KR20190011617A - 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체공정 모니터링에 사용되는 센서 장착 웨이퍼 기술에 있어서, 특히 충전 상태를 최적으로 유지하는 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치에 관한 것으로, 센서 장착 웨이퍼는 센서와, 상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛과, 상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛과, 상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)를 포함하되, 상기 통신유닛이 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 무선통신회로와 통신이 연결됨에 따라 상기 제어유닛이 상기 센서의 구동을 위한 전원의 공급을 제어하여 절전모드로 동작시키는 것이 일 특징이며, 센서 장착 웨이퍼 보관 장치가 배터리(B)와, 상기 배터리(B)에 충전된 전원을 무선으로 상기 배터리(A)에 공급하는 무선충전회로와, 상기 센서 장착 웨이퍼가 내부에 탑재됨에 따라 상기 통신유닛과 무선으로 통신하는 무선통신회로와, 상기 통신유닛과 상기 무선통신회로 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 제어기를 포함하여 구성되는 것이 다른 특징인 발명이다.

Description

센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치{sensor mounted wafer, and apparatus for storaging thereof}
본 발명은 반도체공정 모니터링에 사용되는 센서 장착 웨이퍼 기술에 관한 것으로, 특히 충전 상태를 최적으로 유지하는 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치에 관한 것이다.
반도체 제조에는 일반적으로 광학, 증착과 성장, 식각 공정 등 다수의 공정을 거친다.
반도체 제조 공정에는 각 공정에서 공정 조건과 장비의 작동 상태를 주의 깊게 모니터링해야 한다. 예를 들면, 챔버나 웨이퍼의 온도, 가스 주입 상태, 압력 상태 또는 플라스마 밀도나 노출 거리 등을 제어하면서 최적의 반도체 수율을 위해 정밀한 모니터링이 필수적이다.
온도, 플라즈마, 압력, 유량 및 가스 등과 관련된 공정 조건에 오차가 발생하거나 장비가 오동작 하는 경우에는 불량이 다수 발생하여 전체 수율에 치명적이다.
한편, 종래 기술에서는 반도체 제조에서 챔버 내의 공정 조건을 간접적으로 측정하였으나 반도체 수율 향상을 위해 챔버의 내부 조건이나 그 챔버에 로딩된 웨이퍼의 상태 등을 직접 측정하기 위한 연구가 계속되었다. 그 중 하나가 웨이퍼의 온도 센싱 기술로 SOW(Sensor On Wafer)가 소개되었다.
SOW(Sensor On Wafer)는 테스트용 웨이퍼 상에 온도센서를 장착하고, 각각의 온도센서를 이용하여 반도체 제조 공정에서의 온도를 챔버 내에서 직접 센싱하였다.
한편, SOW(Sensor On Wafer)에는 센서에 동작 전원을 공급하는 내부 배터리를 더 구비할 수 있는데, 종래 기술에 따른 SOW는 공정 모니터링을 완료한 후에도 센서들이 센싱동작모드를 그대로 유지하기 때문에 내부 배터리의 전원이 지속적으로 소모되는 문제가 있었다.
특히, SOW(Sensor On Wafer)는 공정 모니터링을 완료한 후에 보호케이스에 보관하게 되는데, 그 보호케이스에 보관한 상태에서도 배터리의 방전은 지속되었다.
본 발명의 목적은 상기한 점을 감안하여 안출한 것으로, 특히 SOW(Sensor On Wafer)와 같은 센서 장착 웨이퍼가 언제든지 즉시 공정 모니터링에 사용될 수 있도록 센서 장착 웨이퍼에 구비되는 내부 배터리의 충전 상태를 최적으로 유지해주는 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치를 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 센서 장착 웨이퍼의 특징은, 센서; 상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛; 상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛; 그리고 상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)를 포함하되, 상기 제어유닛은 상기 통신유닛이 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 무선통신회로와 통신이 연결됨에 따라, 상기 센서의 구동을 위한 전원의 공급을 제어하여 절전모드로 동작시키는 것이다.
바람직하게, 상기 제어유닛은 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 배터리(B)의 전원을 무선 충전 방식으로 상기 배터리(A)에 충전하도록 제어할 수 있다.
보다 바람직하게, 상기 센서 장착 웨이퍼가 사용된 공정을 기록한 로그데이터를 저장하는 메모리를 더 구비할 수 있다.
보다 바람직하게, 상기 제어유닛은 상기 배터리(A)가 상기 로그데이터에 기록된 상기 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준으로 충전되도록 제어할 수 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 센서 장착 웨이퍼 보관 장치의 특징은, 센서, 상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛, 상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛, 그리고 상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)가 구비된 센서 장착 웨이퍼를 보관하는 장치로서, 배터리(B); 상기 배터리(B)에 충전된 전원을 무선으로 상기 배터리(A)에 공급하는 무선충전회로; 상기 센서 장착 웨이퍼가 내부에 탑재됨에 따라 상기 통신유닛과 무선으로 통신하는 무선통신회로; 그리고 상기 통신유닛과 상기 무선통신회로 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 제어기를 포함하여 구성되는 것이다.
바람직하게, 상기 무선충전회로의 온오프 동작상태와 상기 배터리(A)의 충전상태와 상기 배터리(B)의 충전상태를 표시하는 LED 표시부를 더 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 제어기는 상기 센서 장착 웨이퍼의 로그데이터에 기록된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 상기 배터리(A)에 전원이 공급되도록 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어할 수 있다.
바람직하게, 상기 센서 장착 웨이퍼가 사용될 공정과 상기 공정에 요구되는 조건을 포함하는 상기 제어정보를 설정하기 위한 사용자 인터페이스를 더 포함할 수 있다.
보다 바람직하게, 상기 제어기는 상기 사용자 인터페이스를 통해 설정된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 상기 배터리(A)에 전원이 공급되도록 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어할 수 있다.
바람직하게, 상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 센서 장착 웨이퍼 보관 장치로부터 이탈 시에, 상기 센서 장착 웨이퍼가 사용될 공정에서의 공정시간을 계산하기 위한 표준시간을 설정하는 RTC(Real-time clock) 회로를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 센서 장착 웨이퍼가 공정 모니터링을 완료한 후에 안정되게 보관될 수 있으며, 특히 센서 장착 웨이퍼가 보관 중일 때는 센서들의 동작으로 절전모드로 자동 전환하여 전원 소모를 최소화할 수 있다.
또한, 센서 장착 웨이퍼가 보관 중일 때 자동으로 요구되는 수준으로 전원이 충전되므로, 내부 배터리를 충전하기 위해 외부충전장치에 연결해야 하는 별도의 작업이 요구되지 않으며, 센서 장착 웨이퍼가 충분한 충전상태로 언제든지 즉시 공정 모니터링에 사용될 수 있도록 해준다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 구성을 도시한 다이어그램이고,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼와 보관 장치의 구성을 도시한 다이어그램이고,
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼와 보관 장치의 상세 구성을 도시한 블록다이어그램이다.
본 발명의 다른 목적, 특징 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시 예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예의 구성과 그 작용을 설명하며, 도면에 도시되고 또 이것에 의해서 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나의 실시 예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해서 상기한 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 센서 장착 웨이퍼 및 그의 보관 장치의 바람직한 실시 예를 자세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼의 구성을 도시한 다이어그램이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼와 보관 장치의 구성을 도시한 다이어그램이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 센서 장착 웨이퍼와 보관 장치의 상세 구성을 도시한 블록다이어그램이다.
도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명은 센서 장착 웨이퍼(1)와 그를 보관하는 보관 장치(2)로 구성된다.
센서 장착 웨이퍼(1)는 센서(10)와 통신유닛(20)과 제어유닛(30)과 배터리(A)(40)와 충전회로(41)와 메모리(50)로 구성된다.
센서(10)는 센서 장착 웨이퍼(1)에 다수 개가 구비되며, 센서 장착 웨이퍼(1)의 정해진 센싱 위치에 내장되어 해당 위치에서 공정 모니터링을 위한 센싱을 담당한다. 센서(10)는 온도센서나 압력센서 등 다양한 공정환경을 센싱한다. 일 예로, 센서(10)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 로딩된 챔버 내부 상태(온도, 압력, 기체 등)나 챔버에 로딩된 웨이퍼의 자체 상태(온도 등)를 센싱할 수 있다.
통신유닛(20)은 외부와의 무선 통신을 위한 것으로 센서(10)에 의해 센싱된 센싱정보를 무선으로 송신하고, 또한 센서(10)의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 무선으로 수신한다. 여기서, 제어정보는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함할 수 있는데, 예로써 센서 장착 웨이퍼(1)가 어느 공정에 사용되는지를 정의하고. 그 정의된 공정에서의 센싱온도, 센싱시간, 센싱방식 등에 대한 설정 값을 포함할 수 있다.
제어유닛(30)은 제어정보를 사용하여 센서(10)의 동작을 제어한다. 즉, 제어유닛(30)은 제어정보에 포함된 설정 값에 기반하여 센서(10)가 동작하도록 제어한다.
배터리(A)(40)는 센서(10)와 통신유닛(20)과 제어유닛(30)을 포함하여 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 구성요소들의 구동을 위한 전원을 공급한다.
배터리(A)(40)에 대한 충전 제어는 제어유닛(30)이 담당하며, 제어유닛(30)은 센서 장착 웨이퍼(1)가 공정에 사용될 때를 제외하고는 최소한의 전원이 소모되도록 전원 공급을 제어할 수 있다.
일예로, 제어유닛(30)은 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 보관될 시에 센서(10)의 구동을 위해 공급되는 전원을 차단하는 방식으로 전원 공급을 제어할 수 있다.
센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 보관된 상태인지 아닌지에 대한 판단은 무선 통신의 연결 여부에 기준한다. 즉, 제어유닛(30)은 통신유닛(20)이 보관 장치(2)에 구비되는 무선통신회로(120)와의 통신이 연결되면, 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)의 웨이퍼 홀더(WAFER HOLDER)에 보관된 것으로 판단한다. 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)의 웨이퍼 홀더(WAFER HOLDER)에 보관된 것으로 판단되는 경우는, 센서 장착 웨이퍼(1)가 공정 모니터링에 사용되지 않는 것을 의미하므로, 제어유닛(30)은 센서(10)의 구동을 위한 전원 공급을 차단하는 식으로 전원 공급을 제어한다. 센서(10)의 구동을 위한 전원 공급을 차단하는 동작모드를 이하에서는 절전모드로 정의한다.
이와 같이, 제어유닛(30)은 통신유닛(20)이 보관 장치(2)에 구비되는 무선통신회로(120)와 통신이 연결되면 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 구비되는 웨이퍼 홀더에 보관된 것으로 판단하고, 센서(10)의 구동을 위한 전원의 공급을 제어하여 절전모드로 동작시킨다.
또한, 제어유닛(30)은 통신유닛(20)이 보관 장치(2)에 구비되는 무선통신회로(120)와 통신이 연결되면 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 구비되는 웨이퍼 홀더에 보관된 것으로 판단하고, 보관 장치(2)에 구비되는 배터리(B)(140)의 충전 전원을 무선 충전 방식으로 배터리(A)(40)에 충전하도록 제어할 수 있다. 이때, 제어유닛(30)은 무선 충전을 위해 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 충전회로(41)의 동작을 제어할 수 있으며, 동시에 보관 장치(2)에서도 그에 구비되는 무선충전회로(141)의 동작을 제어하여 배터리(B)(140)의 충전 전원이 센서 장착 웨이퍼(1)에 전달되도록 한다.
메모리(50)는 센서(10)의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 저장할 수 있으며, 센서(10)에 의해 센싱된 센싱정보를 저장할 수 있다. 또한, 메모리(50)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용된 공정을 기록한 로그데이터를 저장할 수 있다. 로그데이터는 센서 장착 웨이퍼(1)가 어떤 공정에서 어떤 조건으로 사용되었는지에 대한 정보를 포함한다.
제어유닛(30)의 배터리(A)(40)에 대한 충전 제어는, 배터리(A)(40)가 만충될 때까지 실시할 수도 있고, 배터리(A)(40)가 공정 별로 필요한 수준까지만 충전되도록 실시할 수 있다. 바람직하게, 제어유닛(30)은 센서 장착 웨이퍼(1)가 서로 다른 조건으로 공정 모니터링에 사용되는 것에 대비할 수 있는데, 로그데이터를 참조하여 어떤 공정에 사용되는 지를 판단한 후에 해당 공정의 모니터링 시에 소모되는 최대 전원량을 기준으로 배터리(A)(40)에 대한 충전량을 제어할 수 있다. 즉, 제어유닛(30)은 배터리(A)(40)가 로그데이터에 기록된 특정 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준으로 충전되도록 제어할 수 있다.
다음의 보관 장치(2)는 센서 장착 웨이퍼(1)를 웨이퍼 홀더에 보관하는 동안에 센서 장착 웨이퍼(1)의 배터리(A)(40)를 충전시키고 센서 장착 웨이퍼(1)의 공정 모니터링을 위한 제어정보를 설정할 수 있다.
보관 장치(2)는 사용자 인터페이스(UI)(110)와 무선통신회로(120)와 제어기(130)와 배터리(B)(140)와 무선충전회로(141)와 LED 표시부(150)와 RTC 회로(160)를 포함하여 구성되며, 배터리(B)(140)로의 전원 충전을 위한 전원라인으로 POWER USB나 ADAPTER, 센싱정보와 제어정보를 저장할 수 있는 메모리, 외부와의 유선 통신을 위한 통신라인으로 USB 단자나 LAN 단자 등을 더 포함할 수 있다.
사용자 인터페이스(UI)(110)는 디스플레이(Display)나 키보드와 같은 입출력디바이스를 포함하는 것으로, 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정과 그 공정에 요구되는 조건을 포함하는 제어정보를 설정하기 위한 것이다. 예로써 사용자 인터페이스(110)를 통해 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정을 설정하고, 그 설정된 공정에서의 센싱온도, 센싱시간, 센싱방식 등에 대한 값을 설정할 수 있다.
무선통신회로(120)는 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 통신유닛(20)과 무선으로 통신한다. 특히, 무선통신회로(120)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 내부에 탑재 즉, 웨이퍼 홀더에 보관됨에 따라 통신유닛(20)과 무선으로 통신한다.
제어기(130)는 무선통신회로(120)와 센서 장착 웨이퍼(1)에 구비되는 통신유닛(20)의 통신 연결에 기준하여 센서 장착 웨이퍼(1)가 내부에 탑재된 상태인지를 판단한다.
제어기(130)는 무선통신회로(120)와 통신유닛(20) 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 무선충전회로(141)의 온오프 동작을 제어하여 배터리(B)(140)에서 배터리(A)(40)로 충전이 진행되도록 제어한다.
제어기(130)는 배터리(A)(40)가 만충될 때까지 실시할 수도 있고, 배터리(A)(40)가 공정 별로 필요한 수준까지만 충전되도록 충전 제어를 실시할 수 있다. 바람직하게, 제어기(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 로그데이터를 참조하여 어떤 공정에 사용되는 지를 판단한 후에 해당 공정의 모니터링 시에 소모되는 최대 전원량을 기준으로 배터리(B)(140)의 방전량을 제어할 수 있다. 즉, 제어기(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 로그데이터에 기록된 특정 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 배터리(B)(140)의 충전 전원을 방전시키도록 제어할 수 있다. 이는 제어기(130)가 공정 별로 정의되는 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 배터리(A)에 전원이 공급되도록 무선충전회로(141)의 온오프 동작을 제어하는 것이다.
한편, 제어기(130)는 공정 별 최대 전원 소모량을 로그데이터에 기반하여 설정할 수도 있으나, 센서 장착 웨이퍼(1)가 새로운 공정의 모니터링에 사용될 수 있으므로 공정 별로 정의되는 최대 전원 소모량을 사용자 인터페이스(110)를 통해 설정된 정보에 기반하여 설정할 수도 있다. 즉, 제어기(130)는 사용자 인터페이스(110)를 통해 설정된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 배터리(A)(40)에 전원이 공급되도록 무선충전회로(141)의 온오프 동작을 제어할 수 있다.
LED 표시부(150)는 제어기(130)의 제어에 따라 무선충전회로(141)의 온오프 동작상태와 배터리(A)(40)의 충전상태와 배터리(B)(140)의 충전상태를 표시할 수 있다. LED 표시부(150)에 의해 표시되는 배터리(A)(40)의 충전상태는 그 배터리(A)(40)가 만충된 상태임을 나타낼 수 있고 배터리(A)(40)가 공정 별로 필요한 수준까지 충전된 상태임을 나타낼 수도 있다. 사용자는 LED 표시부(150)에 의해 표시되는 배터리(A)(40)의 충전상태를 확인하여 센서 장착 웨이퍼(1)가 현재 공정 모니터링에 사용 가능한지를 판단할 수 있을 것이다.
이와 같이 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)에 보관된 상태에서는 충전과 공정 모니터링의 조건 설정을 위한 동작이 실시된다.
반면에, 센서 장착 웨이퍼(1)가 보관 장치(2)로부터 이탈할 시에는 센서 장착 웨이퍼(1)가 공정 모니터링에 사용되는 경우일 수 있다. 그에 따라 공정에서의 공정시간을 계산하기 위한 표준시간이 설정되어야 한다.
RTC(Real-time clock) 회로(160)는 센서 장착 웨이퍼(1)가 사용될 공정에서의 공정시간을 계산하기 위한 표준시간을 설정하는 것으로, 제어기(130)는 센서 장착 웨이퍼(1)의 이탈 여부에 따라 RTC 회로(160)의 동작을 제어한다. RTC 회로(160)는 센서 장착 웨이터(1)의 제어정보 중에서 공정시간을 계산하기 위해 설정되는 표준시간을 제공한다. 여기서, 센서 장착 웨이퍼(1)의 이탈 여부는 통신유닛(20)과 무선통신회로(120) 간의 통신 연결 여부나 웨이퍼 홀더에 구비되는 감지센서 등으로 판단할 수 있다.
지금까지 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위 내에서 변형된 형태로 구현할 수 있을 것이다.
그러므로 여기서 설명한 본 발명의 실시 예는 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 상술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 웨이퍼 2: 보관 장치
10: 센서 20: 통신유닛
30: 제어유닛 40: 배터리(A)
41: 충전회로 50: 메모리
110: 사용자 인터페이스(UI) 120: 무선통신회로
130: 제어기 140: 배터리(B)
141: 무선충전회로 150: LED 표시부
160: RTC 회로

Claims (10)

  1. 센서 장착 웨이퍼에 있어서,
    센서;
    상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛;
    상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛; 그리고
    상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)를 포함하되,
    상기 제어유닛은,
    상기 통신유닛이 상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 무선통신회로와 통신이 연결됨에 따라, 상기 센서의 구동을 위한 전원의 공급을 제어하여 절전모드로 동작시키는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어유닛은,
    상기 센서 장착 웨이퍼의 보관 장치에 구비되는 배터리(B)의 전원을 무선 충전 방식으로 상기 배터리(A)에 충전하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 센서 장착 웨이퍼가 사용된 공정을 기록한 로그데이터를 저장하는 메모리를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어유닛은,
    상기 배터리(A)가 상기 로그데이터에 기록된 상기 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준으로 충전되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼.
  5. 센서, 상기 센서에 의해 센싱된 센싱정보를 송신하고 상기 센서의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 수신하는 통신유닛, 상기 제어정보를 사용하여 상기 센서의 동작을 제어하는 제어유닛, 그리고 상기 센서와 상기 통신유닛과 상기 제어유닛의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리(A)가 구비된 센서 장착 웨이퍼를 보관하는 장치에 있어서,
    배터리(B);
    상기 배터리(B)에 충전된 전원을 무선으로 상기 배터리(A)에 공급하는 무선충전회로;
    상기 센서 장착 웨이퍼가 내부에 탑재됨에 따라 상기 통신유닛과 무선으로 통신하는 무선통신회로; 그리고
    상기 통신유닛과 상기 무선통신회로 간의 무선 통신이 연결됨에 따라 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 제어기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 무선충전회로의 온오프 동작상태와 상기 배터리(A)의 충전상태와 상기 배터리(B)의 충전상태를 표시하는 LED 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 센서 장착 웨이퍼의 로그데이터에 기록된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 상기 배터리(A)에 전원이 공급되도록 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 센서 장착 웨이퍼가 사용될 공정과 상기 공정에 요구되는 조건을 포함하는 상기 제어정보를 설정하기 위한 사용자 인터페이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 사용자 인터페이스를 통해 설정된 공정에서의 최대 전원 소모량에 상응하는 수준까지 상기 배터리(A)에 전원이 공급되도록 상기 무선충전회로의 온오프 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.
  10. 제 5 항에 있어서,
    상기 센서 장착 웨이퍼가 상기 센서 장착 웨이퍼 보관 장치로부터 이탈 시에, 상기 센서 장착 웨이퍼가 사용될 공정에서의 공정시간을 계산하기 위한 표준시간을 설정하는 RTC(Real-time clock) 회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 장착 웨이퍼 보관 장치.
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