JP7461183B2 - 位置決め方法および位置決め装置 - Google Patents
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Description
また、支持面を有する支持部材の内部に設けられた流路で親水部に液体を供給すれば、親水部に確実に液体を供給することができる。
また、親水部から回収した液体を親水部に再供給すれば、液体の消費量を抑制することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
テーブル12は、上面に設けられた凹部12Bと、テーブル12の内部に設けられ、凹部12Bと連通する流路12Cと、凹部12B内に配置され、その上面が支持面12Aとされた多孔質樹脂等の多孔質部材12Dとを備えている。
支持面12Aには、図1(A)中AAを付した図に示すように、疎水性を有する疎水部12Eが格子状に形成され、当該疎水部12Eによって親水部12Fが区画されている。
本実施形態では、疎水部12Eは、支持面12Aに格子状に形成された溝の内面に、接着剤や樹脂等の撥水材料12Gが塗布された構成とされ、親水部12Fは、粗面加工、ブラスト加工等を行う粗面形成手段によって、ザラザラした粗い面となる粗面処理が施された構成とされている。
先ず、図1(A)で示す初期位置に各部材が配置された位置決め装置EAに対し、当該位置決め装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)、または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、接着シートASに貼付された複数のチップCPをテーブル12上方の所定位置に搬送すると、離間手段40が直動モータ41およびチャックシリンダ42を駆動し、図1(A)中二点鎖線で示すように、一対の把持爪42Aで接着シートASを把持する。次いで、離間手段40が直動モータ41を駆動し、図1(B)に示すように、接着シートASに張力を付与して複数のチップCPの相互間隔を広げる(離間工程)。この際、各チップCPは、支持面12Aの各親水部12Fにそれぞれ対向配置するように、相互間隔が広げられる。
疎水部12Eは、疎水性を有するシート、フィルム、テープ等を支持面12Aに貼付ししたり、疎水性を発揮する表面処理やコーティングを支持面12Aに施したりして構成してもよい。
親水部12Fは、親水性を有するシート、フィルム、テープ等を支持面12Aに貼付ししたり、親水性を発揮する表面処理やコーティングを支持面12Aに施したりして構成してもよい。
離間手段40は、本発明の位置決め装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、離間手段40が備わっていない場合、他の装置でチップCPの相互間隔を広げてもよい。
位置決め装置EAで用いる液体LQは、一定の表面張力を有するものであれば特に限定されず、例えば、エタノール、プロパノール、グリセリン等を含むアルコール溶液であってもよい。
前記実施形態では、片状体として複数のチップCPを位置決めするものを例示したが、片状体としては、1つのチップCPでもよい。
支持工程および液体供給工程は、どちらを先に実施してもよく、支持工程を実施した後に液体供給工程を実施してもよいし、液体供給工程を実施した後に支持工程を実施してもよい。液体供給工程を実施した後に支持工程を実施する場合、他の装置でチップCPをその相互間隔を維持したまま接着シートASから剥離し、剥離したチップCPを液体供給工程が実施された後で支持面12Aに転写して支持させてもよい
積層工程や回収工程は、実施してもよいし、実施しなくてもよい。
フレーム部材は、リングフレーム以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。
前記実施形態において、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
10…支持手段
12…テーブル(支持部材)
12A…支持面
12C…流路
12F…親水部
20…液体供給手段
30…液体回収手段
CP…チップ(片状体)
LQ…液体
Claims (4)
- 液体の表面張力を用いて片状体を所定の位置に位置決めする位置決め方法であって、
親水性を有する親水部が設けられた支持面の前記親水部で接着シートに貼付された前記片状体を吸着支持する支持工程と、
前記支持面で吸着支持した前記片状体から前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを剥離した前記片状体の吸着支持を解除して前記親水部に液体を供給する液体供給工程と、
前記親水部から前記液体を回収する液体回収工程とを実施することを特徴とする位置決め方法。 - 複数の前記片状体が貼付された接着シートに張力を付与し、前記片状体の相互間隔を広げる離間工程を実施し、
前記支持工程では、前記離間工程で相互間隔を広げた前記片状体を支持することを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の位置決め方法。 - 液体の表面張力を用いて片状体を所定の位置に位置決めする位置決め装置であって、
親水性を有する親水部が設けられた支持面の前記親水部で接着シートに貼付された前記片状体を吸着支持する支持手段と、
前記支持面で吸着支持した前記片状体から前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートを剥離した前記片状体の吸着支持を解除して前記親水部に液体を供給する液体供給手段と、
前記親水部から前記液体を回収する液体回収手段とを備えていることを特徴とする位置決め装置。 - 複数の前記片状体が貼付された接着シートに張力を付与し、前記片状体の相互間隔を広げる離間手段を備え、
前記支持手段は、前記離間手段で相互間隔を広げた前記片状体を支持することを特徴とすることを特徴とする請求項3に記載の位置決め装置。
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