KR20150108983A - 반도체소자 테스트용 핸들러 - Google Patents

반도체소자 테스트용 핸들러 Download PDF

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Abstract

본 발명은 생산된 반도체소자의 테스트 시에 사용되는 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는 고객트레이를 공급하거나 수납하는 스택커가 이동 가능하게 구비되고, 스택커를 이동시켜 스택커의 위치를 선택할 수 있는 위치선택기를 구비한다.
따라서 본 발명이 적용된 핸들러는 스택커의 효율적 운용에 따라 동일한 테스트 공정상에서 많은 물량의 반도체소자를 연속적으로 소화하거 서로 다른 랏 물량을 연속적으로 소화할 수 있으면서도 장비의 대형화나 설계의 복잡함을 방지하여 공간 및 생산단가를 절감할 수 있고, 인력 절감 및 장비의 가동률 상승을 가져올 수 있다.

Description

반도체소자 테스트용 핸들러{HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE}
본 발명은 생산된 반도체소자의 테스트 시에 사용되는 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것으로서, 특히 고객트레이의 수급과 관련된다.
반도체소자 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 약칭 함)는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 고객트레이(customer tray)로부터 인출한 후 테스터(tester)에 전기적으로 연결하고, 테스트(test)가 종료되면 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하여 빈 고객트레이로 인입시키는 장비이다.
핸들러는 반도체소자의 종류, 테스트 목적이나 환경 등 그 사용 목적에 따라 대한민국 공개특허 10-2009-0012667호에서 제시된 형태나 10-2002-0077596호에서 제시된 형태 등 다양한 형태로 진화하여 왔다.
일반적으로 핸들러는 반도체소자가 적재되거나 적재될 수 있는 고객트레이의 수급을 위한 다수의 스택커를 구비한다.
다수의 스택커에는 테스트되어야할 반도체소자가 적재된 고객트레이를 공급하는 공급 스택커와 테스트 완료된 반도체소자가 적재된 고객트레이를 수납할 수 있는 수납 스택커가 있다. 여기서 공급 스택커와 수납 스택커는 적어도 하나 이상 구비된다. 그리고 공급 스택커나 수납 스택커에는 정해진 개수의 고객트레이가 수용될 수 있다.
한편, 반도체소자의 테스트는 1 랏(lot)의 물량 단위로 동일한 환경 조건에서 테스트된다. 따라서 1 랏 물량의 반도체소자는 연속적으로 테스트되는 것이 여러모로 바람직하다.
그런데 1 랏의 물량이 공급 스택커에 수용될 수 있는 수의 고객트레이에 적재될 수 있는 물량을 초과하는 경우가 종종 발생한다. 이러한 경우 1 랏의 물량 중 일부 물량의 반도체소자들의 테스트가 종료되면, 작업자가 다른 일부 물량의 반도체소자들이 적재된 고객트레이를 공급한다. 따라서 작업자의 인력이 소요되고, 작업 시간만큼 핸들러의 가동률이 떨어지게 된다.
따라서 도1에서와 같이 공급 스택커(171)가 하나이고 고객트레이(CT)로부터 반도체소자가 인출될 수 있는 인출위치(WP)가 하나인 핸들러(100)를 생산하다가 도2에서와 같이 공급 스택커(271a, 271b) 및 인출위치(WP1, WP2)가 추가된 개량된 핸들러(200)의 생산을 고려할 수는 있다. 그러나 개량된 핸들러(200)에 따르면 장비가 커지게 될 뿐만 아니라 인출위치(WP1, WP2)에서 고객트레이(CT)로부터 반도체소자를 인출하여 이동시키기 위한 소자 이동기(220)의 설계 및 제어도 복잡해진다.
아울러, 본 출원인의 선행 특허 출원 10-2013-0052809호 및 10-2013-0055510호 등에 제시된 핸들러는 스택커에 적재된 고객트레이가 하부의 벨트에 의해 인출위치로 이동하는 구조를 가지므로, 공급 스택커를 복수로 구비할 경우 벨트 구조물의 추가도 필요하다.
따라서 공간 낭비 및 생산단가의 상승을 가져온다. 그리고 그에 비하여 일반적인 물량 소화 시에는 추가된 공급 스택커(271b)의 활용도가 떨어진다.
물론 스택커에 상하방향으로 적재되는 고객트레이의 적재량을 많게 하기 위해 스택커의 상하 높이를 크게 가져가는 것도 고려해 볼 수 있지만, 그 역시 장비의 크기를 크게 하고, 장비의 높아진 높이만큼 작업자의 고객트레이 적재 작업이 번거로워진다.
본 발명의 목적은 스택커의 운용성을 높여 테스트될 반도체소자의 물량 변화에 적절히 대처할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 형태에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는, 인출위치에 있는 고객트레이에 적재된 반도체소자를 인출하여 테스터에 전기적으로 연결시킨 후 테스터에 의해 테스트가 완료된 반도체소자를 인입위치에 있는 고객트레이에 인입시키는 테스트 지원 부분; 및 테스트되어야할 반도체소자가 적재된 고객트레이를 인출위치로 보내거나 테스트가 완료된 반도체소자가 적재된 고객트레이를 인입위치로부터 가져옴으로써 상기 테스트 지원 부분의 작동에 따른 반도체소자들의 원활한 이동을 돕는 고객트레이 수급 부분; 을 포함하고, 상기 고객트레이 수급 부분은, 인출위치로 보낼 고객트레이가 수용되는 복수의 공급 스택커; 상기 복수의 공급 스택커에 적재된 고객트레이를 인출위치로 보내는 제1 트레이 이동기; 상기 복수의 공급 스택커를 이동시킴으로써, 상기 복수의 공급 스택커 중 어느 하나의 공급 스택커가 공급위치(인출위치로 고객트레이를 보내기 위한 위치임)로 위치되도록 하는 위치선택기; 인입위치에 있는 고객트레이를 수용할 수 있는 적어도 하나 이상의 수납 스택커; 및 인입위치에 있는 고객트레이를 상기 적어도 하나 이상의 수납 스택커로 가져오는 적어도 하나 이상의 제2 트레이 이동기; 를 포함한다.
상기 복수의 공급 스택커는 인출위치의 개수보가 많은 개수로 구비되며, 상기 복수의 공급 스택커에 적재된 고객트레이는 상기 제1 트레이 이동기를 통해 동일한 인출위치로 보내진다.
상기 복수의 공급 스택커는 고객트레이가 적재되었는지 여부를 감지하는 감지센서를 구비하고, 상기 위치선택기는 상기 감지센서에 의해 현재 공급위치에 위치한 공급 스택커에 고객트레이가 비워진 것으로 감지되면, 다른 공급 스택커 중 고객트레이가 존재하는 공급 스택커를 선택하여 공급위치로 이동시킨다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제2 형태에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는, 인출위치에 있는 고객트레이에 적재된 반도체소자를 인출하여 테스터에 전기적으로 연결시킨 후 테스터에 의해 테스트가 완료된 반도체소자를 인입위치에 있는 고객트레이에 인입시키는 테스트 지원 부분; 및 테스트되어야할 반도체소자가 적재된 고객트레이를 인출위치로 보내거나 테스트가 완료된 반도체소자가 적재된 고객트레이를 인입위치로부터 가져옴으로써 상기 테스트지원부분의 작동에 따른 반도체소자들의 원활한 이동을 돕는 고객트레이 수급 부분; 을 포함하고, 상기 고객트레이 수급 부분은, 인출위치로 보낼 고객트레이가 적재되거나 인입위치로부터 오는 고객트레이를 수용할 수 있는 다수의 스택커; 상기 다수의 스택커 중 적어도 하나의 스택커에 적재된 고객트레이는 인출위치로 보내고, 인입위치로부터 상기 다수의 스택커 중 상기 적어도 하나의 스택커와는 다른 적어도 하나의 스택커로 가져오는 복수의 트레이 이동기; 및 상기 다수의 스택커 중 적어도 어느 하나의 스택커를 이동시킴으로써 상기 적어도 어느 하나의 스택커의 위치를 선택할 수 있는 위치선택기; 를 포함한다.
상기 다수의 스택커 중 적어도 어느 하나의 스택커는 고객트레이가 가득 차 있는지 여부를 감지하는 제1 감지센서; 및 고객트레이가 적재되었는지 여부를 감지하는 제2 감지센서; 중 적어도 어느 하나를 가지며, 상기 위치선택기는 상기 제1 감지센서나 상기 제2 감지센서로부터 감지된 정보에 의해 상기 다수의 스택커 중 적어도 어느 하나의 스택커를 이동시킨다.
본 발명에 따르면 스택커의 효율적 운용으로 인해 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 많은 물량의 반도체소자를 동일한 테스트 공정상에서 연속적으로 소화할 수 있다.
둘째, 장비의 대형화나 설계의 복잡함을 방지하여 공간 및 생산단가를 절감할 수 있다.
셋째, 인력 절감 및 장비의 가동률 상승을 가져올 수 있다.
넷째, 서로 다른 랏의 물량을 연속적으로 소화할 수도 있다.
도1 및 도2는 종래 핸들러의 한계를 설명하기 위한 참조도이다.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도4는 도3의 핸들러의 주요 부분에 대한 개략적인 사시도이다.
도5는 도3의 핸들러의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 생략하거나 압축한다.
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러(300)에 대한 개념적인 평면도이다.
도3에서와 같이 본 발명에 따른 핸들러(300)는 한 쌍의 적재판(311, 312), 제1 소자 이동기(320), 한 쌍의 테스트 셔틀(331, 332), 연결기(340), 제2 소자 이동기(350) 트레이 이송기(360), 제1 공급 스택커(371a), 제2 공급 스택커(371b), 제1 수납 스택커(372a, 372b, 372c), 제2 수납 스택커(373), 대기 스택커(374), 제1 트레이 이동기(381), 제2 트레이 이동기(382a, 382b, 382c), 제3 트레이 이동기(383), 제4 트레이 이동기(384) 및 위치선택기(390)를 포함한다.
적재판(311, 312)에는 반도체소자들이 적재될 수 있다. 이러한 적재판(311, 312)은 히터를 가질 수 있다. 따라서 적재된 반도체소자들을 테스트에 필요한 온도로 가열시킬 수 있다. 상온 테스트 시에는 히터의 가동이 중지된다.
제1 소자 이동기(320)는 인출위치(WP)에 있는 고객트레이(CT)로부터 반도체소자를 인출한 후 적재판(311, 312)에 적재시킨다. 그리고 제1 소자 이동기(320)는 적재판(311, 312)에 있는 반도체소자를 현재 좌측 방향에 위치한 테스트 셔틀(331, 332)로 이동시킨다. 제1 소자 이동기(320)는 좌우 방향 및 전후 방향으로 이동(점선 화살표 a, b 참조) 가능하게 구비된다.
테스트 셔틀(331, 332)에는 반도체소자가 적재될 수 있다. 테스트 셔틀(331, 332)은 테스트위치(TP)를 지나 좌우 방향으로 이동(점선 화살표 c1, c2 참조) 가능하다.
연결기(340)는 테스트위치(TP)에 있는 테스트 셔틀(331, 332)에 적재된 반도체소자를 그 하방의 테스트소켓(TS)에 전기적으로 연결시킨다. 여기서 반도체소자와 테스트소켓(TS) 간의 전기적인 연결은 연결기(340)가 테스트 셔틀(331, 332)에 적재된 반도체소자를 하방으로 가압함으로써 이루어진다. 물론, 반도체소자는 테스트소켓(TS)을 통해 테스터에 전기적으로 연결된다.
제2 소자 이동기(350)는 현재 우측 편에 위치한 테스트 셔틀(331, 332)에 있는 테스트 완료된 반도체소자들을 테스트 결과에 따라 분류하면서 리테스트위치(RP), 인입위치(IP), 고정위치(FP)에 있는 고객트레이(CT)로 인입시킨다. 리테스트위치(RP)는 리테스트 대상인 반도체소자가 고객트레이(CT)로 인입되는 위치이다. 인입위치(IP)는 테스트를 통과한 반도체소자가 고객트레이(CT)로 인입되는 위치이다. 고정위치(FP)는 테스트를 통과하거나 리테스트 대상 외의 반도체소자들이 고객트레이(CT)로 인입되는 위치이다. 제2 소자 이동기(350)는 좌우 방향 및 전후 방향으로 이동(점선 화살표 d, e 참조) 가능하게 구비된다. 리테스트위치(RP), 인입위치(IP), 고정위치(FP)의 역할이나 상호 위치는 사용자의 필요에 따라 변경될 수 있다.
트레이 이송기(360)는 인출위치(WP), 수납위치(AP), 리테스트위치(RP), 인입위치(IP) 및 대기위치(SP) 간에 고객트레이(CT)를 이송시킨다. 트레이 이송기(360)는 좌우 방향으로 이동(점선 화살표 f 참조) 가능하게 구비된다.
위의 한 쌍의 적재판(311, 312), 제1 소자 이동기(320), 한 쌍의 테스트 셔틀(331, 332), 연결기(340), 제2 소자 이동기(350), 트레이 이송기(360)는 테스트 지원 부분으로 묶일 있다. 즉, 테스트 지원 부분은 인출위치(WP)에 있는 고객트레이(CT)에 적재된 반도체소자를 인출하여 테스터에 전기적으로 연결시키고, 테스트가 완료된 반도체소자를 테스트 결과에 따라 분류하면서 인입위치(IP)에 있는 고객트레이(CT)에 인입시키는 부분이다.
제1 공급 스택커(371a), 제2 공급 스택커(371b), 제1 수납 스택커(372a, 372b, 372c), 제2 수납 스택커(373), 대기 스택커(374)와 같은 스택커들의 구조와 제1 트레이 이동기(381), 제2 트레이 이동기(382a, 382b, 382c), 제3 트레이 이동기(383), 제4 트레이 이동기(384)와 같은 트레이 이동기들의 구조는 본 출원인의 선 특허 출원 10-2013-0052809호 및 10-2013-0055510호에 제시된 기술 사항이다. 따라서 이하의 설명에서 그들의 구조 및 작동에 관한 자세한 설명은 생략한다.
제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)는 테스트되어야 할 반도체소자가 적재된 고객트레이(CT)를 수용한다.
1 랏의 반도체소자들은 여러 장의 고객트레이(CT)에 나뉘어 적재된다. 그리고 여러 장의 고객트레이(CT)는 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)에 나뉘어 수용된다.
또는 제1 공급 스택커(371a)에는 먼저 테스트될 랏의 물량이 적재된 고객트레이가 수용되고, 제2 공급 스택커(371b)에는 나중에 테스트될 랏의 물량이 적재된 고객트레이가 수용될 수 있다.
제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)에 적층된 고객트레이(CT)들은 제1 트레이 이송기(381)에 의해 한 장씩 인출위치(WP)로 보내진다.
도4에서 참조되는 바와 같이 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)는 좌우 방향으로 나란히 인접하게 배치된다. 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)는 상호 결합되어 있다. 따라서 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)는 좌우 방향으로 함께 이동된다. 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)는 고객트레이(CT)들을 각각 적재할 수 있다면, 상호 밀착 또는 이격되는 등 어떠한 형태나 구조라도 바람직하다.
제1 공급 스택커(371a) 및 제2 공급 스택커(371b)는 수직 방향으로 적층된 고객트레이(CT)를 받치거나 받침을 해제하기 위한 클램퍼(CP)들을 가진다.
클램퍼(CP)는 받침부재(PE)와 실린더(CD)를 가진다.
받침부재(PE)는 고객트레이(CT)를 받친다.
실린더(CD)는 받침부재(PE)를 수평 방향으로 진퇴시킨다. 따라서 받침부재(PE)가 적층된 고객트레이(CT)를 받치거나 받침을 해제할 수 있다. 실린더(CD)는 모터 등으로 대체될 수 있다.
실시하기에 따라서는 공급 스택커가 3개 이상일 수 있다. 또한 각각의 공급스택커가 서로 결합하지 않고 독립적으로 이동될 수 있다. 즉, 이동되는 공급 스택커들에 대한 다양한 변형예가 존재할 수 있다.
제1 공급 스택커(371a) 및 제2 공급 스택커(371b)는 고객트레이(CT)가 가득 적재되었는지 여부를 감지하기 위한 제1 감지센서(FS)를 가진다. 또한 제1 공급 스택커(371a) 및 제2 공급 스택커(371b)는 고객트레이(CT)가 적재되어 있는지 여부를 확인하기 위한 제2 감지센서(TS)를 구비한다.
참고로 도4에서 제1 공급 스택커(371a)의 하방에 도시된 부호 SA는 받침기이다. 받침기(SA)는 클램퍼(CP)가 고객트레이(CT)의 받침을 해제하였을 경우에 고객트레이(CT)를 받친다. 받침기(SA)는 받침판(SP)과 승강기(UD)를 포함한다. 받침판(SP)은 고객트레이(CT)를 받친다. 승강기(UD)는 받침판(SP)을 승강시킨다. 받침기(SA)는 제1 수납 스택커(372a, 372b, 372c), 제2 수납 스택커(373), 대기 스택커(374) 각각의 하방에도 마련된다. 이러한 받침기(SA)는 적층된 고객트레이(CT)를 후방으로 이동시키는 작업에 관계한다. 제2 공급 스택커(371a)에 적재된 고객트레이(CT)의 이동은 제1 공급 스택커(371a)의 하방에 있는 받침기(SA)가 관여한다. 고객트레이(CT)의 이동과 관련된 기술은 본 출원인의 선 특허출원인 출원번호 10-2013-0055510호의 도면 8 내지 17을 통해 자세히 설명되었다. 따라서 그 자세한 설명은 생략한다.
제1 수납 스택커(372a, 372b, 372c)는 제2 트레이 이동기(382a, 382b, 382c)의 작동에 의해 리테스트위치(RF)나 인입위치(IP)에서 오는 고객트레이(CT)를 수용한다.
제2 수납 스택커(373)는 제1 소자 이동기(320)에 의해 인출위치(WP)에서 적재된 반도체소자들이 모두 인출된 후 수납위치(AP)를 거쳐 오는 고객트레이(CT)를 수용한다.
대기 스택커(374)는 리테스트위치(RP)나 인입위치(IP)로 이송될 고객트레이(CT)가 대기하는 대기위치(SP)로 공급될 빈 고객트레이(CT)들을 수용한다. 즉, 대기 스택커(374)에 수용 적재된 빈 고객트레이(CT)는 제4 트레이 이동기(384)에 의해 한 장씩 대기위치(SP)로 이동된다. 그리고 대기위치(SP)에 있는 고객트레이(CT)는 트레이 이송기(360)에 의해 리테스트위치(RP)나 인입위치(IP)로 이송된다.
제1 트레이 이동기(381)는 제1 공급 스택커(371a)나 제2 공급 스택커(371b)에 수용 적재되어 있는 고객트레이(CT)를 한 장씩 인출위치(WP)로 보낸다.
제2 트레이 이동기(382a, 382b, 382c)는 리테스트위치(RF)나 인입위치(IP)에 있는 고객트레이(CT)를 제1 수납 스택커(372a, 372b, 372c)로 가져온다.
제3 트레이 이동기(383)는 수납위치(AP)에 있는 고객트레이(CT)를 제2 수납 스택커(373)로 이동시킨다.
제4 트레이 이동기(384)는 대기 스택커(374)에 수용된 빈 고객트레이(CT)를 한 장씩 대기위치(SP)로 보낸다.
위치선택기(390)는 상호 결합된 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)를 좌우 방향으로 이동시킨다. 따라서 제1 공급 스택커(371a)가 공급위치(PP)에 위치되거나 제2 공급 스택커(371b)가 공급위치(PP)에 위치된다. 여기서 공급위치(PP)는 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)에 적층된 고객트레이(CT)를 인출위치(WP)로 보내는 위치이다. 이러한 위치선택기(390)는 도4에서 참조되는 바와 같이 실린더(391), 한 쌍의 가이더(392a, 392b), 이동부재(393), 스토퍼(394), 압소버(395), 위치감지센서(396)를 포함한다.
실린더(391)는 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)를 좌우 방향으로 이동시키는 이동력을 주는 이동원이다. 실린더(391)는 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)를 좌우 방향으로 이동시킬 수 있는 모터 등의 다양한 구동수단으로 대체될 수 있다.
가이더(392a, 392b)는 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)가 좌우 방향으로 이동하는 것을 안내한다.
이동부재(393)는 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)에 결합되어 있다. 또한 이동부재(393)는 가이더(392a, 392b)에 이동 가능하게 결합된다. 그리고 가이더(392a, 392b)의 안내에 따라 좌우 방향으로 이동한다. 따라서 이동부재(393)와 제1 공급 스택커(371a) 및 제2 공급 스택커(371b)는 함께 이동한다.
스토퍼(394)는 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)의 과도한 이동을 방지한다.
압소버(395)는 스토퍼(394)에 결합되어 있다. 압소버(395)는 이동부재(393)와 스토퍼(394) 간의 충돌 충격을 흡수한다.
위치감지센서(396)는 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b) 중 어느 것이 공급위치(PP)에 위치하고 있는지를 감지한다. 즉, 위치감지센서(396)는 현재 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b) 중 어디에서 고객트레이(CT)가 인출위치(WP)로 공급되고 있는지를 감지한다.
위치감지센서(395)에 의해 현재 공급되는 물량의 소재를 파악하는 것이 가능하다. 예를 들면 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)에 서로 다른 랏의 반도체소자들이 적재된 고객트레이(CT)들이 나뉘어 적층되었다면, 위치감지센서(396)에 의해 현재 테스트 지원 부분으로 공급되는 반도체소자들이 어느 랏의 물량인지를 파악할 수 있는 것이다. 본 실시예에서는 위치감지센서(396)가 이동부재(393)의 위치를 감지하도록 하고 있다. 그러나 실시하기에 따라서는 실린더의 로드가 전진 상태인지 후진 상태인지를 감지하도록 할 수도 있다. 또한, 위치감지센서는 스토퍼에 설치될 수도 있다. 또한 위치감지센서는 공급 위치(PP), 제1 공급 스택커(371a), 제2 공급 스택커(371b)에 나뉘어 설치되어 상호 인식에 의해 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)의 위치를 감지하도록 할 수도 있다.
위의 제1 공급 스택커(371a), 제2 공급 스택커(371b), 제1 수납 스택커(372a, 372b, 372c), 제2 수납 스택커(373) 및 대기 스택커(374)나 제1 트레이 이동기(381), 제2 트레이 이동기(382a, 382b, 382c), 제3 트레이 이동기(383), 제4 트레이 이동기(384)는 트레이 수급 부분으로 묶일 수 있다. 즉, 트레이 수급 부분은 고객트레이(CT)를 공급하거나 수용함으로써 테스트 지원 부분의 작동에 따른 반도체소자들의 원활한 이동을 돕는다.
계속하여 위와 같은 구성을 가지는 핸들러(300)의 테스트 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 도3과 같이 제1 공급 스택커(371a)가 공급위치(PP)에 위치한 상태에서, 제1 트레이 이동기(381)는 제1 공급 스택커(371a)에 적재된 고객트레이(CT)를 한 장씩 인출위치(WP)로 이동시킨다.
제1 소자 이동기(320)는 인출위치(WP)에 있는 고객트레이(CT)로부터 테스트될 반도체소자를 인출하여 적재판(311, 312)에 적재시킨다. 그리고 제1 소자 이동기(320)는 적재판(311, 312)에 적재된 반도체소자를 좌측 방향에 위치한 테스트 셔틀(331, 332)로 이동 적재시킨다.
테스트될 반도체소자가 적재된 테스트 셔틀(331, 332)은 우측으로 이동하여 테스트위치(TP)에 위치된다. 연결기(340)는 테스트위치(TP)의 테스트 셔틀(331, 332)에 적재된 반도체소자를 하방으로 가압한다. 따라서 반도체소자는 테스트소켓(TS)에 전기적으로 연결된다. 그리고 반도체소자가 테스트된다.
테스트가 종료되면 반도체소자와 테스트소켓(TS) 간의 전기적 연결이 해제되고, 테스트 셔틀(331, 332)은 우측 방향으로 더 이동한다. 제2 이동기(350)는 우측 방향에 위치한 테스트 셔틀(331, 332)로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 인출한다. 그리고 제2 이동기(350)는 테스트 결과에 따라 분류하면서 리테스트위치(RP), 인입위치(IP) 및 고정위치(FP)에 있는 고객트레이(CT)로 인입시킨다.
한편, 인출위치(WP)에서 적재된 반도체소자들이 모두 인출된 고객트레이(CT)는 트레이 이송기(360)에 의해 수납위치(AP)로 이송된다. 그리고 수납위치(AP)에 있는 고객트레이(CT)는 제3 트레이 이동기(383)에 의해 제2 수납 스택커(373)로 이동 수납된다.
또한, 리테스트위치(RP) 및 인입위치(IP)에 있는 고객트레이(CT)에 반도체소자가 모두 채워지면, 리테스트위치(RP) 및 인입위치(IP)에 있는 고객트레이(CT)는 제2 트레이 이동기(382a, 382b, 382c)에 의해 제1 수납 스택커(372a, 372b, 372c)로 이동 수납된다. 이에 따라 리테스트위치(RP)나 인입위치(IP)로부터 고객트레이(CT)가 제거된다. 제4 트레이 이동기(384)는 미리 대기 스택커(374)로부터 대기 위치(SP)로 빈 고객트레이(CT)를 보낸다. 그리고 대기위치(SP)에 있는 빈 고객트레이(CT)는 트레이 이송기(360)에 의해 리테스트위치(RP)나 인입위치(IP)로 이송된다. 실시하기에 따라서는 인출위치(WP)에 있는 빈 고객트레이(CT)가 트레이 이송기(360)에 의해 대기위치(SP)로 이송되어질 수도 있고, 인출위치(WP)에 있는 빈 고객트레이(CT)가 리테스트위치(RP)나 인입위치(IP)로 직접 이송되어질 수도 있다.
위와 같은 과정을 거치면서 제1 공급 스택커(371a)에 수용되었던 고객트레이(CT)에 적재된 모든 반도체소자가 테스트 지원 부분으로 공급된다. 그리고 제1 공급 스택커(371a)의 제2 감지센서(TS)가 제1 공급 스택커(371a)로부터 고객트레이(CT)가 모두 비워진 것을 감지한다. 만일 제1 공급 스택커(371a)가 모두 비워지면, 도5에서 참조되는 바와 같이 위치선택기(390)가 작동하여 제2 공급 스택커(371b)가 공급위치(PP)에 위치하도록 제1 공급 스택커(371a)와 제2 공급 스택커(371b)의 위치를 이동시킨다. 그에 따라 제2 공급 스택커(371b)에 수용된 고객트레이(CT)가 제1 트레이 이동기(381)에 의해 한 장씩 인출위치(WP)로 이동하게 된다.
한편, 제1 공급 스택커(371a)의 고객 트레이(CT)가 비워지면, 위치선택기(390)를 작동시켜 제2 공급 스택커(371b)를 공급위치(PP)에 위치시키면서 알람을 제공할 수 있다. 이 때, 알람을 들은 사용자는 테스트 되어야 할 반도체소자가 적재된 고객트레이(CT)를 제1 공급 스택커(371a)에 적층시킬 수도 있다.
또한, 공급위치(PP)에 있는 제1 공급 스택커(371a)가 빈 상태인 것이 감지되면, 제2 공급 스택커(371b)에 고객트레이(CT)가 존재하는 지 여부를 확인한다. 제2 공급 스택커(371b)에 고객트레이(CT)가 존재할 경우 위치선택기(390)를 작동시켜 제2 공급 스택커(371b)가 공급위치(PP)에 위치하도록 이동시킨다. 만일 제2 공급 스택커(371b)에 고객트레이(CT)가 존재하지 않을 경우에는 알람만 발생시킨다.
더 나아가 공급 스택커가 3개 이상일 경우에는 현재 공급위치에 있는 공급 스택커가 빈 상태로 감지되면, 나머지 공급 스택커들 중에서 고객트레이가 존재하는 공급 스택커가 있는지를 확인한다. 그리고 고객트레이가 존재하는 공급 스택커를 선택하여 공급위치로 이동시킨다.
위에서 설명한 실시예 뿐만 아니라, 본 발명은 대기 스택커나 수납 스택커 부분에도 적용되어서 스택커들의 다양한 운용을 가능하게 할 수 있음은 당연하다.
만일 수납 스택커의 이동을 고려한다면, 공급 스택커와는 달리 수납 스택커가 고객트레이로 모두 채워진 경우에 수납 스택커를 이동시키도록 구현될 것이다. 이때는 수납 스택커에 고객트레이가 가득 채워졌는지 여부를 감지하는 감지센서가 작동하게 될 것이다.
그리고 3개 이상의 스택커들이 묶여 함께 이동되는 것도 충분히 고려될 수 있다. 물론 복수의 스택커들 각각이 서로 독립적으로 이동되는 것도 고려될 수 있다.
더 나아가 본 발명은 실시예에서 설명한 테스트 지원 부분과는 다른 구조나 형태의 테스트 지원 부분을 가지는 핸들러에도 적용될 수 있다.
즉, 본 발명은 인출위치(WP), 수납위치(AP), 리테스트위치(RP), 인입위치(IP) 및 대기위치(SP)보다 그에 대응되는 스택커의 개수가 더 많은 경우라면 효과적으로 적용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
300 : 반도체소자 테스트용 핸들러
311, 312 : 적재판
320 : 제1 소자 이동기
331, 332 : 테스트 셔틀
371a : 제1 공급 스택커 371b : 제2 공급 스택커
FS : 제1 감지센서 TS : 제2 감지센서
372a 내지 372c : 제1 수납 스택커
381 : 제1 트레이 이동기
382a 내지 382c : 제2 트레이 이동기
390 : 위치선택기

Claims (5)

  1. 인출위치에 있는 고객트레이에 적재된 반도체소자를 인출하여 테스터에 전기적으로 연결시킨 후 테스터에 의해 테스트가 완료된 반도체소자를 인입위치에 있는 고객트레이에 인입시키는 테스트 지원 부분; 및
    테스트되어야할 반도체소자가 적재된 고객트레이를 인출위치로 보내거나 테스트가 완료된 반도체소자가 적재된 고객트레이를 인입위치로부터 가져옴으로써 상기 테스트 지원 부분의 작동에 따른 반도체소자들의 원활한 이동을 돕는 고객트레이 수급 부분; 을 포함하고,
    상기 고객트레이 수급 부분은,
    인출위치로 보낼 고객트레이가 수용되는 복수의 공급 스택커;
    상기 복수의 공급 스택커에 적재된 고객트레이를 인출위치로 보내는 제1 트레이 이동기;
    상기 복수의 공급 스택커를 이동시킴으로써, 상기 복수의 공급 스택커 중 어느 하나의 공급 스택커가 공급위치(인출위치로 고객트레이를 보내기 위한 위치임)로 위치되도록 하는 위치선택기;
    인입위치에 있는 고객트레이를 수용할 수 있는 적어도 하나 이상의 수납 스택커; 및
    인입위치에 있는 고객트레이를 상기 적어도 하나 이상의 수납 스택커로 가져오는 적어도 하나 이상의 제2 트레이 이동기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 공급 스택커는 인출위치의 개수보가 많은 개수로 구비되며,
    상기 복수의 공급 스택커에 적재된 고객트레이는 상기 제1 트레이 이동기를 통해 동일한 인출위치로 보내지는 것을 특징으로 하는 반도체소자 테스트용 핸들러.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 공급 스택커는 고객트레이가 적재되었는지 여부를 감지하는 감지센서를 구비하고,
    상기 위치선택기는 상기 감지센서에 의해 현재 공급위치에 위치한 공급 스택커에 고객트레이가 비워진 것으로 감지되면, 다른 공급 스택커 중 고객트레이가 존재하는 공급 스택커를 선택하여 공급위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 반도체소자 테스트용 핸들러.
  4. 인출위치에 있는 고객트레이에 적재된 반도체소자를 인출하여 테스터에 전기적으로 연결시킨 후 테스터에 의해 테스트가 완료된 반도체소자를 인입위치에 있는 고객트레이에 인입시키는 테스트 지원 부분; 및
    테스트되어야할 반도체소자가 적재된 고객트레이를 인출위치로 보내거나 테스트가 완료된 반도체소자가 적재된 고객트레이를 인입위치로부터 가져옴으로써 상기 테스트지원부분의 작동에 따른 반도체소자들의 원활한 이동을 돕는 고객트레이 수급 부분; 을 포함하고,
    상기 고객트레이 수급 부분은,
    인출위치로 보낼 고객트레이가 적재되거나 인입위치로부터 오는 고객트레이를 수용할 수 있는 다수의 스택커;
    상기 다수의 스택커 중 적어도 하나의 스택커에 적재된 고객트레이는 인출위치로 보내고, 인입위치로부터 상기 다수의 스택커 중 상기 적어도 하나의 스택커와는 다른 적어도 하나의 스택커로 가져오는 복수의 트레이 이동기; 및
    상기 다수의 스택커 중 적어도 어느 하나의 스택커를 이동시킴으로써 상기 적어도 어느 하나의 스택커의 위치를 선택할 수 있는 위치선택기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 다수의 스택커 중 적어도 어느 하나의 스택커는
    고객트레이가 가득 차 있는지 여부를 감지하는 제1 감지센서; 및
    고객트레이가 적재되었는지 여부를 감지하는 제2 감지센서; 중 적어도 어느 하나를 가지며,
    상기 위치선택기는 상기 제1 감지센서나 상기 제2 감지센서로부터 감지된 정보에 의해 상기 다수의 스택커 중 적어도 어느 하나의 스택커를 이동시키는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.


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