよい。

母材ＷＫＢは、厚み方向に貫通する切込が形成され、当該切込によって複数の保持対象物ＷＫが形成されているものでもよいし、張力が付与されることで分裂し、複数の保持対象物ＷＫとなる厚み方向に貫通することのない切込が形成されたものでもよいし、張力が付与されることで分裂し、複数の保持対象物ＷＫとなる脆弱な改質層が形成されたものでもよいし、接着シートＡＳが貼付されていなくてもよい。
保持対象物ＷＫは、接着シートＡＳが貼付されていなくてもよいし、母材ＷＫＢから形成されたものでなく、予め所定の間隔を空けて配置されたものであってもよい。
一体物ＵＰは、接着シートＡＳがフレーム部材に支持されていてもよい。
フレーム部材は、リングフレーム以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。
前記実施形態では、保持対象物として複数の保持対象物ＷＫを例示したが、保持対象物は１つであってもよい。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持工程は、保持対象物の一方の面側から当該保持対象物を支持面で支持する工程であればどのような工程でもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

接着シートＡＳ、母材ＷＫＢ、保持対象物ＷＫおよび剥離用テープの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、母材ＷＫＢ、保持対象物ＷＫおよび剥離用テープは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳおよび剥離用テープは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、接着シートＡＳや剥離用テープを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳや剥離用テープは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、母材ＷＫＢおよび保持対象物ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

ＥＡ…保持装置
１０…支持手段
１２Ａ…支持面
２０…流体供給手段
３０…硬化手段
ＷＫ…保持対象物
ＷＫ１…一方の面
ＷＴ…水（流体）

Claims (3)

1. 保持対象物の一方の面側から当該保持対象物を支持面で支持する支持工程と、
   前記支持工程の前段または後段で前記支持面に流体を供給する流体供給工程と、
   前記流体を硬化させる硬化処理を施して当該流体を硬化させ、前記保持対象物を前記支持面で保持する硬化工程とを実施し、
   前記硬化工程では、前記流体を介して前記支持面に支持された前記保持対象物側から当該流体に前記硬化処理を施すことを特徴とする保持方法。
2. 前記硬化工程では、前記支持工程で前記保持対象物を支持する前に、前記流体が硬化しない程度に当該流体に前記硬化処理を施す流体前処理工程を実施しておくことを特徴とする請求項１に記載の保持方法。
3. 保持対象物の一方の面側から当該保持対象物を支持面で支持する支持手段と、
   前記支持面に流体を供給する流体供給手段と、
   前記流体を硬化させる硬化処理を施して当該流体を硬化させ、前記保持対象物を前記支持面で保持する硬化手段とを備え、
   前記硬化手段は、前記流体を介して前記支持面に支持された前記保持対象物側から当該流体に前記硬化処理を施すことを特徴とする保持装置。

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