JP2002240883A - ダイシングウェーハ収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイシングウェーハの収納および取出し作業
が容易であり、かつ、複数のダイシングウェーハを周方
向に位置を揃えて収納できるダイシングウェーハ収納容
器を提供する。 【解決手段】 ダイシングフレームＡにダイシングフィ
ルムＢを介して支持された状態のダイシングウェーハＣ
の複数を容器本体２の収納筒部２Ａに収納する際、収納
筒部２Ａの内周面に突設された位置決めリブ２Ｌが各ダ
イシングフレームＡを周方向に位置決めする。このた
め、ダイシングウェーハＣの複数を各ダイシングフレー
ムＡの位置決めノッチ等が揃うように収納することが可
能となり、ダイシング工程に好適である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハの
ダイシング工程において、ダイシングフレームにダイシ
ングフィルムを介して支持された状態の半導体ウェーハ
（以下、ダイシングウェーハという）を複数枚まとめて
搬送する際などに使用するダイシングウェーハ収納容器
に関し、詳しくは、ダイシングウェーハの収納、搬送、
取出し等の作業に好適なダイシングウェーハ収納容器に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、インゴットからワイヤーソー等
によりスライスされた半導体ウェーハは、両面が平面研
削された後、少なくとも片側の表面が鏡面にポリッシン
グ加工され、その表面に回路パターンが形成される。そ
して、この半導体ウェーハは、ダイシング工程におい
て、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して
支持された状態で多数のチップにダイシングされる。

【０００３】ここで、前記ダイシングフィルム上に支持
される前の単体の半導体ウェーハは、例えばＵＳＰ４，
７８７，５０８や特許第２９４１１２５号に記載のよう
な専用の収納容器に複数枚積み重ねて収納され、この状
態で搬送、保管される。しかしながら、この種の収納容
器は、単体の半導体ウェーハを収納するものであって、
ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持
された状態のダイシングウェーハを収納するには適して
いない。このため、前記ダイシング工程で取扱われるダ
イシングウェーハは、挟み板の間に複数枚重ねてラッピ
ングフィルムにより梱包され、この状態で搬送、保管さ
れているのが実情である。このような事情から、ダイシ
ングウェーハの搬送、保管に適した収納容器が要望され
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記ダイシ
ング工程においては、ダイシングフレームを位置決めノ
ッチ等により周方向に位置決めした状態でダイシング加
工が施される。このため、ダイシングウェーハの収納容
器としては、ダイシングフレームの位置決めノッチ等が
揃うように複数のダイシングウェーハを周方向に位置決
めした状態で各ダイシングウェーハを収納でき、かつ、
その収納および取出し作業が容易であることが要望され
る。特に、自動化されたダイシング工程においては、ロ
ボットハンド等を使用して各ダイシングウェーハの収納
および取出し作業を行えることが要望される。

【０００５】そこで、本発明は、ダイシングウェーハの
収納および取出し作業が容易であり、かつ、複数のダイ
シングウェーハを周方向に位置を揃えて収納できるダイ
シングウェーハ収納容器を提供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ための手段として、本発明に係るダイシングウェーハ収
納容器は、ダイシングフレームにダイシングフィルムを
介して支持された状態のダイシングウェーハであって、
このダイシングウェーハを複数枚重ねて収納可能なダイ
シングウェーハ収納容器について、前記ダイシングフレ
ームの外周を案内してダイシングウェーハを積み重ね状
態に収納させる収納筒部が設けられた容器本体と、この
容器本体に着脱自在に装着されて前記収納筒部の全体を
覆う蓋体とを備え、前記収納筒部の内周面には、前記複
数のダイシングフレームを周方向に位置決めする位置決
めリブが突設されていることを特徴とする。

【０００７】本発明のダイシングウェーハ収納容器で
は、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して
支持された状態のダイシングウェーハを有する複数のダ
イシングフレームを容器本体の収納筒部に収納する際、
収納筒部の内周面に突設された位置決めリブが各ダイシ
ングフレームを周方向に位置決めする。このため、複数
のダイシングフレームの位置決めノッチ等が揃うように
ダイシングフレームを収納することが可能となり、ダイ
シング工程に好適である。

【０００８】本発明のダイシングウェーハ収納容器にお
いて、前記容器本体の収納筒部にダイシングフレームの
外周を把持可能とする切欠きが設けられていると、容器
本体を定位置においた状態でダイシングフレームの外周
を把持することができ、ダイシングウェーハの収納およ
び取出し作業が容易となる。特に、ロボットハンド等を
使用して各ダイシングウェーハの収納および取出し作業
を行うことが可能となるため、自動化されたダイシング
工程に好適である。

【０００９】また、本発明のダイシングウェーハ収納容
器が容器本体に蓋体を装着した状態で概略正方形の底面
を有する角柱状の輪郭を呈する場合、縦置に限らず横置
も可能となる。このため、複数のダイシングウェーハ収
納容器をまとめて保管、搬送する際には、縦置および横
置を交えて各ダイシングウェーハ収納容器を搬送箱等に
スペース効率の良い安定した状態で収容することが可能
となる。

【００１０】さらに、前記容器本体と蓋体との間に、１
５°〜４５°、好ましくは３０°前後の相対回動角度で
両者を着脱できる部分ネジが設けられていると、容器本
体に対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で容易に、
しかも確実に行える。ここで、容器本体と蓋体とが概略
正方形の底面を有する角柱状の輪郭を呈する場合、容器
本体と蓋体とを相対回動させる作業が容易となり、容器
本体に対する蓋体の着脱作業が一層容易となる。なお、
この着脱作業を容易にするため、容器本体の下面および
蓋体の上面には、片手で把持できる回動操作用突部、例
えば、滑り止め用のローレットまたは指掛け用の凹部等
を有する円形または円環状の突部を形成しておくのが一
層好ましい。

【００１１】また、前記容器本体および蓋体が導電性プ
ラスチックスを素材として成形されていると、静電気の
帯電が防止されるため、内部に収容されたダイシングウ
ェーハの回路パターンを静電気ショックによる損傷から
保護することができる。

【００１２】なお、前記容器本体の下面および前記蓋体
の上面に相互に嵌合可能な凹凸部が設けられていると、
複数のダイシングウェーハ収納容器を上下方向に安定し
た状態で積み重ねることが可能となるので好ましい。こ
の場合、容器本体に対する蓋体の着脱作業を容易とする
ための前記回動操作用突部は、前記凹凸部の一部として
形成することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
るダイシングウェーハ収納容器の実施の形態を説明す
る。参照する図面において、図１は本発明の一実施形態
に係るダイシングウェーハ収納容器の全体構造を示す分
解斜視図、図２は一実施形態に係るダイシングウェーハ
収納容器の半截横断面図、図３は一実施形態に係るダイ
シングウェーハ収納容器の半截縦断面図、図４は収納容
器のみを示す平面図である。

【００１４】図１に示すように、一実施形態に係るダイ
シングウェーハ収納容器１は、ダイシングフレームＡに
ダイシングフィルムＢを介して支持された状態のダイシ
ングウェーハＣを複数枚重ねて収容可能な容器である。
このダイシングウェーハ収納容器１は、前記ダイシング
フレームＡの外周を案内してダイシングウェーハＣを積
重ね状態に収納させる収納筒部２Ａが設けられた容器本
体２と、この容器本体２に着脱自在に装着されて前記収
納筒部２Ａの全体を覆う蓋体３とで構成されている。

【００１５】前記ダイシングフレームＡは、図示しない
ダイシング加工機に対してダイシングウェーハＣを所定
の向きに位置決めしてセットするためのフレームであ
る。このダイシングフレームＡは、例えば厚さが１〜３
ｍｍ程度のステンレス鋼鈑を円環状に打抜き加工したも
のであり、その内径は、公称５インチ、６インチ、８イ
ンチ、１２インチのウェーハを内側に嵌合できる寸法に
設定されている。本実施形態においては、例えば公称６
インチの半導体ウェーハを嵌合できる内直径に設定され
ている。また、前記ダイシングフレームＡの外周には、
相互に平行なカット辺Ａ１，Ａ２及びこれらに直交する
相互に平行なカット辺Ａ３，Ａ４が形成されており、各
カット辺Ａ１〜Ａ４の間は円弧部Ａ５〜Ａ８となってい
る。そして、例えば前記カット辺Ａ１の右隣の円弧部Ａ
５には概略６０°の頂角を有する第１位置決めノッチＡ
９が形成され、前記カット辺Ａ１の左隣の円弧部Ａ６に
は概略１２０°の頂角を有する第２位置決めノッチＡ１
０が形成されている。

【００１６】前記ダイシングフィルムＢは、ダイシング
フレームＡの下面に張設されており、ダイシングフレー
ムＡの内側に嵌合される公称６インチの未加工のダイシ
ングウェーハＣに接合してこれを支持する。このダイシ
ングウェーハＣは、両面が平面研削された後、少なくと
も片側の表面が鏡面にポリッシング加工され、その表面
に回路パターンが形成されたものであり、裏面を前記ダ
イシングフィルムＢに接合してダイシングフレームＡの
内側に固定される。なお、ダイシングウェーハＣを構成
する半導体ウェーハには、シリコン、ＧａＡｓ（ガリウ
ム・ヒ素）、ＧａＰ（ガリウム・リン）などの各種の材
質の半導体ウェーハが含まれる。

【００１７】前記ダイシングウェーハ収納容器１は、容
器本体２に蓋体３が装着された状態で概略正方形の底面
を有する背の低い角柱状の輪郭を呈する。容器本体２お
よび蓋体３は、導電性フィラーを添加した導電性プラス
チックス、あるいはポリマーアロイ処理した導電性プラ
スチックスを素材として射出成形により一体成形されて
いる。なお、添加する導電性フィラーとしては、カーボ
ンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭
素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属
コートした無機質微粉末、有機質微粉末および繊維が使
用できる。

【００１８】前記容器本体２は、角部が丸みを帯びた概
略正方形のベース部２Ｂを有し、このベース部２Ｂ上に
前記収納筒部２Ａが一体的に突設されている。この収納
筒部２Ａには、前記ダイシングフレームＡの外周を把持
可能とする例えば４つの切欠き２Ｃが形成されている。
各切欠き２Ｃは、収納筒部２Ａの先端部からベース部２
Ｂに向かって所定幅で形成されており、収納筒部２Ａの
周方向に等間隔で配置されている。そして、各切欠き２
Ｃによって４分割された収納筒部２Ａの各部分の外周面
には、その幅方向両側に位置して上下方向に延びる２本
のガイドリブ２Ｄがそれぞれ突設されている。

【００１９】前記容器本体２のベース部２Ｂにおける収
納筒部２Ａの内側部分には、前記ダイシングフレームＡ
にダイシングフィルムＢを介して支持されたダイシング
ウェーハＣを、スペーサ・クッション（図示省略）を介
して、水平に載置するための同心状の複数の支持筒部２
Ｅが突設されている。また、ベース部２Ｂの下面には、
後述する蓋体３の円環状突部３Ｅの外周を嵌合する放射
状リブ２Ｆがベース部２Ｂの角部付近に突設されてお
り、複数のダイシングウェーハ収納容器１を上下方向に
積み重ねて一体化できるように構成されている。

【００２０】さらに、前記ベース部２Ｂの下面中央部に
は、容器本体２に対して蓋体３を着脱する際の作業を容
易にするため、片手で把持できる程度の大きさの回動操
作用突部２Ｇが形成され、その外周には滑り止め用のロ
ーレット２Ｈが形成されている。また、前記回動操作用
突部２Ｇの周囲には円環状突部２Ｉが形成され、両者の
間には円環状凹部２Ｊが形成されている。なお、前記回
動操作用突部２Ｇは、図示の例では、直径が１００ｍｍ
程度の円形状であるが、円環状や多角形状であってもよ
い。また、回動操作用突部３Ｃの外周にはローレット３
Ｄの代わりに指掛け用の凹部を形成してもよい。

【００２１】一方、前記蓋体３は、前記容器本体２の収
納筒部２Ａの外周面に突設されたガイドリブ２Ｄに嵌合
して収納筒部２Ａの外周を覆う円筒部３Ａと、この円筒
部３Ａに外接して一体に成形され、容器本体２のベース
部２Ｂの周縁上に下端が当接して容器本体２の全体を覆
う角筒部３Ｂとを有している。この蓋体３の上面中央部
には、容器本体２に対して蓋体３を着脱する際の作業を
容易にするため、前記容器本体２側の回動操作用突部２
Ｇと同様の回動操作用突部３Ｃが形成され、その外周に
は滑り止め用のローレット３Ｄが形成されている。ま
た、前記回動操作用突部３Ｃの周囲には円環状突部３Ｅ
が形成され、両者の間には円環状凹部３Ｆが形成されて
いる。なお、前記回動操作用突部３Ｃは、図示の例で
は、直径が１００ｍｍ程度の円形状であるが、円環状や
多角形状であってもよい。また、回動操作用突部３Ｃの
外周にはローレット３Ｄの代わりに指掛け用の凹部を形
成してもよい。

【００２２】ここで、図５および図６に示すように、前
記容器本体２と蓋体３との間、具体的には容器本体２の
収納筒部２Ａの先端部外周と、蓋体３の円筒部３Ａの基
端部内周側との間には、１５°〜４５°の相対回動角度
の範囲、好ましくは３０°前後の相対回動角度で両者を
着脱できる部分ネジが設けられている。すなわち、前記
容器本体２の各切欠き２Ｃにより４分割された収納筒部
２Ａの各部分の先端部外周には、その幅方向中央部に位
置して長さ約２０ｍｍ、幅約２ｍｍ程度の突条体２Ｋが
部分オスネジとして約６．５°の右ネジリード角を以っ
てそれぞれ突設されている。一方、前記蓋体３の円筒部
３Ａの基端部内周側には、容器本体２の収納筒部２Ａの
先端部が嵌る円環状嵌合溝３Ｇが段部３Ｈを介して形成
され、この円環状嵌合溝３Ｇの外側壁部には、前記各突
条体２Ｋを嵌合してねじ込み可能とする長さ約６５ｍｍ
程度の４個の傾斜溝３Ｉが部分メスネジとして円周方向
に４等配した位置にそれぞれ形成されている。そして、
前記段部３Ｈには、各傾斜溝３Ｈの下端部に連続して前
記突条体２Ｋを各傾斜溝３Ｈに導入可能とする周長約２
５ｍｍ程度の突条体導入口３Ｊが形成されている。

【００２３】前記容器本体２側の突条体２Ｋと蓋体３側
の突条体導入口３Ｊとの位置合せを容易にするため、前
記容器本体２のベース部２Ｂの周辺部付近の上面と前記
蓋体３の角筒部３Ｂの外周面の下端部には、それぞれ矢
印等の合いマークが形成されている。そして、この合い
マークを合わせて前記各突条体導入口３Ｊに各突条体２
Ｋを挿入し、この状態から容器本体２に対して蓋体３を
時計方向に３０°程度回動させると、蓋体３が容器本体
２に装着され、ダイシングウェーハ収納容器１は概略正
方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈する。

【００２４】ここで、一実施形態のダイシングウェーハ
収納容器１においては、前記容器本体２の４分割された
収納筒部２Ａの各部分の内周面に、前記複数のダイシン
グフレームＡを周方向に位置決めする位置決めリブ２Ｌ
が突設されている。この位置決めリブ２Ｌは、本実施形
態では、ダイシングフレームＡの各円弧部Ａ５〜Ａ８の
それぞれ両側を係止するように、収納筒部２Ａの４分割
された各部分の幅方向両側にそれぞれ２本づつ配置され
て上下方向に延びている。なお、位置決めリブ２Ｌの配
置位置、配置本数は、これに限定されず、ダイシングフ
レームＡを係止できる位置でかつ本数であってよい。

【００２５】次に、以上のように構成された一実施形態
のダイシングウェーハ収納容器１の使用例を説明する。
このダイシングウェーハ収納容器１は、ダイシングフレ
ームＡにダイシングフィルムＢを介して支持された状態
のダイシングウェーハＣを複数枚重ねて収容し、これを
保管、搬送するために使用される。前記ダイシングウェ
ーハＣを収容するには、容器本体２をテーブル等の定位
置に置き、帯電防止のクッションシート等のクッション
材（図示省略）を敷き、さらに導電性等の静電防止対策
スペーサシート（図示省略）を敷き、容器本体２の４分
割された収納筒部２Ａの各部分の内周に各ダイシングフ
レームＡの外周の各円弧部Ａ５〜Ａ８を沿わせて各ダイ
シングウェーハＣを収納筒部２Ａ内に水平に収納する。
その際、各ダイシングフレームＡは、第１位置決めノッ
チＡ９および第２位置決めノッチＡ１０が上下に重なる
ように揃え、各円弧部Ａ５〜Ａ８の両端部が４分割され
た収納筒部２Ａの各部分に突設された左右一対の位置決
めリブ２Ｌ，２Ｌによりそれぞれ係止されるようにして
収納する。この収納作業においては、収納筒部２Ａを４
分割する各切欠き２ＣがダイシングフレームＡの外周を
把持可能とするため、手作業による収納が容易に行える
と共に、ロボットハンドを使用した収納作業も容易に行
うことができる。

【００２６】前記容器本体２の収納筒部２Ａ内に、前記
静電防止対策スペーサシートを間に挟みサンドイッチ状
態にして、所定数のダイシングウェーハＣを積み重ねて
収納したら、その上部空間を塞ぐスペーサとして前記ク
ッショシート等のクッション材をダイシングウェーハＣ
の上に載せ、容器本体２に蓋体３を装着する。容器本体
２に対して蓋体３を装着するには、容器本体２のベース
部２Ｂの周辺部付近の上面に形成された合いマークと、
蓋体３の角筒部３Ｂの外周面の下端部に形成された合い
マークとを合わせて容器本体２の収納筒部２Ａに蓋体３
の円筒部３Ａを被せ、この状態から容器本体２に対して
蓋体３を時計方向に３０°程度相対回動させる。この作
業は、容器本体２をテーブル等の上に置き、容器本体２
のベース部２Ｂの角部を押さえて蓋体３の角筒部３Ｂを
回すことによって容易に行うことができる。また、容器
本体２のベース部２Ｂの下面に突設された回動操作用突
部２Ｇと蓋体３の上面に突設された回動操作用突部３Ｃ
とを把持することで、ワンタッチ操作により一層容易に
行うことができる。そして、この作業により、容器本体
２側の各突条体２Ｋが蓋体３側の各突条体導入口３Ｊか
ら各傾斜溝３Ｉへと相対的にねじ込まれ、蓋体３の角筒
部３Ｂの下部が９ｍｍ程度移動して容器本体２のベース
部２Ｂの周縁上に当接し、こうして蓋体３が容器本体２
に装着される。そして、この装着状態において、ダイシ
ングウェーハ収納容器１は、概略正方形の底面を有する
背の低い角柱状の輪郭を呈する。

【００２７】容器本体２に蓋体３が装着されて複数のダ
イシングフレームＡ付きのダイシングウェーハＣを収納
したダイシングウェーハ収納容器１は、前述したように
概略正方形の底面を有する背の低い角柱状の輪郭を呈す
るため、容器本体２のベース部２Ｂを下にした通常の縦
置に限らず蓋体３の角筒部３Ｂの外周面を下にした横置
も可能となる。このため、前記ダイシングウェーハ収納
容器１は、縦置および横置を交えて搬送箱等にスペース
効率の良い安定した状態で収容することができる。ま
た、複数のダイシングウェーハ収納容器１を上下に積み
重ねる場合、下方のダイシングウェーハ収納容器１の蓋
体３の上面に形成された円環状突部３Ｅの外周を上方の
ダイシングウェーハ収納容器１の容器本体２の下面に形
成された放射状リブ２Ｆに嵌合させることで、複数のダ
イシングウェーハ収納容器１を上下方向に安定した状態
で積み重ねることができる。そして、各ダイシングウェ
ーハ収納容器１に収容されたダイシングフレームＡ付き
の各ダイシングウェーハＣは、容器本体２および蓋体３
が導電性プラスチックスを素材として成形されて静電気
の帯電が防止されているため、ＩＣ回路の静電気ショッ
クによる損傷が未然に防止されて保護される。

【００２８】前記ダイシングウェーハ収納容器１に収容
されたダイシングフレームＡ付きの複数のダイシングウ
ェーハＣを取り出すには、前述と反対の手順で蓋体３を
容器本体２に対して反時計方向に３０°程度相対回動さ
せ、この状態で容器本体２から蓋体３を引き離す。そし
て、容器本体２の収納筒部２Ａ内に収容されたダイシン
グフレームＡ付きの各ダイシングウェーハＣを順次取り
出す。この取り出し作業は、収納筒部２Ａの各切欠き２
ＣからダイシングウェーハＣの外周を手作業または図示
しないロボットハンドにより把持して行うこともでき
る。この場合、各ダイシングフレームＡは、４分割され
た収納筒部２Ａの各部分の内周面に突設された位置決め
リブ２Ｌによって周方向に位置決めされており、第１位
置決めノッチＡ９および第２位置決めノッチＡ１０が上
下に重なるように揃っている。このため、図示しないダ
イシング加工にダイシングフレームＡ付きの未加工のダ
イシングウェーハＣを供給する際には、各ダイシングフ
レームＡをその都度周方向に回動させて位置決めし直す
必要がなく、各ダイシングウェーハＣの位置決め作業を
極めて容易に行うことができる。

【００２９】本実施形態に係るダイシングウェーハ収納
容器１では、前述のように、容器本体２に対して蓋体３
を着脱自在に装着する手段として、容器本体２側の突条
体２Ｋと蓋体３側の傾斜溝３Ｉとの嵌合による部分ネジ
を通常のネジ嵌合手段に代えて採用している。このた
め、容器本体２および蓋体３の射出成形の際には、成形
品を捩じりつつ脱型する工程を必要とせず、製造コスト
を低減することができる。なお、前記部分ネジとして、
蓋体３の円筒部３Ａの内周面に突条体を突設し、この突
条体が嵌合する傾斜溝を容器本体２の収納筒部２Ａの外
周面に形成してもよい。

【００３０】また、本実施形態に係るダイシングウェー
ハ収納容器１では、容器本体２の収納筒部２Ａを４つの
切欠き２Ｃにより周方向に４分割したが、２つの切欠き
２Ｃにより収納筒部２Ａを半円弧状に２分割するように
してもよい。この２分割の実施形態を図７（容器本体の
斜視図）、図８（Ａ），（Ｂ）（同側面図）、図９（同
平面図）、図１０（同底面図）に示す。図７〜図１０
中、図１〜図５と同一符号は図１〜図５と同一機能部を
示す。

【００３１】図７〜図１０に示す本実施形態では、容器
本体２のベース部２Ｂ上に、上記の２分割の収納筒部２
１Ａが一体的に突設されている。この２分割の収納筒部
２１Ａには、前記ダイシングフレームＡの外周を把持可
能とする２つの切欠き２１Ｃが形成されており、各切欠
き２１Ｃは、収納筒部２１Ａの先端部からベース部２Ｂ
に向かって所定幅で形成され、収納筒部２１Ａの周方向
を２（等）分割するように配置されている。図８（Ａ）
は一方の切欠き２１Ｃが正面に位置し、従って他方の切
欠き２１Ｃがこれと相対して位置する方向からの側面図
であり、図８（Ｂ）は切欠き２１Ｃが両側面に位置する
ため図には現れない方向からの側面図である。

【００３２】そして、この２分割された収納筒部２１Ａ
の各部分の外周面には、上下方向に延びる複数本（本実
施形態では２本）のガイドリブ２Ｄがそれぞれ平行に突
設されている。この２分割された容器本体２の平面は図
９に示され、底面は図１０に示される。本実施形態の場
合、放射状リブ２Ｆと共に、底面（ベース部２Ｂ）の各
辺の中央部にも、蓋体３の円環状突部３Ｅの外周を嵌合
するためのリブ２Ｆ１、２Ｆ２が突設されている。

【００３３】以上の各実施形態に係るダイシングウェー
ハ収納容器１においては、蓋体３に形成する傾斜溝３Ｉ
の先端部の幅と容器本体２に形成する突条体２Ｋの幅と
のクリアランスを小さくすることで、容器本体２に対し
て蓋体３を強固に装着することができる。

【００３４】また、以上の各実施形態に係るダイシング
ウェーハ収納容器１においては、導電性プラスチックス
を素材としてダイシングウェーハ収納容器１の容器本体
２および蓋体３をそれぞれ一体成形したが、帯電防止剤
を混入したプラスチックスを素材にして一体成形しても
よい。ここで帯電防止剤としては、ポリエチレングリコ
ール脂肪酸エステル、多価アルコール脂肪酸エステルな
どの非イオン系界面活性剤、第４級アンモニウム塩など
の陽イオン系界面活性剤、高級アルコールリン酸エステ
ル塩、高級アルコール硫酸エステル塩などの陰イオン系
界面活性剤、アルキルベタインなどの両性界面活性剤及
びこれらの任意の組合せ等、一般に合成樹脂に練り込
み、又は塗布して帯電防止剤として使用される界面活性
剤であれば何でも使用できる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るダイ
シングウェーハ収納容器によれば、ダイシングフレーム
にダイシングフィルムを介して支持された状態のダイシ
ングウェーハの複数を容器本体の収納筒部に収納する
際、収納筒部の内周面に突設された位置決めリブが各ダ
イシングフレームを周方向に位置決めする。このため、
複数のダイシングウェーハを各ダイシングフレームの位
置決めノッチ等が揃うように収納することが可能とな
り、ダイシング工程に好適である。

【００３６】本発明のダイシングウェーハ収納容器にお
いて、前記容器本体の収納筒部にダイシングフレームの
外周を把持可能とする切欠きが設けられている場合、容
器本体を定位置においた状態でダイシングフレームの外
周を把持することができ、ダイシングウェーハの収納お
よび取出し作業を容易に行うことができる。特に、ロボ
ットハンド等を使用して各ダイシングウェーハの収納お
よび取出し作業を行うことができ、自動化されたダイシ
ング工程に好適である。

【００３７】また、本発明のダイシングウェーハ収納容
器が前記容器本体に蓋体を装着した状態で概略正方形の
底面を有する角柱状の輪郭を呈する場合、縦置に限らず
横置も可能となり、複数のダイシングウェーハ収納容器
をまとめて保管、搬送する際には、縦置および横置を交
えて各ダイシングウェーハ収納容器を搬送箱等にスペー
ス効率の良い安定した状態で収容することができる。

【００３８】さらに、本発明のダイシングウェーハ収納
容器において、前記容器本体と蓋体との間に、１５°〜
４５°、好ましくは３０°前後の相対回動角度で両者を
着脱できる部分ネジが設けられている場合、容器本体に
対する蓋体の着脱作業をワンタッチ操作で容易に、しか
も確実に行うことができる。ここで、容器本体と蓋体と
が概略正方形の底面を有する角柱状の輪郭を呈する場
合、容器本体と蓋体とを容易に相対回動させることがで
き、容器本体に対する蓋体の着脱作業を一層容易に行う
ことができる。

【００３９】また、本発明のダイシングウェーハ収納容
器において、前記容器本体および蓋体が導電性プラスチ
ックスを素材として成形されている場合、静電気の帯電
を防止でき、内部に収容されたダイシングウェーハのＩ
Ｃ回路を静電気ショックによる損傷から保護することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るダイシングウェーハ
収納容器の全体構造を示す分解斜視図である。

【図２】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器
の半截横断面図である。

【図３】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器
の半截縦断面図である。

【図４】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器
の容器本体のみを示す符号平面図である。

【図５】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器
の部分ネジの構造を収納筒部の直径方向に破断して示す
部分断面図である。

【図６】一実施形態に係るダイシングウェーハ収納容器
の部分ネジの構造を収納筒部の円周方向に破断して示す
部分断面図である。

【図７】他の実施形態に係るダイシングウェーハ収納容
器の容器本体部のみを示す斜視図である。

【図８】他の実施形態に係るダイシングウェーハ収納容
器の容器本体部のみを示す側面図で、（Ａ）が切欠きを
正面に位置させた図、（Ｂ）が切欠きを側面に位置させ
た図である。

【図９】他の実施形態に係るダイシングウェーハ収納容
器の容器本体部のみを示す平面図である。

【図１０】他の実施形態に係るダイシングウェーハ収納
容器の容器本体部のみを示す底面図である。

【符号の説明】

１ ：ダイシングウェーハ収納容器 ２ ：容器本体 ２Ａ，２１Ａ：収納筒部 ２Ｂ：ベース部 ２Ｃ，２１Ｃ：切欠き ２Ｄ：ガイドリブ ２Ｅ：支持筒部 ２Ｆ：放射状リブ ２Ｇ：回動操作用突部 ２Ｈ：ローレット ２Ｉ：円環状突部 ２Ｊ：円環状凹部 ２Ｋ：突条体 ３ ：蓋体 ３Ａ：円筒部 ３Ｂ：角筒部 ３Ｃ：回動操作用突部 ３Ｄ：円環状突部 ３Ｅ：円環状凹部 ３Ｆ：円環状凹部 ３Ｇ：円環状嵌合溝 ３Ｈ：段部 ３Ｉ：傾斜溝 ３Ｊ：突条体導入口 Ａ ：ダイシングフレーム Ｂ ：ダイシングフィルム Ｃ ：ダイシングウェーハ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイシングフレームにダイシングフィル
   ムを介して支持されたダイシングウェーハであって、こ
   のダイシングウェーハを複数枚重ねて収納可能なダイシ
   ングウェーハ収納容器において、 前記ダイシングフレームの外周を案内してダイシングウ
   ェーハを積み重ね状態に収納させる収納筒部が設けられ
   た容器本体と、この容器本体に着脱自在に装着されて前
   記収納筒部の全体を覆う蓋体とを備え、前記収納筒部の
   内周面には、前記ダイシングフレームを周方向に位置決
   めする位置決めリブが突設されていることを特徴とする
   ダイシングウェーハ収納容器。
2. 【請求項２】 前記容器本体の収納筒部には、ダイシン
   グフレームの外周を把持可能とする切欠きが設けられて
   いることを特徴とする請求項１に記載のダイシングウェ
   ーハ収納容器。
3. 【請求項３】 前記容器本体に蓋体が装着された状態で
   概略正方形の底面を有する角柱状の輪郭を呈することを
   特徴とする請求項１または請求項２に記載のダイシング
   ウェーハ収納容器。
4. 【請求項４】 前記容器本体と蓋体との間には１５°〜
   ４５°の相対回動角度で両者を着脱できる部分ネジが設
   けられていることを特徴とする請求項１〜請求項３の何
   れかに記載のダイシングウェーハ収納容器。
5. 【請求項５】 前記容器本体および蓋体が導電性プラス
   チックスを素材として成形されていることを特徴とする
   請求項１〜請求項４の何れかに記載のダイシングウェー
   ハ収納容器。