KR20190030942A - 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기 - Google Patents

슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기 Download PDF

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KR20190030942A
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Abstract

슬롯 구조체가 제공된다. 슬롯 구조체는 웨이퍼가 내부에 수용되는 케이스의 내부에 설치되어 웨이퍼를 지지하기 이해서 케이스 내부에 형성된 슬롯부 및 웨이퍼의 직경에 따라 슬롯부에 선택적으로 착탈 가능하고, 일면에 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되는 테이프 프레임을 포함한다.

Description

슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기{SLOT STRUCTURE AND WAFER CONTAINER HAVING THE SAME}
본 발명은 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조 공정은, 일반적으로 다 결정 실리콘으로부터 단결정 실리콘 잉곳을 제조하는 단결정 제조공정과, 이러한 잉곳을 슬라이스하고 박판상의 웨이퍼를 경면 연마하는 웨이퍼 가공공정, 그리고 경면 연마된 웨이퍼 상에 려러 가지 디바이스를 제조하는 디바이스 제조공정으로 대별될 수 있다. 그리고 이러한 각각의 공정은 제조 또는 처리 설비의 공간적 문제와 제조 공정에서의 시간적 문제로 인하여, 각 공정에서의 반제품을 수납하여 이송시키는 것이 일반적이다.
예를 들면 웨이퍼 가공에 의하여 경면 연마하기 까지의 공정과 웨이퍼 상에 여러 가지 디바이스를 제조하는 공정은 대부분의 경우 다른 생산 라인에서 이루어지는 것이 일반적이다. 따라서 다수의 웨이퍼를 동시에 수납하여 보관할 수 있는 용기에 수납하여 운반이 이루어지고, 원하는 장소에서 다시 후처리 공정이 수행된다. 이러한 점은 실리콘 웨이퍼 뿐만 아니라 사파이어 웨이퍼에 대해서도 동일하게 적용되고 있다.
이와 같이 웨이퍼를 수납한 상태로 운반하는 과정 등에 있어서는 실질적으로 내부에 수납된 웨이퍼가 가장 안정한 상태로 지지되는 것이 요구된다. 예를 들어 내부의 유격 등으로 인하여 웨이퍼가 유동하게 되면 합성수지로 만들어지는 용기와의 사이에서 접촉에 의한 파티클이 발생할 수 있고, 이렇게 발생되는 파티클은 웨이퍼의 품질에 나쁜 영향을 미치게 된다.
그리고 웨이퍼 보관 용기 내부에 수납되는 복수 개의 웨이퍼는 정해진 정확한 위치에 안착되어야 하는데, 만일 정확한 위치에 안착되지 못하면 용기에 웨이퍼를 수납하는 것에도 문제가 발생할 뿐만 아니라 상술한 문제의 발생 우려도 있기 때문에 반드시 정확한 위치에 안착되어야 한다.
또한, 웨이퍼 보관 용기 내부에 수납되는 복수 개의 웨이퍼는 그 직경이 바뀔 수 있는데 매번 웨이퍼 보관 용기의 크기를 바꾸는 것은 비용적인 손실이 발생할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 크기가 다른 웨이퍼를 용이하게 수납하여 웨이퍼가 수납된 상태에서 내부의 유격을 최소화함으로써 용기 내부에서의 유동을 최소화할 수 있는 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 용기를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면 웨이퍼가 내부에 수용되는 케이스의 내부에 설치되어 상기 웨이퍼를 지지하기 위해서 상기 케이스 내부에 형성된 슬롯부 및 상기 웨이퍼의 직경에 따라 상기 슬롯부에 선택적으로 착탈 가능하고, 일면에 상기 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되는 테이프 프레임을 포함하는 슬롯 구조체를 제공한다.
이때, 상기 슬롯부는 상기 케이스의 내측면에 돌출 형성된 슬롯 및 상기 테이프 프레임의 적어도 일부가 지지되도록 상기 슬롯의 일측에 상기 슬롯의 돌출 방향과 수직하게 돌출 형성되어 상기 테이프 프레임과 선 접촉되는 돌출부를 포함할 수 있다.
이때, 상기 슬롯부는 상기 케이스의 내측면에 일체로 형성될 수 있다.
이때, 상기 테이프 프레임은 링 형상으로 형성되고, 내부에 상기 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되도록 단차지게 형성될 수 있다.
이때, 상기 테이프 프레임은 링 형상으로, 상기 슬롯부에 적어도 일부가 지지되는 지지부재 및 상기 지지부재의 반경방향 내측으로 연장되어 상기 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되는 안착부재를 포함할 수 있다.
이때, 상기 지지부재 및 상기 안착부재는 단차지도록 형성되어 상기 안착부재에 상기 웨이퍼가 안착된 상태로 고정될 수 있다.
이때, 상기 지지부재는 외측면의 적어도 일부가 상기 케이스의 내측면과 대응하는 직선 형상으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 안착부재는 합성수지로 형성될 수 있다.
이때, 상기 슬롯부 및 상기 테이프 프레임은 복수개로 형성되고, 상기 복수개의 슬롯부는 상기 케이스의 내측면에 소정의 간격으로 이격 배치되고 상기 복수개의 테이프 프레임은 상기 슬롯부에 선택적으로 착탈 가능할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면 웨이퍼가 내부에 수용되고 일측면이 개방된 케이스; 상기 케이스의 내측면에 형성된 슬롯부 및 상기 웨이퍼의 직경에 따라 상기 슬롯부에 선택적으로 착탈 가능하고 일면에 상기 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되는 테이프 프레임을 포함하는 슬롯 구조체; 및 상기 케이스의 개방된 일측면에 결합되는 덮개를 포함하는 웨이퍼 보관 용기를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기는 웨이퍼를 수납한 상태로 운반하는 과정에 있어서 실질적으로 내부에 수납된 웨이퍼가 가장 안정된 상태로 지지될 수 있도록 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기는 내부의 유격으로 인하여 웨이퍼가 유동하는 것을 방지하여 용기와 웨이퍼 사이의 접촉으로 인한 파티클의 발생을 방지할 수 있고 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기는 크기가 다른 웨이퍼를 용이하게 수납할 수 있고, 웨이퍼가 수납된 상태에서 내부의 유격을 최소화함으로써 웨이퍼 및 용기 내부의 유동을 보다 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기는 지지부재 및 안착부재가 단차지게 형성됨으로써 안착부재에 안착된 웨이퍼가 지지부재에 의해 형성된 단턱 형상의 걸림부에 의해 안착부재에 안착된 상태로 고정될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체 및 이를 포함하는 웨이퍼 보관 용기는 지지부재의 외측부에 형성된 지지부가 케이스의 내측면과 대응되는 형상으로 형성됨으로써 테이프 프레임은 슬롯부에 지지된 상태에서 테이프 프레임에 수납된 웨이퍼가 내부의 유격을 최소화함으로써 웨이퍼 및 용기 내부의 유동을 보다 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체를 포함하는 웨이퍼 보관 용기를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체의 슬롯부를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체에 테이프 프레임이 설치된 것을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체의 돌출부를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체의 테이프 프레임을 도시한 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체를 포함하는 웨이퍼 보관 용기를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체를 도시한 사시도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체를 설명함에 있어, 본 명세서에서 슬롯 구조체에 웨이퍼가 적재되는 방향을 상측이라 하고, 그 반대 방향을 하측이라고 규정하여 설명한다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체(30)를 포함하는 웨이퍼 보관 용기(1)는 케이스(10), 슬롯 구조체(30) 및 덮개(20)를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에서 웨이퍼 보관 용기(1)의 내부에 웨이퍼를 수납한 상태로 운반하는 과정에 있어서 실질적으로 내부에 수납된 웨이퍼가 가장 안정된 상태로 지지될 수 있도록 한다.
이를 통해 본 발명의 웨이퍼 보관 용기(1)는 내부의 유격으로 인하여 웨이퍼가 유동하는 것을 방지하여 용기와 웨이퍼 사이의 접촉으로 인한 파티클의 발생을 방지할 수 있고 이를 통해 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 케이스(10)는 내부에 웨이퍼가 수용될 수 있도록 중공부가 형성될 수 있다. 또한, 케이스(10)는 일측면이 개방되고, 상부면(14), 하부면(16), 내부면(18) 및 마주보는 한 쌍의 측면(12)을 포함하여 통 형상으로 형성될 수 있다. 이때 케이스(10)의 일측면에 개방되면 웨이퍼를 슬롯 구조체(30)에 끼워 넣어 적층시키거나 적층된 웨이퍼를 반출할 수 있다.
한편, 도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 덮개(20)는 케이스(10)의 개방된 일측면에 결합되면 케이스(10)를 밀폐시킴으로써 내부에 적층된 웨이퍼를 보관 또는 운반할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체(30)는 슬롯부(50) 및 테이프 프레임(70)을 포함할 수 있다. 이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체(30)는 크기가 다른 웨이퍼를 용이하게 수납할 수 있고, 웨이퍼가 수납된 상태에서 내부의 유격을 최소화함으로써 용기 내부에서의 웨이퍼의 유동을 보다 방지할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체의 슬롯부를 도시한 사시도이다.
한편, 도 3을 참고하면 본 발명의 일 실시예에서 슬롯부(50)는 슬롯(52) 및 돌출부(54)를 포함할 수 있다. 이때 슬롯(52)은 케이스(10)의 내측면 예를 들어 도 2에 도시된 바와 같이 케이스의 한 쌍의 측면(12)에 돌출 형성될 수 있다. 또한, 슬롯(52)은 케이스(10)의 측면(12)과 일체로 형성될 수 있다.
도 4를 참고하면 본 발명의 일 실시예에서 케이스(10)의 한 쌍의 측면(12) 중 적어도 하나는 라운드부(12a) 회전방지부(12b) 및 경사부(12c)를 포함할 수 있다. 이때 라운드부(12a)는 회전방지부(12b)와 연결되고 곡선 형상으로 형성될 수 있다.
또한 라운드부(12a)는 테이프 프레임(70)이 삽입될 때 케이스(10)의 개방된 일측에 형성됨으로써 테이프 프레임이 손상되지 않고 용이하게 케이스 내부에 삽입될 수 있도록 한다.
또한 회전방지부(12b)는 라운드부(12a) 및 경사부(12c)와 연결되고 직선 형상으로 형성될 수 있다. 이때 회전방지부(12b)는 테이프 프레임(70)이 케이스(10) 내부에서 회전되는 것을 방지할 수 있도록 형성될 수 있다.
한편 경사부(12c)는 회전방지부(12b)와 연결되어 테이프 프레임(70)이 케이스(10) 내부에 안착될 수 있도록 테이프 프레임과 대응되도록 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 슬롯(52)은 복수 개로 형성될 수 있다. 복 수개의 슬롯(52)은 상하 방향으로 소정의 간격으로 이격 배치될 수 있다. 이때 소정의 간격은 1.9 mm일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 또한 본 발명의 일 실시예에서 슬롯(52)은 소정의 길이만큼 돌출 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 돌출부(54)는 슬롯(52)의 일측 예를 들어 도 5에 도시된 바와 같이 슬롯의 상부면에 형성될 수 있다. 이때 돌출부(54)는 슬롯(52)의 돌출 방향과 수직하게 즉, 상측으로 돌출 형성될 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체(30)는 돌출부(54)를 포함하여 슬롯(52)에 지지되는 테이프 프레임(70)이 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 돌출부(54)는 접촉부(54b) 및 가이드부(54a)를 포함할 수 있다. 접촉부(54b) 및 가이드부(54a)는 도 5에 도시된 바와 같이 라운드 형상으로 형성될 수 있다.
이때 접촉부(54b)는 테이프 프레임(70)이 선 접촉될 수 있도록 형성될 수 있다. 더욱 구체적으로 도 5에 도시된 바와 같이 접촉부(54b)는 슬롯(52)의 상부면에 돌출되어 단부가 곡선 형상으로 형성됨으로써 지지부(72a)와 선 접촉될 수 있다.
또한 접촉부(54b)를 따라 양측면에 가이드부(54a)가 형성될 수 있다. 이때 가이드부(54a)는 접촉부(54b)와 연결되고 경사지도록 형성됨으로써 웨이퍼 삽입시 웨이퍼를 가이드할 수 있다.
또한, 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 돌출부(54)는 두 개로 슬롯(52)의 상부면에 이격 배치될 수 있다. 이때 돌출부(54)는 복수 개로 형성될 수도 있다.
도 2 및 도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 테이프 프레임(70)은 지지부재(72) 및 안착부재(74)를 포함할 수 있다. 테이프 프레임(70)은 슬롯(52)에 선택적으로 착탈 가능하고, 일면에 웨이퍼의 적어도 일부가 지지될 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 슬롯 구조체(30)는 테이프 프레임(70)을 구비하여 크기가 다른 웨이퍼를 용이하게 수납하여 웨이퍼가 수납된 상태에서 내부의 유격을 최소화함으로써 용기 내부에서 웨이퍼의 유동을 보다 방지할 수 있다.
도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 테이프 프레임(70) 즉, 지지부재(72) 및 안착부재(74)는 링 형상으로 형성될 수 있다. 또한 안착부재(74)는 지지부재(72)의 내부면에 반경방향 내측으로 연장 형성될 수 있다.
이때, 지지부재(72) 및 안착부재(74)는 단차지게 형성됨으로써 안착부재에 안착된 웨이퍼가 지지부재에 의해 형성된 단턱 형상의 걸림부(72b)에 의해 안착부재에 안착된 상태로 고정될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 지지부재(72)의 외측부에 형성된 지지부(72a)는 케이스(10)의 측면(12)인 회전방지부(12b) 및 내부면(18)과 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 케이스(10)의 측면(12) 및 내부면(18)이 평면 형상으로 형성될 수 있고, 이때 지지부(72a)는 상기 측면과 내부면의 형상과 대응되도록 단부면이 직선 형상으로 형성될 수 있다.
이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 테이프 프레임(70)은 슬롯부(50)에 지지된 상태에서 테이프 프레임에 수납된 웨이퍼가 내부의 유격을 최소화함으로써 용기 내부에서 웨이퍼의 유동을 보다 방지할 수 있다.
도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 안착부재(74)는 링 형상으로 지지부재(72)의 내부에 형성될 수 있다. 안착부재(74)의 상부면에 웨이퍼의 가장자리 부분이 안착되어 웨이퍼가 수납된 상태에서 고정될 수 있도록 한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에서 안착부재(74)는 합성수지로 형성될 수 있다. 이를 통해 안착부재(74)에 안착된 웨이퍼가 안착부재와의 마찰력에 의해 미끄러짐을 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1 : 웨이퍼 보관 용기 10 : 케이스
12 : 측면 12a : 라운드부
12b : 회전방지부 12c : 경사부
14 : 상부면 16 : 하부면
18 : 내부면 20 : 덮개
30 : 슬롯 구조체 50 : 슬롯부
52 : 슬롯 54 : 돌출부
70 : 테이프 프레임 72 : 지지부재
72a : 지지부 72b : 걸림부
74 : 안착부재

Claims (10)

  1. 웨이퍼가 내부에 수용되는 케이스의 내부에 설치되어 상기 웨이퍼를 지지하는 슬롯 구조체로서,
    상기 슬롯 구조체는
    상기 케이스 내부에 형성된 슬롯부 및
    상기 웨이퍼의 직경에 따라 상기 슬롯부에 선택적으로 착탈 가능하고, 일면에 상기 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되는 테이프 프레임을 포함하는 슬롯 구조체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 슬롯부는
    상기 케이스의 내측면에 돌출 형성된 슬롯 및
    상기 테이프 프레임의 적어도 일부가 지지되도록 상기 슬롯의 일측에 상기 슬롯의 돌출 방향과 수직하게 돌출 형성되어 상기 테이프 프레임과 선 접촉되는 돌출부를 포함하는 슬롯 구조체.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 슬롯부는 상기 케이스의 내측면에 일체로 형성되는 슬롯 구조체.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 테이프 프레임은 링 형상으로 형성되고, 내부에 상기 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되도록 단차지게 형성되는 슬롯 구조체.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 테이프 프레임은 링 형상으로,
    상기 슬롯부에 적어도 일부가 지지되는 지지부재 및
    상기 지지부재의 반경방향 내측으로 연장되어 상기 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되는 안착부재를 포함하는 슬롯 구조체.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 지지부재 및 상기 안착부재는 단차지도록 형성되어 상기 안착부재에 상기 웨이퍼가 안착된 상태로 고정되는 슬롯 구조체.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 지지부재는 외측면의 적어도 일부가 상기 케이스의 내측면과 대응하는 직선 형상으로 형성되는 슬롯 구조체.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 안착부재는 합성수지로 형성되는 슬롯 구조체.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 슬롯부 및 상기 테이프 프레임은 복수개로 형성되고, 상기 복수개의 슬롯부는 상기 케이스의 내측면에 소정의 간격으로 이격 배치되고 상기 복수개의 테이프 프레임은 상기 슬롯부에 선택적으로 착탈 가능한 슬롯 구조체.
  10. 웨이퍼가 내부에 수용되고 일측면이 개방된 케이스;
    상기 케이스의 내측면에 형성된 슬롯부 및 상기 웨이퍼의 직경에 따라 상기 슬롯부에 선택적으로 착탈 가능하고 일면에 상기 웨이퍼의 적어도 일부가 지지되는 테이프 프레임을 포함하는 슬롯 구조체; 및
    상기 케이스의 개방된 일측면에 결합되는 덮개를 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210071868A (ko) * 2018-10-29 2021-06-16 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기의 성형 방법, 금형 및 기판 수납 용기
KR20210082336A (ko) * 2019-12-24 2021-07-05 파워테크 테크놀로지 인코포레이티드 웨이퍼 보관 장치, 캐리어 플레이트 및 웨이퍼 카세트

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990037214A (ko) * 1997-10-20 1999-05-25 스탠 게이어 최소접촉을 지닌 웨이퍼 캐리어
KR100557857B1 (ko) * 2004-06-04 2006-03-10 주식회사 테라세미콘 반도체 제조장치의 웨이퍼 보트
KR20140039137A (ko) * 2011-01-05 2014-04-01 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 기판 조작 장치 및 방법
KR20150124743A (ko) * 2014-04-29 2015-11-06 삼성전자주식회사 웨이퍼 수납장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990037214A (ko) * 1997-10-20 1999-05-25 스탠 게이어 최소접촉을 지닌 웨이퍼 캐리어
KR100557857B1 (ko) * 2004-06-04 2006-03-10 주식회사 테라세미콘 반도체 제조장치의 웨이퍼 보트
KR20140039137A (ko) * 2011-01-05 2014-04-01 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 기판 조작 장치 및 방법
KR20150124743A (ko) * 2014-04-29 2015-11-06 삼성전자주식회사 웨이퍼 수납장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210071868A (ko) * 2018-10-29 2021-06-16 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기의 성형 방법, 금형 및 기판 수납 용기
KR20210082336A (ko) * 2019-12-24 2021-07-05 파워테크 테크놀로지 인코포레이티드 웨이퍼 보관 장치, 캐리어 플레이트 및 웨이퍼 카세트

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