KR20170084738A - 마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치 - Google Patents

마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조장치를 개시한다. 본 발명은, 마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체에 있어서, 상기 마스크 시트는, 적어도 한 개 이상의 개구부가 있는 패턴부와, 상기 패턴부와 연결되며, 상기 패턴부와 입자 크기가 상이한 용접부를 포함한다.

Description

마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치{Mask assembly, manufacturing method for the same, manufacturing apparatus for a display apparatus having the same}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
종래의 표시 장치를 제조하기 위하여 마스크 시트를 사용하는 경우 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접을 통하여 부착한 후 사용할 때 마스크 시트와 마스크 프레임의 용접 정도에 따라서 표시 장치의 해상도에 영향을 미칠 수 있다. 본 발명의 실시예들은 상기와 같은 문제를 해결하고자 고 해상도의 표시 장치의 제작이 가능한 마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체에 있어서, 상기 마스크 시트는, 적어도 한 개 이상의 개구부가 있는 패턴부와, 상기 패턴부와 연결되며, 상기 패턴부와 입자 크기가 상이한 용접부를 포함하는 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 입자 크기는 상기 용접부의 입자 크기보다 작을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 입자 크기가 상기 패턴부와 상이한 상기 용접부에는 용접점이 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부와 상기 용접부는 표면 거칠기가 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 입자 크기는 나노 스케일이고, 상기 용접부는 마이크로 스케일일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트는 니켈 함량이 30wt% 내지 50wt%일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트의 입자의 결정구조는 체심입방구조(BCC, Body Centered Cubic) 및 면심입방구조(FCC, Face Centered Cubic)를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수는 상기 용접부의 적어도 일부분의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수와 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트가 안착되어 용접되는 마스크 프레임을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 용접부는 상기 마스크 프레임 상에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 일부분이 열처리된 용접부를 포함한 마스크 시트를 제조하는 단계와, 마스크 프레임 상에 상기 마스크 시트를 안착하여 용접하는 단계를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트를 제조하는 단계는, 모재에 적어도 하나 이상의 개구부가 있는 패턴부를 형성하는 단계와, 상기 모재의 일부분을 열처리하여 상기 용접부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 열처리는 섭씨 350도 이상 내지 상기 모재의 녹는점 이하의 범위에서 수행될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 용접부를 형성하는 단계는 상기 패턴부를 형성하는 단계 전 또는 상기 패턴부를 형성하는 단계 후에 수행될 수 있다.
본 실시에에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 개구부는 레이저 드릴링 방법, 에칭 방법 또는 전주 도금 방법 중 하나로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 모재는 전주 도금 방법으로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 용접부는 상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 상기 용접부 상에 용접점이 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 용접부와 상기 패턴부의 입자의 크기가 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트는 니켈 함량이 30wt% 내지 50wt%일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 입자 중 체심입방구조를 갖는 입자의 개수는 상기 용접부의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수와 상이할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 적어도 한 개 이상의 개구부가 있는 패턴부와, 상기 패턴부와 연결되며, 상기 패턴부와 입자 크기가 상이한 용접부를 포함하는 마스크 시트를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 입자 크기는 상기 용접부의 입자 크기보다 작을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 입자 크기가 상기 패턴부와 상이한 상기 용접부에는 용접점이 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부와 상기 용접부는 표면 거칠기가 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 입자 크기는 나노 스케일이고, 상기 용접부는 마이크로 스케일일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트는 니켈 함량이 30wt% 내지 50wt%일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트의 입자의 결정구조는 체심입방구조(BCC, Body Centered Cubic) 및 면심입방구조(FCC, Face Centered Cubic)를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 패턴부의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수는 상기 용접부의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수와 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트가 안착되어 용접되는 마스크 프레임을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 용접부는 상기 마스크 프레임 상에 배치될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 마스크 시트와 마스크 프레임 사이의 용접율을 증대시킴으로써 마스크 시트를 마스크 프레임에 견고하게 고정시키는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 실시예들은 간단한 공정을 통하여 용접율을 향상시킴으로써 제품의 생산성을 증대시키고 불량율을 최소화할 수 있다. 본 발명의 실시예들은 정밀한 패턴 및 정확한 패턴으로 기판에 증착물질을 증착하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 시트를 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 마스크 시트의 재료에 따른 상변이도를 보여주는 그래프이다.
도 4는 도 2에 도시된 마스크 시트의 용접 결과와 기존의 마스크 시트의 용접 결과를 보여주는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5에 도신 표시 장치의 제조장치로 제조한 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 마스크 시트를 보여주는 단면도이다. 도 3은 도 2에 도시된 마스크 시트의 재료에 따른 상변이도를 보여주는 그래프이다. 도 4는 도 2에 도시된 마스크 시트의 용접 결과와 기존의 마스크 시트의 용접 결과를 보여주는 평면도이다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 지지부재(153)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(151)은 창틀 형태로 형성될 수 있다. 이때, 마스크 프레임(151)은 복수개 프레임을 구비할 수 있으며, 복수개의 프레임은 서로 연결될 수 있다. 상기와 같은 마스크 프레임(151)은 중앙 부분에 하나의 홀이 형성될 수 있으며, 다른 실시예로써 중앙 부분에 복수개의 홀이 형성되는 것도 가능하다. 이때, 마스크 프레임(151)의 중앙 부분에 복수개의 홀이 형성되는 경우 마스크 프레임(151)의 중앙 부분은 격자 형태로 형성될 수 있다.
마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151) 상에 설치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)에 용접을 통하여 부착될 수 있다.
마스크 시트(152)는 복수개 구비되어 마스크 프레임(151)의 일변 방향으로 서로 인접하도록 배열될 수 있다. 이때, 복수개의 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)의 개구된 중앙 부분을 차폐할 수 있다.
각 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)에 인장된 상태로 부착될 수 있다. 예를 들면, 각 마스크 시트(152)는 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 인장시킨 상태에서 마스크 프레임(151)에 용접하여 고정될 수 있다.
각 마스크 시트(152)는 적어도 한 개 이상의 개구부(152b-1)가 형성된 패턴부(152b)와, 패턴부(152b)와 연결되는 용접부(152a)를 포함할 수 있다.
상기와 같은 마스크 시트(152)는 니켈-철 합금 재질로 형성될 수 있다. 이때, 니켈의 함량은 마스크 시트(152)의 총 중량에 대해서 약 30wt% 내지 50wt%일 수 있다.
패턴부(152b)에 형성되는 적어도 한 개 이상의 개구부(152b-1)는 패턴부(152b) 전체에 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 패턴부(152b)에 형성되는 적어도 한 개 이상의 개구부(152b-1)는 하나의 그룹 형태를 형성하고, 패턴부(152b)에는 상기 그룹이 복수개 형성되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 적어도 한 개 이상의 개구부(152b-1)는 하나의 그룹 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
패턴부(152b)에는 복수개의 개구부(152b-1)가 형성되고, 복수개의 개구부(152b-1) 중 일부가 그룹을 형성하는 패턴 영역(152b-2)을 포함할 수 있다. 패턴 영역(152b-2)에 형성된 복수개의 개구부(152b-1)는 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있으며, 일정한 패턴을 형성할 수 있다.
상기와 같은 패턴 영역(152b-2)은 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 패턴 영역(152b-2)은 서로 이격되도록 배치될 수 있으며, 증착물질이 증착되는 기판(21) 상의 표시 영역과 대응될 수 있다.
용접부(152a)는 패턴부(152b)와 연결될 수 있다. 예를 들면, 용접부(152a)는 마스크 시트(152)의 적어도 일부분에 형성될 수 있으며, 패턴부(152b)를 제외한 부분에 형성될 수 있다. 이때, 용접부(152a)는 마스크 프레임(151) 상에 배치되어 용접점(P)이 형성될 수 있다. 용접점(P)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 용접점(P)은 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
상기와 같이 용접부(152a)는 다양한 방법으로 마스크 시트(152)에 구비될 수 있다. 예를 들면, 용접부(152a)는 패턴부(152b)의 양단에 배치되어 패턴부(152b)와 연결될 수 있다. 이때, 용접부(152a)는 마스크 시트(152)에 스트라입(Stripe), 라인 또는 일정한 면적을 갖도록 형성될 수 있다. 또한, 용접부(152a) 상에는 복수개의 용접점(P)이 서로 이격되도록 형성될 수 있다. 특히 용접부(152a)는 마스크 시트(152)에 형성되는 복수개의 용접점(P)의 일부 또는 모두가 내부에 배치되도록 일정한 면적을 갖도록 형성되는 것도 가능하다. 다른 실시예로써 용접부(152a)는 용접점(P)을 감싸도록 형성되는 것도 가능하다. 구체적으로 용접점(P)이 형성될 마스크 시트(152)에 점, 다각형, 원형 등의 형태로 형성될 수 있다. 이때, 용접부(152a)는 복수개가 구비될 수 있으며, 각 용접부(152a) 상에는 하나의 용접점(P)이 배치될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 용접부(152a) 내부에는 마스크 시트(152) 상에 형성되는 모든 용접점(P)이 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 패턴부(152b)와 용접부(152a)는 서로 동일한 재질로 형성될 수 있다. 이때, 패턴부(152b)의 입자의 크기는 용접부(152a)의 입자의 크기와 상이하게 형성될 수 있다. 구체적으로 패턴부(152b)의 입자의 크기는 용접부(152a)의 입자의 크기보다 작게 형성될 수 있다. 특히 패턴부(152b)의 입자의 크기는 용접점(P)이 형성되는 용접부(152a)의 입자 크기보다 작게 형성될 수 있다. 또한, 패턴부(152b)의 입자의 크기는 나노스케일(nano scale)인 반면 용접부(152a)는 마이크로 스케일(micro scale)일 수 있다.
상기와 같이 용접부(152a)의 입자의 크기가 크게 형성되는 경우 용접점(P)이 형성될 때, 마스크 프레임(151)과 용접부(152a) 사이에 용접율이 향상될 수 있다. 특히 용접부(152a)의 입자의 크기가 크게 형성됨으로써 용접점(P)의 형성시 용접으로 인한 용접부(152a)가 용융되는 것을 방지할 수 있다.
상기와 같은 패턴부(152b)와 용접부(152a)의 표면 거칠기는 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 패턴부(152b)의 표면 거칠기는 용접부(152a)의 표면 거칠기보다 작을 수 있다. 이러한 경우 용접부(152a)에서는 열전달이 효율적으로 발생함으로써 용접부(152a)가 용접점(P)의 형성 시 용융되는 것을 방지할 수 있다.
지지부재(153)는 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 지지부재(153)는 마스크 프레임(151)의 일변과 평행하도록 설치될 수 있다. 지지부재(153)는 마스크 시트(152)의 사이 또는 마스크 시트(152)의 길이 방향과 일정 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. 이때, 지지부재(153)는 마스크 시트(152)를 지지함으로써 마스크 시트(152)의 열변형시 하중 등으로 인하여 마스크 시트(152)가 쳐지는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기와 같은 마스크 조립체(150)의 제조방법을 살펴보면, 마스크 프레임(151)과 마스크 시트(152)를 제조하여 준비할 수 있다. 구체적으로 마스크 시트(152)를 제조하는 방법은 상세히 살펴보면, 모재(미도시)를 준비할 수 있다. 이때, 상기 모재는 다양한 방법을 제조할 수 있다. 이하에서는 각 방법에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
일 실시예로써 철-니켈 합금으로 형성된 상기 모재를 압연하여 두께를 줄일 수 있다. 이러한 경우 상기 모재를 형성하는 입자는 압연 방향과 평행한 형태로 형성될 수 있다.
상기와 같이 준비된 상기 모재에 적어도 하나 이상의 개구부(152b-1)를 형성하여 패턴부(152b)를 형성할 수 있다. 이때, 개구부(152b-1)를 형성하는 방법은 레이저를 조사하여 형성하는 방법 또는 에칭액을 분사하거나 에칭액에 상기 모재를 침지하여 형성하는 방법 등을 사용할 수 있다. 이러한 경우 상기 모재에는 포토레지스트를 도포하여 개구부(152b-1)의 패턴을 형성할 수 있다.
상기와 같이 상기 모재에 적어도 하나 이상의 개구부(152b-1)를 형성하기 전 또는 개구부(152b-1)를 형성한 후 상기 모재의 적어도 일부분을 열처리하여 용접부(152a)를 형성할 수 있다. 구체적으로 상기 모재의 적어도 일부분을 약 섭씨 350도 내지 녹는점 이하의 범위 내에서 열처리할 수 있다. 이때, 상기 모재의 녹는점은 철 또는 니켈의 함량에 따라 대략 섭씨 1440도 미만일 수 있다. 특히 바람직하게는 상기 모재의 적어도 일부분을 약 섭씨 350도 내지 750도 범위에서 열처리할 수 있다.
상기와 같이 상기 모재를 열처리하기 위하여 상기 모재를 챔버(미도시) 내부에 삽입한 후 상기 챔버 내부에 헬륨, 아르곤, 질소 등과 같은 비활성 가스를 공급할 수 있다. 특히 상기와 같은 열처리는 산소가 상기 챔버 내부에 존재하지 않거나 열처리시 산소가 발생하지 않는 환경에서 수행되어야 한다. 이러한 경우 산소로 인하여 상기 모재 외부에 산화막이 형성됨으로써 차후 마스크 프레임(151)에 용접시 산화막으로 인한 용접률이 저하될 수 있다.
이와 같이 상기 챔버 내부에 가스를 공급하면서 상기 모재에 레이저 등을 가하여 가열시킬 수 있으며, 상기 모재의 표면을 열처리할 수 있다. 이때, 상기 챔버 내부의 기체는 펌프 등을 통하여 외부로 배출시킬 수 있다.
상기와 같이 상기 모재를 열처리하는 경우 열처리된 상기 모재의 일부분의 입자 결정구조가 변경될 수 있다. 구체적으로 상기 모재를 형성하는 철-니켈 합금의 경우 입자의 결정구조는 체심입방구조(BCC, Body Centered Cubic) 및 면심입방구조(FCC, Face Centered Cubic)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 모재를 상기와 같이 열처리하는 경우 입자의 체심입방구조의 개수 및 면심입장구조의 개수가 가변할 수 있다. 예를 들면, 상기 모재를 상기와 같이 열처리하는 경우 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수는 줄어들 수 있다. 반면, 상기 면심입방구조를 갖는 입자의 개수는 늘어날 수 있다. 즉, 상기 모재 중 체심입방구조를 갖는 입자가 상변화를 통하여 상기 면심입방구조를 갖는 입자가 될 수 있다. 이때, 상기 면심입방구조를 갖는 입자의 열전도도가 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 열전도도보다 큼으로써 용접부(152a)의 열전도도가 패턴부(152b)의 열전도도보다 커질 수 있다.
상기와 같이 열처리하는 경우 용접부(152a)의 입자의 결정구조는 대부분 상기 면심입방구조를 가질 수 있다. 특히 용접부(152a)의 입자의 결정구조는 상기 체심입방구조를 가지지 않을 수 있다.
또한, 상기와 같이 열처리하는 경우 용접부(152a)를 구성하는 입자는 압연 방향으로 길게 형성되어 있다가 다양한 방향으로 커질 수 있다. 이러한 경우 용접부(152a)의 입자의 크기는 패턴부(152b)의 입자의 크기보다 커질 수 있다.
상기와 같이 상기 모재를 가공하여 패턴부(152b)와 용접부(152a)를 포함하는 마스크 시트(152)의 제조가 완료되면, 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151)에 용접할 수 있다. 이때, 용접부(152a)는 마스크 시트(152) 상에 배치될 수 있다.
상기와 같이 마스크 시트(152)와 마스크 프레임(151)를 용접하는 경우 용접부(152a)에서는 열전도도가 높아 마스크 시트(152)의 다른 부위보다 용접이 원활하게 진행될 수 있다. 특히 상기와 같이 입자의 결정구조가 면심입방구조를 갖는 입자의 개수가 많은 경우 열전도도가 다른 부분보다 높아질 수 있다. 이러한 경우 용접 시 가해지는 열이 마스크 시트(152)의 두께 방향으로 신속하고 잘 전달될 수 있다. 특히 적은 열에너지를 가하는 경우에도 마스크 시트(152)와 마스크 프레임(151)의 용접을 원활하게 수행할 수 있다. 뿐만 아니라 열 에너지가 용접부(152a)의 내부에서 전달되지 못하여 쌓임으로써 용접부(152a) 부분이 용융되는 것을 방지할 수 있다.
다른 실시예로써 상기 모재를 전주 도금 방법을 사용하여 준비하는 것도 가능하다. 구체적으로 전주 도금 방법을 사용하여 플레이트 형태의 상기 모재를 제조할 수 있다. 이때, 전주 도금 방법에 따라서 상기 모재 상에 적어도 하나 이상의 개구부(152b-1)를 형성하는 것도 가능하다. 다른 실시예로써 상기 모재를 전주 도금 방법으로 제조한 후 상기 모재에 레이저를 조사하는 개구부(152b-1)를 형성하는 레이저 드릴링 방법, 에칭액을 분사하여 개구부(152b-1)를 형성하는 에칭 방법 등을 사용할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 모재를 제조한 후 레이저를 사용하여 개구부(152b-1)를 형성하는 방법을 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 상기 모재가 준비된 후 개구부(152b-1)를 형성하기 전 또는 개구부(152b-1)를 형성한 후 용접부(152a)를 형성할 수 있다. 이때, 용접부(152a)를 형성하는 방법은 상기에서 설명한 바와 동일 또는 유사할 수 있으므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같이 상기 모재를 전주 도금 방법으로 제조하는 경우 상기 모재의 입자의 크기는 나노스케일일 수 있다. 이때, 상기와 같이 열처리를 하는 경우 용접부(152a)의 입자의 크기는 마이크로스케일로 커질 수 있다. 또한, 용접부(152a)의 입자의 결정구조도 상기에서 설명한 바와 같이 변경될 수 있다.
상기와 같이 마스크 시트(152)의 제조가 완료되면, 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151) 상에 배치하고 마스크 시트(152)를 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 인장시킬 수 있다. 이후 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151)에 용접하여 고정시킬 수 있다. 이때, 용접부(152a)는 마스크 프레임(151) 상에 배치될 수 있다.
상기와 같이 열처리하여 용접부(152a)를 형성한 후 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151)에 부착시키는 경우 마스크 시트(152)와 마스크 프레임(151)의 용접률이 향상됨으로써 불량을 최소화할 수 있다. 구체적으로 상기와 같이 열처리를 통하여 용접부(152a)의 입자의 결정구조를 변경시킴으로써 용접부의 열전도도를 변화시킬 수 있다. 특히 기존의 마스크 시트의 경우 열처리를 하지 않고 마스크 시트를 마스크 프레임에 용접하는 경우 마스크 시트의 입자의 결정구조 및 형태에 따라서 열전도도가 낮아지는 문제가 있다. 이러한 경우 마스크 시트에 레이저 등을 조사하여 열을 가하는 경우 열전달이 제대로 이루어지지 않음으로써 마스크 시트의 일부가 용융되는 문제가 발생할 수 있다.(도 4 참고) 이때, 마스크 시트와 마스크 프레임은 용접이 제대로 되지 않음으로써 고온의 환경에 노출시 마스크 시트가 마스크 프레임으로부터 이탈하는 문제가 발생할 수 있다.
그러나 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 조립체(150)는 상기에서 설명한 바와 같이 마스크 시트(152)와 마스크 프레임(151) 사이의 용접율을 증대시킴으로써 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151)에 견고하게 고정시키는 것이 가능하다. 뿐만 아니라 마스크 조립체(150)는 간단한 공정을 통하여 용접율을 향상시킴으로써 제품의 생산성을 증대시키고 불량율을 최소화할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 5를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 마스크 조립체(150), 제1 지지부(120), 제2 지지부(130), 증착원(160), 비젼부(140) 및 압력조절부(170)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개방되도록 형성될 수 있다. 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트밸브(110a)가 설치되어 개구된 부분을 개폐할 수 있다.
마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 지지부재(153)를 포함할 수 있다. 마스크 시트(152)는 상기에서 설명한 것과 같이 개구부(152b-1)이 형성된 패턴부(152b) 및 패턴부(152b)와 연결되는 용접부(152a)를 포함할 수 있다. 이때, 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 지지부재(153)는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 지지부(120)는 기판(21)이 안착할 수 있다. 이때, 제1 지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 설치될 수 있으며, 다른 실시예로써 챔버(110) 내부에 이동 가능하도록 설치되는 것도 가능하다. 상기와 같은 경우 제1 지지부(120)는 셔틀 등의 형태로 형성될 수 있다.
제2 지지부(130)는 마스크 프레임(151)이 안착할 수 있다. 이때, 제2 지지부(130)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 설치될 수 있다. 또한, 제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 가변시켜 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 상대적인 위치를 조절하는 것도 가능하다.
증착원(160)은 마스크 조립체(150)와 대향하도록 설치될 수 있다. 이때, 증착원(160)은 챔버(110)에 고정되도록 설치될 수 있으며, 다른 실시예로써 챔버(110)에 이동 가능하도록 설치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(160)은 챔버(110) 내부에 고정되도록 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
증착원(160)은 내부에 증착물질이 수납될 수 있다. 이때, 증착원(160) 내부에는 증착물질에 열을 가하는 히터(160a)가 배치될 수 있다.
비젼부(140)는 챔버(110)에 설치되어 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(140)는 촬영된 영상을 제어부(미도시)로 전송할 수 있다. 상기 제어부는 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 위치를 근거로 제2 지지부(130)를 통하여 기판(21)과 마스크 조립체(150)를 얼라인시킬 수 있다.
압력조절부(170)는 챔버(110)에 연결되어 챔버(110) 내부의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다. 이때, 압력조절부(170)는 챔버(110)에 연결되는 연결배관(171)과, 연결배관(171)에 설치되는 압력조절펌프(172)를 포함할 수 있다. 압력조절펌프(172)는 작동에 따라서 챔버(110) 내부의 압력을 대기압 또는 진공 상태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)의 작동방법을 살펴보면, 외부로부터 마스크 조립체(150) 및 기판(21)를 챔버(110)로 삽입할 수 있다. 이때, 마스크 조립체(150) 및 기판(21)은 챔버(110) 외부에 별도로 구비되는 로봇암 등을 통하여 챔버(110) 외부로부터 챔버(110) 내부로 진입할 수 있다.
기판(21) 및 마스크 조립체(150)를 각각 제1 지지부(120)와 제2 지지부(130)에 안착시킬 수 있다. 이후 비젼부(140)에 촬영된 이미지를 근거로 기판(21)과 마스크 조립체(150)를 얼라인시킬 수 있다.
히터(160a)가 작동하여 증착물질이 기화 또는 승화하면 증착물질은 마스크 조립체(150)를 통과하여 기판(21)에 증착될 수 있다. 이때, 압력조절펌프(172)가 작동하여 챔버(110) 내부의 증착물질을 외부로 배출시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 가열된 증착물질로 인하여 마스크 조립체(150)에 열이 가해질 수 있다. 이때, 마스크 시트(152) 및 마스크 프레임(151)에 가해지는 열로 인하여 마스크 시트(152)가 변형될 수 있다. 이러한 경우 마스크 시트(152)가 마스크 프레임(151)에 견고하게 고정되어 있어야 기판(21)에 증착되는 증착물질의 패턴이 설계된 것과 동일 또는 유사하게 증착될 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 마스크 시트(152)가 견고하게 마스크 프레임(151)에 고정됨으로써 정밀한 패턴 및 정확한 패턴으로 기판(21)에 증착물질을 증착하는 것이 가능하다.
도 6은 도 5에 도신 표시 장치의 제조장치로 제조한 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 취한 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부(D)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 기판(21) 및 발광부(D)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(20)는 발광부(D)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 을 포함할 수 있다. 이때, 기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 발광부(D)가 형성될 수 있다. 이때, 발광부(D)는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
이때, 기판(21)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23a)과 드레인 영역(23b)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23b)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23b)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27a) 및 드레인 전극(27b)을 각각 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23b)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28a)이 형성된다. 이 화소 전극(28a)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27b)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28a)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28a) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소 정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28a)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28a) 상에 중간층(28b) 및 대향 전극(28c)이 형성된다.
화소 전극(28a)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28c)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)은 상기 중간층(28b)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28b)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28b)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28b)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28b)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
이때, 상기와 같은 중간층(28b)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 정밀한 패턴을 형성하는 중간층(28b)을 구비하고, 중간층(28b)이 정확한 위치에 증착되어 형성됨으로써 정밀한 이미지 구현이 가능하다. 또한, 표시 장치(20)는 반복적으로 중간층(28b)을 증착하더라도 일정한 패턴을 형성함으로써 지속적인 생산에 따라 균일한 품질을 나타낸다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
20: 표시 장치
21: 기판
100: 표시 장치의 제조장치
110: 챔버
120: 제1 지지부
130: 제2 지지부
140: 비젼부
150: 마스크 조립체
151: 마스크 프레임
152: 마스크 시트
152a: 용접부
152b: 패턴부
153: 지지부재
160: 증착원
170: 압력조절부

Claims (30)

  1. 마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체에 있어서,
    상기 마스크 시트는,
    적어도 한 개 이상의 개구부가 있는 패턴부; 및
    상기 패턴부와 연결되며, 상기 패턴부와 입자 크기가 상이한 용접부;를 포함하는 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴부의 입자 크기는 상기 용접부의 입자 크기보다 작은 마스크 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    입자 크기가 상기 패턴부와 상이한 상기 용접부에는 용접점이 배치된 마스크 조립체
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴부와 상기 용접부는 표면 거칠기가 상이한 마스크 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴부의 입자 크기는 나노 스케일이고, 상기 용접부는 마이크로 스케일인 마스크 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 시트는 니켈 함량이 30wt% 내지 50wt%인 마스크 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 시트의 입자의 결정구조는 체심입방구조(BCC, Body Centered Cubic) 및 면심입방구조(FCC, Face Centered Cubic)를 포함하는 마스크 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 패턴부의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수는 상기 용접부의 적어도 일부분의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수와 상이한 마스크 조립체.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 시트가 안착되어 용접되는 마스크 프레임;을 더 포함하는 마스크 조립체.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 용접부는 상기 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크 조립체.
  11. 일부분이 열처리된 용접부를 포함한 마스크 시트를 제조하는 단계; 및
    마스크 프레임 상에 상기 마스크 시트를 안착하여 용접하는 단계;를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 마스크 시트를 제조하는 단계는,
    모재에 적어도 하나 이상의 개구부가 있는 패턴부를 형성하는 단계; 및
    상기 모재의 일부분을 열처리하여 상기 용접부를 형성하는 단계;를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 열처리는 섭씨 350도 이상 내지 상기 모재의 녹는점 이하의 범위에서 수행되는 마스크 조립체의 제조방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 용접부를 형성하는 단계는 상기 패턴부를 형성하는 단계 전 또는 상기 패턴부를 형성하는 단계 후에 수행되는 마스크 조립체의 제조방법.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 적어도 하나 이상의 개구부는 레이저 드릴링 방법, 에칭 방법 또는 전주 도금 방법 중 하나로 형성된 마스크 조립체의 제조방법.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 모재는 전주 도금 방법으로 형성된 마스크 조립체의 제조방법.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 용접부는 상기 마스크 프레임 상에 배치되며, 상기 용접부 상에 용접점이 형성되는 마스크 조립체의 제조방법.
  18. 제 12 항에 있어서,
    상기 용접부와 상기 패턴부의 입자의 크기가 서로 상이한 마스크 조립체의 제조방법.
  19. 제 12 항에 있어서,
    상기 마스크 시트는 니켈 함량이 30wt% 내지 50wt%인 마스크 조립체의 제조방법.
  20. 제 12 항에 있어서,
    상기 패턴부의 입자 중 체심입방구조를 갖는 입자의 개수는 상기 용접부의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수와 상이한 마스크 조립체의 제조방법.
  21. 마스크 조립체; 및
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    적어도 한 개 이상의 개구부가 있는 패턴부; 및 상기 패턴부와 연결되며, 상기 패턴부와 입자 크기가 상이한 용접부;를 포함하는 마스크 시트;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 패턴부의 입자 크기는 상기 용접부의 입자 크기보다 작은 표시 장치의 제조장치.
  23. 제 21 항에 있어서,
    입자 크기가 상기 패턴부와 상이한 상기 용접부에는 용접점이 배치된 표시 장치의 제조장치.
  24. 제 21 항에 있어서,
    상기 패턴부와 상기 용접부는 표면 거칠기가 상이한 표시 장치의 제조장치.
  25. 제 21 항에 있어서,
    상기 패턴부의 입자 크기는 나노 스케일이고, 상기 용접부는 마이크로 스케일인 표시 장치의 제조장치.
  26. 제 21 항에 있어서,
    상기 마스크 시트는 니켈 함량이 30wt% 내지 50wt%인 표시 장치의 제조장치.
  27. 제 21 항에 있어서,
    상기 마스크 시트의 입자의 결정구조는 체심입방구조(BCC, Body Centered Cubic) 및 면심입방구조(FCC, Face Centered Cubic)를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 패턴부의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수는 상기 용접부의 입자 중 상기 체심입방구조를 갖는 입자의 개수와 상이한 표시 장치의 제조장치.
  29. 제 21 항에 있어서,
    상기 마스크 시트가 안착되어 용접되는 마스크 프레임;을 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 용접부는 상기 마스크 프레임 상에 배치되는 표시 장치의 제조장치.
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