KR20220044409A

KR20220044409A - 도금 장치

Info

Publication number: KR20220044409A
Application number: KR1020210124808A
Authority: KR
Inventors: 가즈히토 즈지
Original assignee: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
Priority date: 2020-10-01
Filing date: 2021-09-17
Publication date: 2022-04-08
Also published as: CN114262930A; TW202223165A; US20220106700A1; US11542624B2

Abstract

본 발명은, 전기장 차폐판의 하면에 기포가 체류되는 것을 억제할 수 있는 기술을 제공한다. 도금 장치(1000)는, 도금조(10)와, 기판 홀더(30)와, 도금조의 내부에서의 애노드(50)와 기판(Wf) 사이의 부분에 배치되어, 애노드와 기판 사이에 형성되는 전기장의 일부를 차폐하는 전기장 차폐판(60)을 구비하고, 전기장 차폐판의 상면으로 보아, 도금조의 내부에는, 전기장 차폐판에 의해 차폐되어 있지 않은 비차폐 영역(70)이 마련되고, 전기장 차폐판의 하면(61a)에는, 수평 방향에 대하여 경사짐과 함께, 이 하면에 존재하는 기포를 비차폐 영역으로 내보내도록 구성된 경사면이 마련되어 있다.

Description

도금 장치{PLATING APPARATUS}

본 발명은 도금 장치에 관한 것이다. 본원은, 2020년 10월 1일 출원된 일본 특허 출원 번호 제2020-166879호 및 2021년 6월 29일 출원된 일본 특허 출원 번호 제2021-107551호에 기초하는 우선권을 주장한다. 일본 특허 출원 번호 제2020-166879호 및 일본 특허 출원 번호 제2021-107551호의 명세서, 특허 청구 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시 내용은, 참조에 의해 전체로서 본원에 원용된다.

종래, 기판에 도금 처리를 실시하는 도금 장치로서, 소위 컵식의 도금 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이러한 도금 장치는, 애노드가 배치된 도금조와, 애노드보다도 상방에 배치되고, 캐소드로서의 기판을, 기판의 피도금면이 애노드에 대향하도록 보유 지지하는 기판 홀더를 구비하고 있다.

또한, 종래, 터미널 이펙트에 의해 도금 피막의 외주부의 막 두께가 두꺼워지는 것을 억제하기 위해서, 애노드와 기판 사이에 형성되는 전기장의 일부를 차폐하는 전기장 차폐판(특허문헌 2에서는, 레귤레이션 플레이트라고 칭해지고 있음)을 애노드와 기판 사이에 배치하는 기술도 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).

일본 특허 공개 제2008-19496호 공보 일본 특허 공개 제2019-218618호 공보

특허문헌 1에 예시되는 바와 같은 종래의 컵식의 도금 장치에 있어서, 특허문헌 2에 예시되는 바와 같은 기술을 적용하여, 전기장 차폐판을 도금조의 내부에서의 애노드와 기판 사이의 부분에 배치하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 이러한 도금 장치의 경우, 도금액 중의 기포가 전기장 차폐판의 하면에 체류될 우려가 있다. 이와 같이, 기포가 전기장 차폐판의 하면에 체류된 경우, 이 기포에 기인하여 전기장 차폐판의 기능이 저해되어서, 기판의 도금 품질이 악화될 우려가 있다.

본 발명은 상기의 것을 감안하여 이루어진 것이며, 전기장 차폐판의 하면에 기포가 체류되는 것을 억제할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적의 하나로 한다.

(양태 1)

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일 형태에 관한 도금 장치는, 도금액이 저류됨과 함께, 애노드가 배치된 도금조와, 상기 애노드보다도 상방에 배치되고, 캐소드로서의 기판을, 상기 기판의 피도금면이 상기 애노드에 대향하도록 보유 지지하는 기판 홀더와, 상기 도금조의 내부에서의 상기 애노드와 상기 기판 사이의 부분에 배치되어, 상기 애노드와 상기 기판 사이에 형성되는 전기장의 일부를 차폐하는 전기장 차폐판을 구비하고, 상기 도금조의 내부를 상기 전기장 차폐판보다도 상방측으로부터 시인한 상면으로 보았을 때, 상기 도금조의 내부에는, 상기 전기장 차폐판에 의해 차폐되어 있지 않은 비차폐 영역이 마련되고, 상기 전기장 차폐판의 하면에는, 수평 방향에 대하여 경사짐과 함께, 상기 전기장 차폐판의 하면에 존재하는 기포를 상기 비차폐 영역으로 내보내도록 구성된 경사면이 마련되어 있다.

이 양태에 의하면, 전기장 차폐판의 하면에 존재하는 기포를, 경사면에 의해 비차폐 영역으로 효과적으로 내보낼 수 있다. 이에 의해, 전기장 차폐판의 하면에 기포가 체류되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 전기장 차폐판의 하면에 체류된 기포에 기인하여 전기장 차폐판의 기능이 저해되는 것을 억제할 수 있으므로, 기판의 도금 품질이 악화되는 것을 억제할 수 있다.

(양태 2)

상기 양태 1에 있어서, 상기 전기장 차폐판은, 상기 도금조의 외주부로부터 상기 도금조의 중심측을 향해서 연장되어 있어도 된다.

(양태 3)

상기 양태 2에 있어서, 상기 경사면은, 상기 도금조의 중심측을 향함에 따라서, 상기 도금조의 저부로부터의 거리가 커지도록 경사져도 된다.

(양태 4)

상기 양태 2 또는 3에 있어서, 상기 경사면은, 상기 도금조의 둘레 방향에서 한쪽 측을 향함에 따라서, 상기 도금조의 저부로부터의 거리가 커지도록 경사져도 된다.

(양태 5)

상기 양태 4에 있어서, 상기 경사면은, 상기 도금조의 둘레 방향에서 다른 쪽 측을 향함에 따라서, 상기 도금조의 저부로부터의 거리가 커지도록 경사져도 된다.

(양태 6)

상기 양태 2 또는 3에 있어서, 상기 전기장 차폐판은, 상기 도금조의 외주부의 둘레 방향 전체에 접속되어 있고, 또한 상기 상면으로 보아 링 형상을 갖고 있어도 된다.

(양태 7)

상기 양태 2 내지 5 중 어느 한 양태에 있어서, 상기 전기장 차폐판은, 상기 도금조의 외주부의 둘레 방향의 일부에 접속되어 있고, 또한 상기 상면으로 보아 비링 형상을 갖고 있어도 된다.

(양태 8)

상기 양태 2 내지 5 중 어느 한 양태에 있어서, 상기 전기장 차폐판은, 상기 도금조의 외주부의 둘레 방향 전체에 접속되어 있고, 또한 상기 상면으로 보아 링 형상을 갖는 링 형상부와, 상기 링 형상부의 둘레 방향의 일부에 접속되어, 상기 상면으로 보아 비링 형상을 갖는 비링 형상부를 갖고 있어도 된다.

(양태 9)

상기 양태 1 내지 8 중 어느 한 양태는, 상기 도금조의 내부에서 상기 애노드와 상기 기판 사이에 배치된, 다공질의 저항체를 더 구비하고, 상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체보다도 하방측, 또는 상기 저항체보다도 상방측에 배치되어 있어도 된다.

(양태 10)

상기 양태 1 내지 5 중 어느 한 양태는, 상기 도금조의 내부에서 상기 애노드와 상기 기판 사이에 배치된, 다공질의 저항체를 더 구비하고, 상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체보다도 하방측, 또는 상기 저항체보다도 상방측에 배치되고, 상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체의 외주연의 둘레 방향 전체에 접속되고, 또한 상기 상면으로 보아 링 형상을 갖고 있어도 된다.

(양태 11)

상기 양태 1 내지 5 중 어느 한 양태는, 상기 도금조의 내부에서 상기 애노드와 상기 기판 사이에 배치된, 다공질의 저항체를 더 구비하고, 상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체보다도 하방측, 또는 상기 저항체보다도 상방측에 배치되고, 상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체의 외주연의 둘레 방향의 일부에 접속되고, 또한 상기 상면으로 보아 비링 형상을 갖고 있어도 된다.

도 1은 실시 형태에 따른 도금 장치의 전체 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는 실시 형태에 따른 도금 장치의 전체 구성을 도시하는 평면도이다.
도 3은 실시 형태에 따른 도금 장치에서의 하나의 도금 모듈의 구성을 나타내는 모식적 단면도이다.
도 4a는 실시 형태에 따른 전기장 차폐판의 모식적 상면도이다.
도 4b는 실시 형태에 따른 전기장 차폐판을 직경 방향 절단면으로 절단한 모식적 단면도이다.
도 5는 실시 형태의 변형예 1에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 단면도이다.
도 6은 실시 형태의 변형예 2에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 상면도이다.
도 7a는 실시 형태의 변형예 3에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 상면도이다.
도 7b는 실시 형태의 변형예 3에 관한 전기장 차폐판을 직경 방향 절단면으로 절단한 모식적 단면도이다.
도 7c는 실시 형태의 변형예 3에 관한 전기장 차폐판을 둘레 방향 절단면으로 절단한 모식적 단면도이다.
도 8a는 실시 형태의 변형예 4에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 단면도이다.
도 8b는 실시 형태의 변형예 5에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 단면도이다.
도 8c는 실시 형태의 변형예 6에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 단면도이다.
도 9a는 실시 형태의 변형예 7에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 상면도이다.
도 9b는 실시 형태의 변형예 8에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 상면도이다.
도 10은 실시 형태의 변형예 9에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 모식적 상면도이다.
도 11은 실시 형태의 변형예 10에 관한 도금 장치의 도금조의 주변 구성을 도시하는 모식적 단면도이다.
도 12a는 실시 형태의 변형예 11에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 주변 구성을 확대해서 도시하는 모식적 단면도이다.
도 12b는 실시 형태의 변형예 12에 관한 도금 장치의 전기장 차폐판의 주변 구성을 확대해서 도시하는 모식적 단면도이다.
도 13은 실시 형태의 변형예 13에 관한 도금 장치의 도금조의 주변 구성을 도시하는 모식적 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태나 실시 형태의 변형예에서는, 동일하거나 또는 대응하는 구성에 대해서, 동일한 부호를 부여하고 설명을 적절히 생략하는 경우가 있다. 또한, 도면은, 실시 형태의 특징의 이해를 용이하게 하기 위해서 모식적으로 도시되어 있어, 각 구성 요소의 치수 비율 등은 실제의 것과 동일하다고는 할 수 없다. 또한, 몇 가지의 도면에는, 참고용으로서, X-Y-Z의 직교 좌표가 도시되어 있다. 이 직교 좌표 중, Z 방향은 상방에 상당하고, -Z 방향은 하방(중력이 작용하는 방향)에 상당한다.

도 1은, 본 실시 형태의 도금 장치(1000)의 전체 구성을 도시하는 사시도이다. 도 2는, 본 실시 형태의 도금 장치(1000)의 전체 구성을 도시하는 평면도(상면도)이다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 도금 장치(1000)는, 로드 포트(100), 반송 로봇(110), 얼라이너(120), 프리웨트 모듈(200), 프리소크 모듈(300), 도금 모듈(400), 세정 모듈(500), 스핀 린스 드라이어(600), 반송 장치(700) 및 제어 모듈(800)을 구비한다.

로드 포트(100)는, 도금 장치(1000)에 도시하지 않은 FOUP 등의 카세트에 수용된 기판을 반입하거나, 도금 장치(1000)로부터 카세트에 기판을 반출하기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 4대의 로드 포트(100)가 수평 방향으로 배열되어 배치되어 있지만, 로드 포트(100)의 수 및 배치는 임의이다. 반송 로봇(110)은 기판을 반송하기 위한 로봇이며, 로드 포트(100), 얼라이너(120) 및 반송 장치(700)의 사이에서 기판을 전달하도록 구성된다. 반송 로봇(110) 및 반송 장치(700)는, 반송 로봇(110)과 반송 장치(700) 사이에서 기판을 전달할 때는, 가배치 대(도시하지 않음)를 통해서 기판의 전달을 행할 수 있다.

얼라이너(120)는, 기판의 기준면이나 노치 등의 위치를 소정의 방향에 맞추기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 2대의 얼라이너(120)가 수평 방향으로 배열되어 배치되어 있지만, 얼라이너(120)의 수 및 배치는 임의이다. 프리웨트 모듈(200)은, 도금 처리 전의 기판의 피도금면을 순수 또는 탈기수 등의 처리액으로 적심으로써, 기판 표면에 형성된 패턴 내부의 공기를 처리액으로 치환한다. 프리웨트 모듈(200)은, 도금 시에 패턴 내부의 처리액을 도금액으로 치환함으로써 패턴 내부에 도금액을 공급하기 쉽게 하는 프리웨트 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 프리웨트 모듈(200)이 상하 방향으로 배열되어 배치되어 있지만, 프리웨트 모듈(200)의 수 및 배치는 임의이다.

프리소크 모듈(300)은, 예를 들어 도금 처리 전의 기판의 피도금면에 형성한 시드층 표면 등에 존재하는 전기 저항이 큰 산화막을 황산이나 염산 등의 처리액으로 에칭 제거해서 도금 하지 표면을 세정 또는 활성화하는 프리소크 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 프리소크 모듈(300)이 상하 방향으로 배열되어 배치되어 있지만, 프리소크 모듈(300)의 수 및 배치는 임의이다. 도금 모듈(400)은 기판에 도금 처리를 실시한다. 본 실시 형태에서는, 상하 방향으로 3대이면서 또한 수평 방향으로 4대 배열되어 배치된 12대의 도금 모듈(400)의 세트가 2개 있어, 합계 24대의 도금 모듈(400)이 마련되어 있지만, 도금 모듈(400)의 수 및 배치는 임의이다.

세정 모듈(500)은, 도금 처리 후의 기판에 남은 도금액 등을 제거하기 위해서 기판에 세정 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 세정 모듈(500)이 상하 방향으로 배열되어 배치되어 있지만, 세정 모듈(500)의 수 및 배치는 임의이다. 스핀 린스 드라이어(600)는, 세정 처리 후의 기판을 고속 회전시켜서 건조시키기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 2대의 스핀 린스 드라이어(600)가 상하 방향으로 배열되어 배치되어 있지만, 스핀 린스 드라이어(600)의 수 및 배치는 임의이다. 반송 장치(700)는, 도금 장치(1000) 내의 복수의 모듈간에서 기판을 반송하기 위한 장치이다. 제어 모듈(800)은, 도금 장치(1000)의 복수의 모듈을 제어하도록 구성되며, 예를 들어 오퍼레이터와의 사이의 입출력 인터페이스를 구비하는 일반적인 컴퓨터 또는 전용 컴퓨터로 구성할 수 있다.

도금 장치(1000)에 의한 일련의 도금 처리의 일례를 설명한다. 먼저, 로드 포트(100)에 카세트에 수용된 기판이 반입된다. 계속해서, 반송 로봇(110)은, 로드 포트(100)의 카세트로부터 기판을 취출하여, 얼라이너(120)에 기판을 반송한다. 얼라이너(120)는, 기판의 기준면이나 노치 등의 위치를 소정의 방향에 맞춘다. 반송 로봇(110)은, 얼라이너(120)에서 방향을 맞춘 기판을 반송 장치(700)에 전달한다.

반송 장치(700)는, 반송 로봇(110)으로부터 수취한 기판을 프리웨트 모듈(200)에 반송한다. 프리웨트 모듈(200)은 기판에 프리웨트 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 프리웨트 처리가 실시된 기판을 프리소크 모듈(300)에 반송한다. 프리소크 모듈(300)은 기판에 프리소크 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 프리소크 처리가 실시된 기판을 도금 모듈(400)에 반송한다. 도금 모듈(400)은 기판에 도금 처리를 실시한다.

반송 장치(700)는, 도금 처리가 실시된 기판을 세정 모듈(500)에 반송한다. 세정 모듈(500)은 기판에 세정 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 세정 처리가 실시된 기판을 스핀 린스 드라이어(600)에 반송한다. 스핀 린스 드라이어(600)는 기판에 건조 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 건조 처리가 실시된 기판을 반송 로봇(110)에 전달한다. 반송 로봇(110)은, 반송 장치(700)로부터 수취한 기판을 로드 포트(100)의 카세트에 반송한다. 마지막으로, 로드 포트(100)로부터 기판을 수용한 카세트가 반출된다.

또한, 도 1이나 도 2에서 설명한 도금 장치(1000)의 구성은 일례에 지나지 않으며, 도금 장치(1000)의 구성은 도 1이나 도 2의 구성에 한정되는 것은 아니다.

계속해서, 도금 모듈(400)에 대해서 설명한다. 또한, 본 실시 형태에 따른 도금 장치(1000)가 갖는 복수의 도금 모듈(400)은 마찬가지의 구성을 갖고 있으므로, 1개의 도금 모듈(400)에 대해서 설명한다.

도 3은, 본 실시 형태에 따른 도금 장치(1000)에서의 하나의 도금 모듈(400)의 구성을 도시하는 모식적 단면도이다. 본 실시 형태에 따른 도금 장치(1000)는, 컵식의 도금 장치이다. 도금 장치(1000)의 도금 모듈(400)은, 도금조(10)와, 오버플로조(20)와, 기판 홀더(30)와, 회전 기구(40)와, 승강 기구(45)를 구비하고 있다.

본 실시 형태에 따른 도금조(10)는, 상방에 개구를 갖는 바닥이 있는 용기에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 도금조(10)는, 저부(11)와, 이 저부(11)의 외주연으로부터 상방으로 연장되는 외주부(12)(환언하면, 외주 측벽부)를 갖고 있으며, 이 외주부(12)의 상부가 개구되어 있다. 또한, 도금조(10)의 외주부(12)의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 실시 형태에 따른 외주부(12)는, 일례로서 원통 형상을 갖고 있다. 도금조(10)의 내부에는 도금액(Ps)이 저류되어 있다.

도금액(Ps)으로서는, 도금 피막을 구성하는 금속 원소의 이온을 포함하는 용액이면 되며, 그 구체예는 특별히 한정되는 것은 아니다. 본 실시 형태에서는, 도금 처리의 일례로서 구리 도금 처리를 사용하고 있고, 도금액(Ps)의 일례로서 황산구리 용액을 사용하고 있다.

도금조(10)의 내부에는 애노드(50)가 배치되어 있다. 구체적으로는, 본 실시 형태에 따른 애노드(50)는, 도금조(10)의 저부(11)에 배치되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 따른 애노드(50)는, 수평 방향으로 연장되도록 배치되어 있다.

애노드(50)의 구체적인 종류는 특별히 한정되는 것은 아니고, 불용해 애노드이어도 되고, 용해 애노드이어도 된다. 본 실시 형태에서는, 애노드(50)의 일례로서 불용해 애노드를 사용하고 있다. 이 불용해 애노드의 구체적인 종류는 특별히 한정되는 것은 아니고, 백금이나 산화이리듐 등을 사용할 수 있다.

오버플로조(20)는, 도금조(10)의 외측에 배치된, 바닥이 있는 용기에 의해 구성되어 있다. 오버플로조(20)는, 도금조(10)의 외주부(12)의 상단을 초과한 도금액(Ps)(즉, 도금조(10)로부터 오버플로한 도금액(Ps))을 일시적으로 저류하기 위해서 마련된 조이다. 오버플로조(20)에 일시적으로 저류된 도금액(Ps)은, 오버플로조(20)용 배출구(도시하지 않음)로부터 배출된 후에, 다시 도금조(10)로 순환된다.

기판 홀더(30)는, 캐소드로서의 기판(Wf)을, 기판(Wf)의 피도금면(Wfa)이 애노드(50)에 대향하도록 보유 지지하고 있다. 환언하면, 기판 홀더(30)는, 기판(Wf)의 피도금면(Wfa)이 하방을 향하도록 기판(Wf)을 보유 지지하고 있다. 기판 홀더(30)에는 회전 기구(40)가 접속되어 있다. 회전 기구(40)는 기판 홀더(30)를 회전시키기 위한 기구이다. 또한, 회전 기구(40)에는 승강 기구(45)가 접속되어 있다. 승강 기구(45)는, 연직 방향(Z축 방향)으로 연장되는 지주(46)에 의해 지지되어 있다. 승강 기구(45)는, 기판 홀더(30) 및 회전 기구(40)를 연직 방향으로 승강시키기 위한 기구이다. 또한, 기판(Wf) 및 애노드(50)는, 통전 장치(도시하지 않음)와 전기적으로 접속되어 있다. 통전 장치는, 도금 처리의 실행 시에, 기판(Wf)과 애노드(50) 사이에 전류를 흘리기 위한 장치이다.

또한, 도금 장치(1000)는, 도금조(10)의 내부에서의 애노드(50)와 기판(Wf) 사이에 전기장 차폐판(60)을 구비하고 있다. 이 전기장 차폐판(60)은, 애노드(50)와 기판(Wf) 사이에 형성되는 전기장의 일부를 차폐하는 기능을 갖고 있다. 전기장 차폐판(60)의 구체적인 재질은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 구체예를 들면, 폴리에테르에테르케톤이나 폴리염화비닐 등의 수지를 사용할 수 있다. 이와 같이, 도금 장치(1000)가 전기장 차폐판(60)을 구비함으로써, 터미널 이펙트에 의해 도금 피막의 외주부의 막 두께가 두꺼워지는 것을 억제할 수 있다. 이 전기장 차폐판(60)의 상세는 후술한다.

도금 처리를 실행할 때는, 먼저, 회전 기구(40)가 기판 홀더(30)를 회전시킴과 함께, 승강 기구(45)가 기판 홀더(30)를 하방으로 이동시켜서, 기판(Wf)을 도금조(10)의 도금액(Ps)에 침지시킨다. 이어서, 통전 장치에 의해, 애노드(50)와 기판(Wf) 사이에 전류가 흐른다. 이에 의해, 기판(Wf)의 피도금면(Wfa)에 도금 피막이 형성된다.

그런데, 도금액(Ps)의 내부에, 기포(Bu)(이 부호는, 후술하는 도 4b에 도시되어 있음)가 포함되는 경우가 있다. 구체적으로는, 이 기포(Bu)는, 도금조(10)에 도금액(Ps)을 공급할 때 도금액(Ps)에 포함된 기포(Bu)이거나, 혹은, 도금 처리의 실행 중에 애노드(50)로부터 발생한 기포(Bu)이다. 가령, 이 도금액(Ps)에 포함되는 기포(Bu)가 전기장 차폐판(60)의 하면(61a)에 체류된 경우, 전기장 차폐판(60)의 기능이 저해되어서, 기판(Wf)의 도금 품질이 악화될 우려가 있다. 그래서, 이 문제를 해결하기 위해서, 본 실시 형태에 따른 도금 장치(1000)는 이하에 설명하는 구성을 구비하고 있다.

도 4a는, 전기장 차폐판(60)의 모식적 상면도이다. 도 3 및 도 4a를 참조하여, 전기장 차폐판(60)은, 도금조(10)의 외주부(12)로부터 도금조(10)의 직경 방향에서 중심측을 향해서 연장되도록 배치되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 따른 전기장 차폐판(60)은, 일례로서, 도금조(10)의 외주부(12)의 둘레 방향 전체에 접속되어 있고, 상면으로 보아 링 형상을 갖고 있다. 구체적으로는, 전기장 차폐판(60)은, 그 외주면(61c)(상면으로 보아 원 형상의 외주면(61c))이 도금조(10)의 외주부(12)에서의 내주면(12a)의 둘레 방향 전체에 접속되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 따른 전기장 차폐판(60)의 내주부(61d)는, 상면으로 보아 원 형상을 갖고 있다.

또한, 상기 구성은 전기장 차폐판(60)의 일례이며, 전기장 차폐판(60)은, 반드시 도금조(10)의 외주부(12)의 둘레 방향 전체에 접속되어 있을 필요는 없다. 예를 들어, 전기장 차폐판(60)은, 도금조(10)의 외주부(12)의 둘레 방향의 일부에 접속되어(또는, 이 외주부(12)의 둘레 방향으로 단속적으로 접속되어), 상면으로 보아 비링 형상을 갖고 있어도 된다.

또한, 도금조(10)의 내부를 전기장 차폐판(60)보다도 상방측으로부터 시인한 상면으로 보았을 때, 도금조(10)의 내부에는, 전기장 차폐판(60)에 의해 차폐되어 있지 않은 영역인 비차폐 영역(70)이 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 링 형상의 전기장 차폐판(60)의 내측 영역이, 이 비차폐 영역(70)으로 되어 있다.

도 4b는, 전기장 차폐판(60)을, 연직 방향으로 연장됨과 함께 도금조(10)의 직경 방향으로 연장되는 「직경 방향 절단면」으로 절단한 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 4b는, 도 4a의 A1-A1선 단면을 모식적으로 도시하고 있다. 전기장 차폐판(60)의 하면(61a)에는, 수평 방향(X-Y 방향)에 대하여 경사진 경사면(62)이 적어도 하나 마련되어 있다. 본 실시 형태에 따른 경사면(62)은, 일례로서 하나만 마련되어 있다. 구체적으로는, 본 실시 형태에 따른 전기장 차폐판(60)은, 그 하면(61a)이 전체적으로 경사면(62)으로 되어 있다.

경사면(62)은, 전기장 차폐판(60)의 하면(61a)에 존재하는 기포(Bu)를 비차폐 영역(70)으로 내보내도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 본 실시 형태에 따른 경사면(62)은, 도금조(10)의 중심측(직경 방향에서 중심측)을 향함에 따라서, 도금조(10)의 저부(11)로부터의 거리(h)가 커지도록 경사져 있다. 환언하면, 본 실시 형태에 따른 경사면(62)은, 전기장 차폐판(60)의 하면(61a)에서의 가장 하방측에 위치하는 부분(정점(63a))으로부터 비차폐 영역(70)을 향해서 경사져 있다.

또한, 본 실시 형태에 따른 전기장 차폐판(60)의 상면(61b)은 수평면으로 되어 있다. 이에 의해, 본 실시 형태에 따른 전기장 차폐판(60)은, 도금조(10)의 중심측을 향함에 따라서 두께가 얇아지는 단면 형상을 갖고 있다. 또한, 본 실시 형태에 따른 전기장 차폐판(60)은, 직경 방향 절단면으로 절단한 단면으로 보아, 전기장 차폐판(60)의 상면(61b)과 하면(61a)(경사면(62))과 외주면(61c)이 삼각형의 형상을 띠고 있다.

이상 설명한 바와 같은 본 실시 형태에 따르면, 전기장 차폐판(60)의 하면(61a)에 존재하는 기포(Bu)를, 경사면(62)에 의해 비차폐 영역(70)으로 효과적으로 내보낼 수 있다. 이에 의해, 전기장 차폐판(60)의 하면(61a)에 기포(Bu)가 체류되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 전기장 차폐판(60)의 하면(61a)에 체류된 기포(Bu)에 기인하여 전기장 차폐판(60)의 기능이 저해되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 기판(Wf)의 도금 품질이 악화되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 상술한 전기장 차폐판(60)은 일례이며, 전기장 차폐판은, 전기장 차폐판의 하면에 존재하는 기포를 비차폐 영역으로 내보내도록 구성된 경사면을 갖는 것이면 되고, 상술한 예에 한정되는 것은 아니다. 또한, 도금 장치도, 이러한 경사면을 갖는 전기장 차폐판을 구비하는 것이면 되고, 상술한 예에 한정되는 것은 아니다. 그래서, 전기장 차폐판이나 도금 장치의 다양한 변형예에 대해서 이하에 설명한다. 또한, 이들 변형예도 예에 지나지 않으며, 전기장 차폐판이나 도금 장치의 구성은, 이들 변형예에 한정되는 것은 아니다.

(변형예 1)

도 5는, 실시 형태의 변형예 1에 관한 도금 장치(1000A)의 전기장 차폐판(60A)의 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 5는, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60A)에 대해서, 직경 방향 절단면으로 절단한 단면을 모식적으로 도시하고 있고, 보다 구체적으로는, 도 4b와 마찬가지로 A1-A1선 단면을 모식적으로 도시하고 있다.

본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60A)은, 경사면(62)의 상방측 단부가 상면(61b)의 중심측 단부에 접속하고 있지 않음으로써, 단면으로 보아 사다리꼴의 형상을 띠고 있다. 그 결과, 전기장 차폐판(60A)의 내주부(61d)는 선이 아니고, 면(즉, 내주면)으로 되어 있다. 본 변형예에서도, 전기장 차폐판(60A)이 경사면(62)을 갖고 있으므로, 상술한 도금 장치(1000)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

(변형예 2)

도 6은, 실시 형태의 변형예 2에 관한 도금 장치(1000B)의 전기장 차폐판(60B)의 모식적 상면도이다. 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60B)은, 상면으로 보아 링 형상을 갖는 점에서는, 도 4a에 도시하는 전기장 차폐판(60)과 마찬가지이지만, 전기장 차폐판(60B)의 내주부(61d)가 원 형상이 아니라, 트로코이드 형상을 갖고 있는 점에서 전기장 차폐판(60)과 다르다. 본 변형예에서도, 전기장 차폐판(60B)이 경사면(62)을 갖고 있으므로, 상술한 도금 장치(1000)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60B)은, 상술한 변형예 1에 관한 특징을 더 구비하고 있어도 된다.

(변형예 3)

도 7a는, 실시 형태의 변형예 3에 관한 도금 장치(1000C)의 전기장 차폐판(60C)의 모식적 상면도이다. 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60C)은, 도금조(10)의 외주부(12)의 내주면(12a)의 둘레 방향의 일부에 접속되어 있고 또한 전기장 차폐판(60C)의 상면으로 보아 비링 형상을 갖고 있는 점에서, 도 4a에 도시하는 전기장 차폐판(60)과 다르다.

전기장 차폐판(60C)의 비링 형상의 구체예는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 변형예에서는, 일례로서 부채형의 형상이다. 즉, 전기장 차폐판(60C)은, 상면으로 보아, 특정 방각만을 차폐하도록 구성되어 있다. 또한, 본 변형예에서, 이 부채형의 중심은, 도금조(10)의 중심에까지 이르지 않았다.

도 7b는, 전기장 차폐판(60C)을 직경 방향 절단면으로 절단한 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 7b는, 도 7a의 A2-A2선 단면을 모식적으로 도시하고 있다. 전기장 차폐판(60C)의 경사면(62)은, 상술한 도 4b의 경사면(62)과 마찬가지의 구성을 갖고 있다. 이 때문에, 전기장 차폐판(60C)의 경사면(62)의 설명은 생략한다.

도 7c는, 전기장 차폐판(60C)을, 연직 방향으로 연장됨과 함께 도금조(10)의 둘레 방향으로 연장되는 「둘레 방향 절단면」으로 절단한 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 7c는, 도 7a의 A3-A3선 단면을 모식적으로 도시하고 있다. 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60C)은, 하면(61a)이 둘레 방향을 향해서 경사지지 않고, 수평하게 되어 있다.

본 변형예에서도, 전기장 차폐판(60C)이 경사면(62)을 갖고 있으므로, 상술한 도금 장치(1000)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

(변형예 4)

도 8a는, 실시 형태의 변형예 4에 관한 도금 장치(1000D)의 전기장 차폐판(60D)의 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 8a는, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60D)에 대해서, 직경 방향 절단면으로 절단한 단면을 모식적으로 도시하고 있으며, 구체적으로는, 도 7b와 마찬가지로, A2-A2선 단면을 모식적으로 도시하고 있다.

본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60D)은, 도 5에서 설명한 변형예 1에 관한 전기장 차폐판(60A)과 마찬가지로, 경사면(62)의 상방측 단부가 상면(61b)의 중심측 단부에 접속하고 있지 않음으로써, 단면으로 보아 사다리꼴의 형상을 띠고 있다. 그 결과, 전기장 차폐판(60D)의 내주부(61d)는 선이 아니라, 면(내주면)으로 되어 있다. 본 변형예에서도, 상술한 변형예 3에 관한 도금 장치(1000C)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

(변형예 5)

도 8b는, 실시 형태의 변형예 5에 관한 도금 장치(1000E)의 전기장 차폐판(60E)의 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 8b는, 전기장 차폐판(60E)을 둘레 방향 절단면으로 절단한 단면을 모식적으로 도시하고 있으며, 보다 구체적으로는, A3-A3선 단면을 모식적으로 도시하고 있다.

본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60E)은, 하면(61a)에, 경사면(62a) 및 경사면(62b)이 마련되어 있는 점에서, 전기장 차폐판(60C)이나 전기장 차폐판(60D)과 다르다.

또한, 도시는 생략하고 있지만, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60E)은, 도 7b나 도 8a와 같이 하면(61a)이 경사져 있다. 단, 이 구성에 한정되는 것은 아니고, 전기장 차폐판(60E)은, 직경 방향 절단면으로 절단한 단면으로 보아, 도 7c와 같이 하면(61a)이 수평하게 되어 있어도 된다.

경사면(62a) 및 경사면(62b)은, 수평 방향에 대하여 경사짐과 함께, 전기장 차폐판(60E)의 하면(61a)에 존재하는 기포(Bu)를 비차폐 영역(70)으로 내보내도록 구성된 경사면이다. 구체적으로는, 경사면(62a) 및 경사면(62b)은, 둘레 방향 절단면으로 절단한 단면으로 보아, 전기장 차폐판(60E)의 하면(61a)에서의 가장 하방측에 위치하는 부분(정점(63b))으로부터 비차폐 영역(70)을 향해서 연장되도록 경사져 있다.

보다 구체적으로는, 경사면(62a)은, 정점(63b)으로부터 「둘레 방향에서 한쪽 측」을 향함에 따라서, 도금조(10)의 저부(11)로부터의 거리(h)가 커지도록 경사져 있다. 한편, 경사면(62b)은, 정점(63b)으로부터 「둘레 방향에서 다른 쪽 측」을 향함에 따라서, 도금조(10)의 저부(11)로부터의 거리(h)가 커지도록 경사져 있다.

본 변형예에 의하면, 전기장 차폐판(60E)이 경사면(62a) 및 경사면(62b)을 갖고 있으므로, 전기장 차폐판(60E)의 하면(61a)에 존재하는 기포(Bu)를, 경사면(62a) 및 경사면(62b)에 의해 비차폐 영역(70)으로 효과적으로 내보낼 수 있다.

또한, 본 변형예에서, 전기장 차폐판(60E)은, 경사면(62a) 및 경사면(62b) 중 어느 한쪽만을 구비하고 있어도 된다.

(변형예 6)

도 8c는, 실시 형태의 변형예 6에 관한 도금 장치(1000F)의 전기장 차폐판(60F)의 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 8c는, 전기장 차폐판(60F)을 둘레 방향 절단면으로 절단한 단면을 모식적으로 도시하고 있으며, 보다 구체적으로는 A3-A3선 단면을 모식적으로 도시하고 있다.

본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60F)은, 경사면(62c)을 더 구비하고 있는 점에서, 도 8b에 도시하는 전기장 차폐판(60E)과 다르다. 이 경사면(62c)은, 둘레 방향 절단면으로 절단한 단면으로 보았을 때(도 8c)는, 경사져 있지 않지만, 직경 방향 절단면으로 절단한 단면으로 보았을 때는, 도 7b나 도 8a의 경사면(62)과 마찬가지로 경사져 있다. 즉, 이 경사면(62c)은 직경 방향 절단면으로 절단한 단면으로 보았을 때, 도금조(10)의 중심측을 향함에 따라서, 도금조(10)의 저부(11)로부터의 거리(h)가 커지도록 경사져 있다.

본 변형예에 의하면, 경사면(62a), 경사면(62b) 및 경사면(62c)을 구비하고 있으므로, 전기장 차폐판(60F)의 하면(61a)에 존재하는 기포(Bu)를, 경사면(62a), 경사면(62b) 및 경사면(62c)에 의해 비차폐 영역(70)으로 효과적으로 내보낼 수 있다.

(변형예 7)

도 9a는, 실시 형태의 변형예 7에 관한 도금 장치(1000G)의 전기장 차폐판(60G)의 모식적 상면도이다. 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60G)은, 상면으로 보아 부채형의 형상을 갖고 있는 점에서는, 도 7a에 도시하는 전기장 차폐판(60C)과 마찬가지이다. 한편, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60G)은, 이 부채형의 중심이, 도금조(10)의 중심측으로 더 연장되어 있어, 구체적으로는 이 부채형의 중심이 도금조(10)의 중심에까지 이르고 있는 점에서 전기장 차폐판(60C)과 다르다.

본 변형예에서도, 도 7a에서 설명한 도금 장치(1000C)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60G)은, 상술한 변형예 4 내지 6에 관한 특징을 더 구비하고 있어도 된다.

(변형예 8)

도 9b는, 실시 형태의 변형예 8에 관한 도금 장치(1000H)의 전기장 차폐판(60H)의 모식적 상면도이다. 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60H)은, 전기장 차폐판(60H)의 내주부(61d)가 연직 방향으로 연장되는 면(즉, 내주면)으로 되어 있는 점에서, 도 7a에 도시하는 전기장 차폐판(60C)과 다르다. 즉, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60H)은, 상면으로 보아 절두 부채형(정점이 절단된 부채형)의 형상을 갖고 있다. 또한, 이 내주부(61d)는, 평면(비곡면)이어도 되고, 곡면(예를 들어 원통상의 곡면)이어도 된다.

또한, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60H)은, 상술한 변형예 4 내지 6에 관한 특징을 더 구비하고 있어도 된다.

(변형예 9)

도 10은, 실시 형태의 변형예 9에 관한 도금 장치(1000I)의 전기장 차폐판(60I)의 모식적 상면도이다. 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60I)은, 링 형상부(65)와 비링 형상부(66)를 구비하고 있는 점에서, 상술한 실시 형태나 변형예와 다르다. 링 형상부(65)는, 도금조(10)의 외주부(12)의 둘레 방향 전체에 접속되어 있고 또한 전기장 차폐판(60I)의 상면으로 보아 링 형상을 갖는 부위이다. 비링 형상부(66)는, 링 형상부(65)의 둘레 방향의 일부에 접속되어, 상면으로 보아 비링 형상을 갖는 부위이다.

구체적으로는, 본 변형예에 관한 링 형상부(65)는, 도 4a에 도시하는 전기장 차폐판(60)과 마찬가지의 형상을 갖고 있다. 또한, 본 변형예에 관한 비링 형상부(66)는, 도 7a에 도시하는 전기장 차폐판(60C)과 마찬가지의 형상을 갖고 있다. 즉, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60I)은, 전기장 차폐판(60) 및 전기장 차폐판(60C)의 조합에 의해 구성되어 있다.

또한, 전기장 차폐판(60I)의 구체적인 제조 방법은, 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 링 형상부(65)와 비링 형상부(66)를 따로따로 제작한 후에, 양자를 접합시켜도 된다. 혹은, 벌크상의 부재로부터 전기장 차폐판(60I)을 깎아 냄으로써, 링 형상부(65)와 비링 형상부(66)를 갖는 전기장 차폐판(60I)을 일체적으로 제작해도 된다. 혹은, 사출 성형 등의 소성 가공에 의해, 링 형상부(65)와 비링 형상부(66)를 갖는 전기장 차폐판(60I)을 일체적으로 제작해도 된다.

본 변형예에 의하면, 링 형상부(65)의 경사면(62)과, 비링 형상부(66)의 경사면(62)에 의해, 전기장 차폐판(60I)의 하면(61a)에 존재하는 기포(Bu)를 비차폐 영역(70)으로 효과적으로 내보낼 수 있다.

또한, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60I)의 링 형상부(65)는, 변형예 1 또는 변형예 2에 관한 특징을 더 구비하고 있어도 된다. 또한, 비링 형상부(66)는, 변형예 4 내지 8에 관한 특징을 더 구비하고 있어도 된다.

또한, 상술한 본 변형예에서, 링 형상부(65) 및 비링 형상부(66) 양쪽이 경사면(62)을 구비하고 있지만, 본 변형예는 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 링 형상부(65) 및 비링 형상부(66) 중 어느 한쪽만이 경사면(62)을 구비하고 있어도 된다.

(변형예 10)

도 11은, 실시 형태의 변형예 10에 관한 도금 장치(1000J)의 도금조(10)의 주변 구성을 도시하는 모식적 단면도이다. 또한, 도 11에서, 회전 기구(40)나, 승강 기구(45)나, 지주(46) 등의 도시는 생략되어 있다. 본 변형예에 관한 도금 장치(1000J)는, 저항체(80)를 더 구비하고 있는 점에서, 도 3에서 설명한 도금 장치(1000)와 다르다.

저항체(80)는, 도금조(10)의 내부에서, 애노드(50)와 기판(Wf) 사이에 배치되어 있다. 구체적으로는, 본 변형예에 관한 저항체(80)는, 전기장 차폐판(60)보다도 상방측이면서 또한 기판(Wf)보다도 하방측에 배치되어 있다. 그 결과, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60)은, 저항체(80)보다도 하방측에 배치되어 있다. 구체적으로는, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60)은, 저항체(80)의 하면(80a)에 전기장 차폐판(60)의 상면(61b)이 접속하도록 배치되어 있다.

또한, 전기장 차폐판(60)의 구체적인 제조 방법은, 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 이하의 방법을 사용할 수 있다. 예를 들어, 저항체(80)와 전기장 차폐판(60)을 따로따로 제작한 후에, 양자를 접합시켜도 된다. 혹은, 벌크상의 부재로부터 저항체(80) 및 전기장 차폐판(60)을 깎아 냄으로써, 저항체(80)와 전기장 차폐판(60)을 일체적으로 제조해도 된다(즉, 일체적으로 접속된 저항체(80) 및 전기장 차폐판(60)을 제조해도 됨). 혹은, 사출 성형 등의 소성 가공에 의해, 저항체(80)와 전기장 차폐판(60)을 일체적으로 제조해도 된다.

또한, 상술한 바와 같이 전기장 차폐판(60)이 저항체(80)와 일체적으로 제조되어 있음으로써(즉, 전기장 차폐판(60)이 저항체(80)와 일체화되어 있음으로써), 전기장 차폐판(60)이 저항체(80)와 별체로 제조되어 있는 경우에 비하여 이하의 장점을 얻을 수 있다. 구체적으로는, 전기장 차폐판(60)이 저항체(80)와 일체화되어 있음으로써, 저항체(80)를 도금조(10)에 설치하면, 동시에, 전기장 차폐판(60)의 도금조(10)에의 설치가 완료되고 또한 도금조(10)의 내부에서의 전기장 차폐판(60)의 설치 위치를 확정시킬 수 있다. 그 결과, 전기장 차폐판(60)의 도금조(10)에의 설치 후에 전기장 차폐판(60)과 저항체(80)의 위치 관계를 조정하는 수고가 불필요해진다. 이와 같이, 전기장 차폐판(60)이 저항체(80)와 일체화되어 있음으로써, 전기장 차폐판(60)의 도금조(10)에의 설치를 용이화할 수 있다.

또한, 본 변형예에 관한 저항체(80)는, 애노드(50)에 평행하게 되도록 배치되어 있다. 또한, 본 변형예에 관한 저항체(80)는, 도금조(10)의 외주부(12)의 둘레 방향 전체에 접속하고 있어, 상면으로 보아 원판상의 형상을 갖고 있다.

이 저항체(80)는, 복수의 구멍(81)을 갖는 다공질의 부재에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 본 변형예에 관한 구멍(81)은, 저항체(80)보다도 상방측의 영역과 저항체(80)보다도 하방측의 영역을 연통하도록 형성되어 있다. 또한, 저항체(80)의 구체적인 재질은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 변형예에서는, 일례로서 폴리에테르에테르케톤 등의 수지를 사용하고 있다.

또한, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60)은, 전기장 차폐판(60)의 상면(61b)이 저항체(80)의 외주부 근방 영역(외주 단부로부터 소정 거리, 중심측에 이르는 영역)에 존재하는 구멍(81)을 차폐하도록, 저항체(80)의 하면(80a)에 접속되어 있다.

또한, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60)은, 저항체(80)의 외주연(구체적으로는 저항체(80)의 하면(80a)의 외주연)의 둘레 방향 전체에 접속되어 있어, 상면으로 보아 링 형상을 갖고 있지만, 반드시 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60)은, 저항체(80)의 외주연의 둘레 방향의 일부에 접속되어(또는, 이 외주연의 둘레 방향으로 단속적으로 접속되어), 상면으로 보아 비링 형상을 갖고 있어도 된다.

본 변형예에 의하면, 저항체(80)를 구비하고 있으므로, 이 저항체(80)가 도금 처리의 실행 시에 있어서 애노드(50)와 기판(Wf) 사이에 발생하는 전기장의 저항으로 되어, 기판(Wf)의 면 내에서의 전기장의 균일화를 도모할 수 있다. 이에 의해, 도금 피막의 막 두께의 균일화를 도모할 수 있다.

또한, 본 변형예에서도, 실시 형태에 따른 도금 장치(1000)와 마찬가지로, 전기장 차폐판(60)이 경사면(62)을 갖고 있으므로, 실시 형태에 따른 도금 장치(1000)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 본 변형예에 관한 도금 장치(1000J)는, 변형예 1 내지 9에 관한 특징을 구비하고 있어도 된다. 환언하면, 변형예 1 내지 9에 관한 도금 장치가, 본 변형예에 관한 특징을 구비하고 있어도 된다.

(변형예 11)

도 12a는, 실시 형태의 변형예 11에 관한 도금 장치(1000K)의 전기장 차폐판(60)의 주변 구성을 확대해서 도시하는 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 12a는, 도 11의 B1에 상당하는 개소를 확대해서 모식적으로 도시하고 있다. 본 변형예에 관한 도금 장치(1000K)는, 전기장 차폐판(60)의 상면(61b)이 시일 부재(85)를 개재해서 저항체(80)의 하면(80a)에 접속되어 있는 점에서, 도 11에 도시하는 도금 장치(1000J)와 다르다.

본 변형예에 관한 시일 부재(85)는, 저항체(80)의 외주부 근방 영역에 존재하는 구멍(81)을 차폐하도록, 저항체(80)의 하면(80a)에 배치되어 있다.

시일 부재(85)의 구체적인 재질은, 시일성을 갖는 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 변형예에서는, 어느 정도의 탄력성을 갖는 재질을 사용하고 있다. 구체적으로는, 본 변형예에서는, 시일 부재(85)의 재질의 일례로서 엘라스토머를 사용하고 있다.

본 변형예에서도, 변형예 10과 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 본 변형예에 관한 도금 장치(1000K)는, 변형예 1 내지 9에 관한 특징을 구비하고 있어도 된다. 환언하면, 변형예 1 내지 9에 관한 도금 장치가, 본 변형예에 관한 특징을 구비하고 있어도 된다.

(변형예 12)

도 12b는, 실시 형태의 변형예 12에 관한 도금 장치(1000L)의 전기장 차폐판(60)의 주변 구성을 확대해서 도시하는 모식적 단면도이다. 구체적으로는, 도 12b는, 도 12a와 마찬가지로, B1에 상당하는 개소를 확대해서 모식적으로 도시하고 있다. 본 변형예에 관한 도금 장치(1000L)는, 저항체(80) 대신에 저항체(80L)를 구비하고 있다. 저항체(80L)는, 그 외주부 근방 영역에, 구멍(81)이 형성되어 있지 않은 부분(비개구부(82)라고 칭함)을 구비하고 있는 점에서, 상술한 변형예 10에 관한 저항체(80)와 다르다. 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60)은, 이 비개구부(82)의 하면(80a)에 배치되어 있다.

또한, 본 변형예에 관한 도금 장치(1000L)는, 변형예 1 내지 9에 관한 특징을 구비하고 있어도 된다. 환언하면, 변형예 1 내지 9에 관한 도금 장치가, 본 변형예에 관한 특징을 구비하고 있어도 된다.

(변형예 13)

도 13은, 실시 형태의 변형예 13에 관한 도금 장치(1000M)의 도금조(10)의 주변 구성을 도시하는 모식적 단면도이다. 도금 장치(1000M)는, 전기장 차폐판(60)이 저항체(80)보다도 상방측에 배치되어 있는 점에서, 도 11에 도시하는 도금 장치(1000J)와 다르다. 본 변형예에서도, 전기장 차폐판(60)이 경사면(62)을 갖고 있으므로, 변형예 10에 관한 도금 장치(1000J)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60)은, 저항체(80)의 상면(80b)의 외주연의 둘레 방향 전체에 접속되어 있어도 된다(이 경우, 전기장 차폐판(60)은, 상면으로 보아 링 형상을 가짐). 혹은, 본 변형예에 관한 전기장 차폐판(60)은, 저항체(80)의 상면(80b)의 외주연의 둘레 방향의 일부에 접속되어(또는, 이 외주연의 둘레 방향으로 단속적으로 접속되어), 상면으로 보아 비링 형상을 갖고 있어도 된다.

또한, 본 변형예에 관한 도금 장치(1000M)는, 변형예 1 내지 9에 관한 특징을 구비하고 있어도 된다. 환언하면, 변형예 1 내지 9에 관한 도금 장치가, 본 변형예에 관한 특징을 구비하고 있어도 된다.

이상, 본 발명의 실시 형태나 변형예에 대해서 상세하게 설명했지만, 본 발명은 이러한 특정 실시 형태나 변형예에 한정되는 것은 아니고, 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 요지의 범위 내에서, 더한층의 다양한 변형·변경이 가능하다.

10: 도금조 11: 저부
12: 외주부 30: 기판 홀더
50: 애노드 60: 전기장 차폐판
61a: 하면 62: 경사면
65: 링 형상부 66: 비링 형상부
70: 비차폐 영역 80: 저항체
1000: 도금 장치 Wf: 기판
Wfa: 피도금면 Ps: 도금액
Bu: 기포

Claims

도금액이 저류됨과 함께, 애노드가 배치된 도금조와,
상기 애노드보다도 상방에 배치되고, 캐소드로서의 기판을, 상기 기판의 피도금면이 상기 애노드에 대향하도록 보유 지지하는 기판 홀더와,
상기 도금조의 내부에서의 상기 애노드와 상기 기판 사이의 부분에 배치되어, 상기 애노드와 상기 기판 사이에 형성되는 전기장의 일부를 차폐하는 전기장 차폐판을 구비하고,
상기 도금조의 내부를 상기 전기장 차폐판보다도 상방측으로부터 시인한 상면으로 보았을 때, 상기 도금조의 내부에는, 상기 전기장 차폐판에 의해 차폐되어 있지 않은 비차폐 영역이 마련되고,
상기 전기장 차폐판의 하면에는, 수평 방향에 대하여 경사짐과 함께, 상기 전기장 차폐판의 하면에 존재하는 기포를 상기 비차폐 영역으로 내보내도록 구성된 경사면이 마련되어 있는, 도금 장치.
제1항에 있어서, 상기 전기장 차폐판은, 상기 도금조의 외주부로부터 상기 도금조의 중심측을 향해서 연장되는, 도금 장치.
제2항에 있어서, 상기 경사면은, 상기 도금조의 중심측을 향함에 따라서, 상기 도금조의 저부로부터의 거리가 커지도록 경사지는, 도금 장치.
제2항에 있어서, 상기 경사면은, 상기 도금조의 둘레 방향에서 한쪽 측을 향함에 따라서, 상기 도금조의 저부로부터의 거리가 커지도록 경사지는, 도금 장치.
제4항에 있어서, 상기 경사면은, 상기 도금조의 둘레 방향에서 다른 쪽 측을 향함에 따라서, 상기 도금조의 저부로부터의 거리가 커지도록 경사지는, 도금 장치.
제2항에 있어서, 상기 전기장 차폐판은, 상기 도금조의 외주부의 둘레 방향 전체에 접속되어 있고 또한 상기 상면으로 보아 링 형상을 갖는, 도금 장치.
제2항에 있어서, 상기 전기장 차폐판은, 상기 도금조의 외주부의 둘레 방향의 일부에 접속되어 있고, 또한 상기 상면으로 보아 비링 형상을 갖는, 도금 장치.
제2항에 있어서, 상기 전기장 차폐판은, 상기 도금조의 외주부의 둘레 방향 전체에 접속되어 있고, 또한 상기 상면으로 보아 링 형상을 갖는 링 형상부와, 상기 링 형상부의 둘레 방향의 일부에 접속되어, 상기 상면으로 보아 비링 형상을 갖는 비링 형상부를 갖는, 도금 장치.
제1항에 있어서, 상기 도금조의 내부에서 상기 애노드와 상기 기판 사이에 배치된, 다공질의 저항체를 더 구비하고,
상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체보다도 하방측 또는 상기 저항체보다도 상방측에 배치되어 있는, 도금 장치.
제1항에 있어서, 상기 도금조의 내부에서 상기 애노드와 상기 기판 사이에 배치된, 다공질의 저항체를 더 구비하고,
상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체보다도 하방측 또는 상기 저항체보다도 상방측에 배치되고,
상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체의 외주연의 둘레 방향 전체에 접속되고, 또한 상기 상면으로 보아 링 형상을 갖는, 도금 장치.
제1항에 있어서, 상기 도금조의 내부에서 상기 애노드와 상기 기판 사이에 배치된, 다공질의 저항체를 더 구비하고,
상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체보다도 하방측 또는 상기 저항체보다도 상방측에 배치되고,
상기 전기장 차폐판은, 상기 저항체의 외주연의 둘레 방향의 일부에 접속되고, 또한 상기 상면으로 보아 비링 형상을 갖는, 도금 장치.