KR20210029421A - 선반 기울기 측정 유닛 및 이를 갖는 물류 저장 장치 - Google Patents

선반 기울기 측정 유닛 및 이를 갖는 물류 저장 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 선반 기울기 측정 유닛은, 다수의 선반들에 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드하기 위한 로봇의 로봇암에 장착되는 플레이트와, 상기 플레이트의 하부면에 서로 이격되도록 구비되며, 상기 각 선반들의 상방에서 상기 각 선반들까지의 거리를 측정하는 다수의 센서들과, 상기 플레이트에 구비되며, 상기 센서들에서 측정된 정보를 전달받아 무선 통신을 통해 전달하는 무선 통신 모듈 및 상기 센서들 및 상기 무선 통신 모듈과 연결되도록 상기 플레이트에 구비되며, 상기 센서들 및 상기 무선 통신 모듈의 작동을 위한 전원을 제공하는 배터리를 포함할 수 있다.

Description

선반 기울기 측정 유닛 및 이를 갖는 물류 저장 장치{Unit for measuring tilt of shelves and logistics storage device having the same}
본 발명은 선반 기울기 측정 유닛 및 이를 갖는 물류 저장 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카세트나 웨이퍼와 같은 대상물을 적재하는 선반의 기울기를 측정하는 선반 기울기 측정 유닛 및 이를 갖는 물류 저장 장치에 관한 것이다.
반도체 장치 제조 공정에서 웨이퍼들이나, 상기 웨이퍼들이 수납된 카세트들과 같은 대상물은 스토커(Stocker)와 같은 물류 저장 시스템에 보관될 수 있다. 상기 물류 저장 시스템은 챔버 내부에 상기 대상물을 수납하기 위한 복수의 선반들과 상기 대상물을 이송하기 위한 로봇이 배치될 수 있다.
상기 선반들이 기울어지는 경우, 상기 로봇이 상기 선반들에 상기 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드할 때 에러가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 선반들의 기울기를 측정하고, 측정된 기울기에 따라 상기 선반들의 기울기를 조절하여 상기 선반들이 수평을 유지하도록 한다.
종래 기술에 따르면, 디지털 수평계를 이용하여 상기 선반들의 기울기를 측정한다. 작업자가 수작업으로 상기 선반들의 기울기를 측정하므로 상기 선반들의 기울기를 측정하는데 많은 시간이 소요된다.
또한, 작업자가 육안으로 상기 디지털 수평계의 눈금을 확인하므로, 작업자에 따라 상기 선반들의 기울기가 다르게 측정될 수 있다. 따라서, 상기 선반들의 기울기를 정확하게 측정하기 어렵다.
본 발명은 선반들의 기울기를 정확하고 신속하게 측정하기 위한 선반 기울기 측정 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 선반 기울기 측정 유닛을 갖는 물류 저장 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 선반 기울기 측정 유닛은, 다수의 선반들에 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드하기 위한 로봇의 로봇암에 장착되는 플레이트와, 상기 플레이트의 하부면에 서로 이격되도록 구비되며, 상기 각 선반들의 상방에서 상기 각 선반들까지의 거리를 측정하는 다수의 센서들과, 상기 플레이트에 구비되며, 상기 센서들에서 측정된 정보를 전달받아 무선 통신을 통해 전달하는 무선 통신 모듈 및 상기 센서들 및 상기 무선 통신 모듈과 연결되도록 상기 플레이트에 구비되며, 상기 센서들 및 상기 무선 통신 모듈의 작동을 위한 전원을 제공하는 배터리를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 플레이트는 상하를 관통하는 다수의 관통홀들이 상기 로봇암의 상부면에 구비된 정렬 핀들에 각각 끼워짐으로써 상기 로봇암에 장착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서들이 상기 로봇암에 의해 가려지지 않도록 상기 플레이트의 크기는 상기 로봇암의 크기보다 크고, 상기 플레이트가 상기 선반에 삽입될 수 있도록 상기 플레이트의 크기는 상기 선반의 크기보다 작을 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반 기울기 측정 유닛은, 상기 무선 통신 모듈로부터 상기 측정 결과를 전달받고, 상기 측정 결과를 이용하여 상기 각 선반들의 기울기를 연산하는 연산부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 물류 저장 장치는, 대상물을 수납하는 다수의 선반들과, 상기 선반들에 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드하기 위한 로봇암을 갖는 로봇 및 상기 로봇에 탈착 가능하도록 구비되며, 상기 각 선반들의 기울기를 측정하기 위한 선반 기울기 측정 유닛을 포함하고, 상기 선반 기울기 측정 유닛은, 상기 로봇암에 장착되는 플레이트와, 상기 플레이트의 하부면에 서로 이격되도록 구비되며, 상기 각 선반들의 상방에서 상기 각 선반들까지의 거리를 측정하는 다수의 제1 센서들과, 상기 플레이트에 구비되며, 상기 제1 센서들에서 측정된 제1 측정 결과를 전달받아 무선 통신을 통해 전달하는 무선 통신 모듈 및 상기 제1 센서들 및 상기 무선 통신 모듈과 연결되도록 상기 플레이트에 구비되며, 상기 제1 센서들 및 상기 무선 통신 모듈의 작동을 위한 전원을 제공하는 배터리를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 물류 저장 장치는, 상기 무선 통신 모듈로부터 상기 제1 측정 결과를 전달받고, 상기 제1 측정 결과를 이용하여 상기 각 선반들의 기울기를 연산하는 연산부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 물류 저장 장치는, 상기 로봇의 이동 경로 또는 상기 로봇 상에 구비되며, 상기 로봇암과의 거리를 측정하는 한 쌍의 제2 센서들을 갖는 로봇암 기울기 측정 유닛을 더 포함하고, 상기 연산부는 상기 제2 센서들로부터 상기 제2 측정 결과를 추가로 전달받고, 상기 제1 측정 결과 및 상기 제2 측정 결과를 이용하여 상기 각 선반들의 기울기를 재연산할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 선반 기울기 측정 유닛은 상기 플레이트의 상하를 관통하는 다수의 관통홀들이 상기 로봇암의 상부면에 구비된 정렬 핀들에 각각 끼워짐으로써 상기 로봇암에 장착될 수 있다.
본 발명에 따른 상기 물류 저장 장치는 상기 로봇의 로봇암에 상기 선반 기울기 측정 유닛을 장착하고, 상기 제1 센서들과 상기 선반들 사이의 거리를 측정하여 상기 선반들의 기울기를 연산한다. 상기 로봇이 상기 선반들 사이를 이동하면서 상기 각 선반들의 기울기를 측정할 수 있다. 따라서, 상기 선반들의 기울기를 신속하고 정확하게 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 저장 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 선반 기울기 측정 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 로봇, 선반 기울기 측정 유닛 및 선반을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 로봇 및 선반 기울기 측정 유닛의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 로봇, 선반 기울기 측정 유닛 및 선반을 설명하기 위한 측면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 레벨 측정 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 저장 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 선반 기울기 측정 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 로봇, 선반 기울기 측정 유닛 및 선반을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 로봇 및 선반 기울기 측정 유닛의 동작을 설명하기 위한 평면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 로봇, 선반 기울기 측정 유닛 및 선반을 설명하기 위한 측면도이고, 도 6은 도 1에 도시된 레벨 측정 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 상기 물류 저장 장치(100)는 웨이퍼들이나, 상기 웨이퍼들이 수납된 카세트들과 같은 대상물(10)을 보관할 수 있다. 상기 물류 저장 장치(100)는 챔버(110), 선반들(120), 로봇(130), 선반 기울기 측정 유닛(140), 로봇암 기울기 측정 유닛(150)을 포함할 수 있다.
상기 챔버(110)는 상기 대상물(10)을 보관하기 위한 작업이 수행되는 공간이다. 상기 챔버(110)의 내부에는 팬필터 유닛(미도시)에 의해 하강 기류가 형성된다. 따라서, 상기 대상물(10)로 이물질이 제공되는 것을 방지할 수 있다.
상기 선반들(120)은 상기 대상물(10)을 적재한다. 상기 선반들(120)은 제1 수평 방향(X축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다.
일 예로, 도시된 바와 같이 상기 선반들(120)은 2열로 서로 마주보며 평행하도록 배치될 수 있다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 상기 선반들(110)은 1열로 배치될 수도 있다.
상기 대상물(10)이 상기 웨이퍼들인 경우, 상기 각 선반들(120)에는 상기 대상물(10)을 적재하기 위한 슬롯들(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 슬롯들은 상기 각 선반들(130)에서 상기 제1 수평 방향의 양측에 각각 배치된다. 상기 대상물(10)은 상기 슬롯에 의해 양단이 지지되며, 상기 각 선반들(130)에 상기 수직 방향으로 적재된다.
상기 로봇(130)은 2열로 배열된 선반들(120) 사이에 구비될 수 있다. 선반들(120)이 1열로 구비되는 경우, 상기 로봇(130)의 상기 선반들(120)의 전방에 배치될 수 있다.
상기 로봇(130)은 상기 대상물(10)의 수납을 위하여 상기 제1 수평 방향 및 상기 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 자세히 도시되지는 않았지만 상기 로봇(130)은 상기 제1 수평 방향으로 연장되는 가이드 레일들과 수직 방향으로 연장되는 가이드 레일들에 의해 안내될 수 있다. 또한, 상기 로봇(130)은 상기 제1 수평 방향으로 상기 로봇(130)을 이동시키기 위한 수평 구동부, 수직 방향으로 상기 로봇(130)을 이동시키기 위한 수직 구동부 및 상기 로봇(130)을 회전시키기 위한 회전 구동부를 구비할 수 있다
또한, 상기 로봇(130)은 상기 대상물(10)의 수납을 위한 로봇암(132)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇암(132)은 상기 선반들(120)을 향하여 이동 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 로봇암(132)은 상기 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 로봇(130)은 상기 로봇암(132)을 구동하기 위한 제2 수평 구동부를 구비할 수 있다.
일 예로서, 상기 제1 및 제2 수평 구동부들, 상기 수직 구동부 및 상기 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.
따라서, 상기 로봇(130)은 상기 선반들(120)에 상기 대상물(10)을 로드하거나 상기 선반들(120)로부터 상기 대상물(10)을 언로드할 수 있다.
상기 로봇암(132)의 상부면에는 다수의 정렬 핀들(134)이 구비될 수 있다. 상기 정열 핀들(134)은 상기 대상물(10)의 하부면에 구비된 정렬 홈들(미도시)이 삽입될 수 있다. 상기 정열 핀들(134)과 사익 정렬 홈들(미도시)을 이용하여 상기 대상물(10)을 상기 로봇암(132) 상에 정확하게 정렬할 수 있다.
한편, 상기 로봇(130)은 상기 대상물(10)을 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다.
또한, 도시되지는 않았지만, 상기 챔버(110)에는 상기 대상물(10)이 로드 및 언로드되기 위한 로드 포트가 더 구비될 수도 있다.
상기 선반 기울기 측정 유닛(140)은 상기 로봇(130)에 탈착 가능하도록 구비되며, 상기 각 선반들(120)들의 기울기를 측정할 수 있다.
구체적으로, 상기 선반 기울기 측정 유닛(140)은 플레이트(141), 제1 센서들(142), 무선 통신 모듈(143), 배터리(144) 및 연산부(145)를 포함할 수 있다.
상기 플레이트(141)는 상기 로봇암(132)에 장착된다. 구체적으로, 상기 플레이트(141)는 상하를 관통하는 다수의 관통홀들(146)을 갖는다. 상기 관통홀들(146)이 상기 정렬 핀들(134)에 각각 끼워짐으로써 상기 플레이트(141)가 상기 로봇암(132)에 장착될 수 있다. 따라서, 상기 플레이트(141)를 상기 로봇암(132)에 정확하게 장착할 수 있으며, 상기 플레이트(141)를 상기 로봇암(132)에 탈착할 수 있다.
상기 플레이트(141)의 크기는 상기 로봇암(132)의 크기보다 클 수 있다. 상기 플레이트(141)가 상기 로봇암(132)에 장착된 상태에서 상기 제1 센서들(142)이 상기 로봇암(132)의 외측에 위치할 수 있다. 즉, 상기 제1 센서들(142)이 상기 로봇암(132)에 의해 가려지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 제1 센서들(142)이 상기 로봇암(132)의 간섭없이 안정적으로 상기 각 선반들(120)과의 거리를 측정할 수 있다.
상기 플레이트(141)의 크기는 상기 각 선반들(120)의 크기보다 작을 수 있다. 따라서, 상기 플레이트(141)가 상기 각 선반들(120)에 용이하게 삽입될 수 있다.
상기 플레이트(141)의 크기가 상기 각 선반들(120)의 크기보다 큰 경우, 상기 플레이트(141)가 상기 각 선반들(120)에 삽입되지 못한다. 이 경우, 상기 제1 센서들(142)이 상기 각 선반들(120)의 상방에 위치할 수 없게 된다. 따라서, 상기 제1 센서들(142)이 상기 각 선반들(120)과의 거리를 측정할 수 없다.
상기 제1 센서들(142)은 상기 플레이트(141)의 하부면에 서로 이격되도록 구비될 수 있다. 상기 제1 센서들(142)을 상기 플레이트(141)의 상하를 관통하여 구비될 수도 있다. 상기 제1 센서들(142)은 서로 동일 간격 이격되는 것이 바람직하다.
상기 제1 센서들(142)은 복수로 구비될 수 있으며, 바람직하게는 4개가 구비될 수 있다. 상기 4개의 제1 센서들(142)은 사각형 모양으로 배치될 수 있다.
상기 로봇암(132)이 상기 각 선반들(120)을 향해 이동할 수 있으므로, 상기 플레이트(141)를 상기 각 선빈들(120)의 상방에 위치시킬 수 있다. 상기 플레이트(141)가 상기 각 선반들(120)의 상방에 위치한 상태에서 상기 각 제1 센서들(142)은 상기 각 선반들(120)까지의 거리를 측정한다. 상기 제1 센서들(142)의 예로는 변위 센서를 들 수 있다.
상기 무선 통신 모듈(143)은 상기 플레이트(141)에 구비되며, 상기 제1 센서들(142)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 무선 통신 모듈(143)은 상기 제1 센서들(142)에서 측정된 제1 측정 결과를 전달받아 무선 통신을 통해 상기 연산부(145)로 전달한다.
상기 배터리(144)는 상기 플레이트(141)에 구비되며 상기 제1 센서들(142) 및 상기 무선 통신 모듈(143)과 연결될 수 있다. 상기 배터리(144)는 상기 제1 센서들(142) 및 상기 무선 통신 모듈(143)의 작동을 위한 전원을 제공한다. 상기 배터리(144)의 교체를 위해 상기 배터리(144)는 상기 플레이트(141)에 탈착 가능하도록 구비될 수 있다.
상기 연산부(145)는 상기 무선 통신 모듈(143)로부터 상기 제1 측정 결과를 전달받고, 상기 제1 측정 결과를 이용하여 상기 각 선반들(120)의 기울기를 연산한다.
구체적으로, 상기 연산부(145)는 상기 각 제1 센서들(142) 사이의 거리, 상기 각 제1 센서들(142)과 상기 각 선반들(120)까지의 거리 차이 및 삼각함수를 이용하여 상기 각 선반들(120)의 기울기를 계산할 수 있다.
또한, 상기 연산부(145)는 상기 계산된 각 선반들(120)의 기울기를 저장할 수 있다.
상기 로봇(130)이 상기 선반들(120) 사이를 이동할 수 있으므로, 상기 선반 기울기 측정 유닛(140)을 이용하여 상기 각 선반들(120)의 기울기를 신속하고 정확하게 확인할 수 있다.
상기 로봇암 기울기 측정 유닛(150)은 상기 로봇(130) 상에 구비될 수 있다. 이와 달리 로봇암 기울기 측정 유닛(150)은 상기 로봇(130)이 이송 경로 상에 구비될 수도 있다.
상기 로봇암 기울기 측정 유닛(150)은 상기 로봇암(132)의 기울기를 측정한다. 예를 들면, 상기 로봇암 기울기 측정 유닛(150)은 상기 로봇암(132)의 상방에 서로 이격되어 구비되는 한 쌍의 제2 센서들(152) 및 상기 제2 센서들(152)을 고정하는 프레임(154)을 포함한다.
상기 제2 센서들(152)은 변위 센서일 수 있다. 따라서, 상기 각 제2 센서들(152)은 상기 로봇암(132)까지의 거리를 측정할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 로봇암 기울기 측정 유닛(150)은 상기 제2 센서들(152)의 제2 측정 결과를 상기 연산부(145)로 전달하기 위한 제2 무선 통신 모듈을 포함할 수 있다.
상기 연산부(145)는 상기 제2 센서들(152)로부터 상기 제2 측정 결과를 추가로 전달받을 수 있다. 상기 연산부(145)는 상기 제1 측정 결과 및 상기 제2 측정 결과를 이용하여 상기 각 선반들(120)의 기울기를 재연산할 수 있다.
이와 달리, 상기 연산부(145)는 상기 제2 측정 결과를 이용하여 상기 로봇암(132)의 기울기를 연산할 수 있다. 구체적으로, 상기 연산부(145)는 상기 제2 센서들(152) 사이의 거리, 상기 각 제2 센서들(142)과 상기 로봇암(132) 사이의 거리 차이 및 삼각함수를 이용하여 상기 로봇암(132)의 기울기를 계산할 수 있다.
이후, 상기 연산부(145)는 상기 각 선반들(120)의 기울기에 상기 로봇암(132)의 기울기를 추가하여 상기 각 선반들(120)의 기울기를 재연산할 수 있다.
상기 재 연산된 각 선반들(120)의 기울기는 상기 로봇암(132)의 기울기로 인해 상기 선반 기울기 측정 유닛(140)의 기울어짐을 보상한 것이다. 따라서, 상기 각 선반들(120)의 기울기를 보다 정확하게 계산할 수 있다.
상기 각 선반들(120)의 기울기 연산이 완료되면, 상기 각 선반들(120)의 기울기 값에 따라 기울기 조정이 필요한 선반들(120)을 선별한다. 이후 상기 선별된 선반들(120)에 대해 기울기 조정 작업이 이루어질 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 물류 저장 장치는 상기 로봇의 로봇암에 장착되는 상기 선반 기울기 측정 유닛을 이용하여 상기 각 선반들의 기울기를 측정할 수 있다. 따라서, 상기 선반들의 기울기를 신속하고 정확하게 측정할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 물류 저장 시스템 110 : 챔버
120 : 선반 130 : 로봇
140 : 선반 기울기 측정 유닛 150 : 로봇암 기울기 측정 유닛
10 : 대상물

Claims (8)

  1. 다수의 선반들에 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드하기 위한 로봇의 로봇암에 장착되는 플레이트;
    상기 플레이트의 하부면에 서로 이격되도록 구비되며, 상기 각 선반들의 상방에서 상기 각 선반들까지의 거리를 측정하는 다수의 센서들;
    상기 플레이트에 구비되며, 상기 센서들에서 측정된 정보를 전달받아 무선 통신을 통해 전달하는 무선 통신 모듈; 및
    상기 센서들 및 상기 무선 통신 모듈과 연결되도록 상기 플레이트에 구비되며, 상기 센서들 및 상기 무선 통신 모듈의 작동을 위한 전원을 제공하는 배터리를 포함하는 것을 특징으로 하는 선반 기울기 측정 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 플레이트는 상하를 관통하는 다수의 관통홀들이 상기 로봇암의 상부면에 구비된 정렬 핀들에 각각 끼워짐으로써 상기 로봇암에 장착되는 것을 특징으로 하는 선반 기울기 측정 유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 센서들이 상기 로봇암에 의해 가려지지 않도록 상기 플레이트의 크기는 상기 로봇암의 크기보다 크고, 상기 플레이트가 상기 선반에 삽입될 수 있도록 상기 플레이트의 크기는 상기 선반의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 선반 기울기 측정 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 무선 통신 모듈로부터 상기 측정 결과를 전달받고, 상기 측정 결과를 이용하여 상기 각 선반들의 기울기를 연산하는 연산부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선반 기울기 측정 유닛.
  5. 대상물을 수납하는 다수의 선반들;
    상기 선반들에 대상물을 로드하거나 상기 선반들로부터 상기 대상물을 언로드하기 위한 로봇암을 갖는 로봇; 및
    상기 로봇에 탈착 가능하도록 구비되며, 상기 각 선반들의 기울기를 측정하기 위한 선반 기울기 측정 유닛을 포함하고,
    상기 선반 기울기 측정 유닛은,
    상기 로봇암에 장착되는 플레이트;
    상기 플레이트의 하부면에 서로 이격되도록 구비되며, 상기 각 선반들의 상방에서 상기 각 선반들까지의 거리를 측정하는 다수의 제1 센서들;
    상기 플레이트에 구비되며, 상기 제1 센서들에서 측정된 제1 측정 결과를 전달받아 무선 통신을 통해 전달하는 무선 통신 모듈; 및
    상기 제1 센서들 및 상기 무선 통신 모듈과 연결되도록 상기 플레이트에 구비되며, 상기 제1 센서들 및 상기 무선 통신 모듈의 작동을 위한 전원을 제공하는 배터리를 포함하는 것을 특징으로 하는 물류 저장 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 무선 통신 모듈로부터 상기 제1 측정 결과를 전달받고, 상기 제1 측정 결과를 이용하여 상기 각 선반들의 기울기를 연산하는 연산부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물류 저장 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 로봇의 이동 경로 또는 상기 로봇 상에 구비되며, 상기 로봇암과의 거리를 측정하는 한 쌍의 제2 센서들을 갖는 로봇암 기울기 측정 유닛을 더 포함하고,
    상기 연산부는 상기 제2 센서들로부터 상기 제2 측정 결과를 추가로 전달받고, 상기 제1 측정 결과 및 상기 제2 측정 결과를 이용하여 상기 각 선반들의 기울기를 재연산하는 것을 특징으로 하는 물류 저장 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 선반 기울기 측정 유닛은 상기 플레이트의 상하를 관통하는 다수의 관통홀들이 상기 로봇암의 상부면에 구비된 정렬 핀들에 각각 끼워짐으로써 상기 로봇암에 장착되는 것을 특징으로 하는 물류 저장 장치.
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