KR20130118561A - 테스트핸들러 - Google Patents

테스트핸들러 Download PDF

Info

Publication number
KR20130118561A
KR20130118561A KR1020120041520A KR20120041520A KR20130118561A KR 20130118561 A KR20130118561 A KR 20130118561A KR 1020120041520 A KR1020120041520 A KR 1020120041520A KR 20120041520 A KR20120041520 A KR 20120041520A KR 20130118561 A KR20130118561 A KR 20130118561A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shuttle
unloading
loading
test
moving
Prior art date
Application number
KR1020120041520A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101809448B1 (ko
Inventor
나윤성
구태흥
노종기
Original Assignee
(주)테크윙
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)테크윙 filed Critical (주)테크윙
Priority to KR1020120041520A priority Critical patent/KR101809448B1/ko
Publication of KR20130118561A publication Critical patent/KR20130118561A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101809448B1 publication Critical patent/KR101809448B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2863—Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체소자를 테스트하는데 사용되는 테스트핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 로딩 셔틀과 언로딩 셔틀의 설치 영역을 공유시킴으로써 테스트핸들러의 폭을 줄여 그 만큼 소형화를 실현시킬 수 있게 된다.

Description

테스트핸들러{TEST HANDLER}
본 발명은 생산된 반도체소자를 출하하기에 앞서 이루어지는 반도체소자의 테스트에 사용되는 테스트핸들러에 관한 것이다.
테스트핸들러는 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며 테스트 결과에 따라 양품과 불량품을 분류하여 고객 트레이에 적재하는 기기이다.
본 발명과 관련된 테스트핸들러의 기술과 관련하여서는 대한민국 공개특허공보 10-2002-0028480호(발명의 명칭 : 수평식 디바이스 테스트 핸들러 및 그의 작동방법, 이하 '종래기술'이라 함)와 10-2009-0121534호(발명의 명칭 : 테스트 핸들러) 등에 개시되어 있다.
종래기술을 참조하면, 로딩부를 사이에 두고 언로딩부가 양측으로 나뉘어 있으며, 로딩부에 있는 고객 트레이(선행기술에는 부호 11의 트레이로 명명되어 있음)와 양측으로 나뉘어진 언로딩부에 각각 나뉘어 위치하는 양품 적재용 고객 트레이 및 재검사품 적재용 고객 트레이가 전후 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
상기한 3개의 고객 트레이들을 전후 방향으로 이동 가능하게 구성하는 이유는, 상기한 고객 트레이들과 로딩 셔틀(51) 또는 언로딩 셔틀(55) 간의 반도체소자 이동시 반도체소자의 이동을 위해 구성된 로딩헤드(32)와 언로딩헤드(33, 34)를 일 측 방향(예를 들면 좌우 방향)으로만 이동시키도록 구성함으로써 로딩헤드와 언로딩헤드 간의 간섭 또는 간섭을 회피하기 위한 회피설계의 곤란함 등을 방지하기 위함이다.
그런데, 선행기술에서와 같이 전후 방향으로 이동 가능한 세 개의 고객 트레이가 병렬로 나란히 위치하기 때문에 그 만큼 테스트핸들러의 폭이 넓어져 크기를 확대시키는 요인으로 작용한다.
따라서 본 발명의 목적은 전술한 문제를 해결하기 위하여 반도체소자의 로딩을 위한 고객 트레이와 반도체소자의 언로딩을 위한 고객 트레이의 위치 영역을 공유할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 따른 테스트핸들러는, 반도체소자의 테스트를 지원하기 위해 마련되는 테스트 지원 부분; 미테스트된 반도체소자들이 적재된 고객 트레이가 안착되며, 안착된 고객 트레이를 상기 테스트 지원 부분 측으로 이동시키기 위해 이동 가능하게 마련되는 로딩 셔틀; 상기한 로딩 셔틀을 이동시키기 위한 로딩 셔틀 이동장치; 상기한 로딩 셔틀에 안착된 고객 트레이로부터 상기 테스트 지원 부분 측으로 반도체소자를 이동시키기 위해 마련되는 로더; 상기 테스트 지원 부분의 동작에 따라 테스트가 완료된 반도체소자들을 적재시킬 수 있는 빈 고객 트레이가 안착되며, 이동 가능하게 마련되는 복수개의 언로딩 셔틀; 상기 복수개의 언로딩 셔틀을 각각 이동시키기 위한 복수개의 언로딩 셔틀 이동장치; 상기 테스트 지원 부분 측으로부터 상기 복수개의 언로딩 셔틀에 안착된 빈 고객 트레이들로 테스트가 완료된 반도체소자들을 이동시키기 위해 마련되는 언로더; 상기한 로딩 셔틀 이동장치 및 복수개의 언로딩 셔틀 이동장치를 제어하기 위해 마련되는 제어장치; 를 포함하고, 상기 로딩 셔틀과 상기 복수개의 언로딩 셔틀 중 적어도 하나의 언로딩 셔틀은 상하 방향으로 서로 다른 위치에 설치된다.
상기 로딩 셔틀은 상기한 적어도 하나의 언로딩 셔틀의 수직 하방에 위치하고, 상기 복수개의 언로딩 셔틀 이동장치 중 특정 언로딩 셔틀 이동장치는 상기한 적어도 하나의 언로딩 셔틀을 이동시킨다.
미테스트된 반도체소자들이 적재된 고객 트레이들이 위치하는 스택커 부분; 및 상기 스택커 부분에 위치하는 고객 트레이들 중 하나의 고객 트레이를 상기 로딩 셔틀로 이송시키는 트랜스퍼; 를 더 포함한다.
상기 제어장치는 상기 트랜스퍼가 상기 스택커 부분에서 상기 로딩 셔틀로 고객 트레이를 이송시킬 때 상기한 적어도 하나의 언로딩 셔틀이 상기 로딩 셔틀의 상방에서 비껴나도록 상기한 특정 언로딩 셔틀 이동장치를 제어한다.
상기 로딩 셔틀이 이동하는 거리는 상기 복수개의 언로딩 셔틀이 이동하는 거리보다 길게 구성된다.
상기한 특정 언로딩 셔틀 이동장치는, 상기 언로딩 셔틀의 이동을 안내하기 위해 상기 언로딩 셔틀의 일 측 부위를 안내하는 제1 언로딩 셔틀 가이더; 상기 언로딩 셔틀의 이동을 안내하기 위해 상기 언로딩 셔틀의 타 측 부위를 안내하며, 상기 제1 가이더와 일정 간격 이격되게 구비되는 제2 언로딩 셔틀 가이더; 및 상기 언로딩 셔틀을 이동시키기 위한 동력을 제공하는 언로딩 셔틀 이동원; 을 포함하고, 상기 로딩 셔틀 이동장치는, 상기 제1 언로딩 셔틀 가이더와 상기 제2 언로딩 셔틀 가이더 사이에 위치하는 로딩 셔틀 가이더; 및 상기 로딩 셔틀을 이동시키기 위한 동력을 제공하는 로딩 셔틀 이동원; 을 포함한다.
상기 제1 언로딩 셔틀 가이더는, 막대 형상의 제1 가이드 레일; 및 상기 제1 가이드 레일에 상기 언로딩 셔틀을 이동 가능하게 결합시키는 레일 블럭; 을 포함하고, 상기 제2 언로딩 셔틀 가이더는, 이동 방향으로 긴 안내홈이 형성된 제2 가이드 레일; 및 상기 제2 가이드 레일의 안내홈에 삽입된 상태에서 회전 가능하게 마련되는 베어링; 을 포함한다.
상기 테스트 지원 부분은, 미테스트된 반도체소자들이 적재되는 로딩 테이블; 테스트가 완료된 반도체소자들이 적재되는 언로딩 테이블; 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키기 위한 소켓들이 구비된 테스트 보드; 상기 로딩 테이블에 적재된 반도체소자들을 파지한 후 상기 테스트 보드의 소켓들에 전기적으로 연결시키고, 테스트가 완료된 반도체소자들을 상기 언로딩 테이블로 이동시키는 연결장치; 상기 로딩 셔틀에 안착된 고객 트레이로부터 상기 로딩 테이블로 반도체소자들을 이동시키기 위해 마련되는 로더; 및 상기 언로딩 테이블로부터 상기 복수개의 언로딩 셔틀에 안착된 고객 트레이들로 반도체소자들을 이동시키기 위해 마련되는 언로더; 를 포함하고, 상기 로딩 테이블의 위치는 상기 테스트 보드를 기준으로 좌우 방향으로 상기 언로딩 테이블보다 가까운 위치에 배치된다.
위와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 수직 선상에서 로딩 셔틀의 설치 영역과 언로딩 셔틀의 설치 영역을 공유시킴으로써 테스트핸들러의 폭을 줄여 그 만큼 소형화를 실현시킬 수 있다.
둘째, 로딩 셔틀이 이동하는 거리를 개수가 많은 언로딩 셔틀이 이동하는 거리보다 길게 구성함으로써 설계의 자유도를 더 확보할 수 있게 된다.
셋째, 로딩 테이블과 언로딩 테이블을 별개로 구성시킴으로써 생산 단가를 절감시킬 수 있게 된다.
넷째, 제2 언로딩 셔틀 가이더에 베어링을 적용함으로써 제2 언로딩 셔틀 가이더의 구성을 간소화시키고 폭을 더욱 줄일 수 있게 된다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 개략적인 평면도이다.
도2는 도1의 테스트핸들러의 주요부위에 대한 개략적인 사시도이다.
도3은 도1의 테스트핸들러에 적용된 로딩 테이블 이동장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도4는 도1의 테스트핸들러에 적용된 로딩 셔틀 이동장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도5는 도1의 테스트핸들러에 적용된 제1 언로딩 셔틀 이동장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도6은 도1의 테스트핸드러에 적용된 로딩 셔틀 이동장치와 제1 언로딩 셔틀 이동장치의 관계 설명에 참조하기 위한 정면도이다.
도7a 내지 도7d는 도1의 테스트핸들러에 대한 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 개략적인 평면도이다.
도9는 도8의 테스트핸들러의 특징 부분에 대한 개략적인 정면도이다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 배경기술에서 언급된 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러(100)에 대한 개략적인 평면도이고, 도2는 도1의 테스트핸들러의 주요 부위를 발췌하여 개략적으로 도시한 사시도이다.
도1 및 도2에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에 따른 테스트핸들러(100)는, 테스트 지원 부분(110, 일점 쇄선 부분), 로딩 셔틀(121, 도2 참조), 로딩 셔틀 이동장치(130), 제1 언로딩 셔틀(151), 제1 언로딩 셔틀 이동장치(160), 제2 언로딩 셔틀(152), 제2 언로딩 셔틀 이동장치(170), 스택커 부분(180), 트랜스퍼(190) 및 제어장치(210) 등을 포함하여 구성된다.
테스트 지원 부분(110)은, 반도체소자의 테스트를 지원하기 위해 마련되며, 로딩 테이블(111), 로딩 테이블 이동장치(112), 언로딩 테이블(113), 언로딩 테이블 이동장치(114), 테스트 보드(115), 연결장치(116), 로더(117) 및 언로더(118) 등을 포함하여 구성된다.
로딩 테이블(111)은, 언로딩 테이블(113)과 테스트 보드(115) 사이에 위치하며, 전후 방향으로 이동 가능하게 마련된다. 이러한 로딩 테이블(111)에는 미테스트된 반도체소자들이 적재될 수 있도록 되어 있다.
참고로, 로딩 테이블(111) 하단에는 히터(미도시)가 결합되어 있어서, 로딩테이블(111)에 적재된 반도체소자들의 온도가 테스트 조건에 따른 온도로 상승될 수 있도록 되어 있다.
로딩 테이블 이동장치(112)는, 도3의 개략적인 사시도에서 참조되는 바와 같이, 전후 방향으로 긴 LM가이드(112a), LM블럭(112b), 로딩 테이블 이동원(112c) 등을 포함하여 구성된다. 여기서 LM가이드(112a)는 전후 방향으로 이동하는 로딩 테이블(111)의 이동을 안내하며, LM블럭(112b)은 로딩 테이블(111)을 전후 방향으로 이동 가능하게 LM가이드(112a)에 결합시킨다. 그리고 로딩 테이블 이동원(112c)은 구동 풀리(DP), 피동 풀리(PP), 구동 풀리(DP)와 피동 풀리(PP)를 회전 반환점으로 하여 회전하는 벨트(B) 및 모터(M)로 구성되며, 모터(M)의 회전에 따라 구동 풀리(DP)가 회전하면서 벨트(B)가 회전하게 되고, 이에 따라 벨트(B)에 결합된 로딩 테이블(111)이 LM가이드(112a)에 안내되면서 전후 방향으로 이동하도록 되어 있다.
언로딩 테이블(113)은, 전후 방향으로 이동 가능하게 마련되며, 테스트가 완료된 반도체소자가 적재될 수 있도록 되어 있다.
언로딩 테이블 이동장치(114) 상기한 로딩 테이블 이동장치(112)와 동일한 구성을 가지므로 그 설명을 생략한다. 물론, 언로딩 테이블 이동장치(114)에 구성되는 LM가이드는 로딩 테이블 이동장치(112)에 구성되는 LM가이드(112a)보다 더 길다. 이러한 이유는 로딩 테이블(111)의 이동거리보다 언로딩 테이블(113)의 이동 거리가 더 길기 때문이다.
테스트 보드(115, 점선으로 표현됨)는 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결시키기 위한 소켓(Socket)들을 구비한다. 여기서 소켓들은 테스터(Tester)에 전기적으로 연결되어 있어서 반도체소자가 소켓에 전기적으로 연결됨으로써 궁극적으로 테스터에 전기적으로 연결된다.
일반적으로 테스트 보드(115)에는 한 번에 테스트되는 반도체소자의 수와 동일하한 개수의 소켓들을 가진다. 따라서 한번에 4개, 8개, 16개 혹은 그 이상의 반도체소가가 테스트되어져야 하는 경우, 그에 따라 테스트 보드(115)에도 동일 개수의 소켓들이 설치되어 있어야 한다.
연결장치(116)는, 좌우 방향으로 이동 가능하게 마련되며, 로딩 테이블(111)에 적재된 반도체소자들을 파지한 후, 파지한 반도체소자들을 하방에 위치한 테스트 보드(115)의 소켓들에 전기적으로 연결시킨 다음, 테스트가 종료되면 파지한 반도체소자들을 언로딩 테이블(113)로 이동시킨다.
따라서, 연결장치(116)가 한 번에 파지하는 반도체소자의 개수와 동시에 테스트되는 반도체소자의 개수가 되며, 이는 상기한 소켓의 개수와 동일하게 된다.
한편, 상기한 로딩 테이블(111)의 위치는 상기 테스트 보드(115)를 기준으로 좌우 방향으로 언로딩 테이블(113)보다 가까운 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 이는 후술되는 바와 같이 언로딩 셔틀들(151, 152), 언로딩 셔틀들(151, 152)보다 개수가 적은 로딩 셔틀(121) 및 테스트 보드(115)의 배치관계를 고려한 설계의 자유도 확보 등에 유리하기 때문이다.
로더(117)는, 좌우 방향으로 이동 가능하게 마련되며, 로딩 셔틀(121)에 안착된 고객 트레이로(CT)부터 로딩 테이블(111)로 반도체소자들을 이동시키는 역할을 수행한다.
언로더(118)는, 좌우 방향으로 이동 가능하게 마련되며, 언로딩 테이블(113)로부터 제1 언로딩 셔틀(151) 및 제2 언로딩 셔틀(152)에 안착된 빈 고객 트레이(CT)들로 반도체소자를 이동시키기 위해 마련된다. 여기서 예를 들면, 제1 언로딩 셔틀(151)에 안착된 고객 트레이(CT)로는 양품으로 판정된 반도체소자를 이동시키고, 제2 언로딩 셔틀(152)에 안착된 고객 트레이(CT)로는 불량품으로 판정된 반도체소자를 이동시키는 방식으로 하여 양품과 불량품을 분류하게 된다.
위에서 설명한 바와 같이, 로딩 테이블(111)과 언로딩 테이블(113)이 별개로 마련되고, 각자 전후 방향으로 이동할 수 있도록 구성함으로써 종래 기술에 비하여 구성을 간소화시킬 수 있다.
물론, 실시하기에 따라서는 연결장치, 로더 및 언로더가 좌우 방향뿐만 아니라 전후 방향으로도 이동하도록 구현될 수도 있다.
로딩 셔틀(121)은, 미테스트된 반도체소자들이 적재된 고객 트레이(CT)가 안착되며, 안착된 고객 트레이(CT)를 테스트 지원 부분(110) 측으로 이동(보다 구체적으로는 로딩 테이블의 측방으로 이동)시키기 위해 전후 방향으로 이동 가능하게 마련된다.
로딩 셔틀 이동장치(130)는, 로딩 셔틀(121)을 전후 방향으로 이동시키기 위해 마련되며, 도4에서 참조되는 바와 같이 로딩 셔틀 가이더(131)와 로딩 셔틀 이동원(132)을 포함하여 구성된다.
로딩 셔틀 가이더(131)는 전후 방향으로 긴 가이드 레일(131a) 및 레일 블럭(131b)으로 구성된다.
가이드 레일(131a)은 로딩 셔틀(121)을 전후 방향으로 안내하며, 레일 블럭(131b)은 로딩 셔틀(121)이 전후 방향으로 이동 가능한 상태로 가이드 레일(131a)에 결합될 수 있게 한다.
로딩 셔틀 이동원(132)은 구동 풀리(132a), 피동 풀리(132b), 구동 풀리(132a)와 피동 풀리(132b)를 회전 반환점으로 하여 회전하는 벨트(132c) 및 모터(132d)로 구성되며, 모터(132d)의 회전에 따라 구동 풀리(132a)가 회전하면서 벨트(132c)가 회전하게 되고, 이에 따라 벨트(132c)에 결합된 로딩 셔틀(121)이 가이드 레일(131a)에 안내되면서 전후 방향으로 이동하는 구조로 되어 있다.
제1 언로딩 셔틀(151)은, 빈 고객 트레이(CT)가 안착되며, 안착된 빈 고객 트레이(CT)를 테스트 지원 부분(110) 측으로 이동(보다 구체적으로는 언로딩 테이블의 우측 측방으로 이동)시키기 위해 전후 방향으로 이동 가능하게 마련된다.
제1 언로딩 셔틀 이동장치(160)는, 제1 언로딩 셔틀(151)을 전후 방향으로 이동시키기 위해 마련되며, 도5에서 참조되는 바와 같이 제1 언로딩 셔틀 가이더(161), 제2 언로딩 셔틀 가이더(162) 및 제1 언로딩 셔틀 이동원(163) 등을 포함한다.
제1 언로딩 셔틀 가이더(161)는, 제1 언로딩 셔틀(151)의 좌측단을 안내하기 위해 마련되며, 제1 가이드 레일(161a)과 레일 블럭(161b)으로 구성된다.
제1 가이드 레일(161a)은, 전후 방향으로 긴 막대 형상이며, 제1 언로딩 셔틀(151)의 전후 방향으로의 이동을 안내한다.
레일 블럭(161b)은 제1 언로딩 셔틀(151)을 전후 방향으로 이동 가능하게 제1 가이드 레일(161a)에 결합시킨다.
제2 언로딩 셔틀 가이더(162)는, 제1 언로딩 셔틀(151)의 우측단을 안내하기 위해 마련되며, 제2 가이드 레일(162a), 베어링(162b) 및 결합부재(162c)로 구성된다.
제2 가이드 레일(162a)은, 전후 방향으로 긴 막대 형상이며, 제1 언로딩 셔틀(151)의 전후 방향으로의 이동을 안내하기 위한 안내홈(S)이 제2 가이드 레일(162a)의 측면에 전후 방향으로 길게 형성되어 있다.
베어링(162b)은 안내홈(S)에 회전 가능한 상태로 삽입되어지며, 결합부재(162c)는 베어링(162b)을 제1 언로딩 셔틀(151)에 회전 가능한 상태로 고정시킨다.
제1 언로딩 셔틀 이동원(163)은 구동 풀리(163a), 피동 풀리(163b), 구동 풀리(163a)와 피동 풀리(163b)를 회전 반환점으로 하여 회전하는 벨트(163c) 및 모터(163d)로 구성되며, 모터(163d)의 회전에 따라 구동 풀리(163a)가 회전하면서 벨트(163c)가 회전하게 되고, 이에 따라 벨트(163c)에 결합된 제1 언로딩 셔틀(151)이 제1 가이드 레일(161a) 및 제2 가이드 레일(162a)에 안내되면서 전후 방향으로 이동하는 구조로 되어 있다.
한편, 앞서 설명한 로딩 셔틀 가이더(131)는 도6의 정면도에서 참조되는 바와 같이 제1 언로딩 셔틀 가이더(161)와 제2 언로딩 셔틀 가이더(162) 사이에 위치하게 된다.
위와 같은 로딩 셔틀 이동장치(130)와 제1 언로딩 셔틀 이동장치(160)의 설계구조로 인해 로딩 셔틀(121)을 제1 언로딩 셔틀(151)의 하방에 위치시킬 수 있게 된다.
상기에서 제1 언로딩 셔틀(151)의 이동 안내를 위해서 좌측에는 제1 가이드 레일(161a)을 우측에는 제2 가이드 레일(162a)의 안내홈(S)을 이용함으로써 공간을 절약할 뿐만 아니라 비용을 절약하기 위함이다. 즉, 제 1 언로딩 셔틀(151)의 이동 안내를 위하여 제1 가이드 레일(161a)과 동일한 LM 가이드 레일을 좌측과 우측에 각각 설치하게 되면, 해당 LM 가이드 레일들을 설치하기 위한 공간이 필요할 뿐만 아니라, 상대적으로 고가인 LM 가이드 레일로 인하여 비용이 상승하게 되는 단점이 있다. 따라서 공간 절약과 비용 절감을 위하여 좌측에만 LM 가이드 레일을 설치하고 우측에는 좌측의 LM 가이드 레일의 높이에 맞게 저가의 베어링을 이용한 것이다. 만약 우측의 안내홈(S)이 형성된 제2 가이드 레일(162a)이나 베어링(162b)을 사용하지 않는다면, 제1 언로딩 셔틀(151)이 좌측의 제1 가이드 레일(161a)만 의존하여 전후 방향으로 이동하게 되어 제1 언로딩 셔틀(151)이 좌우로 기울어질 가능성이 많고, 이로 인하여 언로더(118)가 반도체 소자의 파지를 해제할 때 에러(Error)를 유발할 가능성이 있기 때문에 제1 언로딩 셔틀(151)의 평형을 맞추어 주는 것이 중요한 것이다.
앞서 언급한 바와 같이 제1 언로딩 셔틀(151)의 가운데에 가이드 레일을 설치하지 못하는 것은 로딩셔틀(121)이 제1 언로딩 셔틀(151)의 하방에 위치하기 때문이다.
제2 언로딩 셔틀(152) 및 제2 언로딩 셔틀 이동장치(170)는 각각 제1 언로딩 셔틀(151) 및 제1 언로딩 셔틀 이동장치(160)와 동일한 구성을 가진다. 물론 실시하기에 따라서는 제2 언로딩 셔틀 이동장치를 로딩 셔틀 이동장치(130)와 동일한 구성을 가지도록 구현하는 것도 가능하다.
스택커 부분(180)은 로딩 셔틀(121) 및 언로딩 셔틀들(151, 152)을 사이에 두고 양 측으로 나뉘는 제1 스택커부(181)와 제2 스택커부(182)로 구성될 수 있다.
제1 스택커부(181)에는 미테스트된 반도체소자들이 적재된 고객 트레이(CT)들이 위치하고, 제2 스택커부(182)에는 빈 고객 트레이(CT)나 테스트가 완료된 반도체소자들이 적재된 고객 트레이(CT)들이 위치하게 된다.
트랜스퍼(190)는 제1 스택커부(181)에 있는 고객 트레이(CT)를 로딩 셔틀(121)로 이동시키거나 로딩 셔틀에 있는 빈 고객 트레이를 언로딩 셔틀이나 제2 스택커부로 이동시키며, 또한, 언로딩 셔틀들(151, 152)에 있는 고객 트레이(CT)를 제2 스택커부(182)로 이동시킨다.
제어장치(210)는, 상기한 각 구성들을 제어하기 위해 마련되며, 특히 트랜스퍼(190)가 제1 스택커부(181)로부터 고객 트레이(CT)를 로딩 셔틀(121)로 이동시킬 때 제1 언로딩 셔틀(151)이 후방으로 이동하여 로딩 셔틀(121)의 상방에서 비껴나도록 제1 언로딩 셔틀 이동장치(160)를 제어한다.
위와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러(100)에서 로딩 영역과 언로딩 영역을 분리시키기 위해 로딩 셔틀(121)의 전후 방향으로의 이동거리(L1)를 제1 언로딩 셔틀(151) 및 제2 언로딩 셔틀(152)의 전후 방향으로의 이동거리(L2)보다 더 길게 구성시키고 있음을 알 수 있다. 그리고 그러한 구성으로 인해 상대적으로 개수가 많은 언로딩 셔틀들(151, 152)의 이동거리(L2)가 상대적으로 개수가 적은 로딩 셔틀(121)의 이동거리(L1)보다 더 짧아서 다른 구성들에 대한 설계의 자유도를 확보할 수 있게 된다. 참고로 로딩 셔틀(121)의 이동거리(L1)를 언로딩 셔틀들(151, 152)의 이동거리(L2)보다 더 길게 하는 구성은 로딩 테이블(111)의 이동거리를 언로딩 테이블(113)의 이동거리보다 더 길게 구성시키는 것과 대응된다.
계속하여 위와 같은 구성을 가지는 테스트핸들러(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 도7a에서 참조되는 바와 같이, 트랜스퍼(190)가 제1 스택커부(181)로부터 고객 트레이(CT)를 로딩 셔틀(121)로 이동시킨다. 이 때, 제어장치(210)는 제1 언로딩 셔틀(151)을 후방으로 이동시키도록 제1 언로딩 셔틀 이동원(160)을 동작시킨다.
참고로, 도면에는 도시되지 않았지만, 제1 스택커부(181)에 있는 고객 트레이(CT)는 위에서 아래로 실린더와 부속장치에 의하여 1장씩 이동한다. 이때 트랜스퍼(190)는 고객 트레이(CT)가 하방향으로 이동할 수 있도록 회피한다. 고객 트레이(CT)가 원하는 위치로 이동하면 트랜스퍼(190)는 고객 트레이(CT)의 상면으로 이동한 후, 고객 트레이(CT)를 파지하여 로딩 셔틀(121)로 이동시키는 것이다.
이어서 도7b에서 참조되는 바와 같이 고객 트레이(CT)가 안착된 로딩 셔틀(121)이 후방으로 이동하여 로딩 테이블(111)의 우측 측방에 위치하게 된다.
도7b의 상태에서 로더(117)가 동작하여 로딩 셔틀(121)에 안착된 고객 트레이(CT)로부터 로딩 테이블(111)로 반도체소자들을 이동시키고, 로딩 테이블(111)에 반도체소자들이 모두 적재되면 도7c에서 참조되는 바와 같이 로딩 테이블(111)이 후방으로 이동하여 테스트 보드(115)의 좌측 측방에 위치하게 된다. 그리고 로딩 셔틀(121)은 원래의 위치로 이동하게 된다.
도7c와 같은 상태에서 연결장치(116)가 작동하여 로딩 테이블(111)에 적재된 반도체소자들을 파지한 후 테스트 보드(115)의 소켓들에 전기적으로 연결시키고, 테스트가 완료되면 파지한 반도체소자들을 언로딩 테이블(113)로 이동시킨다. 이 때, 트랜스퍼(190)는 원래의 위치로 이동하여 온 로딩 셔틀(121)에 안착된 빈 고객 트레이(CT)를 제1 언로딩 셔틀(151)이나 제2 언로딩 셔틀(152) 또는 제2 스택커부(182)로 이동시킨다. 이 후, 도7d에서 참조되는 바와 같이 반도체소자들이 적재된 언로딩 테이블(113)이 전방으로 이동하게 되고, 빈 고객 트레이(CT)가 안착된 제1 언로딩 셔틀(151) 및 제2 언로딩 셔틀(152)은 각각 후방으로 이동함으로써, 언로딩 테이블(113), 제1 언로딩 셔틀(151) 및 제2 언로딩 셔틀(152)이 좌우 방향으로 나란히 위치하게 된다.
도7d와 같은 상태에서 언로더(118)가 동작하여 언로딩 테이블(113)에 적재된 반도체소자들을 테스트 결과에 따라 양품과 불량품으로 분류하여 제1 언로딩 셔틀(151) 및 제2 언로딩 셔틀(152)에 안착된 고객 트레이(CT)들로 이동시킨다.
한편, 제1 언로딩 셔틀(151)이나 제2 언로딩 셔틀(152)에 안착된 고객 트레이(CT)가 반도체소자들로 모두 채워지면, 트랜스퍼(190)는 해당 고객 트레이(CT)를 제2 스택커부(182)로 이동시킨다.
여기서 트랜스퍼(190)가 고객 트레이(CT)를 로딩 셔틀(121)로 이동시키거나, 로팅 셔틀(121)에서 고객 트레이(CT)를 제1 언로딩 셔틀(151)이나 제2 언로딩 셔틀(152) 또는 제2 스택커부(182)로 이송시키고자 할 경우에는 항상 로딩 셔틀(121) 위에 설치된 제 1 언로딩 셔틀(151)을 후방으로 이동시킨 상태에서 트랜스퍼(190)가 고객 트레이(CT)를 잡을 수 있도록 해야 한다.
본 명세서에서는 자세하게 언급하지 않았지만, 트랜스퍼(190)는 좌우 방향뿐만 아니라 상하 방향으로도 이동할 수 있게 되기 때문에 로딩 셔틀(121) 혹은 제 1 언로딩 셔틀(151)의 원하는 위치로 고객 트레이(CT)를 이동시킬 수가 있다.
또한 로딩 테이블(111)과 언로딩 테이블(113)의 이동은 장비의 속도, 일회 테스트되는 반도체소자의 수량 및 테스트 타임 등에 따라 반도체 소자가 로딩 테이블(111)과 언로딩 테이블(113)에 모두 채워지지 않아도 전후 방향으로 이동될 수 있다.
도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트핸들러(800)에 대한 개략적인 평면도이다.
도8에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에 따른 테스트핸들러(800)는 도1의 테스트핸들러(100)를 좌우 방향으로 대칭되게 결합시켜 놓은 것과 같은 형태로도 구현될 수 있다. 이러한 경우에도 도9의 주요 부분 정면도에서 참조되는 바와 같이 제1 로딩 셔틀(821)과 제2 로딩 셔틀(822)은 각각 제1 언로딩 셔틀(851)과 제3 언로딩 셔틀(853)의 하방에 설치됨으로써 처리 용량의 확장에 비하여 장치 외형 확장은 최소화시킬 수 있게 된다. 물론 제1 언로딩 셔틀(851)의 좌측에는 제2 언로딩 셔틀(852)이 설치되고, 제3 언로딩 셔틀(853)의 우측에는 제4 언로딩 셔틀(854)이 설치된다. 그리고 스택커 부분(880)은 제2 언로딩 셔틀(852)의 좌측과 제4 언로딩 셔틀(854)의 우측에 나뉘어 위치된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 테스트핸들러
110 : 테스트 지원 부분
111 : 로딩 테이블 112 : 로딩 테이블 이동장치
113 : 언로딩 테이블 114 : 언로딩 테이블 이동장치
115 : 테스트 보드 116 : 연결장치
117 : 로더 118 : 언로더
121 : 로딩 셔틀
130 : 로딩셔틀 이동장치
131 : 로딩 셔틀 가이더
132 : 로딩 셔틀 이동원
151 : 제1 언로딩 셔틀
152 : 제2 언로딩 셔틀
160 : 제1 언로딩 셔틀 이동장치
161 : 제1 언로딩 셔틀 가이더
162 : 제2 언로딩 셔틀 가이더
163 : 제1 언로딩 셔틀 이동원
170 : 제2 언로딩 셔틀 이동장치
180 : 스택커 부분
190 : 트랜스퍼
210 : 제어장치

Claims (8)

  1. 반도체소자의 테스트를 지원하기 위해 마련되는 테스트 지원 부분;
    미테스트된 반도체소자들이 적재된 고객 트레이가 안착되며, 안착된 고객 트레이를 상기 테스트 지원 부분 측으로 이동시키기 위해 이동 가능하게 마련되는 로딩 셔틀;
    상기한 로딩 셔틀을 이동시키기 위한 로딩 셔틀 이동장치;
    상기한 로딩 셔틀에 안착된 고객 트레이로부터 상기 테스트 지원 부분 측으로 반도체소자를 이동시키기 위해 마련되는 로더;
    상기 테스트 지원 부분의 동작에 따라 테스트가 완료된 반도체소자들을 적재시킬 수 있는 빈 고객 트레이가 안착되며, 이동 가능하게 마련되는 복수개의 언로딩 셔틀;
    상기 복수개의 언로딩 셔틀을 각각 이동시키기 위한 복수개의 언로딩 셔틀 이동장치;
    상기 테스트 지원 부분 측으로부터 상기 복수개의 언로딩 셔틀에 안착된 빈 고객 트레이들로 테스트가 완료된 반도체소자들을 이동시키기 위해 마련되는 언로더;
    상기한 로딩 셔틀 이동장치 및 복수개의 언로딩 셔틀 이동장치를 제어하기 위해 마련되는 제어장치; 를 포함하고,
    상기 로딩 셔틀과 상기 복수개의 언로딩 셔틀 중 적어도 하나의 언로딩 셔틀은 상하 방향으로 서로 다른 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 로딩 셔틀은 상기한 적어도 하나의 언로딩 셔틀의 수직 하방에 위치하고,
    상기 복수개의 언로딩 셔틀 이동장치 중 특정 언로딩 셔틀 이동장치는 상기한 적어도 하나의 언로딩 셔틀을 이동시키는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  3. 제2항에 있어서,
    미테스트된 반도체소자들이 적재된 고객 트레이들이 위치하는 스택커 부분; 및
    상기 스택커 부분에 위치하는 고객 트레이들 중 하나의 고객 트레이를 상기 로딩 셔틀로 이송시키는 트랜스퍼; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 트랜스퍼가 상기 스택커 부분에서 상기 로딩 셔틀로 고객 트레이를 이송시킬 때 상기한 적어도 하나의 언로딩 셔틀이 상기 로딩 셔틀의 상방에서 비껴나도록 상기한 특정 언로딩 셔틀 이동장치를 제어하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 로딩 셔틀이 이동하는 거리는 상기 복수개의 언로딩 셔틀이 이동하는 거리보다 길게 구성되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  6. 제2항에 있어서,
    상기한 특정 언로딩 셔틀 이동장치는,
    상기 언로딩 셔틀의 이동을 안내하기 위해 상기 언로딩 셔틀의 일 측 부위를 안내하는 제1 언로딩 셔틀 가이더;
    상기 언로딩 셔틀의 이동을 안내하기 위해 상기 언로딩 셔틀의 타 측 부위를 안내하며, 상기 제1 가이더와 일정 간격 이격되게 구비되는 제2 언로딩 셔틀 가이더; 및
    상기 언로딩 셔틀을 이동시키기 위한 동력을 제공하는 언로딩 셔틀 이동원; 을 포함하고,
    상기 로딩 셔틀 이동장치는,
    상기 제1 언로딩 셔틀 가이더와 상기 제2 언로딩 셔틀 가이더 사이에 위치하는 로딩 셔틀 가이더; 및
    상기 로딩 셔틀을 이동시키기 위한 동력을 제공하는 로딩 셔틀 이동원; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 언로딩 셔틀 가이더는,
    막대 형상의 제1 가이드 레일; 및
    상기 제1 가이드 레일에 상기 언로딩 셔틀을 이동 가능하게 결합시키는 레일 블럭; 을 포함하고,
    상기 제2 언로딩 셔틀 가이더는,
    이동 방향으로 긴 안내홈이 형성된 제2 가이드 레일; 및
    상기 제2 가이드 레일의 안내홈에 삽입된 상태에서 회전 가능하게 마련되는 베어링; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 테스트 지원 부분은,
    미테스트된 반도체소자들이 적재되는 로딩 테이블;
    테스트가 완료된 반도체소자들이 적재되는 언로딩 테이블;
    반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키기 위한 소켓들이 구비된 테스트 보드;
    상기 로딩 테이블에 적재된 반도체소자들을 파지한 후 상기 테스트 보드의 소켓들에 전기적으로 연결시키고, 테스트가 완료된 반도체소자들을 상기 언로딩 테이블로 이동시키는 연결장치;
    상기 로딩 셔틀에 안착된 고객 트레이로부터 상기 로딩 테이블로 반도체소자들을 이동시키기 위해 마련되는 로더; 및
    상기 언로딩 테이블로부터 상기 복수개의 언로딩 셔틀에 안착된 고객 트레이들로 반도체소자들을 이동시키기 위해 마련되는 언로더; 를 포함하고,
    상기 로딩 테이블의 위치는 상기 테스트 보드를 기준으로 좌우 방향으로 상기 언로딩 테이블보다 가까운 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
KR1020120041520A 2012-04-20 2012-04-20 테스트핸들러 KR101809448B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120041520A KR101809448B1 (ko) 2012-04-20 2012-04-20 테스트핸들러

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120041520A KR101809448B1 (ko) 2012-04-20 2012-04-20 테스트핸들러

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130118561A true KR20130118561A (ko) 2013-10-30
KR101809448B1 KR101809448B1 (ko) 2018-01-18

Family

ID=49636815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120041520A KR101809448B1 (ko) 2012-04-20 2012-04-20 테스트핸들러

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101809448B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150108983A (ko) * 2014-03-18 2015-10-01 (주)테크윙 반도체소자 테스트용 핸들러
KR20220127357A (ko) * 2017-11-21 2022-09-19 풀필 솔루션스, 인크. 제품 핸들링 및 포장 시스템

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI344189B (en) 2006-11-22 2011-06-21 Mirae Corp Method for transferring test trays in a handler
KR100820357B1 (ko) * 2007-02-14 2008-04-08 미래산업 주식회사 전자부품 테스트용 핸들러
KR100906613B1 (ko) 2007-05-22 2009-07-10 (주)테크윙 테스트핸들러
KR100902292B1 (ko) 2007-07-31 2009-06-10 미래산업 주식회사 트레이 이송장치, 이를 이용한 반도체 소자 테스트용핸들러, 반도체 소자 테스트용 핸들러의 트레이 이송방법및 반도체 소자 테스트용 핸들러를 이용한 반도체 소자제조방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150108983A (ko) * 2014-03-18 2015-10-01 (주)테크윙 반도체소자 테스트용 핸들러
KR20220127357A (ko) * 2017-11-21 2022-09-19 풀필 솔루션스, 인크. 제품 핸들링 및 포장 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR101809448B1 (ko) 2018-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI450851B (zh) 電子元件測試分類機
KR100959372B1 (ko) 반도체 소자 이송장치, 핸들러, 및 반도체 소자 제조방법
CN1873423B (zh) 电子元件自动移载装置
KR102269567B1 (ko) 소자소팅장치
US7226270B2 (en) Apparatus for transferring semiconductor device in handler
KR20110113554A (ko) 소자검사장치
TWI601965B (zh) Component Processor
KR20090042814A (ko) 전자부품 이송방법 및 전자부품 핸들링 장치
US7772834B2 (en) Handler and process for testing a semiconductor chips using the handler
KR20130118561A (ko) 테스트핸들러
KR101175770B1 (ko) 렌즈 검사 시스템 및 이를 이용한 렌즈 검사 방법
CN104167383B (zh) 半导体元件测试用分选机的托盘装载装置
US11105841B2 (en) Flying probe electronic board tester, and test method thereof
CN104923495A (zh) 半导体元件测试用分选机
KR100866645B1 (ko) 테스트 핸들러 및 이를 이용한 테스트 트레이 이송 방법
KR100898281B1 (ko) 테스트 핸들러 및 이를 이용한 테스트 트레이 이송 방법
CN108120388B (zh) 检查装置
JP2009528511A (ja) 電子部品試験装置
CN215354825U (zh) 测试设备
KR20210131543A (ko) 전자부품 테스트 핸들러 및 이를 이용한 전자부품 이송 방법
US20240176399A1 (en) System for memory module mounting test and method therefor
KR100893141B1 (ko) 테스트 핸들러
KR102639759B1 (ko) 전자부품 테스트용 핸들러
KR20210029421A (ko) 선반 기울기 측정 유닛 및 이를 갖는 물류 저장 장치
KR100865155B1 (ko) 반도체 디바이스 핸들러 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant