KR101670840B1 - 웨이퍼 보관 용기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 보관 용기에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 착탈이 쉬우면서도 웨이퍼를 안정적으로 수용 및 보관할 수 있을 뿐만 아니라 복수로 적층하여도 하중에 의해 변형이 없는 웨이퍼 보관 용기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 웨이퍼 보관 용기는 받침대와 상기 받침대에 대하여 분리 가능하게 결합되는 덮개를 갖는다. 받침대는, 바닥 플레이트, 상기 바닥 플레이트의 상면에 대하여 일체로 형성되되 단차지게 형성되어 있는 고정 플레이트, 및 상기 고정 플레이트의 둘레에 형성되어 웨이퍼의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지부를 포함한다. 상기 고정 플레이트에는 걸림편이 수평으로 형성되어 있고, 상기 걸림편의 하면과 상기 바닥 플레이트의 상면 사이에는 안착홈이 형성되어 있으며, 상기 걸림편에 대응되는 상기 덮개에는 상기 받침대의 바닥 플레이트에 대하여 안착 후 회전 조작에 의해 상기 걸림편의 하면과 상기 바닥 플레이트의 상면 사이에 형성된 안착홈에 안착된 후 상기 걸림편에 의해 안정적으로 고정되게 하는 걸림돌기가 형성되어 있다.

Description

웨이퍼 보관 용기 {Wafer Reception Box}

본 발명은 반도체 웨이퍼 보관 용기에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 착탈이 쉬우면서도 웨이퍼를 안정적으로 수용 및 보관할 수 있을 뿐만 아니라 복수로 적층하여도 하중에 의한 변형이 없는 웨이퍼 보관 용기에 관한 것이다.

반도체 소자를 제조하기 위한 웨이퍼(wafer)는 고정밀도의 물품이므로 보관하거나 또는 운반할 때 외부의 충격으로 인한 파손 또는 각종 오염물질로부터의 오염에 각별한 주의를 요한다. 특히, 웨이퍼의 보관 및 운반 과정에서 웨이퍼의 표면이 먼지, 수분, 각종 유기물 등과 같은 각종 오염물질로 오염되지 않도록 주의해야 한다.

그러한 이유로, 웨이퍼를 보관 및/또는 운반할 때에는 별도의 용기 내에 웨이퍼를 수납하여 보관 및/또는 운반함으로써 외부의 충격 및/또는 각종 오염물질로부터 보호한다.

이를 위해, 대한민국 등록특허 제10-1447451호 (2014년09월29일 등록, 발명의 명칭 "웨이퍼 보관 용기")에서는 용기를 구성하는 커버체의 상면과 본체의 저면 각각에 끼워 맞춤이 이루어지도록 하는 적층부를 구비하여 여러개의 보관 용기가 적층 보관 및 운반될 수 있게 하는 웨이퍼 보관 용기를 제안하였다.

이 특허문헌에 개시되어 있는 웨이퍼 보관 용기의 경우에는 끼워 맞춰지는 부위 중의 하나 이상에 문제가 발생하면 받침대로부터 덮개가 떨어져 나갈 수 있는 가능이 있으며, 재질의 특성상 상당수의 용기를 적층하기에는 하중에 의해 변형 가능성이 있다.

대한민국 등록특허 제10-1447451호 (2014년09월29일 등록, 발명의 명칭 "웨이퍼 보관 용기")

본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 착탈이 쉬우면서도 웨이퍼를 안정적으로 수용 및 보관할 수 있을 뿐만 아니라 복수로 적층하여도 하중에 의해 변형이 없는 웨이퍼 보관 용기를 제공하는 데에 있다.

상기 및 그 밖의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은,

받침대와 상기 받침대에 대하여 분리 가능하게 결합되는 덮개를 갖는 웨이퍼 보관 용기로서,

상기 받침대는,

바닥 플레이트, 상기 바닥 플레이트의 상면에 대하여 일체로 형성되되 단차지게 형성되어 있는 고정 플레이트, 및 상기 고정 플레이트의 둘레에 형성되어 웨이퍼의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지부를 포함하며,

상기 고정 플레이트에는 걸림편이 수평으로 형성되어 있고, 상기 걸림편의 하면과 상기 바닥 플레이트의 상면 사이에는 안착홈이 형성되어 있으며, 상기 걸림편에 대응되는 상기 덮개에는 상기 받침대의 바닥 플레이트에 대하여 안착 후 회전 조작에 의해 상기 걸림편의 하면과 상기 바닥 플레이트의 상면 사이에 형성된 안착홈에 안착된 후 상기 걸림편에 의해 안정적으로 고정되게 하는 걸림돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 용기를 제공한다.

본 발명에 있어, 상기 걸림편의 하면과 상기 바닥 플레이트의 상면 사이에 형성된 안착홈의 내측 부위는 덮개의 체결 회전 방향을 기준으로 외측으로 만곡되어 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어, 상기 걸림돌기는 상기 고정 플레이트의 전단에 형성된 걸림편과 이웃하는 고정 플레이트의 후단 사이에 안착된 후 상기 덮개의 회전 조작에 의해 상기 걸림편과 상기 바닥 플레이트 사이에 형성된 안착홈에 안착된 후 상기 걸림편의 탄성 지지에 의해 안정적으로 고정되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어, 상기 덮개의 상면에는 상향으로 방사상 리브가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 덮개의 회전 조작에 의해 착탈이 이루어지므로 착탈 자체가 쉽고, 덮개의 회전 조작 중에 외측으로 탄성 지지와 상방향에서 하방향으로 탄성 지지가 동시에 이루어져 웨이퍼의 안정적인 수용 및 보관이 이루어지며, 복수개로 적층하여도 상부에 형성된 리브에 의해 하중에 의한 변형이 쉽지 않은 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 하나의 실시 형태에 따른 웨이퍼 보관 용기의 전체 모습을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 보관 용기의 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 웨이퍼 보관 용기를 다른 각도에서 바라본 분해 사시도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 하나의 실시 형태에 따른 웨이퍼 보관 용기에서 받침대에 대하여 덮개를 체결하는 모습을 순차적으로 보여주는 도면으로, 도 4는 받침대에 덮개를 안착한 모습을 보여주는 도면이고, 도 5는 받침대에 대하여 덮개를 회전시켜 체결한 후의 모습을 보여주는 도면이다.

이하, 본 발명은 첨부된 예시 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명된다. 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다. 또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 도면부호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 하나의 실시 형태를 나타낸다. 특히, 도 1은 본 발명의 하나의 실시 형태에 따른 웨이퍼 보관 용기의 전체 모습을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 보관 용기의 분해 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 웨이퍼 보관 용기를 다른 각도에서 바라본 분해 사시도이고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 하나의 실시 형태에 따른 웨이퍼 보관 용기에서 받침대에 대하여 덮개를 체결하는 모습을 순차적으로 보여주는 도면이다.

먼저, 도 1 내지 도 3을 함께 참조하면, 본 발명의 하나의 실시 형태에 따른 웨이퍼 보관 용기는 받침대(10)와 상기 받침대(10)에 대하여 분리 가능하게 결합되는 덮개(30)를 포함한다.

받침대(10)는 특히 도 2에 도시된 바와 같이 바닥면을 이루는 바닥 플레이트(12)와 상기 바닥 플레이트(12)의 상면에 대하여 일체로 형성되어 있는 고정 플레이트(14) 그리고 상기 고정 플레이트(14)의 둘레에 형성되어 웨이퍼의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지부(20)로 구성된다.

상기 고정 플레이트(14)는 바닥 플레이트(12)에 대하여 단차지게 형성된다. 상기 고정 플레이트(14)에는 도 2에 도시된 바와 같이 걸림편(16)이 수평으로 형성된다. 이로써, 상기 고정 플레이트(14) 측에 형성된 걸림편(16)의 하면과 상기 바닥 플레이트(12)의 상면 사이에는 안착홈(18)이 형성된다.

상기 받침대(10) 즉, 상기 고정 플레이트(140) 측에 형성된 걸림편(16)에 대응되는 상기 덮개(30)에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 받침대(10)의 바닥 플레이트(12)에 대하여 안착 후 회전 조작에 의해 상기 안착홈(18)에 안착된 후 상기 걸림편(16)에 의해 안정적으로 고정되게 하는 걸림돌기(36)가 형성된다.

상기 고정 플레이트(14) 측에 형성된 걸림편(16)의 하면과 상기 바닥 플레이트(12)의 상면 사이에 형성된 안착홈(18)의 내측 부위는 덮개의 체결 회전 방향을 기준으로 외측으로 만곡되어 형성되어, 상기 덮개(30) 측에 형성된 걸림돌기(36)가 안착된 후 외측으로의 탄성 지지에 의해 보다 안정적으로 고정되게 하는 역할을 한다.

상기 덮개(30)의 상부에는 개별적인 웨이퍼 보관 용기가 상호 적층 중에도 하중에 의한 변형을 방지하기 위해 방사상 리브(38)가 형성된다.

도 1 내지 도 3과 함께 도 4 및 도 5를 참조하면, 웨이퍼 보관 용기의 받침대(10)에 덮개(30)를 결합하기 위해서는 먼저 받침대(10)의 고정 플레이트(14) 전단에 형성된 걸림편(16)과 이웃하는 고정 플레이트(14)의 후단 사이에 상기 덮개(30) 측의 걸림돌기(36)를 안착시킨 후, 특히 도 4에 도시된 바와 같이 덮개(30)에 형성된 걸림돌기(36)가 걸림편(16)의 하면과 상기 바닥 플레이트(12)의 상면 사이에 형성된 안착홈(18)에 인입되게 회전시킨다.

이때, 덮개(30)에 형성된 각각의 걸림돌기(36)는 받침대(10)에 형성된 안착홈(18)에서 외측으로 탄성 지지되고, 이와 함께 덮개(10)의 고정 플레이트(14)에 의한 하향 탄성에 의해 동시적으로 탄성 지지되게 된다. 이로써 받침대(10)에 덮개(30)가 안정적으로 체결 및 고정되는 것이다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 구체예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 : 받침대 12 : 바닥 플레이트
14 : 고정 플레이트 16 : 걸림편
18 : 안착홈 20 : 이탈방지부
30 : 덮개 36 : 걸림돌기
38 : 리브

Claims (4)

1. 받침대(10)와 상기 받침대(10)에 대하여 분리 가능하게 결합되는 덮개(30)를 갖는 웨이퍼 보관 용기로서,
   상기 받침대(10)는,
   바닥 플레이트(12), 상기 바닥 플레이트(12)의 상면에 대하여 일체로 형성되되 단차지게 형성되어 있는 고정 플레이트(14), 및 상기 고정 플레이트(14)의 둘레에 형성되어 웨이퍼의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지부(20)를 포함하며,
   상기 고정 플레이트(14)에는 걸림편(16)이 수평으로 형성되어 있고, 상기 걸림편(16)의 하면과 상기 바닥 플레이트(12)의 상면 사이에는 안착홈(18)이 형성되어 있으며, 상기 걸림편(16)에 대응되는 상기 덮개(30)에는 상기 받침대(10)의 바닥 플레이트(12)에 대하여 안착 후 회전 조작에 의해 상기 걸림편(16)의 하면과 상기 바닥 플레이트(12)의 상면 사이에 형성된 안착홈(18)에 안착된 후 상기 걸림편(16)에 의해 안정적으로 고정되게 하는 걸림돌기(36)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 용기.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 걸림편(16)의 하면과 상기 바닥 플레이트(12)의 상면 사이에 형성된 안착홈(18)의 내측 부위는 덮개의 체결 회전 방향을 기준으로 외측으로 만곡되어 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 용기.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 걸림돌기(36)는 상기 고정 플레이트(14)의 전단에 형성된 걸림편(16)과 이웃하는 고정 플레이트(14)의 후단 사이에 안착된 후 상기 덮개(30)의 회전 조작에 의해 상기 걸림편(16)과 상기 바닥 플레이트(12) 사이에 형성된 안착홈(18)에 안착된 후 상기 걸림편(16)의 탄성 지지에 의해 안정적으로 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 용기.
4. 제 3항에 있어서,
   상기 덮개(30)의 상면에는 상향으로 방사상 리브(38)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보관 용기.

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