KR20210097088A - 기판 검사 시스템 - Google Patents

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KR20210097088A
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쿠니히로 후루야
타다요시 호사카
나오키 무라마츠
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

테스트 헤드를 용이하게 인출할 수 있는 기판 검사 시스템을 제공한다. 웨이퍼 검사 시스템은, 서로 외측이 대향하도록 배치되고, 또한 웨이퍼를 검사할 때 이용되는 테스트 헤드(15)가 배치되는 2개의 셀 타워(12)와 각 셀 타워(12)에 개재되며 테스트 헤드(15)의 정비 작업이 가능한 영역을 구비하고, 각 셀 타워(12)에서는 각 테스트 헤드(15)를 수용하는 셀(11)이 상하로 다단으로 배치될 수 있다.

Description

기판 검사 시스템{WAFER INSPECTION SYSTEM}
본 발명은 기판 검사 시스템에 관한 것이다.
다수의 반도체 디바이스가 형성된 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 '웨이퍼'라고 함)에서 각 반도체 디바이스의 전기적 특성 검사를 행하기 위하여, 웨이퍼 검사 장치로서의 프로버가 이용되고 있다. 프로버는 웨이퍼와 대향하는 프로브 카드를 구비하고, 프로브 카드는 복수의 기둥 형상 접촉 단자인 콘택트 프로브를 가진다 (예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 상기 프로버에서는, 프로브 카드의 각 콘택트 프로브가 반도체 디바이스에서의 전극 패드 또는 땜납 범프에 접속된 반도체 디바이스로 검사 신호를 흘림으로써 반도체 디바이스의 전기 회로의 도통 상태 등을 검사한다.
프로브 카드의 각 콘택트 프로브로는 검사 회로인 메인보드를 탑재한 테스트 헤드로부터 검사 신호가 흐르는데, 최근 웨이퍼의 검사 효율을 향상시키기 위하여, 각각에 프로브 카드가 장착된 복수의 테스트 헤드를 구비하여, 반송 스테이지에 의해 하나의 테스트 헤드로 웨이퍼를 반송 중에 다른 테스트 헤드에서 웨이퍼의 반도체 디바이스를 검사 가능한 웨이퍼 검사 장치가 개발되고 있다. 상기 웨이퍼 검사 장치에서는 풋프린트 삭감의 관점으로부터 복수의 테스트 헤드를 수용하는 셀이 다단 적층되어 배치된다.
각 테스트 헤드의 메인보드는 일종의 소모품이기 때문에 정기적으로 교환할 필요가 있는데, 메인보드를 교환하기 위해서는 테스트 헤드를 웨이퍼 검사 장치로부터 정비용 대차의 위로 인출할 필요가 있다.
일본특허공개공보 2012-063227호
그러나, 테스트 헤드는 중량이 약 70 kgf이며, 슬라이드 레일로 지지되기 때문에, 테스트 헤드를 인출 방향 이외로 이동시키는 것은 곤란하다. 따라서, 정비용 대차의 위치를 테스트 헤드의 위치에 정확하게 맞출 필요가 있는데, 정비용 대차는 리프트 기구 등을 가져 중량이 크기 때문에 위치의 미세 조정이 곤란하며, 그 결과, 테스트 헤드를 인출하는 것이 곤란하다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 용이하게 인출할 수 있는 기판 검사 시스템을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 검사 시스템은, 기판을 검사할 때 이용되는 제 1 테스트 헤드가 배치되는 제 1 검사 영역과, 기판을 검사할 때 이용되는 제 2 테스트 헤드가 배치되는 제 2 검사 영역과, 상기 제 1 검사 영역과 상기 제 2 검사 영역에 개재되며 상기 제 1 테스트 헤드와 상기 제 2 테스트 헤드가 정비되는 정비 영역을 구비하고, 상기 제 1 검사 영역에는 상기 제 1 테스트 헤드를 수용하는 검사실이 적어도 상하로 다단으로 배치되며, 상기 제 2 검사 영역에는 상기 제 2 테스트 헤드를 수용하는 검사실이 적어도 상하로 다단으로 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 테스트 헤드를 용이하게 인출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 정비용 대차가 적용되는 웨이퍼 검사 장치의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2a 및 도 2b는 도 1에서의 셀 타워의 각 셀에 내장되는 구성 요소를 설명하기 위한 도이며, 도 2a는 테스트 헤드의 사시도이고, 도 2b는 각 셀에서의 테스트 헤드, 포고 프레임, 및 프로브 카드의 배치 상태를 도시한 정면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 실시예에 따른 정비용 대차의 구성을 개략적으로 도시한 도로서, 도 3a는 측면도이고, 도 3b는 정면도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 3a 및 도 3b에서의 리프터 및 테스트 헤드 케이스의 구성을 개략적으로 도시한 도로서, 도 4a는 측면도이고, 도 4b는 정면도이다.
도 5는 가이드부의 가이드 레일에의 유합을 설명하기 위한 부분 확대도이다.
도 6a 및 도 6b는 간이 정비용 대차의 구성을 개략적으로 도시한 측면도로서, 도 6a는 셀 타워에서의 1 단째의 셀의 테스트 헤드를 정비하는 경우를 도시하고, 도 6b는 셀 타워에서의 2 단째의 셀의 테스트 헤드를 정비하는 경우를 도시한다.
도 7a 내지 도 7c는 도 3a 및 도 3b의 정비용 대차를 이용하는 기판 검사 장치의 정비 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
도 8은 도 3a 및 도 3b의 정비용 대차의 배치의 변형예를 도시한 정면도이다.
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
먼저, 본 실시예에 따른 기판 검사 장치의 정비용 대차에 대하여 설명한다.
도 1은 본 실시예에 따른 정비용 대차가 적용되는 웨이퍼 검사 장치의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1에서 웨이퍼 검사 장치(10)는, 복수의 검사실(셀)(11)이 다단, 예를 들면, 4 단으로 배치된 셀 타워(12)와, 이 셀 타워(12)에 인접하여 배치되고, 반송 기구(도시하지 않음)를 내장하여 기판의 각 셀(11)로의 반출입을 행하는 로더(13)를 구비한다. 셀 타워(12) 및 로더(13)는 각각 직육면체 형상을 나타내고, 높이는, 예를 들면, 2.4 m이다.
웨이퍼 검사 장치(10)에서는, 셀 타워(12)에서의 로더(13)와의 인접면의 반대측(이하, '외측'이라고 함)에는 작업자가 각 셀(11)의 정비 작업을 행하는 것이 가능한 공간이 확보되고, 후술하는 정비용 대차(27)가 배치된다.
도 2a 및 도 2b는 도 1에서의 셀 타워의 각 셀에 내장되는 구성 요소를 설명하기 위한 도이며, 도 2a는 테스트 헤드의 사시도이고, 도 2b는 각 셀에서의 테스트 헤드, 포고 프레임 및 프로브 카드의 배치 상태를 도시한 정면도이다.
도 2a에서 테스트 헤드(15)는, 직육면체 형상의 하우징으로 이루어지는 본체(16)와, 본체(16)의 길이 방향의 측면 상부로부터 측방으로 돌출되는 플랜지(17)를 가지고, 본체(16)는 검사 회로인 메인보드(도시하지 않음)를 수용한다.
또한 도 2b에 도시한 바와 같이, 각 셀(11)은 내부에, 테스트 헤드(15)와, 프로브 카드(18)와, 프로브 카드(18) 및 메인보드를 전기적으로 접속하는 포고 핀(도시하지 않음)을 보지(保持)하는 포고 프레임(19)을 가진다. 프로브 카드(18) 및 포고 프레임(19), 그리고 포고 프레임(19) 및 테스트 헤드(15)의 사이에는 씰 부재(20, 21)가 배치되고, 상기 씰 부재(20, 21)에 둘러싸인 공간이 감압됨으로써 프로브 카드(18) 및 포고 프레임(19)이 진공 흡착에 의해 테스트 헤드(15)에 장착된다.
프로브 카드(18)는, 원판 형상의 본체(24)와, 본체(24)의 하면으로부터 도면 중 하방을 향해 돌출되도록 배치되는 다수의 기둥 형상 접촉 단자인 복수의 콘택트 프로브(25)를 가진다. 각 콘택트 프로브(25)는, 프로브 카드(18)에 웨이퍼(도시하지 않음)가 접촉했을 시, 상기 웨이퍼에 형성된 각 반도체 디바이스의 전극 패드 또는 땜납 범프(모두 도시하지 않음)와 접촉한다.
도 1로 돌아와, 각 셀(11)의 외측에는 정비용 개구부(26)가 개재되고, 상기 정비용 개구부(26)를 거쳐 테스트 헤드(15)가 인출된다. 작업자는 인출된 테스트 헤드(15)로부터 소모된 메인보드를 취출하고, 새로운 메인보드를 장착한다.
그런데, 테스트 헤드(15)의 중량은 약 70 kgf으로, 작업자의 힘만으로는 취급이 곤란하기 때문에, 테스트 헤드(15)는 셀(11) 내에서 당해 테스트 헤드(15)의 길이 방향(이하, 간단히 '길이 방향'이라고 함)을 따라 배치되는 슬라이드 레일(도시하지 않음)에 의해 플랜지(17)를 개재하여 지지되고, 슬라이드 레일의 상면에 설치된 복수의 볼 받침대에 의해 길이 방향으로 인출 가능하게 구성된다.
웨이퍼 검사 장치(10)에서 작업자가 용이하게 메인보드의 교환을 행하기 위해서는 인출된 테스트 헤드(15)를 지지하는 지지 기구가 필요하며, 이에 대응하여 본 실시예에서는 후술하는 정비용 대차(27)가 제공된다.
도 3a 및 도 3b는 본 실시예에 따른 정비용 대차의 구성을 개략적으로 도시한 도이며, 도 3a는 측면도이고, 도 3b는 정면도이다.
도 3a 및 도 3b에서 정비용 대차(27)는, 복수의 굴림대(28)(차륜)에 의해 지지되어 이동 가능하게 구성되는 대차 기부(29)와, 상기 대차 기부(29)로부터 세워 설치된 리프트 기구(30)와, 테스트 헤드(15)를 수용 가능한 하우징 형상의 테스트 헤드 케이스(31)(케이스)를 가진다.
대차 기부(29)에는 손잡이(32)가 설치되고, 작업자는 손잡이(32)를 밀거나 혹은 당김으로써 정비용 대차(27)를 이동시킨다. 각 굴림대(28)는 쌍륜으로 이루어지고, 방향을 자유롭게 변경 가능하게 구성되기 때문에, 정비용 대차(27)의 이동에 관한 자유도를 향상시킨다.
리프트 기구(30)는, 도면 중 상방을 향해 대차 기부(29)로부터 연장되는 지지 기둥(33)과, 이 지지 기둥(33)에 장착되고, 지지 기둥(33)의 연장 방향을 따라 이동함으로써 도면 중 상하 방향으로 이동하는 리프터(34)와, 리프터(34)를 이동시키는 모터(도시하지 않음)를 가진다.
또한, 대차 기부(29)의 각 굴림대(28)는 브레이크(도시하지 않음)를 가지고, 이 브레이크는 리프터(34)가 상하 방향에 관한 최하점에 위치하는 경우에만 해제된다.
도 4a 및 도 4b는 도 3a 및 도 3b에서의 리프터 및 테스트 헤드 케이스의 구성을 개략적으로 도시한 도이며, 도 4a는 측면도이고, 도 4b는 정면도이다. 또한 설명을 간단하게 하기 위하여, 도 4a 및 도 4b에서는 테스트 헤드(15)가 파선으로 도시되고, 또한 도 4b는 후술하는 슬라이드 레일 커버(40)를 일점 쇄선으로 도시하며, 또한 슬라이드 레일 커버(40)를 내부가 보이는 상태로 도시한다.
도 4a 및 도 4b에 도시한 바와 같이, 테스트 헤드 케이스(31)는 직육면체 형상을 나타내고, 또한 길이 방향에 관한 양단이 개방되어 개구부를 형성하며, 테스트 헤드(15)를 셀(11)로부터 인출할 시, 양단의 개구부 중 어느 하나가 셀(11)의 정비용 개구부(26)와 대향하고, 정비용 개구부(26)를 거쳐 인출된 테스트 헤드(15)를 내부에 수용한다. 또한 테스트 헤드 케이스(31)의 상면도 개방되어 있기 때문에, 작업자는 수용된 테스트 헤드(15)로 테스트 헤드 케이스(31)의 상면으로부터 액세스 가능하며, 상기 상면을 거쳐 메인보드를 교환한다.
테스트 헤드 케이스(31)는 수평 위치 조정 스테이지(35)를 개재하여 리프터(34)에 의해 지지된다. 수평 위치 조정 스테이지(35)는 상하로 중첩된 원판 형상 부재인 기부(35a) 및 이동부(35b)로 이루어지고, 기부(35a) 및 이동부(35b)의 사이에는 다수의 볼 베어링(도시하지 않음)이 전면에 깔려있어, 이동부(35b)는 기부(35a)에 대하여 수평으로 이동할 수 있다. 기부(35a)는 리프터(34)에 접속되고, 이동부(35b)는 테스트 헤드 케이스(31)에 접속된다. 이에 따라, 수평 위치 조정 스테이지(35)는 테스트 헤드 케이스(31)를 리프터(34)에 대하여 수평으로 이동시킬 수 있다.
또한 수평 위치 조정 스테이지(35)에서는, 외부로부터 에어를 보냄으로써 기부(35a)의 일부 및 이동부(35b)의 일부를 계합시키는 등 하여 이동부(35b)를 기부(35a)에 대하여 고정할 수도 있다.
이동부(35b)의 이동은 다수의 볼 베어링에 의해 실현되기 때문에, 이동부(35b)의 이동에는 큰 힘이 필요하지 않고, 그 결과, 테스트 헤드 케이스(31)는 작업자에 의해 용이하게 수평으로 이동시킬 수 있다. 또한, 테스트 헤드 케이스(31)의 하면으로부터 하방을 향해 판상(板狀)의 스토퍼(36)가 돌출되고, 테스트 헤드 케이스(31)의 수평 방향의 이동량이 소정량에 도달한 경우, 스토퍼(36)가 수평 위치 조정 스테이지(35)의 기부(35a)에 접촉함으로써 테스트 헤드 케이스(31)의 수평 방향의 이동량이 규제된다.
테스트 헤드 케이스(31)의 길이 방향에 관한 양 측면의 상부에는 복수의 볼 받침대로 이루어지는 슬라이드 레일(37)이 배치된다. 슬라이드 레일(37)은 테스트 헤드 케이스(31)에 수용된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)를 지지하고, 테스트 헤드(15)를 테스트 헤드 케이스(31)의 길이 방향으로 슬라이드시킨다.
또한, 테스트 헤드 케이스(31)의 길이 방향에 관한 양 측면의 상부에서의 양단에는 스토퍼 기구(38)(고정 기구)가 배치된다. 스토퍼 기구(38)는 돌출 가능한 돌기 형상의 접촉자(39)를 가지고, 이 접촉자(39)가 돌출되어 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)에 접촉함으로써, 테스트 헤드(15)의 위치가 테스트 헤드 케이스(31)에 대하여 고정된다. 또한 리프트 기구(30)는, 테스트 헤드(15)가 테스트 헤드 케이스(31)에 수용될 시, 접촉자(39)가 플랜지(17)에 접촉하지 않은 경우에는 리프터(34)가 상하 이동 불가능하게 구성된다.
테스트 헤드(15)를 테스트 헤드 케이스(31)의 길이 방향으로 슬라이드시킬 시, 작업자의 손, 특히 손가락이 플랜지(17)와 슬라이드 레일(37)의 사이에 끼일 위험성이 있기 때문에, 슬라이드 레일(37)은 슬라이드 레일 커버(40)에 의해 덮인다.
정비용 대차(27)에서는, 리프트 기구(30)가 테스트 헤드 케이스(31)의 위치를, 당해 테스트 헤드 케이스(31)의 슬라이드 레일(37)이 1 단째의 셀(11)에 수용된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정면 대향하는 높이, 동일 슬라이드 레일(37)이 2 단째의 셀(11)에 수용된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정면 대향하는 높이, 동일 슬라이드 레일(37)이 3 단째의 셀(11)에 수용된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정면 대향하는 높이 및 동일 슬라이드 레일(37)이 4 단째의 셀(11)에 수용된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정면 대향하는 높이 각각에 고정 가능하다.
도 1로 돌아와, 셀 타워(12)의 외측 하방에는 가이드 레일(41)이 배치된다. 가이드 레일(41)은 셀 타워(12)의 길이 방향을 따르고, 단면이 직사각형인 관 형상체이며, 셀 타워(12)와 반대측의 측벽(41a)에 슬릿(42)이 형성된다. 한편, 도 3b에 도시한 바와 같이, 정비용 대차(27)는 대차 기부(29)에 배치된 가이드부(43)(가이드 기구)를 가진다.
도 5에 도시한 바와 같이, 가이드부(43)는 대차 기부(29)로부터 측방으로 돌출되는 브래킷(43a)과, 상기 브래킷(43a)의 선단에 설치되어 수평으로 회전하는 롤러(43b)를 가지고, 브래킷(43a)은 가이드 레일(41)의 슬릿(42)을 거쳐 가이드 레일(41)의 내부로 진입하고, 롤러(43b)는 가이드 레일(41)의 내부에 수용된다. 즉, 가이드부(43)는 가이드 레일(41)과 유합하는데, 이 때 롤러(43b) 및 대차 기부(29)의 사이에는 가이드 레일(41)의 측벽(41a)이 개재된다.
상술한 정비용 대차(27)는 테스트 헤드(15) 전체를 인출할 시 이용되는데, 테스트 헤드(15)를 정비할 시, 당해 테스트 헤드(15) 전체를 인출할 필요가 없는 경우가 있다. 이러한 경우, 웨이퍼 검사 장치(10)에서는 정비용 대차(27)가 아닌 테스트 헤드(15)를 부분적으로 재치하는 간이 정비용 대차(44)를 이용한다.
도 6a 및 도 6b은 간이 정비용 대차의 구성을 개략적으로 도시한 측면도이며, 도 6a는 셀 타워에서의 1 단째의 셀의 테스트 헤드를 정비하는 경우를 도시하고, 도 6b는 셀 타워에서의 2 단째의 셀의 테스트 헤드를 정비하는 경우를 도시한다.
도 6a 및 도 6b에서, 간이 정비용 대차(44)는 저부(底部)에 복수의 굴림대(45)가 배치된 메인 프레임(46)과, 상기 메인 프레임(46)에 대하여 상하로 이동 가능한 정비대(47)를 가진다. 정비대(47)는 복수의 볼 받침대로 이루어지는 슬라이드 레일(48)을 가지고, 슬라이드 레일(48)은 부분적으로 인출된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)를 지지한다. 정비대(47)는, 슬라이드 레일(48)이 1 단째의 셀(11)에 수용된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정면 대향하는 제 1 높이 및 슬라이드 레일(48)이 2 단째의 셀(11)에 수용된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정면 대향하는 제 2 높이 각각에 고정 가능하게 구성된다.
간이 정비용 대차(44)는 정비용 대차(27)에 비해 대폭 간소화되어 경량이며, 또한 메인 프레임(46)의 저부에 배치된 복수의 굴림대(45)를 가지기 때문에, 작업자는 간이 정비용 대차(44)의 위치를 용이하게 조정할 수 있고, 이로써 1 단째 또는 2 단째의 셀(11)에 수용된 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정비대(47)의 슬라이드 레일(48)을 정확하게 정면 대향시킬 수 있다. 그 결과, 1 단째 또는 2 단째의 셀(11)로부터 용이하게 테스트 헤드(15)를 부분적으로 인출할 수 있다.
도 7a 내지 도 7c는 도 3a 및 도 3b의 정비용 대차를 이용하는 웨이퍼 검사 장치의 정비 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
먼저, 가이드 레일(41)의 단부에서 가이드부(43)의 롤러(43b)를 가이드 레일(41)의 내부에 수용시킨 후, 롤러(43b)를 가이드 레일(41)의 내부에 수용시킨 채로 정비용 대차(27)를 테스트 헤드(15)가 수용되는 셀(11)이 존재하는 위치까지 대략적으로 이동시킨다. 이 후, 대차 기부(29)의 각 굴림대(28)의 브레이크를 작동시켜 정비용 대차(27)의 위치를 고정한다 (도 7a).
이어서, 리프트 기구(30)가 테스트 헤드 케이스(31)를, 당해 테스트 헤드 케이스(31)의 슬라이드 레일(37)이 정비를 행하는 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정면 대향하는 높이까지 상승시키고, 이후 테스트 헤드 케이스(31)의 위치를 고정한다 (도 7b).
이어서, 수평 위치 조정 스테이지(35)에 의해 테스트 헤드 케이스(31)의 위치를 수평 방향으로 미세 조정하여 슬라이드 레일(37)을 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정확하게 정면 대향시키고 (도 7c), 본 정비 방법을 종료한다.
본 실시예에 따른 정비용 대차(27)에 따르면, 수평 위치 조정 스테이지(35)가, 이동 가능한 대차 기부(29)로부터 세워 설치되는 리프트 기구(30)의 리프터(34) 및 테스트 헤드(15)를 수용하는 테스트 헤드 케이스(31)의 사이에 개재되고, 테스트 헤드 케이스(31)를 리프터(34)에 대하여 수평으로 이동시키므로, 대차 기부(29)의 위치를 고정하고, 정비를 행하는 테스트 헤드(15)가 존재하는 위치까지 테스트 헤드 케이스(31)를 승강시켜 당해 테스트 헤드 케이스(31)의 위치를 고정한 후, 테스트 헤드 케이스(31)의 위치를 수평 방향으로 미세 조정하여 슬라이드 레일(37)을 정비를 행하는 테스트 헤드(15)의 플랜지(17)와 정확하게 정면 대향시킬 수 있고, 그 결과, 테스트 헤드 케이스(31)를 향해 테스트 헤드(15)를 용이하게 인출할 수 있다.
상술한 정비용 대차(27)에서는, 테스트 헤드 케이스(31)의 길이 방향에 관한 양 측면의 상부에는 테스트 헤드 케이스(31)의 길이 방향으로 테스트 헤드(15)를 슬라이드시키는 슬라이드 레일(37)이 배치되고, 상기 슬라이드 레일(37)은 테스트 헤드(15)의 위치를 고정시키는 스토퍼 기구(38)를 가지므로, 테스트 헤드 케이스(31)에 수용된 테스트 헤드(15)를 테스트 헤드 케이스(31) 내에서 원하는 위치로 이동시킨 후, 그 위치에 고정할 수 있으며, 이로써 테스트 헤드(15)의 정비 작업의 효율을 향상시킬 수 있다.
또한 상술한 정비용 대차(27)에서는, 셀 타워(12)의 하부에 설치된 가이드 레일(41)과 유합하는 가이드부(43)를 더 구비하므로, 정비용 대차(27)를 셀 타워(12)를 따라 정확하게 움직이게 할 수 있으며, 이로써 정비용 대차(27)의 위치의 조정 시간을 단축시킬 수 있다.
또한 상술한 정비용 대차(27)에서는, 대차 기부(29)로부터 측방으로 돌출되는 브래킷(43a)의 선단에 설치된 롤러(43b) 및 대차 기부(29)의 사이에는 가이드 레일(41)의 측벽(41a)이 개재되므로, 정비용 대차(27)가 기울었을 경우, 롤러(43b)가 가이드 레일(41)의 측벽(41a)에 계합하여 정비용 대차(27)의 전도(轉倒)가 방지된다.
이상, 본 발명에 대하여 상술한 실시예를 이용하여 설명했으나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않는다.
예를 들면, 상술한 정비용 대차(27)는 1 개의 셀 타워(12)의 외측에만 배치되었으나, 도 8에 도시한 바와 같이 2 개의 셀 타워(12)를 서로 외측이 대향하도록 배치하고, 2 개의 셀 타워(12)에 개재되도록 정비용 대차(27)를 배치해도 된다. 이 때, 정비용 대차(27)의 테스트 헤드 케이스(31)는 길이 방향에 관한 양단에 개구부를 가지고, 개구부 각각은 웨이퍼 검사 장치(10)의 각각의 셀(11)에서의 정비용 개구부(26)와 대향하므로, 모든 웨이퍼 검사 장치(10)의 테스트 헤드(15)를 테스트 헤드 케이스(31)에 수용할 수 있으며, 이로써 테스트 헤드(15)의 정비 작업의 효율을 향상시킬 수 있다.
10 : 웨이퍼 검사 장치
15 : 테스트 헤드
17 : 플랜지
27 : 정비용 대차
29 : 대차 기부
30 : 리프트 기구
31 : 테스트 헤드 케이스
35 : 수평 위치 조정 스테이지
37 : 슬라이드 레일
38 : 스토퍼 기구
41 : 가이드 레일
43 : 가이드부
43b : 롤러

Claims (2)

  1. 기판을 검사할 때 이용되는 제 1 테스트 헤드가 배치되는 제 1 검사 영역과,
    기판을 검사할 때 이용되는 제 2 테스트 헤드가 배치되는 제 2 검사 영역과,
    상기 제 1 검사 영역과 상기 제 2 검사 영역에 개재되며 상기 제 1 테스트 헤드와 상기 제 2 테스트 헤드가 정비되는 정비 영역을 구비하고,
    상기 제 1 검사 영역에는 상기 제 1 테스트 헤드를 수용하는 검사실이 상하로 다단으로 배치되며, 상기 제 2 검사 영역에는 상기 제 2 테스트 헤드를 수용하는 검사실이 상하로 다단으로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 테스트 헤드와 상기 제 2 테스트 헤드는 상기 검사실에서 상기 정비 영역으로 인출 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
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