KR20210082336A

KR20210082336A - 웨이퍼 보관 장치, 캐리어 플레이트 및 웨이퍼 카세트

Info

Publication number: KR20210082336A
Application number: KR1020200054041A
Authority: KR
Inventors: 우 친-타; 찬 아이-린; 창 치-쉥; 씨오우 쳉-하오
Original assignee: 파워테크 테크놀로지 인코포레이티드
Priority date: 2019-12-24
Filing date: 2020-05-06
Publication date: 2021-07-05
Also published as: KR102353099B1; JP6944563B2; TWI735115B; US11367641B2; US20210193492A1; JP2021103759A; TW202124239A

Abstract

웨이퍼 보관 장치는 웨이퍼 카세트(2) 및 캐리어 플레이트(3)를 포함한다. 웨이퍼 카세트(2)는 하우징(22) 및 하우징(22)의 측벽(223)에 배치된 복수 쌍의 유지 부재(23)를 포함한다. 캐리어 플레이트(3)는 하우징 (22) 내에 배치되고, 한 쌍의 유지 부재(23)에 의해 지지되며, 웨이퍼(100)를 그 위에 운반하며 웨이퍼(100)의 두 개의 상이한 반경 방향으로 각각 연장하는 두 개의 슬롯(33)이 형성된 주변부를 갖는 플레이트 본체(31)를 포함한다. 두 개의 위치 설정 부재(41, 42)는 각각 그리고 반경 방향으로 제 위치에서 슬롯(33)에 대응하고 웨이퍼(100)의 외측 테두리에 접촉한다.

Description

웨이퍼 보관 장치, 캐리어 플레이트 및 웨이퍼 카세트{WAFER STORAGE DEVICE, CARRIER PLATE AND WAFER CASSETTE}

본 개시는 웨이퍼 보관 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 웨이퍼 위치 설정 유닛을 포함하는 웨이퍼 보관 장치에 관한 것이다.

반도체 장치 제조 공정에서, 다이싱(dicing) 테이프 상에 부착된 반도체 웨이퍼(이하 웨이퍼로 지칭됨)는 예를 들어 스텔스(stealth) 다이싱 기술에 의해 레이저 광으로 처리된다. 그 후, 처리된 웨이퍼는 후속 처리를 위해 운반되도록 웨이퍼 카세트에 보관될 캐리어 플레이트 상에 배치된다.

도 1을 참조하면, 종래의 웨이퍼 보관 장치는 복수의 캐리어 플레이트(11) 및 그 안에 캐리어 플레이트(11)를 수용하기 위한 공간을 형성하는 웨이퍼 카세트(12)를 포함한다. 각각의 캐리어 플레이트(11)는 스텔스 다이싱 기술에 의해 처리된 웨이퍼(10)를 그 위에서 운반하기 위한 것이며, 플레이트 본체(111), 플레이트 본체(111)의 두 측면에 각각 배치된 두 개의 측면 위치 설정부(112), 및 캐리어 플레이트(11) 상에 배치된 웨이퍼(10)가 낙하하는 것을 방지하기 위해 플레이트 본체(111)의 후단에 배치되는 후방 위치 설정부(113)를 포함한다. 일반적으로, 웨이퍼(10)에 용이하게 접근할 수 있도록, 캐리어 플레이트(11)는 웨이퍼(10)의 크기보다 큰 크기를 갖도록 설계된다. 따라서, 측면 위치 설정부(112)와 웨이퍼(10) 사이의 거리(G)가 상대적으로 커서 캐리어 플레이트(11)가 상기 공간 내외부로 이동되거나 보관 장치가 운반될 때 웨이퍼(100)가 캐리어 플레이트(11)에 상대적으로 이동될 수 있다.

그러므로, 본 개시의 목적은 종래 기술의 단점을 완화할 수 있는 웨이퍼 보관 장치를 제공하는 것이다.

본 개시의 일 측면에 따르면, 웨이퍼 카세트 및 적어도 하나의 캐리어 플레이트를 포함하는 웨이퍼 보관 장치가 제공된다. 웨이퍼 카세트는 하우징 및 복수 쌍의 유지 부재들을 포함한다. 하우징은 전방 개구를 갖는 수용 공간을 형성하는데, 전방 개구를 통해 웨이퍼가 제1 방향에서 수용 공간 내외로 이동할 수 있다. 하우징은 제1 방향을 가로지르는 제2 방향에서 서로 대향하는 두 개의 측벽들을 포함한다. 복수 쌍의 유지 부재들은 제1 방향과 제2 방향을 가로지르는 제3 방향에서 서로 이격된다. 각 쌍의 유지 부재는 측벽들 상에 각각 배치되고 제2 방향에서 위치가 서로 대응한다. 캐리어 플레이트는 전방 개구를 통해 수용 공간 내에 놓이고, 한 쌍의 유지 부재에 의해 지지되며, 운반면 및 외주를 갖는 플레이트 본체, 및 위치 설정 유닛을 포함한다. 운반면은 웨이퍼를 그 위에서 운반하도록 구성된다. 외주에는 웨이퍼의 두 개의 상이한 반경 방향으로 각각 연장하는 두 개의 슬롯들이 형성되어 있다. 위치 설정 유닛은 실질적으로 각각 제3 방향으로 연장하고 반경 방향에서 위치가 상기 슬롯에 대응하고 웨이퍼의 외측 림에 접하도록 구성된 두 개의 위치 설정 부재들을 포함한다.

본 개시의 다른 측면에 따르면, 웨이퍼를 운반하도록 구성되고 웨이퍼 카세트 내에 배치되는 캐리어 플레이트가 제공된다. 웨이퍼 카세트는 하우징 및 복수 쌍의 유지 부재들을 포함한다. 하우징은 전방 개구를 갖는 수용 공간을 형성하고 - 전방 개구를 통해 캐리어 플레이트가 제1 방향에서 수용 공간 내에 놓임 -, 제1 방향을 가로지르는 제2 방향에서 서로 대향하는 두 개의 측벽들을 포함한다. 복수 쌍의 유지 부재들은 제1 방향과 제2 방향을 가로지르는 제3 방향에서 서로 이격된다. 각 쌍의 유지 부재는 측벽들 상에 각각 배치되고 제2 방향에서 서로 대응한다. 캐리어 플레이트는 수용 공간에 배치되도록 구성되고, 한 쌍의 유지 부재에 의해 지지되도록 구성되며, 플레이트 본체 및 위치 설정 유닛을 포함한다. 플레이트 본체는 웨이퍼를 그 위에서 운반하도록 구성된 운반면을 가지며, 각도 상으로 서로 이격되고 웨이퍼의 두 개의 상이한 반경 방향으로 각각 연장하는 두 개의 슬롯들이 형성되어 있다. 위치 설정 유닛은 웨이퍼가 캐리어 플레이트에서 낙하하는 것을 방지하도록 구성되며, 실질적으로 제3 방향으로 연장하고 슬롯들에 각각 위치가 대응하고 웨이퍼의 외측 림에 접하도록 구성되는 두 개의 위치 설정 부재들을 포함한다.

본 개시의 또 다른 일 측면에 따르면, 웨이퍼를 운반하는 캐리어 플레이트를 그 안에 수용하기 위한 웨이퍼 카세트가 제공된다. 캐리어 플레이트는 웨이퍼를 그 위에서 운반하기 위한 운반면을 가지며, 각도 상으로 서로 이격되고 웨이퍼의 두 개의 반경 방향으로 각각 연장하는 두 개의 슬롯들이 형성되는 플레이트 본체를 포함한다. 웨이퍼 카세트는 하우징, 복수 쌍의 유지 부재들 및 위치 설정 유닛을 포함한다. 하우징은 전방 개구를 갖는 수용 공간을 형성하고 - 전방 개구를 통해 웨이퍼를 운반하는 캐리어 플레이트가 수용 공간에 제1 방향으로 놓임 - 제1 방향을 가로지르는 제2 방향에서 서로 대향하는 두 개의 측벽들을 포함한다. 복수 쌍의 유지 부재들은 제1 방향과 제2 방향을 가로지르는 제3 방향에서 서로 이격된다. 각 쌍의 유지 부재는 측벽들 상에 각각 배치되고 제2 방향에서 위치가 서로 대응한다. 위치 설정 유닛은 각각 슬롯들을 통해 제3 방향으로 연장하고 웨이퍼의 외측 림에 접하도록 구성되는 두 개의 위치 설정 부재들을 포함한다.

본 개시의 다른 특징과 장점은 첨부된 도면을 참조하는 실시예들에 대한 다음의 상세한 설명에서 명백해질 것이다.
도 1은 종래의 웨이퍼 보관 장치의 사시도이다.
도 2는 본 개시의 웨이퍼 보관 장치의 제1 실시예의 개략 사시도이다.
도 3은 웨이퍼 보관 장치의 제1 실시예의 변형된 캐리어 플레이트의 개략 평면도이다.
도 4는 본 개시의 웨이퍼 보관 장치의 제2 실시예의 캐리어 플레이트 및 위치 설정 유닛의 개략 평면도이다.

본 개시가 더 상세하게 기술되기 전에, 적절하다고 간주되는 경우, 대응하거나 유사한 구성 요소들 - 이들은 선택적으로 유사한 특성을 가질 수 있다 - 을 나타내도록, 참조 부호 또는 참조 부호의 끝 부분들이 도면들에서 반복되었음에 유의해야 한다.

도 2를 참조하면, 본 개시에 따른 웨이퍼 보관 장치의 제1 실시예가 도시되어 있다. 웨이퍼 보관 장치는 웨이퍼 카세트(2)와 캐리어 플레이트(3)를 포함한다.

웨이퍼 카세트(2)는 하우징(22), 복수 쌍의 유지 부재(23), 및 커버 플레이트(24)를 포함한다. 하우징(22)은 전방 개구(221) - 이를 통해 웨이퍼(100)가 제1 방향(X)을 따라 수용 공간(21) 내외부로 이동할 수 있음 - 및 제1 방향(X)에서 전방 개구(221)에 대향하는 후방 개구(222)를 갖는 수용 공간(21)을 형성한다. 하우징(22)은 두 개의 측벽들(223)과 상부 벽(224)을 포함한다. 측벽들(223)은 제1 방향(X)을 가로지르는 제2 방향(Y)에서 서로 대향한다. 상부 벽(224)은 측벽들(223)의 상단을 상호 연결하고, 전방 개구(221)와 공간적으로 연통되는 안내 홈(225)을 구비한다.

커버 플레이트(24)는 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)을 가로지르는 제3 방향(Z)에서 안내 홈(225)을 통해 제거 가능하게 연장하고 웨이퍼(100)가 전방 개구(221)를 통해 수용 공간(21)에서 낙하하지 않도록 전방 개구(221)의 일부분을 덮는다. 이 실시예에서, 커버 플레이트(24)는 수직 플레이트부(240) 및 커버 플레이트(24)를 상부 벽(224) 상에 배치하기 위해 수직 플레이트부(240)의 상단에서 연장하는 수평 플랜지부(241)을 포함한다.

측벽들(223) 및 상부 벽(224) 중 어느 하나에는 후속 처리를 위해 웨이퍼(100)를 원하는 위치로 이동시키기 위해 로봇 팔(도시되지 않음)이 개구(226)를 통해 수용 공간(221) 내로 이동할 수 있도록 수용 공간(221) 및 주위 환경과 공간적으로 연통하는 적어도 하나의 개구(226)가 형성될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 이 실시예에서, 상부 벽(224)에는 웨이퍼(100)가 이동될 수 있게 하는 하나의 개구(226)가 형성된다. 본 개시의 주요 특징이 개구(226)의 개수와 위치에 있지는 않으므로 개구(226)가 일부 실시예에서 생략될 수 있음에 유의해야 한다.

복수 쌍의 유지 부재들(23)은 제3 방향(Z)에서 서로 이격되어 있다. 각 쌍의 유지 부재(23)는 측벽들(223) 상에 각각 배치되고 제2 방향(Y)에서 위치가 서로 대응한다.

캐리어 플레이트(3)는 전방 개구(221)를 통해 수용 공간(21) 내부에 놓이고, 한 쌍의 유지 부재(23)에 의해 지지되며, 플레이트 본체(31) 및 위치 설정 유닛(4)을 포함한다. 웨이퍼 보관 장치가 다른 쌍의 유지 부재(23)에 의해 지지되는 복수의 캐리어 플레이트(3)를 포함할 수 있고 캐리어 플레이트(3)의 개수는 여기에 설명된 예에 한정되지 않음을 유의해야 한다.

캐리어 플레이트(3)의 플레이트 본체(31)는 운반면(310), 두 개의 측면 가장자리(311), 후면 가장자리(313) 및 두 개의 슬롯(33)을 갖는다.

이 실시예에서, 플레이트 본체(31)에는 이를 통해 연장하는 복수의 관통 구멍(315)이 형성되므로 플레이트 본체(31)의 무게가 감소될 수 있다. 운반면(310)은 웨이퍼(100)를 그 위에서 운반하도록 구성된다. 측면 가장자리들(311)은 하우징(22)의 측벽들(223)에 위치가 각각 대응한다. 후면 가장자리(313)는 하우징(2)의 후방 개구(222)에 인접하되 제1 방향(X)에서 전방 개구(221)에 대향하도록 배치되고, 두 개의 경사진 가장자리부들(312) 및 상호 연결 가장자리부(316)를 포함한다. 경사진 가장자리부들(312)은 제1 방향(X)에 대해 경사지고 측면 가장자리들(311)에 각각 연결된다. 상호 연결 가장자리부(316)는 제2 방향(Y)을 따라 연장하고 경사진 가장자리부들(312)을 상호 연결한다. 제2 방향(Y)에서 측면 가장자리들(311) 사이의 거리는 웨이퍼(100)의 직경보다 약간 더 크며, 캐리어 플레이트(3)는, 그 위에 배치된 웨이퍼(100)가 측면 가장자리들(311)에서 낙하하는 것을 방지하도록 측면 가장자리들(311)에서 제3 방향(Z)으로 각각 연장하는 두 개의 리브(rib)(32)를 더 포함한다는 점에 유의해야 한다. 각각의 리브(32)의 구성은 여기 기술된 예에 한정되지 않고, 제1 방향(X)으로 배열된 복수의 이격된 요소들로 변경될 수 있음에 유의해야 한다.

이 실시예에서, 슬롯들(33)은 경사진 가장자리부들(312)에 각각 형성되고 웨이퍼(100)의 두 개의 상이한 반경 방향(R1, R2)으로 각각 연장한다. 즉, 슬롯들(33)은 플레이트 본체(31)의 외주에 형성된다. 구체적으로, 슬롯들(33)은 제1 방향(X)으로 웨이퍼(100)의 중심(O)을 통해 연장하는 수평선(L)을 기준으로 플레이트 본체(31)에 대칭적으로 형성되므로 수평선(L)과 슬롯들(33) 중 하나의 슬롯의 중심선(L1) 사이에 형성되는 제1 끼인각(included angle)(θ)이 수평선(L)과 슬롯들(33) 중 다른 하나의 슬롯의 중심선(L2) 사이에 형성되는 제2 끼인각(θ)과 동일하다. 또한, 슬롯들(33)의 중심선들(L1, L2) 사이에 형성되는 끼인각(θ2)은 20 도보다 크고 180 도보다 작다.

위치 설정 유닛(4)은, 실질적으로 각각 제3 방향(Z)으로 연장하고 반경 방향으로 위치가 슬롯들(33)에 대응하며 웨이퍼(100)가 캐리어 플레이트(31)에서 낙하하는 것을 방지하도록 웨이퍼(100)의 외측 림(rim)에 접하게 구성되는 두 개의 위치 설정 부재들(41, 42)을 포함한다. 위치 설정 부재들(41, 42)은 운반면(310)에서 위쪽으로 연장하고 슬롯들(33)의 내측 단부를 각각 형성한다. 이 실시예에서, 위치 설정 부재들(41, 42)은 프레스 가공으로 캐리어 플레이트(31) 상에 형성되고, 슬롯들(33)에 각각 상보적인 형상을 갖는다. 대안적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 위치 설정 부재들(41, 42)은 각각 슬롯들(33)을 통해 연장하는 원통형 기둥일 수 있다.

다시 도 2를 참조하면, 각각의 위치 설정 부재(41, 42)와 운반면(310) 사이에 형성되는 끼인각(θ1)의 범위는 90도 이상 110도 이하이다. 위치 설정 부재들(41, 42)의 구성 덕분에, 캐리어 플레이트(3)에서 웨이퍼(100)를 제거하는 것이 비교적 편리하다. 또한, 종래의 웨이퍼 보관 장치와 비교할 때, 웨이퍼(100)의 외측 림이 위치 설정 부재들(41, 42)에 접하므로, 캐리어 플레이트(3)에 상대적인 웨이퍼(100)의 움직임이 방지될 수 있다.

도 4를 참조하면, 본 개시의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 보관 장치의 평면도가 도시되어 있다. 제2 실시예는 제1 실시예와 유사하며, 제1 실시예와 제2 실시예의 차이점은 다음과 같다. 제2 실시예에서, 위치 설정 유닛(4)은 하우징(22)의 상부 벽(224)에서부터 수용 공간(21) 내부로 그리고 슬롯들(33)을 통해 각각 제3 방향(Z)으로 연장하고, 웨이퍼(100)가 캐리어 플레이트(3)에서 낙하하는 것을 방지하도록 웨이퍼(100)의 외측 림에 접하는, 두 개의 위치 설정 부재들(43, 44)을 포함한다. 이 실시예에서, 각각의 위치 설정 부재(43, 44)는 원통형 기둥으로 구성된다.

요약하면, 캐리어 플레이트(3)의 경사진 가장자리부들(312)에 각각 형성된 슬롯들(33) 덕분에, 캐리어 플레이트(3) 상에 배치되도록, 웨이퍼(100)의 외측 림이 위치 설정 부재들(41, 42, 43, 44)과 접하도록 이동 가능하다. 따라서, 웨이퍼 보관 장치가 운반되거나 캐리어 플레이트(3)가 하우징(22)의 수용 공간(21) 내외부로 이동될 때 웨이퍼(100)의 마모가 감소되고 캐리어 플레이트(3)로부터 웨이퍼(100)의 낙하가 방지될 수 있다.

상기 설명에서, 해설의 목적으로, 실시예들에 대한 완전한 이해를 제공하기 위해 다수의 구체적인 세부 사항들이 개시되었다. 그러나, 통상의 기술자에게는, 하나 이상의 다른 실시예가 이들 구체적인 세부 사항 중 일부 없이도 실시될 수 있음이 명백할 것이다. 본 명세서 전체에서 "하나의 실시예", "어느 실시예", 서수 표시를 갖는 실시예 등에 관한 언급은 특정한 특징, 구조 또는 특성이 본 개시의 실시에 포함될 수 있음을 의미한다는 것을 또한 유의해야 한다. 상기 설명에서, 본 개시를 간소화하고 다양한 발명적 측면을 이해하는 것을 돕기 위해 다양한 특징이 때때로 단일 실시예, 도면 또는 그에 대한 설명에 함께 묶였다는 점과, 적절한 경우 본 개시의 실시에서, 한 실시예로부터의 하나 이상의 특징 또는 구체적인 세부 사항이 다른 실시예로부터의 하나 이상의 특징 또는 구체적인 세부 사항과 함께 실시될 수 있다는 점을 또한 유의해야 한다.

Claims

웨이퍼 보관 장치로서,
웨이퍼 카세트를 포함하되, 상기 웨이퍼 카세트는,
전방 개구를 갖는 수용 공간을 형성하고 - 상기 전방 개구를 통해 웨이퍼가 제1 방향에서 상기 수용 공간 내외로 이동할 수 있음 - 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향에서 서로 대향하는 두 개의 측벽들을 포함하는 하우징;
상기 제1 방향과 상기 제2 방향을 가로지르는 제3 방향에서 서로 이격된 복수 쌍의 유지 부재들 - 각 쌍의 상기 유지 부재는 상기 측벽들에 각각 배치되고 상기 제2 방향에서 위치가 서로 대응함; 및
상기 전방 개구를 통해 상기 수용 공간 내에 놓이고, 한 쌍의 상기 유지 부재에 의해 지지되고, 웨이퍼를 그 위에 운반하도록 구성된 운반면을 갖는 플레이트 본체, 상기 웨이퍼의 두 개의 상이한 반경 방향으로 각각 연장하는 두 개의 슬롯들이 형성된 외주, 및 실질적으로 각각 상기 제3 방향으로 연장하고 반경 방향에서 위치가 상기 슬롯들에 대응하고 상기 웨이퍼의 외측 림에 접하도록 구성되는 두 개의 위치 설정 부재들을 포함하는 위치 설정 유닛을 포함하는 적어도 하나의 캐리어 플레이트
를 포함하는, 웨이퍼 보관 장치.
제1항에서,
상기 위치 설정부재들은 상기 적어도 하나의 캐리어 플레이트 상에 형성되고, 상기 슬롯들에 각각 상보적인 형상을 갖는, 웨이퍼 보관 장치.
제1항에서,
상기 플레이트 본체는 상기 제1 방향에서 상기 하우징의 상기 전방 개구에 대향하도록 배치되고 상기 제1 방향에 대해 경사지는 두 개의 경사진 가장자리부들을 포함하는 후면 가장자리 및 상기 제2 방향을 따라 연장하고 상기 경사진 가장자리부들을 상호 연결하는 상호 연결 가장자리부를 포함하되, 상기 슬롯들은 상기 경사진 가장자리부들에 각각 형성되는, 웨이퍼 보관 장치.
제1항에서,
상기 위치 설정 부재들은 상기 운반면에서 위쪽으로, 그리고 상기 슬롯들을 통해, 각각 연장하는, 웨이퍼 보관 장치.
제4항에서,
각각의 상기 위치 설정 부재와 상기 운반면 사이에 형성되는 끼인각의 범위는 90도 이상 110 도 이하인, 웨이퍼 보관 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에서,
상기 슬롯들은 상기 제1 방향으로 상기 웨이퍼의 중심을 통해 연장하는 수평선을 기준으로 상기 플레이트 본체에 대칭적으로 형성되어, 상기 수평선과 상기 슬롯들 중 하나의 슬롯의 중심선 사이에 형성되는 제1 끼인각이 상기 수평선과 상기 슬롯들 중 다른 하나의 슬롯의 중심선 사이에 형성되는 제2 끼인각과 동일한, 웨이퍼 보관 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에서,
상기 슬롯들의 중심선들 사이에 형성되는 끼인각은 20도보다 크고 180도보다 작은, 웨이퍼 보관 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에서,
상기 하우징은 상기 측벽들의 상단을 상호 연결하고 상기 전방 개구와 공간적으로 연통하는 안내 홈이 형성된 상부 벽을 더 포함하고, 상기 웨이퍼 카세트는 상기 제3 방향으로 상기 안내 홈을 통해 제거 가능하게 연장하고 상기 웨이퍼가 상기 전방 개구를 통해 상기 수용 공간에서 낙하하지 않도록 상기 전방 개구의 일부분을 덮는 커버 플레이트를 더 포함하는, 웨이퍼 보관 장치.
웨이퍼를 운반하도록 구성되고 웨이퍼 카세트 내에 배치되는 캐리어 플레이트로서, 상기 웨이퍼 카세트는, 전방 개구를 갖는 수용 공간을 형성하고 - 상기 전방 개구를 통해 상기 캐리어 플레이트가 제1 방향에서 상기 수용 공간 내에 놓임 - 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향에서 서로 대향하는 두 개의 측벽들을 포함하는 하우징; 및 상기 제1 방향과 상기 제2 방향을 가로지르는 제3 방향에서 서로 이격된 복수 쌍의 유지 부재들 - 각 쌍의 상기 유지 부재는 상기 측벽들에 각각 배치되고 상기 제2 방향에서 위치가 서로 대응하며 상기 캐리어 플레이트는 한 쌍의 상기 유지 부재에 의해 지지되도록 구성됨;을 포함하고,
상기 웨이퍼를 그 위에 운반하도록 구성된 운반면을 가지며, 서로 각도 상으로(angularly) 이격되고 상기 웨이퍼의 두 개의 상이한 반경 방향에서 각각 연장하는 두 개의 슬롯들이 형성되는 플레이트 본체; 및
상기 웨이퍼가 상기 캐리어 플레이트에서 낙하하는 것을 방지하도록 구성되고, 실질적으로 각각 상기 제3 방향으로 연장하고 반경 방향에서 위치가 상기 슬롯들에 대응하고 상기 웨이퍼가 상기 캐리어 플레이트에서 낙하하는 것을 방지하도록 상기 웨이퍼의 외측 림에 접하도록 구성되는 두 개의 위치 설정 부재들을 포함하는 위치 설정 유닛
을 포함하는, 캐리어 플레이트.
제9항에서,
상기 위치 설정 부재들은 상기 슬롯들에 각각 상보적인 형상을 갖는, 캐리어 플레이트.
제9항에서,
상기 플레이트 본체는 상기 제1 방향에서 상기 하우징의 상기 전방 개구에 대향하도록 배치되고 상기 제1 방향에 대해 경사지는 두 개의 경사진 가장자리부들 및 상기 제2 방향을 따라 연장하고 상기 경사진 가장자리부들을 상호 연결하는 상호 연결 가장자리부를 포함하되, 상기 슬롯들은 상기 경사진 가장자리부들에 각각 형성되는, 캐리어 플레이트.
제9항에서,
상기 위치 설정 부재들은 상기 플레이트 본체 상에 형성되고 상기 운반면에서 멀어지게 돌출하는, 캐리어 플레이트.
제12항에서,
각각의 상기 위치 설정 부재들과 상기 운반면 사이에 형성되는 끼인각의 범위는 90도 이상 110도 이하인, 캐리어 플레이트.
제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에서,
상기 슬롯들은 상기 제1 방향으로 상기 웨이퍼의 중심을 통해 연장하는 수평선을 기준으로 상기 플레이트 본체에 대칭적으로 형성되어, 상기 수평선과 상기 슬롯들 중 하나의 슬롯의 중심선 사이에 형성되는 제1 끼인각이 상기 수평선과 상기 슬롯들 중 다른 하나의 슬롯의 중심선 사이에 형성되는 제2 끼인각과 동일한, 캐리어 플레이트.
제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에서,
상기 슬롯들의 중심선들 사이에 형성되는 끼인각은 20도보다 크고 180도보다 작은, 캐리어 플레이트.
웨이퍼를 운반하는 캐리어 플레이트를 그 안에 수용하기 위한 웨이퍼 카세트로서, 상기 캐리어 플레이트는 상기 웨이퍼를 그 위에서 운반하기 위한 운반면을 가지며, 서로 각도 상으로(angularly) 이격되고 상기 웨이퍼의 두 개의 상이한 반경 방향에서 각각 연장하는 두 개의 슬롯들이 형성되는 플레이트 본체를 포함하고, 상기 웨이퍼 카세트는,
전방 개구를 갖는 수용 공간을 형성하고 - 상기 전방 개구를 통해 상기 웨이퍼를 운반하는 상기 캐리어 플레이트가 제1 방향으로 상기 수용 공간 내에 놓임 - 상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향에서 서로 대향하는 두 개의 측벽들을 포함하는 하우징, 및
상기 제1 방향과 상기 제2 방향을 가로지르는 제3 방향에서 서로 이격되는 복수 쌍의 유지 부재들 - 각 쌍의 상기 유지 부재들은 상기 측벽들 상에 각각 배치되고 상기 제2 방향에서 위치가 서로 대응함; 및
각각 상기 슬롯들을 통해 상기 제3 방향으로 연장하고 상기 웨이퍼가 상기 캐리어 플레이트에서 낙하하는 것을 방지하기 위해 상기 웨이퍼의 외측 림에 접하도록 구성되는 두 개의 위치 설정 부재들을 포함하는 위치 설정 유닛
을 포함하는, 웨이퍼 카세트.
제16항에서,
상기 웨이퍼 카세트의 상기 하우징은 상기 측벽들의 상단을 상호 연결하는 상부 벽을 더 포함하고, 상기 위치 설정 부재들은 상기 하우징의 상기 상부 벽에서 상기 수용 공간 내로 상기 제3 방향으로 연장하는, 웨이퍼 카세트.
제16항 또는 제17항에서,
상기 웨이퍼 카세트의 상기 하우징은, 상기 측벽들을 상호 연결하고 상기 전방 개구와 공간적으로 연통하는 안내 홈이 형성된 상부 벽을 더 포함하고, 상기 웨이퍼 카세트는 상기 제3 방향으로 상기 안내 홈을 통해 제거 가능하게 연장하고 상기 웨이퍼와 상기 캐리어 플레이트가 상기 전방 개구를 통해 상기 수용 공간에서 낙하하지 않도록 상기 전방 개구의 일부분을 덮는 커버 플레이트를 더 포함하는, 웨이퍼 카세트.
제19항에서,
상기 커버 플레이트는 수직 플레이트부 및 상기 커버 플레이트를 상기 상부 벽에 배치하기 위해 상기 커버 플레이트의 상기 수직 플레이트부의 상단에서 연장하는 수평 플랜지부를 포함하는, 웨이퍼 카세트.
제18항에서,
상기 상부 벽에는 상기 수용 공간 및 주위 환경과 공간적으로 연통하는 적어도 하나의 개구가 형성되는, 웨이퍼 카세트.