JPH0986588A - 積層型包装容器 - Google Patents
積層型包装容器Info
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- JPH0986588A JPH0986588A JP24276795A JP24276795A JPH0986588A JP H0986588 A JPH0986588 A JP H0986588A JP 24276795 A JP24276795 A JP 24276795A JP 24276795 A JP24276795 A JP 24276795A JP H0986588 A JPH0986588 A JP H0986588A
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- container body
- lid
- container
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 自動機を使用してウエハーの装填及び取出し
が自在な積層型包装容器を提供する。 【解決手段】 底板３の上面に蓋体２が着脱自在に嵌合
する円筒状の嵌合部１０を有する容器本体１の上記嵌合
部１０の内周面に、容器本体１内に収容されたウエハー
１３の接線方向に突出され、かつ先端部とウエハー１３
外周の間に隙間１９が生じるように複数の板ばね１１を
突設すると共に、上記蓋体２側に、容器本体１に蓋体２
を嵌合した際上記板ばね１１をウエハー１３方向へ押圧
して、各板ばね１１の先端をウエハー１３の外周面に圧
接する押圧リブ１２を設けたもので、容器本体１より蓋
体２を取外した状態では板ばね１１の先端とウエハー１
３外周面との間に隙間１９が形成されるため、自動機に
より容器本体１内へのウエハー１３の装填及び取出しが
容易に行える。
が自在な積層型包装容器を提供する。 【解決手段】 底板３の上面に蓋体２が着脱自在に嵌合
する円筒状の嵌合部１０を有する容器本体１の上記嵌合
部１０の内周面に、容器本体１内に収容されたウエハー
１３の接線方向に突出され、かつ先端部とウエハー１３
外周の間に隙間１９が生じるように複数の板ばね１１を
突設すると共に、上記蓋体２側に、容器本体１に蓋体２
を嵌合した際上記板ばね１１をウエハー１３方向へ押圧
して、各板ばね１１の先端をウエハー１３の外周面に圧
接する押圧リブ１２を設けたもので、容器本体１より蓋
体２を取外した状態では板ばね１１の先端とウエハー１
３外周面との間に隙間１９が形成されるため、自動機に
より容器本体１内へのウエハー１３の装填及び取出しが
容易に行える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体ディバイス
に用いるウエハーを搬送する際に使用する積層型包装容
器に関する。
に用いるウエハーを搬送する際に使用する積層型包装容
器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来半導体ディバイスの基板に用いるシ
リコンやガリウム砒素などのウエハーは、半導体ディバ
イスを製造する際種々の容器に収容されて搬送される。
例えばウエハーを半導体ディバイスの製造工程へ搬入す
る場合は、ウエハーを立てた状態で２５枚程度収容可能
な溝付きトレーを納めたキャリヤと呼ばれるシッピング
容器が使用される。
リコンやガリウム砒素などのウエハーは、半導体ディバ
イスを製造する際種々の容器に収容されて搬送される。
例えばウエハーを半導体ディバイスの製造工程へ搬入す
る場合は、ウエハーを立てた状態で２５枚程度収容可能
な溝付きトレーを納めたキャリヤと呼ばれるシッピング
容器が使用される。
【０００３】また製造工程間の搬送では、フッ素樹脂よ
り形成されたキャリヤが多く使用されると共に、何段階
かの製造工程を経て製造されたパターン形成済ウエハー
は、専用の容器やシッピング容器に収容されて別工程へ
搬送される。
り形成されたキャリヤが多く使用されると共に、何段階
かの製造工程を経て製造されたパターン形成済ウエハー
は、専用の容器やシッピング容器に収容されて別工程へ
搬送される。
【０００４】一方半導体ディバイスの製造はクリーン度
が厳密に管理されたクリーンルームにより行われ、クリ
ーンルームのクリーン度は１００以下が一般的である。
しかし、すでにパターンの形成されたウエハーを取扱う
工程では、クリーンルームほどクリーン度を必要としな
いため、多くのディバイス製造業者は、パターン形成済
ウエハーをさらに加工する工程をクリーンルームと別の
建屋で行うようにしている。このためクリーンルームで
製造されたパターン形成済ウエハーを専用の容器やシッ
ピング容器へ収容して別の建屋へと搬送する必要があ
る。
が厳密に管理されたクリーンルームにより行われ、クリ
ーンルームのクリーン度は１００以下が一般的である。
しかし、すでにパターンの形成されたウエハーを取扱う
工程では、クリーンルームほどクリーン度を必要としな
いため、多くのディバイス製造業者は、パターン形成済
ウエハーをさらに加工する工程をクリーンルームと別の
建屋で行うようにしている。このためクリーンルームで
製造されたパターン形成済ウエハーを専用の容器やシッ
ピング容器へ収容して別の建屋へと搬送する必要があ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来ではパターン形成
済ウエハーを別の建屋まで搬送する場合、パターン形成
済ウエハーを手作業で容器へ収容している。しかし今後
主流となる８インチウエハーは、面積に比較して厚さが
薄いため、手作業で容器へ収容する方法では、作業中で
はウエハーが割れたり、欠けたりして材料の歩留まりが
悪くなる不具合がある。このため、ロボットなどの自動
機を使用して自動的にウエハーを装填したり、取出す方
法が検討されている。
済ウエハーを別の建屋まで搬送する場合、パターン形成
済ウエハーを手作業で容器へ収容している。しかし今後
主流となる８インチウエハーは、面積に比較して厚さが
薄いため、手作業で容器へ収容する方法では、作業中で
はウエハーが割れたり、欠けたりして材料の歩留まりが
悪くなる不具合がある。このため、ロボットなどの自動
機を使用して自動的にウエハーを装填したり、取出す方
法が検討されている。
【０００６】しかしロボットなどの自動機を使用して自
動装填自動取出を行うためには次のような課題がある。
すなわちパターン形成済ウエハーを搬送する場合、従来
では上述したようにシッピング容器を流用するか、パタ
ーン形成済ウエハーを積層する際ウエハーの間に分離紙
を挟んで積層し、かつ積層されたウエハーの上下部と周
囲をスポンジなどのクッション材で囲んで専用の容器に
収容して搬送しているが、シッピング容器や専用容器は
何れもプラスチックの射出成形により生産されている。
このようなプラスチック成形品は、使用されるプラスチ
ックの種類にもよるが、例えば８インチ（φ２００）の
ウエハーを収容する容器の場合、通常１ｍｍ程度の寸法
バラツキが発生する。
動装填自動取出を行うためには次のような課題がある。
すなわちパターン形成済ウエハーを搬送する場合、従来
では上述したようにシッピング容器を流用するか、パタ
ーン形成済ウエハーを積層する際ウエハーの間に分離紙
を挟んで積層し、かつ積層されたウエハーの上下部と周
囲をスポンジなどのクッション材で囲んで専用の容器に
収容して搬送しているが、シッピング容器や専用容器は
何れもプラスチックの射出成形により生産されている。
このようなプラスチック成形品は、使用されるプラスチ
ックの種類にもよるが、例えば８インチ（φ２００）の
ウエハーを収容する容器の場合、通常１ｍｍ程度の寸法
バラツキが発生する。
【０００７】一方自動機を使用してウエハーを自動装填
自動取出しを行う場合、位置精度は１ｍｍが限界であ
り、自動機が取扱う容器側に１ｍｍ程度のバラツキがあ
ると、ウエハー装填時ウエハーとウエハーの周囲に設け
られたクッション材とが干渉してウエハーを装填できな
くなる不具合がある。かかる不具合を解消するために
は、自動機に特殊なセンサを追加して自動機の精度を上
げるか、プラスチック製容器の内径をφ２０４程度に変
更する必要がある。
自動取出しを行う場合、位置精度は１ｍｍが限界であ
り、自動機が取扱う容器側に１ｍｍ程度のバラツキがあ
ると、ウエハー装填時ウエハーとウエハーの周囲に設け
られたクッション材とが干渉してウエハーを装填できな
くなる不具合がある。かかる不具合を解消するために
は、自動機に特殊なセンサを追加して自動機の精度を上
げるか、プラスチック製容器の内径をφ２０４程度に変
更する必要がある。
【０００８】しかし前者の方法では自動機を改造しなけ
ればならないため、経費が嵩む不具合がある。また後者
の方法では、ウエハーの周囲に設けられたクッション材
が機能しなくなるため、搬送中ウエハーが欠けたり、割
れたりする不具合がある。この発明はかかる不具合を改
善するためになされたもので、自動機による自動装填、
自動取出しが容易な積層型包装容器を提供することを目
的とするものである。
ればならないため、経費が嵩む不具合がある。また後者
の方法では、ウエハーの周囲に設けられたクッション材
が機能しなくなるため、搬送中ウエハーが欠けたり、割
れたりする不具合がある。この発明はかかる不具合を改
善するためになされたもので、自動機による自動装填、
自動取出しが容易な積層型包装容器を提供することを目
的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するために、底板の上面に蓋体が着脱自在に嵌合する
円筒状の嵌合部を有する容器本体の上記嵌合部の内周面
に、容器本体内に収容されたウエハーの接線方向に突出
され、かつ先端部とウエハー外周の間に隙間が生じるよ
うに複数の板ばねを突設すると共に、上記蓋体側に、容
器本体に蓋体を嵌合した際上記板ばねをウエハー方向へ
押圧して、各板ばねの先端をウエハーの外周面に圧接す
る押圧リブを設けたものである。また上記板ばねを容器
本体の嵌合部と一体成形すると共に、板ばねの先端側を
嵌合部の肉厚より順次薄肉となるように形成するか、容
器本体の嵌合部に狭着部を形成し、この狭着部に容器本
体と別に形成した板ばねの基端部を固定したものであ
る。さらに蓋体に形成された押圧リブの押圧面を、蓋体
の嵌合方向に傾斜するテーパ状、半円状、放物線状もし
くはこれらの組合せにより形成すると共に、容器本体の
嵌合部の一部に、自動機のハンドを容器本体内へ挿入す
るための切欠を形成したものである。
成するために、底板の上面に蓋体が着脱自在に嵌合する
円筒状の嵌合部を有する容器本体の上記嵌合部の内周面
に、容器本体内に収容されたウエハーの接線方向に突出
され、かつ先端部とウエハー外周の間に隙間が生じるよ
うに複数の板ばねを突設すると共に、上記蓋体側に、容
器本体に蓋体を嵌合した際上記板ばねをウエハー方向へ
押圧して、各板ばねの先端をウエハーの外周面に圧接す
る押圧リブを設けたものである。また上記板ばねを容器
本体の嵌合部と一体成形すると共に、板ばねの先端側を
嵌合部の肉厚より順次薄肉となるように形成するか、容
器本体の嵌合部に狭着部を形成し、この狭着部に容器本
体と別に形成した板ばねの基端部を固定したものであ
る。さらに蓋体に形成された押圧リブの押圧面を、蓋体
の嵌合方向に傾斜するテーパ状、半円状、放物線状もし
くはこれらの組合せにより形成すると共に、容器本体の
嵌合部の一部に、自動機のハンドを容器本体内へ挿入す
るための切欠を形成したものである。
【０００９】
【作 用】上記構成により容器本体より蓋体を取外す
と、各板ばねの先端とウエハーの外周面の間に隙間が生
じるため、自動機を使用して容器本体内へのウエハーの
装填及び取出しが、容易確実に行える。また容器本体に
蓋体を嵌合すると、蓋体側に突設された押圧リブが各板
ばねを押圧して、板ばねの先端をウエハーの外周へ圧接
するため、予めウエハーの上面にクッション材を介在さ
せておくことにより、上記クッション材と板ばねにより
ウエハーが弾性支持されるため、搬送中容器に衝撃や振
動などが作用しても、内部のウエハーが欠損したり割れ
るを防止することができる。さらに容器本体の嵌合部
に、自動機のハンドを容器本体内へ挿入する切欠を設け
ておくことにより、自動機によるウエハーの装填及び取
出しが容易に行える。
と、各板ばねの先端とウエハーの外周面の間に隙間が生
じるため、自動機を使用して容器本体内へのウエハーの
装填及び取出しが、容易確実に行える。また容器本体に
蓋体を嵌合すると、蓋体側に突設された押圧リブが各板
ばねを押圧して、板ばねの先端をウエハーの外周へ圧接
するため、予めウエハーの上面にクッション材を介在さ
せておくことにより、上記クッション材と板ばねにより
ウエハーが弾性支持されるため、搬送中容器に衝撃や振
動などが作用しても、内部のウエハーが欠損したり割れ
るを防止することができる。さらに容器本体の嵌合部
に、自動機のハンドを容器本体内へ挿入する切欠を設け
ておくことにより、自動機によるウエハーの装填及び取
出しが容易に行える。
【００１１】
【発明の実施の形態】この発明の一実施例を図面を参照
して詳述する。図１は積層型包装容器の一部切欠平面
図、図２は同一部材切欠側面図、図３は図１のＡ−Ａ線
に沿う断面図、図４は図１のＢ方向からの矢視図、図５
は図４のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
して詳述する。図１は積層型包装容器の一部切欠平面
図、図２は同一部材切欠側面図、図３は図１のＡ−Ａ線
に沿う断面図、図４は図１のＢ方向からの矢視図、図５
は図４のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【００１２】これら図において１は容器本体、２は蓋体
で、何れもプラスチックの射出成形などにより一体成形
されている。上記容器本体１は角部が円弧状に形成され
たほぼ正方形状の底板１ａを有しており、この底板３の
周縁部には、リブ４が底面側へ屈曲形成されていると共
に、底面の中央部と半径方向のほぼ中間部には同心円状
の補強リブ５が、そして放射方向に複数の補強リブ６が
突設されており、これらリブ４及び補強リブ５，６は何
れも底板３の剛性を高める機能を有している。
で、何れもプラスチックの射出成形などにより一体成形
されている。上記容器本体１は角部が円弧状に形成され
たほぼ正方形状の底板１ａを有しており、この底板３の
周縁部には、リブ４が底面側へ屈曲形成されていると共
に、底面の中央部と半径方向のほぼ中間部には同心円状
の補強リブ５が、そして放射方向に複数の補強リブ６が
突設されており、これらリブ４及び補強リブ５，６は何
れも底板３の剛性を高める機能を有している。
【００１３】また上記底板３の底面には、対角線上に位
置する角部の近傍に、容器を図２の仮想線で示すように
重ねた際上側の容器と下側の容器の位置合せ行う位置合
せリブ７が円弧状に突設されており、これら位置合せ用
リブ７の両端は底板３の中心側に屈曲されていて、この
屈曲部７ａで位置合せを行うようになっている。なお図
１及び図２中８はロボットなどの自動機（図示せず）が
容器のサイズを識別するための識別突起で、底板３の裏
面側へ１個所ないし複数個所突設されている。
置する角部の近傍に、容器を図２の仮想線で示すように
重ねた際上側の容器と下側の容器の位置合せ行う位置合
せリブ７が円弧状に突設されており、これら位置合せ用
リブ７の両端は底板３の中心側に屈曲されていて、この
屈曲部７ａで位置合せを行うようになっている。なお図
１及び図２中８はロボットなどの自動機（図示せず）が
容器のサイズを識別するための識別突起で、底板３の裏
面側へ１個所ないし複数個所突設されている。
【００１４】一方上記容器本体１の底板３上面には、上
方より蓋体２が嵌合する円筒状の嵌合部１０が突設され
ている。上記嵌合部１０の一部には、容器本体１内に自
動機によりウエハー１３を装填したり取出す際、自動機
のハンド（図示せず）が入る切欠１０ａが形成されてい
ると共に、嵌合部１０の内周面には複数の板ばね１１が
突設されている。これら板ばね１１は容器本体１を形成
する際一体成形されたもので、円弧状をなしており、一
端側は上記嵌合部１０に連設されている。上記板ばね１
１の他端側は容器本体１内に収容されたウエハー１３の
接線方向へ突出されていて、板ばね１１の先端とウエハ
ー１３の外周面の間には、容器本体１を成形する際に生
じる寸法誤差を考慮して１ｍｍ以上の隙間１９が生じる
ようになっている。そして上記容器本体１の嵌合部１０
へ上方より蓋体２を嵌合した際、蓋体２の内周面に突設
された押圧リブ１２の押圧面１２ａが各板ばね１１の基
端側背面を押圧するようになっている。上記蓋体２は円
板状の天板１４と、この天板１４の周囲に設けられた外
周壁１５よりなり、外周壁１５の内周面に、各板ばね１
１毎に押圧リブ１２が容器本体１の半径方向に突設され
ている。上記押圧リブ１２は、図３に示すように下端側
より上端側へ順次幅広となるように形成されていて、板
ばね１１の押圧面１２ａは蓋体２の嵌合方向に傾斜する
テーパ面となっており、容器本体１の嵌合部１０へ蓋体
２を嵌合した際、押圧リブ１２の押圧面１２ａが上記板
ばね１１の基端側背面を押圧して、各板ばね１１の先端
部を容器本体１内に収容されたウエハー１３の外周面に
圧接するようになっている。
方より蓋体２が嵌合する円筒状の嵌合部１０が突設され
ている。上記嵌合部１０の一部には、容器本体１内に自
動機によりウエハー１３を装填したり取出す際、自動機
のハンド（図示せず）が入る切欠１０ａが形成されてい
ると共に、嵌合部１０の内周面には複数の板ばね１１が
突設されている。これら板ばね１１は容器本体１を形成
する際一体成形されたもので、円弧状をなしており、一
端側は上記嵌合部１０に連設されている。上記板ばね１
１の他端側は容器本体１内に収容されたウエハー１３の
接線方向へ突出されていて、板ばね１１の先端とウエハ
ー１３の外周面の間には、容器本体１を成形する際に生
じる寸法誤差を考慮して１ｍｍ以上の隙間１９が生じる
ようになっている。そして上記容器本体１の嵌合部１０
へ上方より蓋体２を嵌合した際、蓋体２の内周面に突設
された押圧リブ１２の押圧面１２ａが各板ばね１１の基
端側背面を押圧するようになっている。上記蓋体２は円
板状の天板１４と、この天板１４の周囲に設けられた外
周壁１５よりなり、外周壁１５の内周面に、各板ばね１
１毎に押圧リブ１２が容器本体１の半径方向に突設され
ている。上記押圧リブ１２は、図３に示すように下端側
より上端側へ順次幅広となるように形成されていて、板
ばね１１の押圧面１２ａは蓋体２の嵌合方向に傾斜する
テーパ面となっており、容器本体１の嵌合部１０へ蓋体
２を嵌合した際、押圧リブ１２の押圧面１２ａが上記板
ばね１１の基端側背面を押圧して、各板ばね１１の先端
部を容器本体１内に収容されたウエハー１３の外周面に
圧接するようになっている。
【００１５】また上記蓋体２の外周面には、互に対向す
る位置に一対の取手１６が一体形成されている。上記取
手１６は有底の角筒状をなしていて、容器本体１より蓋
体２を脱着する際使用すると共に、各取手１６の両側に
は容器本体１の嵌合部１０外周面に形成された係止部１
７に係脱自在に嵌合する長方形状の係止孔１８が開口さ
れている。容器本体１の嵌合部１０外周面に突設された
係止部１７は図４及び図５に示すようにほぼコ字形をな
していて、両端側に傾斜面１７ａが形成されており、こ
れら傾斜面１７ａにより蓋体２の開口部を押し拡げるこ
とにより、係止部１７に係止孔１８を係合させるように
なっている。
る位置に一対の取手１６が一体形成されている。上記取
手１６は有底の角筒状をなしていて、容器本体１より蓋
体２を脱着する際使用すると共に、各取手１６の両側に
は容器本体１の嵌合部１０外周面に形成された係止部１
７に係脱自在に嵌合する長方形状の係止孔１８が開口さ
れている。容器本体１の嵌合部１０外周面に突設された
係止部１７は図４及び図５に示すようにほぼコ字形をな
していて、両端側に傾斜面１７ａが形成されており、こ
れら傾斜面１７ａにより蓋体２の開口部を押し拡げるこ
とにより、係止部１７に係止孔１８を係合させるように
なっている。
【００１６】次に上記構成された積層型包装容器の作用
を説明すると、パターン形成済ウエハーを搬送するに当
って、まず容器本体１より蓋体２を取外した状態で自動
機によりウエハー１３を容器本体１内へ装填する。この
とき積層されたウエハー１３の上下面に予めスポンジよ
りなるクッション材２０が介在されている。また容器本
体１より蓋体２を取外した状態では、各板ばね１１の先
端側は外周方向へ拡開して、先端部とウエハー１３の外
周面との間に隙間１９が形成されるため、容器本体１を
プラスチックで成形した際１ｍｍ程度の寸法誤差があっ
ても、ウエハー１３と板ばね１１を干渉させることな
く、自動機により容器本体１内へウエハー１３を装填す
ることができる。容器本体１内へウエハー１３を装填し
たら容器本体１の嵌合部１０へ上方より蓋体２を嵌合す
ると、蓋体２の外周壁１５内面に突設された押圧リブ１
２が板ばね１１の背面側を押圧するため、各板ばね１１
の先端側は容器本体１に収容されたウエハー１３側へ突
出して、先端部が容器本体１内のウエハー１３外周面に
圧接される。これによって容器本体１内に収容されたウ
エハー１３は上下面に介在されたクッション体２０と、
外周面に当接された複数の板ばね１１により弾性支持さ
れるため、搬送中容器に衝撃や振動が加わっても、内部
のウエハー１３が欠けたり、割れたりするのを防止する
ことができる。
を説明すると、パターン形成済ウエハーを搬送するに当
って、まず容器本体１より蓋体２を取外した状態で自動
機によりウエハー１３を容器本体１内へ装填する。この
とき積層されたウエハー１３の上下面に予めスポンジよ
りなるクッション材２０が介在されている。また容器本
体１より蓋体２を取外した状態では、各板ばね１１の先
端側は外周方向へ拡開して、先端部とウエハー１３の外
周面との間に隙間１９が形成されるため、容器本体１を
プラスチックで成形した際１ｍｍ程度の寸法誤差があっ
ても、ウエハー１３と板ばね１１を干渉させることな
く、自動機により容器本体１内へウエハー１３を装填す
ることができる。容器本体１内へウエハー１３を装填し
たら容器本体１の嵌合部１０へ上方より蓋体２を嵌合す
ると、蓋体２の外周壁１５内面に突設された押圧リブ１
２が板ばね１１の背面側を押圧するため、各板ばね１１
の先端側は容器本体１に収容されたウエハー１３側へ突
出して、先端部が容器本体１内のウエハー１３外周面に
圧接される。これによって容器本体１内に収容されたウ
エハー１３は上下面に介在されたクッション体２０と、
外周面に当接された複数の板ばね１１により弾性支持さ
れるため、搬送中容器に衝撃や振動が加わっても、内部
のウエハー１３が欠けたり、割れたりするのを防止する
ことができる。
【００１７】一方搬送後自動機により容器本体１内のウ
エハー１３を取出す場合は、蓋体２の取手１６を外方へ
引いて蓋体２の開口部を拡げることにより、係止部１７
より係止孔１８を外して蓋体２を取り去る。これによっ
て蓋体２の押圧リブ１２より板ばね１１が解放されるた
め、板ばね１１の先端が自己の弾性により拡開されて板
ばね１１の先端とウエハー１３の外周面との間に隙間１
９が生じるので、自動機のハンドを嵌合部１０の切欠１
０ａより容器本体１内に挿入することにより、容器本体
１よりウエハー１３を取出すことができるようになる。
エハー１３を取出す場合は、蓋体２の取手１６を外方へ
引いて蓋体２の開口部を拡げることにより、係止部１７
より係止孔１８を外して蓋体２を取り去る。これによっ
て蓋体２の押圧リブ１２より板ばね１１が解放されるた
め、板ばね１１の先端が自己の弾性により拡開されて板
ばね１１の先端とウエハー１３の外周面との間に隙間１
９が生じるので、自動機のハンドを嵌合部１０の切欠１
０ａより容器本体１内に挿入することにより、容器本体
１よりウエハー１３を取出すことができるようになる。
【００１８】なお上記実施例では板ばね１１を容器本体
１の嵌合部１０と一体成形したが、図６に示すように嵌
合部１０に狭着部１０ｂを形成して、この狭着部１０ｂ
に別に成形したプラスチック製の板ばね１１の基端部を
狭着するようにしてもよい。また上記実施例では、板ば
ね１１を押圧する押圧リブ１２の押圧部１２ａを容器本
体１の中心方向へ向うテーパ状としたが、放物線上や半
円状、もしくはこれらの組合せにより形成してもよい。
さらに上記実施例では、容器本体１側に係止部１７を形
成して、この係止部１７に蓋体２の係止孔１８が係合す
るようにしたが、別の構造の係止手段を採用しても勿論
よい。
１の嵌合部１０と一体成形したが、図６に示すように嵌
合部１０に狭着部１０ｂを形成して、この狭着部１０ｂ
に別に成形したプラスチック製の板ばね１１の基端部を
狭着するようにしてもよい。また上記実施例では、板ば
ね１１を押圧する押圧リブ１２の押圧部１２ａを容器本
体１の中心方向へ向うテーパ状としたが、放物線上や半
円状、もしくはこれらの組合せにより形成してもよい。
さらに上記実施例では、容器本体１側に係止部１７を形
成して、この係止部１７に蓋体２の係止孔１８が係合す
るようにしたが、別の構造の係止手段を採用しても勿論
よい。
【００１９】
【発明の効果】この発明は以上詳述したように、ウエハ
ーを収容する容器本体側に複数の板ばねを設け、また上
記容器本体に着脱自在な蓋体側に、上記板ばねを容器本
体内に収容されたウエハー側へ押圧する押圧リブを設け
たもので、蓋体を取外して容器本体内にウエハーを装填
する際には各板ばねの先端はウエハーとの間に隙間が生
じるよう後退しているため、容器全体をプラスチックに
より成形したため寸法的な誤差があっても、自動機を使
用して容器本体内へウエハーを容易に装填することがで
きる。これによって従来手作業によりウエハーを容器に
装填していたときに比べて装填作業が短時間で能率よく
行えると共に、装填する際ウエハーが割れたり、、欠損
することもないため材料の歩留まりも向上する。また容
器本体に蓋体を嵌合すると、蓋体に設けられた押圧リブ
が各板ばねをウエハー側へ押圧して、各板ばねの先端が
ウエハーの外周面に弾性的に圧接されるため、予めウエ
ハーの上面にクッション材を介在させて容器本体に装填
することにより、上下のクッション材と板ばねによりウ
エハーが弾性支持されるため、搬送中容器に衝撃や振動
が加わっても容器本体内のウエハーが割れたり、欠損す
ることもなく安全に搬送することができる。さらに容器
本体の嵌合部に予め自動機のハンドを容器本体内へ挿入
するための切欠を設けることによってウエハーの装填及
び取出しが容易かつ確実に行える。
ーを収容する容器本体側に複数の板ばねを設け、また上
記容器本体に着脱自在な蓋体側に、上記板ばねを容器本
体内に収容されたウエハー側へ押圧する押圧リブを設け
たもので、蓋体を取外して容器本体内にウエハーを装填
する際には各板ばねの先端はウエハーとの間に隙間が生
じるよう後退しているため、容器全体をプラスチックに
より成形したため寸法的な誤差があっても、自動機を使
用して容器本体内へウエハーを容易に装填することがで
きる。これによって従来手作業によりウエハーを容器に
装填していたときに比べて装填作業が短時間で能率よく
行えると共に、装填する際ウエハーが割れたり、、欠損
することもないため材料の歩留まりも向上する。また容
器本体に蓋体を嵌合すると、蓋体に設けられた押圧リブ
が各板ばねをウエハー側へ押圧して、各板ばねの先端が
ウエハーの外周面に弾性的に圧接されるため、予めウエ
ハーの上面にクッション材を介在させて容器本体に装填
することにより、上下のクッション材と板ばねによりウ
エハーが弾性支持されるため、搬送中容器に衝撃や振動
が加わっても容器本体内のウエハーが割れたり、欠損す
ることもなく安全に搬送することができる。さらに容器
本体の嵌合部に予め自動機のハンドを容器本体内へ挿入
するための切欠を設けることによってウエハーの装填及
び取出しが容易かつ確実に行える。
【図１】この発明の一実施例になる積層型包装容器の一
部切欠平面図である。
部切欠平面図である。
【図２】この発明の一実施例になる積層型包装容器の一
部切欠側面図である。
部切欠側面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】図１のＢ方向からの矢視図である。
【図５】図４のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図６】板ばねの他の実施例を示す説明図である。
１…容器本体、２…蓋体、３…底板、１０…嵌合部、１
０ａ…切欠、１１…板ばね、１２…押圧リブ、１２ａ…
押圧面、１３…ウエハー、１９…隙間。
０ａ…切欠、１１…板ばね、１２…押圧リブ、１２ａ…
押圧面、１３…ウエハー、１９…隙間。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安部川 利治 神奈川県平塚市万田1200 コマツ化成株式 会社技術研究室内 (72)発明者 織田 稔 神奈川県平塚市万田1200 コマツ化成株式 会社技術研究室内
Claims (5)
- 【請求項１】 底板３の上面に蓋体２が着脱自在に嵌合
する円筒状の嵌合部１０を有する容器本体１の上記嵌合
部１０の内周面に、容器本体１内に収容されたウエハー
１３の接線方向に突出され、かつ先端部とウエハー１３
外周の間に隙間１９が生じるように複数の板ばね１１を
突設すると共に、上記蓋体２側に、容器本体１に蓋体２
を嵌合した際上記板ばね１１をウエハー１３方向へ押圧
して、各板ばね１１の先端をウエハー１３の外周面に圧
接する押圧リブ１２を設けたことを特徴とする積層型包
装容器。 - 【請求項２】 上記板ばね１１を容器本体１の嵌合部１
０と一体成形すると共に、板ばね１１の先端側を嵌合部
１０の肉厚より順次薄肉となるように形成してなる請求
項１記載の積層型包装容器。 - 【請求項３】 容器本体１の嵌合部１０に狭着部１０ｂ
を形成し、この狭着部１０ｂに容器本体１と別に形成し
た板ばね１１の基端部を固定してなる請求項１記載の積
層型包装容器。 - 【請求項４】 蓋体２に形成された押圧リブ１２の押圧
面１２ａを、蓋体２の嵌合方向に傾斜するテーパ状、半
円状、放物線状もしくはこれらの組合せにより形成して
なる請求項１記載の積層型包装容器。 - 【請求項５】 容器本体１の嵌合部１０の一部に、自動
機のハンドを容器本体１内へ挿入するための切欠１０ａ
を形成してなる請求項１記載の積層型包装容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24276795A JPH0986588A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 積層型包装容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24276795A JPH0986588A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 積層型包装容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0986588A true JPH0986588A (ja) | 1997-03-31 |
Family
ID=17093981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24276795A Pending JPH0986588A (ja) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 積層型包装容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0986588A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6119865A (en) * | 1998-11-12 | 2000-09-19 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Accommodation container and accommodating method |
| JP2006303246A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Miraial Kk | 枚葉収納容器 |
| JP2006527921A (ja) * | 2003-06-17 | 2006-12-07 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 半径方向に軸回転する掛け金要素を備えるウェファボックス |
| JP2013508997A (ja) * | 2009-10-27 | 2013-03-07 | テックスケム アドバンスド プロダクツ インコーポレーテッド エスディーエヌ．ビーエイチディー． | 凹型ラッチを用いたウェーハコンテナ |
| CN103280419A (zh) * | 2013-05-31 | 2013-09-04 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒 |
| JP2017037893A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | アキレス株式会社 | 基板収納容器 |
-
1995
- 1995-09-21 JP JP24276795A patent/JPH0986588A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6119865A (en) * | 1998-11-12 | 2000-09-19 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Accommodation container and accommodating method |
| JP2006527921A (ja) * | 2003-06-17 | 2006-12-07 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 半径方向に軸回転する掛け金要素を備えるウェファボックス |
| JP2006303246A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Miraial Kk | 枚葉収納容器 |
| JP2013508997A (ja) * | 2009-10-27 | 2013-03-07 | テックスケム アドバンスド プロダクツ インコーポレーテッド エスディーエヌ．ビーエイチディー． | 凹型ラッチを用いたウェーハコンテナ |
| JP2015149498A (ja) * | 2009-10-27 | 2015-08-20 | テックスケム アドバンスド プロダクツ インコーポレーテッド エスディーエヌ．ビーエイチディー． | 凹型ラッチを用いたウェーハコンテナ |
| CN103280419A (zh) * | 2013-05-31 | 2013-09-04 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒 |
| JP2017037893A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | アキレス株式会社 | 基板収納容器 |
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