KR20120022742A - 기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법 - Google Patents

기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20120022742A
KR20120022742A KR20117022673A KR20117022673A KR20120022742A KR 20120022742 A KR20120022742 A KR 20120022742A KR 20117022673 A KR20117022673 A KR 20117022673A KR 20117022673 A KR20117022673 A KR 20117022673A KR 20120022742 A KR20120022742 A KR 20120022742A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
slot
jig
substrate carrier
substrate
measuring
Prior art date
Application number
KR20117022673A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101445911B1 (ko
Inventor
쇼이치 모리
히로후미 나카무라
Original Assignee
히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 히라따기꼬오 가부시키가이샤 filed Critical 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Publication of KR20120022742A publication Critical patent/KR20120022742A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101445911B1 publication Critical patent/KR101445911B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

[과제] 로드 포트에 재치된 웨이퍼캐리어의 슬롯 높이를 측정 가능하고, 또한, 임의의 슬롯이 수평인가 아닌가의 판단이 가능한 웨이퍼캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법을 제공한다.
[해결수단] 웨이퍼캐리어 측정 지그는, 웨이퍼(11)가 수용되는 한 쌍의 슬롯부(12)를 갖는 웨이퍼캐리어(10)의 저면에 설치된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀(211)을 갖는 캐리어재치부(210)를 구비한 베이스부재(21)와, 베이스부재(21)상에 고정하여 설치되며, 양 슬롯부(12)에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서(250)를 갖는 측정수단(22)과, 베이스부재(21)의 캐리어재치부(210)에 설치되며, 웨이퍼캐리어(10)가 구비하는 ID정보보유수단에 측정수단(22)으로부터의 정보를 기입하는 기입수단(23)을 포함한다.

Description

기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법{SUBSTRATE CARRIER MEASURING JIG, COLLISION PREVENTING JIG, AND COLLISION PREVENTING METHOD USING THE COLLISION PREVENTING JIG}
본 발명은, 기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법에 관계되며, 특히, 300㎜이상의 웨이퍼를 수용하는 FOUP를 로드 포트(load port)에 재치(載置)하여, 로봇으로 FOUP 내의 웨이퍼를 핸들링할 때에, 로봇이 웨이퍼에 충돌하는 것을 막기 위한 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법에 관한 것이다.
현재, 300㎜웨이퍼의 FOUP를 로드 포트의 도크 플레이트(dock plate)(도킹 테이블)에 재치할 때, FOUP 저면(底面)에 형성한 90°의 각도를 갖는 역V자 형상의 V홈을, 도크 플레이트에 마련한 3개의 키네매틱 핀(kinematic pin) 상에 얹어, X－Y－Z방향의 위치결정(키네매틱 커플링(kinematic coupling))을 행하고 있다.
FOUP는 수지(樹脂)로 된 수지성형품이기 때문에, V홈의 각도 공차에 편차가 있으며, 일부에서는 공차가 ±5°를 넘는 경우도 있다. 한편, 키네매틱 핀은 금속제이지만, 그 선단부, 즉 FOUP 측의 V홈이 놓이는 선단부의 주연(周緣)은, V홈의 양 홈면(45°의 경사부)에 대한 접촉면압(接觸面壓)을 낮추기 위해, 큰 곡률을 갖는 R부(모따기부)로 된다. 그러나, 이 핀의 R부는 복잡한 형상 때문에, 기계가공 후에 직접적으로 가공 정밀도를 측정하는 것이 대단히 곤란하다. 따라서, 지금 상태에서는, 복수의 제조사에서 만드는 키네매틱 핀을, 참다운 가공 정밀도를 모르는 채, 또는 불안정한 형상 정밀도인 채 사용하고 있다. 여기서, 다른 제조사가 제조하는 핀 사이에 편차가 있는 것은 말할 것도 없고, 같은 제조사의 핀이어도 로트(lot) 사이에 편차는 존재하지만, 그것들을 확인하는 방법이 없다.
또한, FOUP는 복수의 FOUP 제조사가, 로드 포트는 복수의 로드 포트 제조사가 각각 제조하고 있으며, 제조사의 차이에 의한 개체 간의 편차도 있다. 또한, 사용 연한에 따른 V홈 및 키네매틱 핀의 마모에 기인하는 정밀도의 편차도 있다. 따라서, 임의의 로드 포트의 도크 플레이트에 임의의 FOUP를 재치하여, 키네매틱 커플링 하는 경우, 이론적으로는 정밀도를 확보할 수 있는 위치결정방법이지만, 현실적으로는, 정밀도 편차가 커지는 부품요소끼리의 조합이며, 결과적으로 FOUP의 높이방향에 있어서의 정밀도 확보가 어려운 위치결정방법이다.
한편, 현재, 450㎜웨이퍼의 여러 가지 규격 선정이 진행되고 있지만, 450㎜웨이퍼용 FOUP의 슬롯부(slot部)에 있어서의 슬롯 피치는, 300㎜웨이퍼용 FOUP와 같은 10㎜를 기준으로(10㎜를 넘는 경우에도 가능한 한 작아지도록) 규격화가 진행되고 있다. 300㎜웨이퍼와 450㎜웨이퍼에서 웨이퍼 두께가 같으면, 슬롯에 수용된 웨이퍼의 물리현상으로서의 Sag(=휨)량이, 450㎜웨이퍼에서는 300㎜웨이퍼의 약 3배 이상으로 된다. 따라서, 450㎜웨이퍼용 FOUP에 있어서는, 300㎜웨이퍼용 FOUP와 비교하여 더 높은 정밀도로 높이위치를 결정하지 않으면, FOUP 내에 수용된 웨이퍼에 대해 로봇이 충돌할(깨어짐이 발생할) 가능성이 높아진다. 300㎜웨이퍼와 450㎜웨이퍼는, 최종 프로세스 후의 제품 가격이 몇천만 엔에도 이르는 매우 고가의 제품도 있어, 이 충돌 발생은, 로봇으로 웨이퍼를 취급하는 데에 큰 손실을 초래할 가능성이 있다.
FOUP의 웨이퍼 위치를 측정하는 지그, 키네매틱 핀의 형상을 평가하는 지그, 및 키네매틱 핀의 위치를 평가하는 지그에 관해, 특허문헌 1 기재의 발명이 있다.
일본 특허 제3638245호 공보
특허문헌 1 기재의 각(各) 지그를 이용함으로써, 로드 포트의 키네매틱 핀상에 FOUP를 재치한 경우에, 웨이퍼가 수용되는 한 쌍의 슬롯부(선반부)에 있어서의 기준으로 되는 슬롯의, 웨이퍼 위치(슬롯 높이)를 측정하는 것은 가능하다. 그러나, 특허문헌 1 기재의 각 지그를 이용해도, 한 쌍의 슬롯부에 있어서의 임의의 슬롯이 수평인가 아닌가에 대해서는 판단할 수 없다는 문제가 있었다.
이상과 같은 사정을 고려하여 창안된 본 발명의 목적은, 기판캐리어의, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부에 있어서의 슬롯 높이를 측정 가능하고, 또한, 임의의 슬롯이 수평인지 아닌지의 판단이 가능한 기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법을 제공하는 데에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 제1 항에 관계되는 발명은, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의, 슬롯 높이를 측정하는 지그로서, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀을 갖는 캐리어재치부(載置部)를 구비한 베이스부재와, 상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양(兩) 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도(水平度)를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과, 상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단에, 상기 측정수단으로부터의 정보를 기입하는 기입수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판캐리어 측정 지그이다.
제2 항에 관계되는 발명은, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의, 슬롯 높이를 측정하는 지그로서, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀을 갖는 캐리어재치부를 구비한 베이스부재와, 상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과, 상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독함과 아울러, 상기 측정수단으로부터의 정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 판독송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판캐리어 측정 지그이다.
제3 항에 관계되는 발명은, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의, 슬롯 높이를 측정하는 지그로서, 상기 기판캐리어는, 그 저면에, 적어도 3개의 돌기부(突起部)와 적어도 2개의 역(逆) 깔때기 형상의 오목부를 구비하며, 상기 각(各) 돌기부는 그 선단에 동일 평면을 형성하는 평탄면부(平坦面部)를 각각 갖고, 상기 각 돌기부의 평탄면부가 접촉되는 캐리어재치부를 구비하며, 그 캐리어재치부에, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 적어도 2개의 오목부에 감입(嵌入)되는 적어도 2개의 위치결정핀을 갖는 베이스부재와, 상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과, 상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단에, 상기 측정수단으로부터의 정보를 기입하는 기입수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판캐리어 측정 지그이다.
제4 항에 관계되는 발명은, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의, 슬롯 높이를 측정하는 지그로서, 상기 기판캐리어는, 그 저면에, 적어도 3개의 돌기부와 적어도 2개의 역 깔때기 형상의 오목부를 구비하며, 상기 각 돌기부는 그 선단에 동일 평면을 형성하는 평탄면부를 각각 갖고, 상기 각 돌기부의 평탄면부가 접촉되는 캐리어재치부를 구비하며, 그 캐리어재치부에, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 적어도 2개의 오목부에 감입되는 적어도 2개의 위치결정핀을 갖는 베이스부재와, 상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과, 상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독함과 아울러, 상기 측정수단으로부터의 정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 판독송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판캐리어 측정 지그이다.
제5 항에 관계되는 발명은, 상기 베이스부재상에 있어서의 상기 캐리어재치부의 근방에 설치되며, 상기 측정수단의 상기 기준치를 결정하는 높이기준부재를 더 포함하는 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그이다.
제6 항에 관계되는 발명은, 상기 측정수단은 상기 센서를 상하방향으로 승강시키는 승강기구(昇降機構)를 구비한 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그이다.
제7 항에 관계되는 발명은, 상기 측정수단은, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 상기 기준치로부터의 높이 및 상기 슬롯 수평도를 측정하는 제1 측정센서와, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 상기 슬롯 피치를 측정하는 제2 측정센서를 구비한 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그이다.
제8 항에 관계되는 발명은, 상기 베이스부재상에 설치되며, 상기 캐리어재치부를 향해 상기 제1 측정센서를 진퇴 가능하게 슬라이드 시키는 슬라이드장치를 더 포함하는 제7 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그이다.
제9 항에 관계되는 발명은, 상기 제1 측정센서는, 상기 슬라이드장치에 고정하여 설치되며, 적어도 1개의 센서지지부재와 상기 센서지지부재의 캐리어재치부 측에 배열설치되는 2개의 높이?수평도 센서를 구비하는 제8 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그이다.
제10 항에 관계되는 발명은, 상기 제1 측정센서는, 상기 슬라이드장치에 고정하여 설치되며, 적어도 1개의 센서지지부재와 상기 센서지지부재의 캐리어재치부 측에 삼각형의 정점을 형성하도록 배열설치되는 3개의 높이?수평도 센서를 구비하는 제8 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그이다.
제11 항에 관계되는 발명은, 상기 슬라이드장치는, 상기 캐리어재치부를 향해 슬라이드 가능한 슬라이더(slider)와, 상기 슬라이더에 입설(立設)되며, 상기 센서지지부재를 수평으로 지지하는 수직가이드부재를 구비하는 제9 항 또는 제10 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그이다.
제12 항에 관계되는 발명은, 상기 슬라이드장치의 슬라이드 이동 및 상기 승강기구의 승강 구동의 적어도 한쪽을 조정하는 조정수단을 더 포함하는 제6 항 또는 제8 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그이다.
제13 항에 관계되는 발명은, 미니 엔바이론먼트(mini environment) 내에 배치되는 로봇이, 임의의 로드 포트의 도크 플레이트에 재치된 임의의 기판캐리어 내에 수용된 기판을 꺼낼 때에, 상기 로봇이 상기 기판에 충돌하는 것을 방지하기 위한 지그로서, 상기 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트에 설치된 3개의 키네매틱 핀 전체의 수평도를 측정하기 위해, 판 형상의 부재로 구성되며, 상기 3개의 키네매틱 핀에 대응하여 배치된 3개의 V홈을 저면 측에 가짐과 아울러, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 상기 로봇의 핸드의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리(離間距離)를 측정하는 적어도 1개의 변위센서를 상면 측에 갖는 상측(上側) 지그와, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의 슬롯 높이를 측정하기 위해, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀을 갖는 캐리어재치부를 구비한 베이스부재, 상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단, 및, 상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단에, 상기 측정수단으로부터의 정보를 기입하는 기입수단을 포함하는 하측(下側) 지그로 구성되는 것을 특징으로 하는 충돌방지 지그이다.
제14 항에 관계되는 발명은, 미니 엔바이론먼트 내에 배치되는 로봇이, 임의의 로드 포트의 도크 플레이트에 재치된 임의의 기판캐리어 내에 수용된 기판을 꺼낼 때에, 상기 로봇이 상기 기판에 충돌하는 것을 방지하기 위한 지그로서, 상기 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트에 설치된 3개의 키네매틱 핀 전체의 수평도를 측정하기 위해, 판 형상의 부재로 구성되며, 상기 3개의 키네매틱 핀에 대응하여 배치된 3개의 V홈을 저면 측에 가짐과 아울러, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 상기 로봇의 핸드의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 각각 측정하는 적어도 1개의 변위센서를 상면 측에 갖는 상측 지그와, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의 슬롯 높이를 측정하기 위해, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀을 갖는 캐리어재치부를 구비한 베이스부재와, 상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과, 상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독함과 아울러, 상기 측정수단으로부터의 정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 판독송신수단을 포함하는 하측 지그로 구성되는 것을 특징으로 하는 충돌방지 지그이다.
제15 항에 관계되는 발명은, 미니 엔바이론먼트 내에 배치되는 로봇이, 임의의 로드 포트의 도크 플레이트에 재치된 임의의 기판캐리어 내에 수용된 기판을 꺼낼 때에, 상기 로봇이 상기 기판에 충돌하는 것을 방지하기 위한 지그로서, 상기 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트의 수평도를 측정하기 위해, 판 형상의 부재로 구성되며, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 상기 로봇의 핸드의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 측정하는 적어도 1개의 변위센서를 상면 측에 갖는 상측 지그와, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의 슬롯 높이를 측정하기 위해, 상기 기판캐리어는, 그 저면에, 적어도 3개의 돌기부와 적어도 2개의 역 깔때기 형상의 오목부를 구비하며, 상기 각 돌기부는 그 선단에 동일 평면을 형성하는 평탄면부를 각각 갖고, 상기 각 돌기부의 평탄면부가 접촉되는 캐리어재치부를 구비하며, 그 캐리어재치부에, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 적어도 2개의 오목부에 감입되는 적어도 2개의 위치결정핀을 갖는 베이스부재, 상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단, 및, 상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단에, 상기 측정수단으로부터의 정보를 기입하는 기입수단을 포함하는 하측 지그로 구성되는 것을 특징으로 하는 충돌방지 지그이다.
제16 항에 관계되는 발명은, 미니 엔바이론먼트 내에 배치되는 로봇이, 임의의 로드 포트의 도크 플레이트에 재치된 임의의 기판캐리어 내에 수용된 기판을 꺼낼 때에, 상기 로봇이 상기 기판에 충돌하는 것을 방지하기 위한 지그로서, 상기 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트의 수평도를 측정하기 위해, 판 형상의 부재로 구성되며, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 상기 로봇의 핸드의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 각각 측정하는 적어도 1개의 변위센서를 상면 측에 갖는 상측 지그와, 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의 슬롯 높이를 측정하기 위해, 상기 기판캐리어는, 그 저면에, 적어도 3개의 돌기부와 적어도 2의 깔때기 형상의 오목부를 구비하며, 상기 각 돌기부는 그 선단에 동일 평면을 형성하는 평탄면부를 각각 갖고, 상기 각 돌기부의 평탄면부가 접촉되는 캐리어재치부를 구비하며, 그 캐리어재치부에, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 적어도 2개의 오목부에 감입되는 적어도 2개의 위치결정핀을 갖는 베이스부재, 상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단, 상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독함과 아울러, 상기 측정수단으로부터의 정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 판독송신수단을 포함하는 하측 지그로 구성되는 것을 특징으로 하는 충돌방지 지그이다.
제17 항에 관계되는 발명은, 상기 상측 지그의, 적어도 1개의 상기 변위센서를, 상기 판 형상 부재의 상면에 있어서의 상기 키네매틱 핀에 대응한 위치에 배치한 제13 항 내지 제16 항 중 어느 한 항에 기재된 충돌방지 지그이다.
제18 항에 관계되는 발명은, 제1 항 또는 제3 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그를 이용한 충돌방지 방법으로서, 임의의 상기 기판캐리어를 상기 기판캐리어 측정 지그에 얹고, 상기 기판캐리어 측정 지그의 상기 측정수단으로 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 스텝 C, 상기 스텝 C의 데이터에 기초하여, 상기 슬롯의 수평도 및 상기 양 슬롯부의 각 슬롯 높이를 구함과 아울러, 구해진 데이터를 상기 기입수단으로 상기 ID정보보유수단에 기입하는 스텝 E1, 임의의 상기 로드 포트에 있어서의 상기 도크 플레이트의 기준 높이를 미리 정해 두고, 그 로드 포트의 도크 플레이트에, 상기 스텝 E1에서 데이터 기입 완료된 임의의 상기 기판캐리어를 재치하며, 로드 포트에서 그 기판캐리어의 ID정보보유수단을 읽어들임과 아울러, 미리 정해 둔 상기 기준 높이 및 상기 스텝 E1의 데이터를 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 F1, 상기 호스트 컴퓨터에서, 상기 송신된 각 데이터에 기초하여 상기 로봇의 액세스 위치를 결정하고, 그 액세스 위치를 로봇에 티칭(teaching)을 행하는 스텝 G, 상기 티칭 데이터에 기초하여, 상기 로봇과 임의의 상기 로드 포트에 재치된 임의의 상기 기판캐리어 사이에서, 기판의 출납을 행하는 것을 특징으로 하는 충돌방지 방법이다.
제19 항에 관계되는 발명은, 제2 항 또는 제4 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그를 이용한 충돌방지 방법으로서, 임의의 상기 기판캐리어를 상기 기판캐리어 측정 지그에 얹고, 상기 기판캐리어 측정 지그의 상기 측정수단으로 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 스텝 C, 상기 스텝 C의 데이터에 기초하여, 상기 슬롯의 수평도 및 상기 양 슬롯부의 각 슬롯 높이를 구함과 아울러, 구해진 데이터를 상기 판독송신수단으로 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 E2, 임의의 상기 로드 포트의 상기 도크 플레이트에, 상기 스텝 E2에서 데이터 송신 완료된 임의의 상기 기판캐리어를 재치하고, 로드 포트에서 그 기판캐리어의 ID정보보유수단을 읽어들임과 아울러, 상기 로드 포트의 ID정보 및 상기 기판캐리어의 ID정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 F2, 상기 호스트 컴퓨터에서, 상기 스텝 E2의 각 데이터와 미리 설정해 둔 로봇의 액세스 기준치를 비교하고, 상기 로봇의 액세스 위치를 로봇에 티칭을 행하는 스텝 G, 상기 티칭 데이터에 기초하여, 상기 로봇과 임의의 상기 로드 포트에 재치된 임의의 상기 기판캐리어 사이에서, 기판의 출납을 행하는 것을 특징으로 하는 충돌방지 방법이다.
제20 항에 관계되는 발명은, 제13 항 또는 제15 항에 기재된 충돌방지 지그를 이용한 충돌방지 방법으로서, 상기 상측 지그를 임의의 상기 로드 포트에 있어서의 상기 도크 플레이트에 얹고, 3개의 상기 변위센서에서 각각 측정된 상기 수평면에 대한 이간거리에 기초하여, 그 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 키네매틱 핀 전체의 수평도를 구하는 스텝 A, 임의의 상기 기판캐리어를 상기 하측 지그에 얹고, 상기 하측 지그의 상기 측정수단으로 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 스텝 C, 상기 스텝 C의 데이터에 기초하여, 상기 슬롯의 수평도 및 상기 양 슬롯부의 각 슬롯 높이를 구함과 아울러, 구해진 데이터를 상기 기입수단으로 상기 ID정보보유수단에 기입하는 스텝 E1, 상기 스텝 A에서 데이터를 구한 임의의 상기 로드 포트의 도크 플레이트에, 상기 스텝 E1에서 데이터 기입 완료된 임의의 상기 기판캐리어를 재치하고, 로드 포트에서 그 기판캐리어의 ID정보보유수단을 읽어들임과 아울러, 미리 구해 둔 상기 스텝 A의 데이터 및 상기 스텝 E1의 데이터를 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 F1, 상기 호스트 컴퓨터에서, 상기 송신된 각 데이터에 기초하여 상기 로봇의 액세스 위치를 결정하고, 그 액세스 위치를 로봇에 티칭을 행하는 스텝 G, 상기 티칭 데이터에 기초하여, 상기 로봇과 임의의 상기 로드 포트에 재치된 임의의 상기 기판캐리어 사이에서, 기판의 출납을 행하는 것을 특징으로 하는 충돌방지 방법이다.
제21 항에 관계되는 발명은, 제14 항 또는 제16 항에 기재된 충돌방지 지그를 이용한 충돌방지 방법으로서, 상기 상측 지그를 임의의 상기 로드 포트에 있어서의 상기 도크 플레이트에 얹고, 3개의 상기 변위센서에서 각각 측정된 상기 수평면에 대한 이간거리에 기초하여, 그 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 키네매틱 핀 전체의 수평도를 구하는 스텝 A, 임의의 상기 기판캐리어를 상기 하측 지그에 얹고, 상기 하측 지그의 상기 측정수단으로 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 스텝 C, 상기 스텝 C의 데이터에 기초하여, 상기 슬롯의 수평도 및 상기 양 슬롯부의 각 슬롯 높이를 구함과 아울러, 구해진 데이터를 상기 판독송신수단으로 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 E2, 상기 스텝 A에서 데이터를 구한 임의의 상기 로드 포트의 도크 플레이트에, 상기 스텝 E2에서 데이터 송신 완료된 임의의 상기 기판캐리어를 재치하고, 로드 포트에서 그 기판캐리어의 ID정보보유수단을 읽어들임과 아울러, 상기 로드 포트의 ID정보 및 상기 기판캐리어의 ID정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 F2, 상기 호스트 컴퓨터에서, 상기 스텝 E2의 각 데이터와 스텝 A에서 구해 둔 로봇의 액세스 기준치를 비교하고, 상기 로봇의 액세스 위치를 로봇에 티칭을 행하는 스텝 G, 상기 티칭 데이터에 기초하여, 상기 로봇과 임의의 상기 로드 포트에 재치된 임의의 상기 기판캐리어 사이에서, 기판의 출납을 행하는 것을 특징으로 하는 충돌방지 방법이다.
본 발명에 의하면, 임의의 기판캐리어의, 기판을 수용하기 위한 한 쌍의 슬롯부에 있어서의 슬롯 높이를 측정 가능하고, 또한, 임의의 슬롯이 수평인지 아닌지의 판단이 가능한 기판캐리어 측정 지그가 얻어진다는 우수한 효과를 발휘한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그의 사시도이다.
도 2는 도 1의 변형예이다.
도 3은 도 1의 기판캐리어 측정 지그를 이용한 FOUP의 측정 상태(높이 원점조정)를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 기판캐리어 측정 지그를 이용한 FOUP의 측정 상태(슬롯 수평 측정)를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1의 기판캐리어 측정 지그를 이용한 FOUP의 측정 상태(슬롯 높이 측정)를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그의 사시도이다.
도 7은 도 6의 기판캐리어 측정 지그를 이용한 FOUP의 측정 상태(슬롯 수평 측정, 슬롯 높이 측정)를 나타내는 도면이다.
도 8은 도 6에 있어서의 측정수단의, 화살표 VIII 방향에서 본 도면이다.
도 9는 도 8의 변형예이다.
도 10은 도 8의 다른 변형예이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그에 있어서의 상측 지그의 사시도이다.
도 12는 도 11의 상측 지그의, 화살표 XII 방향에서 본 도면이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그에 있어서의 상측 지그를, 로드 포트에 재치한 상태를 나타내는 도면이다.
도 14는 도 11의 상측 지그를 이용한, 로드 포트의 측정 상태(FOUP 슬롯의 기준 높이 및 키네매틱 핀 전체의 수평도)를 나타내는 도면이다.
도 15는 도 1의 기판캐리어 측정 지그를 이용하여 FOUP를 측정할 때의 플로우 차트(flow chart)이다.
도 16은 도 11의 상측 지그를 이용하여 로드 포트를 측정할 때의 플로우 차트이다.
도 17은 도 1의 기판캐리어 측정 지그를 이용한 충돌방지 방법의 플로우 차트이다.
도 18은 도 1의 기판캐리어 측정 지그 및 도 11의 상측 지그를 이용한 충돌방지 방법의 플로우 차트이다.
도 19는 기판캐리어 측정 지그로, 기판캐리어의 기판 수평도를 측정할 때의 모식도이다.
도 20은 도 11에 있어서의 상측 지그의 변형예이다.
도 21은 도 11에 있어서의 상측 지그의 다른 변형예이다.
도 22는 본 발명의 제9 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그에 이용되는 기판캐리어의 저면도이다.
도 23은 도 22의 XXIII－XXIII선 단면도이다.
도 24는 본 발명의 제9 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그의 사시도이다.
도 25는 본 발명의 제10 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그의 사시도이다.
도 26은 본 발명의 제11 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그에 있어서의 상측 지그의 사시도이다.
도 27은 도 26의 상측 지그의, 화살표 XXVII 방향에서 본 도면이다.
이하, 본 발명의 적절한 일 실시 형태를 첨부도면에 의거하여 설명한다.
<기판캐리어 측정 지그>
(제1 실시 형태)
본 발명의 제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그의 사시도를 도 1에 나타낸다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)는, 기판(11)을 수용하는 한 쌍의 슬롯부(12)를 갖는 기판캐리어(도 1 중에서는 FOUP의 예를 도시)(10)가 재치되어, 그 슬롯 높이를 측정하는 것이며, 베이스부재(21)와, 측정수단(22)과, 기입수단(23)을 포함한다. 여기서, 기판캐리어(10)에 있어서의 임의의 단(段)의 슬롯(도 1 중에서는 최하단 슬롯)에는, 기판(11)으로서 임시 웨이퍼(dummy wafer)가 수용되어 있다.
평판 형상의 베이스부재(21)는, 기판캐리어(10)의 저면에 형성된 3개의 V홈(도시하지 않음)에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀(211)을 갖는 캐리어재치부(210)를 구비한다. 이 캐리어재치부(210)의, 기판캐리어(10)의 배면(背面) 측(도 1 중에서는 좌상측)에 통상적으로 구비되는 ID 정보보유수단(도시하지 않음)과 대향하는 위치에, 그 ID정보보유수단에 측정 데이터를 기입하기 위한 기입수단(23)이 설치된다. 이 기입수단(23)은 판독 기능을 갖고 있어도 좋다.
측정수단(22)은, 베이스부재(21)상에 설치되며, 양 슬롯부(12)에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서(250)를 가진다. 센서(250)는, 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를, 개별적으로 측정하는 것 또는 하나로 모아서 측정하는 것 중 어느 것이어도 좋다. 도 1에 있어서는, 센서(250)는, 양 슬롯부(12)에 있어서의 적어도 일부의(임의의 단의) 슬롯(예를 들면, 최하단 슬롯)에 대해 기준치로부터의 높이 및 슬롯 수평도를 측정하는 제1 측정센서(251)와, 양 슬롯부(12)에 있어서의 적어도 일부의 슬롯(예를 들면, 모든 슬롯)에 대해 슬롯 피치를 측정하는 제2 측정센서(252)를 구비한다. 기준치로부터의 높이 및 슬롯 수평도는 하나로 모아서 측정되며, 슬롯 피치는 독립적으로 측정된다. 제1 측정센서(251) 및 제2 측정센서(252)는, 후술하는 각(各) 센서지지부재(241)의 캐리어재치부 측 단부(피지지(被支持) 단부와 반대측의 단부: 이하, 선단부라고 한다)에 배열설치된다. 여기서, 임의의 단의 슬롯에 있어서의 수평도는, 기판캐리어(10)의 전체 수평도와, 개별 슬롯의 수평도를 포함한다.
베이스부재(21)상에는, 제1 및 제2 측정센서(251, 252)를 캐리어재치부(210)를 향해 진퇴 가능하게 슬라이드 시키는 슬라이드장치(230)가 더 설치된다. 슬라이드장치(230)는, 베이스부재(21)에 대해 슬라이드 가능하고 또한 캐리어재치부(210)를 향해 왕복동(往復動) 되는 슬라이더(231)와, 슬라이더(231)에 입설되며, 센서지지부재(241)를 수평으로 지지하는 수직가이드부재(234)를 구비한다. Y방향으로 뻗은 한 쌍의 센서지지부재(241)는, 수직가이드부재(234)의 내부에 설치되는 승강기구(도시하지 않음)에 의해 Z방향으로 승강 가능하게 된다. 또한, 슬라이더(231)는, 베이스부재(21)상에 Y방향을 따라 배치된 한 쌍의 직동(直動) 가이드(232)를 따라, 슬라이더(231)상에 설치되는 구동수단(233)에 의해 슬라이드 가능하게 된다.
슬라이드장치(230) 및 승강기구는, 도 1 중에 2점 쇄선으로 나타내는 조정수단(27)에 전기적으로 접속되어, 슬라이드 이동 및 승강 구동이 조정된다. 더구나, 슬라이드장치(230)에 있어서의 슬라이더(231)의 슬라이드 이동은, 작업원에 의한 수동 슬라이드여도 좋으며, 그 경우, 구동수단(233)은 불필요해진다.
또한, 베이스부재(21)상에 있어서의 캐리어재치부(210)와 직동가이드(232, 232) 사이에, 전술한 기준치를 규정하기 위한 높이기준부재(높이 마스터 블록)(26)가 설치된다.
제1 측정센서(251)로서는, 전술한 높이기준부재의 상면을 기준 높이로 하여, 거기서부터의 높이 변위를 고정밀도로 측정할 수 있는 것이라면 좋고, 예를 들면, 비접촉형 변위센서(레이저식과 광학식) 등을 들 수 있다. 또한, 제2 측정센서(252)로서는, 슬롯의 유무를 검지할 수 있는 센서, 또는 인접하는 슬롯과 그들 사이에 위치하는 부분(FOUP 내벽)과의 거리의 상위(相違)를 검지할 수 있는 센서이면 좋고, 예를 들면, 광전(光電) 센서(반사형), 근접센서(정전용량형), 변위센서(비접촉형) 등을 들 수 있다. 또한, 접촉식 센서여도 좋다. 또한, 제2 측정센서(252)로서, 라인 센서(line sensor) 등을 이용해도 좋다.
또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 측정센서(251)를 삼각형의 정점을 형성하는 위치에 3개 배열설치하도록 해도 좋다. 예를 들면, X방향 양측의 센서지지부재(241, 241)의 선단부 근방에, 이들을 연결하는 연결부재(242)가 설치되고, 이 연결부재(242)에 제3 센서지지부재(243)가 설치된다. 그리고, X방향 양측의 센서지지부재(241, 241)에는 제1 및 제2 측정센서(251, 252)가 각각 배치되고, X방향 중앙에 위치하는 센서지지부재(243)에는 제1 측정센서(251)만이 배치된다.
본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)에 의하면, 임의의 기판캐리어(10)에 대해, 제1 측정센서(251)로 임의의 슬롯의 기준치로부터의 높이 및 슬롯 수평도를 측정할 수 있고, 제2 측정센서(252)로 모든 슬롯 사이의 슬롯 피치를 측정할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)는, 예를 들면, 기판캐리어 제조사에서의 제품 검사, 반도체장치 제조사에서의 기판캐리어 정기 검사 등에 사용할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서는, 기판캐리어(FOUP)(10)의 FOUP도어(도시하지 않음)를 개방한 것을 예로 들어 설명을 했지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 기판캐리어 측정 지그(101)는, FOUP도어(도시하지 않음)를 개폐시키기 위한 개폐기구(도시하지 않음)를 가져도 좋다. 이에 의해, FOUP의 FOUP도어를 떼어냄이 없이, FOUP를 기판캐리어 측정 지그(101)의 캐리어재치부(210)에 세팅하는 것만으로, FOUP도어를 개폐할 수 있어, 일부러 작업자가 FOUP도어를 개폐시킬 필요가 없으며, 전자동으로 FOUP의 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 기판캐리어(10)로서 FOUP를 예로 들어 설명을 했지만, 특히 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(11)을 수용, 수송, 보관하기 위한 용기라면, FOSB, 오픈 카세트(open cassette) 등이어도 좋다. 기판(11)으로서는, 반도체 웨이퍼에 한정되는 것은 아니고, 직사각형 형상의 패널 기판 등이어도 좋다.
<충돌방지 지그>
(제2 실시 형태)
본 발명의, 제2 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그는, 도 1에 나타낸 제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)인 하측 지그와, 도 11에 나타낸 로드 포트(111)에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트(112)에 설치된 3개의 키네매틱 핀(113) 전체 수평도를 측정하는 상측 지그(120)를 조합하여 이루어지는 것이다.
상측 지그(120)는, 판 형상의 부재(121)로 구성되며, 로드 포트(111)의 3개의 키네매틱 핀(113)에 대응하여 배치된 V홈(123)을 갖는 3개의 돌기(122)를 저면 측(도 12 중에서는 상면측)에 가짐과 아울러, 그 상면(도 11 참조) 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 로봇(110)의 핸드(115)의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 측정하는 적어도 3개(도 11 중에서는 3개를 도시)의 변위센서(124)를 상면 측에 가진다. 3개의 변위센서(124)는, 예를 들면, 3개의 키네매틱 핀(113)의 위치에 대응한 위치에서, 판 형상 부재(121)의 상면에 배치된다. 여기서 말하는 「핸드(115)의 임의의 기준 높이의 수평면」이란, 핸드(115)의 본체부 하면(下面), 또는 핸드(115)에 얹혀진 기판(임시 웨이퍼)(11)의 하면이다.
본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그에 의하면, 하측 지그(101)로, 임의의 FOUP(10)의 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정할 수 있고, 상측 지그(120)로, 임의의 로드 포트(111)에 있어서의 도크 플레이트(112)의 수평도를 측정할 수 있어, 그 도크 플레이트의 기준 높이를 보정할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그는, 예를 들면, 반도체장치 제조사에서의 후술하는 로봇 액세스 위치의 조정 등에 사용할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서는, 상측 지그(120)가 3개의 변위센서(124)를 갖는 경우에 대해 설명을 했지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 20에 나타내는 바와 같이, 1개의 변위센서(124)(도 20 중에서는 좌하에 위치하는 변위센서) 대신에, 위치결정핀(501)을 설치하도록 해도 좋다. 또한, 도 21에 나타내는 바와 같이, 2개의 변위센서(124)(도 21 중에서는 상 및 우하에 위치하는 변위센서) 대신에, 위치결정핀(501)을 각각 설치하도록 해도 좋다. 이들 위치결정핀(501)은, 그 선단이 기판(11)의 이면(裏面)에 접촉되는 것이며, Z방향 높이가 변위센서(124)보다 높게 되도록 설치된다. 도 20에 있어서는, 기판(11)의 이면을 1개의 위치결정핀(501)의 선단에 접촉시킴으로써, Z방향의 기준 높이는 나오므로, 2개의 변위센서(124)로 X축 둘레의 피칭(pitching) 방향에 있어서의 수평도 및 Y축 둘레의 롤링(rolling) 방향에 있어서의 수평도를 측정하면 좋다. 또한, 도 21에 있어서는, 기판(11)의 이면을 2개의 위치결정핀(501)의 선단에 접촉시킴으로써, Y축 둘레의 롤링 방향에 있어서의 수평도는 나오므로, 1개의 변위센서(124)로 X축 둘레의 피칭 방향에 있어서의 수평도를 측정하면 좋다.
<충돌방지 방법>
(제3 실시 형태)
본 발명의, 제3 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법은, 제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)를 이용하는 것이다.
도 15에 나타내는 바와 같이, 우선, 기판캐리어 측정 지그(101)의 센서(250)가 초기화된다(S151). 그 후, 임의의 기판캐리어(도 15에서는 FOUP를 예시)(10)가 하측 지그(101)의 캐리어재치부(210)에 얹힌다(도 3 참조; S152). 기판캐리어(10)의 임의의 단의 슬롯(예를 들면, 최하단 슬롯)에는, 기판(임시 웨이퍼)(11)이 수용되어 있다.
다음으로, 도 3에 나타내는 바와 같이, 수직가이드부재(234)의 승강기구(도시하지 않음)를 조정하여 센서지지부재(241)를 높이기준부재(높이 마스터 블록)(26)에 접촉시켜, 기준 높이의 설정(제로 설정(hO))이 이루어진다. 그 후, 승강기구를 적당히 조정하여, 도 19에 나타내는 바와 같이, 센서지지부재(241)가 최하단 슬롯(191)에 수용되는 기판(11)에 간섭하지 않는 임의의 높이(기준 높이(hO)＋h1)로 조정된다. 그 후, 도 4에 나타내는 바와 같이, 슬라이드장치(230)를 구동수단(233)에 의해 캐리어재치부(210)(도 4 중에서는 Y방향)를 향해 전진 구동시켜, 센서지지부재(241)의 선단부의 센서(250)가 기판캐리어(10) 내에 서서히 삽입된다. 이 전진 구동에 따라, 제1 측정센서(251)와 기판(11)의 표면과의 이간거리(d1; 도 19 참조)가 주사(走査), 측정되어, 기판(11)의 수평도, 즉 기판캐리어(10)의 최하단 슬롯의 수평도가 측정된다. 또한, 임의의 높이(기준 높이＋h1)와 이간거리(d1)로부터, 기준치로부터의 높이(기준 높이＋h1－d1)가 구해져, 결과적으로 최하단 슬롯(191)의 슬롯 높이가 구해진다(S153).
다음으로, 도 5에 나타내는 바와 같이, 센서지지부재(241)의 선단부의 센서(250)를 기판캐리어(10) 내에 삽입한 상태인 채로 승강기구를 구동시켜, 센서지지부재(241)가 도면 중의 Z방향으로 상승된다. 승강기구의 구동장치는, 예를 들면, 서보 모터가 된다. 이 상승 구동에 따라, 제2 측정센서(252)로, 적어도 일부의 슬롯(도 5 중에서는 모든 슬롯)의 Z방향에 있어서의 슬롯편(slot片)의 유무가 검지된다. 이 검지 때, 기준치에 기초한 서보 모터에 의한 높이 정보에 의해, 슬롯 피치가 구해진다(또는, 최하단 슬롯 위치(높이)로부터 상방으로 규격에 기초한 슬롯 피치를 가산하는 등에 의해 모든 슬롯 위치를 연산에 의해 구하게 해도 좋다; S154).
전술한 S153와 S154에 의해, 기판캐리어(10)에 있어서의 모든 슬롯에 대해 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도가 측정된다(스텝 C).
다음으로, 얻어진 각 슬롯 피치의 공차가, 규정범위 내인지 아닌지가 판단된다(S155). 각 슬롯 피치의 공차가 규정범위 내라고 판단된 경우(YES의 경우), 그 기판캐리어(10)는 합격으로 되며, 기입수단(23)으로, 그 기판캐리어(10)의 ID정보보유수단에, 데이터(기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도)가 기입된다(S156). 한편, 각 슬롯 피치의 공차가 규정범위 밖이라고 판단된 경우(NO의 경우), 그 기판캐리어(10)는 불합격으로 되며, 기입수단(23)으로, 그 기판캐리어(10)의 ID정보보유수단에, NG데이터가 기입된다(S157). 이 NG데이터가 기입된 기판캐리어(10)는, 일부가 결손?파손해 있을 염려가 있어, 적당히 보수(補修)?폐기된다.
전술한 S156와 S157에 의해, 기판캐리어(10) 전체의 수평도 및 양 슬롯부의 각 슬롯 높이가 구해짐과 아울러, 구해진 데이터가 기입수단(23)으로 ID정보보유수단에 기입된다(스텝 E1). 스텝 E1에서 구해진 데이터는, 기판캐리어 측정 지그(101)로 정성적으로 측정되는 것이기 때문에, 종래 방법으로 얻어진 데이터(지그를 이용하지 않고 작업자가 측정한 데이터)와 비교하여, 객관적이고, 고정밀도이다.
다음으로, 도 17에 나타내는 바와 같이, 임의의 로드 포트(LP)(111)에 있어서의 도크 플레이트(112)의 기준 높이를 미리 정해 두고, 그 로드 포트(111)의 도크 플레이트(112)에, 스텝 E1에서 데이터 기입 완료된 임의의 기판캐리어(10)가 재치된다(S171). 여기서 말하는 「기준 높이를 미리 정함」은, 기존 방법(예를 들면, 작업자에 의한 지그를 이용하지 않는 수작업)으로 로드 포트의 높이, 수평의 조정을 행하여, 도크 플레이트(112)의 기준 높이를 소정의 값으로 조정해 두는 것을 나타내고 있다.
다음으로, 로드 포트(111)에서 그 기판캐리어(10)의 ID정보보유수단을 판독하여, 기판캐리어 측정 지그(하측 지그)(101)로 측정된 슬롯 높이(슬롯 높이 데이터 A)가 판독된다(S172). 그리고, 로드 포트(111)의 ID정보와 함께, S172의 슬롯 높이 데이터 A가 호스트 컴퓨터(도시하지 않음)에 송신된다(스텝 F1).
호스트 컴퓨터에는, 로드 포트(111)의 ID정보에 관련된, 미리 조정하여 구해 둔 도크 플레이트(112)의 기준 높이(로봇(110)의 액세스 기준치)가 기억되어 있다. 따라서, 로드 포트(111)의 ID정보가 송신됨으로써, 로봇 액세스 기준치가 판독된다(S173). 이 판독 후, 호스트 컴퓨터에서, 슬롯 높이 데이터 A와 로봇 액세스 기준치를 비교하여, 로봇(110)의 액세스 위치가 결정된다. 그 로봇 액세스 위치가 로봇(110)에 티칭 된다(스텝 G). 여기서, 로봇 액세스 위치는, 로봇 액세스 기준치가 그대로 채용되는 경우와, 로봇 액세스 기준치에 슬롯 높이 데이터 A의 정보가 가미되어 재조정되는 경우가 있다.
다음으로, 로드 포트(111)에서 기판캐리어(10)의 개폐도어(예를 들면, F0UP도어)를 적당히 개방한 후, 매핑 센서(mapping sensor)로, 기판캐리어(10) 내에 수용되는 기판(11)의 매핑이 개시된다(S175). 이 매핑에 의해, 각 슬롯의 기판 재석(在席) 검지, 슬롯 피치(도크 플레이트(112)의 기준 높이를 가미함으로써 각 슬롯의 슬롯 높이 데이터 B), 및 기판의 휨량이 측정된다(S176). 더구나, 기판 휨량은, 기판처리의 진행에 따라 변화하기(처리공정 후에 다르다) 때문에, 사전에 처리공정마다 측정해 둔 휨량을 호스트 컴퓨터에 보존해 두어, 다음 공정에서의 꺼내기 시에 전(前) 공정까지의 휨량 데이터를 가산시키도록 해도 좋다.
다음으로, S172의 슬롯 높이 데이터 A와 S176의 슬롯 높이 데이터 B가 비교, 연산되어(S177), 기판(11)과 로봇(110)이 간섭하는지 아닌지(환언하면, 데이터 A, B의 공차는 규정범위 밖인가 아닌가)가 판단된다(S178).
기판(11)과 로봇(110)이 간섭하지 않는다고 판단된 경우(또는 공차가 규정범위 내의 경우: NO의 경우), 스텝 G의 티칭 데이터(로봇 액세스 위치)는 OK이라는 경우이며, 그 티칭 데이터에 기초하여 로봇(110)에 의한 기판(11)의 반입?반출, 즉 티칭 데이터에 기초하여 로봇(110)과 임의의 로드 포트(111)에 재치된 임의의 기판캐리어(10)와의 사이에서, 기판(11)의 출납이 행해진다(S179). 그 후, 기판 반입?반출이 종료하면(S180), 로드 포트(111)에서 기판캐리어(10)의 개폐도어를 적당히 폐색(閉塞)하여(S191), 기판캐리어(10)에 있어서의 기판 반입?반출 처리가 종료된다(S192).
스텝 S178에서, 간섭은 생기지 않는 레벨이지만, 데이터 A, B의 공차가 약간 큰 것(예를 들면, 임의의 단의 슬롯이 수평이 아니다)에 대해서는, 도 11에 나타낸 로봇(110)의 핸드(115)를 적당히 피칭(도 11 중에서는 X축 둘레로 회전) 및/또는 롤링(도 11 중에서는 Y축 둘레로 회전) 시킴으로써, 로봇 액세스 위치를 미조정(微調整)하도록 해도 좋다. 이에 의해, 로봇(110)의 핸드(115)와 기판(11)의 간섭을 한층 더 저감시킬 수 있다. 또한, 슬롯 높이 데이터 B를, 현재 상태를 반영한 새로운 슬롯 높이 데이터 A로서 덮어쓰기 하도록 해도 좋다.
한편, 기판(11)과 로봇(110)이 간섭한다고 판단된 경우(또는 공차가 규정범위 밖인 경우: YES의 경우), 그 기판캐리어(10)는 NG(기판처리종료)로 된다(S193). 이 NG로 된 기판캐리어(10)는, 예를 들면, 몇백 회, 몇천 회로 사용한 것에 따른 경시(經時) 마모 등을 생각할 수 있기 때문에, 그 기판캐리어(10)는, 스텝 C, 즉 기판캐리어 측정 지그(101)에 의한 재측정 스텝으로 적당히 반송되어, 새로운 슬롯 높이 데이터 A가 기입된다. 경우에 따라서는, 불합격품으로서 적당 보수?폐기된다.
본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법에 의하면, 기판캐리어 측정 지그(101)로 미리 정성적으로 측정해 둔 기판캐리어(10)의 슬롯 높이 데이터(공칭(公稱) 데이터)와, 매핑에 의한 기판캐리어(10)의 각 기판 높이 데이터(현재 데이터)를 비교하여, 휨량이 가미되고, 그 결과에 기초한 로봇 액세스 위치(또는 미조정된 로봇 액세스 위치)에서 로봇(110)이 작동된다. 이에 의해, 미니 엔바이론먼트(도시하지 않음) 내에 배치되는 로봇(110)의 핸드(115)로, 임의의 로드 포트(111)의 도크 플레이트(112)에 재치된 임의의 기판캐리어(10)(도 1 참조) 내에 수용된 기판(11)을 꺼낼 때에, 핸드(115)와 기판(11)의 간섭이 생길 염려는 없어, 핸드(115)가 기판(11)에 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 매핑에 의한 현재 데이터를 취득하여, 그 현재 데이터와 미리 측정해 둔 공칭 데이터를 비교하는 경우를 예로 들어 설명을 했지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 매핑 시에 현재 데이터를 취득함이 없이, 공칭 데이터에만 기초한 로봇 액세스 위치에서 로봇(110)을 작동시키도록 해도 좋다. 이에 의해, 매핑 센서의 승강기구로서 서보 모터를 이용할 필요는 없어, 값싼 실린더 기구를 채용할 수 있다. 단, 이 경우, 기판캐리어(10)의 공칭 데이터가, 전술한 현재 데이터와 항상 같은 값이 되도록, 기판캐리어(10)의 경시 마모를 정기적으로 검사할 필요가 있다.
다음으로, 본 발명의 다른 실시 형태를 첨부도면에 기초하여 설명한다.
<충돌방지 방법>
(제4 실시 형태)
본 발명의, 제4 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법은, 제2 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그(제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101) 및 상측 지그(120))에 의한 측정 데이터를 이용하는 것이다.
본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법과, 제3 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법의 차이는, 도 11에 나타낸 상측 지그(120)에 의한 로드 포트(111)의 데이터를 측정하는 스텝, 로드 포트(111)의 로봇 액세스 위치의 읽어들임 스텝이며, 그 외의 스텝은 같다. 이하에, 도 16 및 도 18을 이용하여, 상측 지그(120)에 의한 로드 포트(111)의 측정 스텝 및 로드 포트(111)의 도크 플레이트(112)에 기판캐리어(10)를 탑재하는 스텝?상측 지그(120)로 결정한 로드 포트(111)의 로봇 액세스 위치의 읽어들임 스텝을 설명하며, 이들을 제외한 스텝의 설명은 생략한다.
도 16에 나타내는 바와 같이, 우선, 상측 지그(120)(도 11 참조)의 3개의 변위센서(124)가 초기화된다(S161). 그 후, 그 상측 지그(120)가, 임의의 로드 포트(111)의 도크 플레이트(112)에 얹힌다(도 13 참조; S162).
다음으로, 기판(임시 웨이퍼)(11)을 얹은 로봇(110)이, 상측 지그(120)상으로 전진 이동된다(도 14 참조; S163). 이 전진 이동에 따라, 변위센서(124)와 기판(11)의 하면과의 이간거리가 측정된다(S164). 여기서, 각 변위센서(124)에 의한 거리 측정을 할 수 있었던가 아닌가, 즉 로드 포트(111)는 기울어져 있는가 아닌가가 판단된다(S165).
로드 포트(111)는 기울어져 있지 않다고 판단된 경우(YES의 경우), 다음의 판단 스텝, 즉 각(各) 측정 거리치는 규정범위 내인가 아닌가 라는 스텝(S167)으로 이동한다. 한편, 로드 포트(111)는 기울어져 있다고 판단된 경우(NO의 경우), 로드 포트(111)의 위치(또는 키네매틱 핀의 높이) 조정이 이루어진다(S166). 그 후, 다시 S164로 돌아와, 이간거리의 측정이 이루어진다.
각 측정 거리치가 규정범위 내라고 판단된 경우(YES의 경우), 도크 플레이트(112)와 로봇(110)은 수평(또는 한없이 수평)이기 때문에, 각 측정 거리치에 기초하여 로봇 액세스 높이가 구해지며, 그 로봇 액세스 높이에 기초하여 로드 포트(111)의 로봇 액세스 위치가 결정된다(S168). 한편, 각 측정 거리치가 규정범위 밖이라고 판단된 경우(NO의 경우), 로드 포트(111)의 수평도(로봇 액세스 위치)가 조정된다(S169). 그 후, 다시 S167로 되돌려진다.
전술한 S164?S169에 의해, 도크 플레이트(112)의 수평도(로드 포트(111)에 재치되는 기판캐리어(10)의 슬롯의 기준 높이 및 키네매틱 핀 전체의 수평도)가 측정되어, 로봇 액세스 위치의 결정이 이루어진다(스텝 A).
다음으로, 도 18에 나타내는 바와 같이, 스텝 A에서 도크 플레이트(112)의 기준 높이가 측정된 임의의 로드 포트(LP)(111)의 도크 플레이트(112)에, 제3 실시 형태에서 전술한 스텝 E1에서 데이터 기입 완료된 임의의 기판캐리어(10)가 재치된다(S171).
다음으로, 로드 포트(111)에서 그 기판캐리어(10)의 ID정보보유수단을 읽어들여, 기판캐리어 측정 지그(하측 지그)(101)로 측정된 슬롯 높이(슬롯 높이 데이터 A)가 읽어 들여진다(S172). 그리고, 로드 포트(111)의 ID정보와 함께, S172의 슬롯 높이 데이터 A가 호스트 컴퓨터(도시하지 않음)에 송신된다(스텝 F1).
호스트 컴퓨터에는, 로드 포트(111)의 ID정보에 관련되어, 스텝 A에서 측정된 도크 플레이트(112)의 기준 높이에 기초하는 로드 포트(111)의 로봇 액세스 위치(로봇(110)의 액세스 기준치)가 기억되어 있다. 따라서 로드 포트(111)의 ID정보가 송신됨으로써, 로봇 액세스 기준치가 읽어 들여진다(S183). 이 읽어들이기 후, 호스트 컴퓨터에서, 슬롯 높이 데이터 A와 로봇 액세스 기준치를 비교하여, 로봇(110)의 액세스 위치가 결정된다. 그 로봇 액세스 위치가 로봇(110)에 교시(teaching) 된다(스텝 G). 여기서, 로봇 액세스 위치는, 로봇 액세스 기준치가 그대로 채용되는 경우와, 로봇 액세스 기준치에 슬롯 높이 데이터 A의 정보가 가미되어 재조정되는 경우가 있다.
본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법에 의하면, 임의의 로드 포트(111)에 재치되는 기판캐리어(10)의 슬롯의 기준 높이 및 키네매틱 핀 전체의 수평도가, 상측 지그(120)로 정성적으로 측정되기 때문에, 전술한 제3 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법과 비교하여, 로봇(110)에 티칭 되는 로봇 액세스 위치의 정밀도가 더 향상된다.
또한, 상측 지그(120)로 정성적으로 측정된 임의의 로드 포트(111)의 데이터와, 기판캐리어 측정 지그(101)로 정성적으로 측정된 임의의 기판캐리어(10)의 데이터를 이용함으로써, 임의의 로드 포트(111)에 임의의 기판캐리어(10)를 재치한 때, 양자를 조합한 때의 데이터가 얻어진다. 구체적으로는, 양자를 조합함으로써, 양자가 각각 갖는 수평오차가 중첩하는가, 아니면 상쇄하는가 등이 판명되게 된다. 그 결과, 임의의 로드 포트(111)에 임의의 기판캐리어(10)를 재치한 때의 정확한 로봇 액세스 위치가, 한층 더 고정밀도로 얻어진다.
<충돌방지 지그>
(제5 실시 형태)
제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)는, 측정수단(22)이, 2개의 센서(250)를 구비하는 것이었다. 이에 대해, 제5 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(102)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 1개의 센서(650)로 하나로 모아서 측정하는 측정수단(622)을 포함하는 것이다. 제5 실시 형태에 있어서의 그 외의 구성은, 제1 실시 형태와 마찬가지의 구성이기 때문에, 설명을 생략한다.
측정수단(622)은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 기판캐리어(10)와 대향하는 면 측에 센서(650)(도 8 참조)를 갖는다. 센서(650)로서는, 예를 들면, 비전 센서(vision sensor)(예를 들면, CCD카메라)를 들 수 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 센서(650)를 1개만 배치하는 경우, 도 9에 나타내는 바와 같이, Z방향으로 나란히 2개 이상의 센서(650)를 배치하는 경우의 어느 쪽이어도 좋다. 또한, 도 9에 나타낸 복수의 센서(650)를 Z방향으로 나란히 배치하는 대신에, 도 10에 나타내는 바와 같이, 측정수단(622)이, 센서(650)의 지지부(651)를 Z방향으로 승강시키는 승강기구(625)를 구비해도 좋다.
제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)에 있어서는, 제1 측정센서(251)를 슬라이드 이동시키는 직동가이드(232) 및 슬라이드장치(230), 제1 및 제2 측정센서(251, 252)를 지지하는 센서지지부재(241)를 필요로 했지만, 본 실시 형태에 있어서는, 이들 장치 구성이 필요 없게 된다.
본 실시 형태에 의하면, 측정수단(622)이 단일 센서로 이루어짐과 아울러, 직동가이드(232), 슬라이드장치(230), 및 센서지지부재(241)를 필요로 하지 않기 때문에, 장치 구성이 간이, 염가로 된다. 즉, 본 실시 형태에 의하면, 센서(650)로서 비전 센서를 이용하여, 슬롯의 오른쪽 전단(前端) 높이와 왼쪽 전단 높이, 및 슬롯의 전단 높이와 후단(後端) 높이를 촬상(撮像), 측정(필요에 따라 핀트 조정)함으로써, 센서(650)를 주사시키지 않아도, 슬롯의 수평도를 측정하는 것이 가능해진다. 또한, 센서(650)로서 비전 센서를 이용하여, 모든 슬롯을 촬상, 측정함으로써, 각 슬롯의 슬롯 높이를 측정하는 것이 가능해진다.
(제6 실시 형태)
제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)는, 베이스부재(21)와, 측정수단(22)과, 기입수단(23)을 포함하는 것이었다. 이에 대해, 제6 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(103)는, 제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)의 기입수단(23) 대신에, 도 2에 나타내는 바와 같이, 판독송신수단(323)을 포함하는 것이다. 제6 실시 형태에 있어서의 그 외의 구성은, 제1 실시 형태와 마찬가지의 구성이기 때문에, 설명을 생략한다.
이 판독송신수단(323)은, 베이스부재(21)의 캐리어재치부(210)에 설치되며, 기판캐리어(10)가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독하는 판독부와, 측정수단(22)에 의한 측정 데이터를 호스트 컴퓨터(도시하지 않음)에 송신하는 송신부를 구비한다.
본 실시 형태에 의하면, 기판캐리어(10)의 ID정보보유수단에 데이터를 보유시킬 필요가 없기 때문에, ID정보보유수단으로서 데이터 기억용량이 적은 값싼 것, 또는 데이터 기입이 불가능한 것(바코드 등)을 사용할 수 있다.
전술한 제2 실시 형태에 있어서는, 충돌방지 지그가, 제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(하측 지그)(101)와, 상측 지그(120)로 구성되는 경우를 예로 들어 설명을 했지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 당연하지만, 충돌방지 지그는, 제5 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정지그(102)로 이루어지는 하측 지그와 상측 지그(120)로 구성되는 것, 또는 제6 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(103)로 이루어지는 하측 지그와 상측 지그(120)로 구성되는 것이어도 좋다.
<충돌방지 방법>
(제7 실시 형태)
제3 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법은, 제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)에 의한 측정 데이터를 이용하여, 충돌방지를 도모하는 것이었다. 이에 대해, 본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법은, 제6 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(103)에 의한 측정 데이터를 이용하여, 충돌방지를 도모하는 것이다.
본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법과, 제3 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법의 차이는, 도 15에 나타낸 스텝 S152, S156, S157, 및 도 17에 나타낸 스텝 S172, S173이며, 그 외의 스텝은 같다. 이하에, 이들 스텝만을 도 15 및 도 17을 참조하면서 설명하고, 이들을 제외한 스텝의 설명은 생략한다.
(스텝 S151, S752): 도 15에 나타내는 바와 같이, 우선, 기판캐리어 측정 지그(103)의 센서(150)가 초기화된다(S151). 그 후, 임의의 기판캐리어(도 15에서는 FOUP를 예시)(10)가 하측 지그(103)의 캐리어재치부(210)에 얹혀진다. 이때, 이 기판캐리어(10)에 있어서의 ID정보보유수단의 ID정보가, 판독송신수단(323)(도 2 참조)으로 판독된다(S752). 기판캐리어(10)의 임의의 단의 슬롯(예를 들면, 최하단의 슬롯)에는, 기판(임시 웨이퍼)(11)이 수용되어 있다.
(스텝 S155, S756, S757): 얻어진 각 슬롯 피치의 공차가, 규정범위 내인가 아닌가가 판단된다(S155). 각 슬롯 피치의 공차가 규정범위 내라고 판단된 경우(YES의 경우), 그 기판캐리어(10)는 합격으로 되며, 판독송신수단(323)으로, 그 기판캐리어(10)의 ID정보와 함께 데이터(기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도)가 호스트 컴퓨터에 송신된다(S756). 한편, 각 슬롯 피치의 공차가 규정범위 밖이라고 판단된 경우(NO의 경우), 그 기판캐리어(10)는 불합격으로 되며, 판독송신수단(323)으로, 그 기판캐리어(10)의 ID정보와 함께 NG데이터가 호스트 컴퓨터에 송신된다(S757). 이 NG데이터가 기입된 기판캐리어(10)는, 일부가 결손?파손해 있을 염려가 있어, 적당히 보수?폐기된다.
전술한 S756와 S757에 의해 호스트 컴퓨터에 송신된 각 데이터로부터, 기판캐리어(10) 전체의 수평도 및 양 슬롯부의 각 슬롯 높이가 구해지며, ID정보와 관련되어, 보존된다(스텝 E2).
(스텝 S772, S173): 도 17에 나타내는 바와 같이, 로드 포트(111)에서 임의의 기판캐리어(10)의 ID정보보유수단이 읽어 들여진다(S772). 또한, 미리 정해 둔 도크 플레이트(112)의 기준 높이에 기초한 로드 포트(111)의 로봇 액세스 위치가 읽어 들여진다(S173). 그 후, S772의 ID정보 및 S173의 데이터가 호스트 컴퓨터(도시하지 않음)에 송신되어, 호스트 컴퓨터에서, 그 ID정보와 관련된 기판캐리어(10)의 슬롯 높이(슬롯 높이 데이터 A)가 판독된다(스텝 F2).
본 실시 형태에 의하면, 데이터 판독 전용으로, 기입 기능이 없는 ID정보보유수단을 구비한 기판캐리어(10)에 대해, 핸드(115)가 기판(11)에 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 그 외의 작용효과에 대해서는, 전술한 제3 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법과 마찬가지의 작용효과를 나타낸다.
(제8 실시 형태)
제7 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법은, 제6 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(103)만에 의한 측정 데이터를 이용하여, 충돌방지를 도모하는 것이었다. 이에 대해, 본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법은, 제6 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(103) 및 상측 지그(120)에 의한 측정 데이터를 이용하여, 충돌방지를 도모하는 것이다.
본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법은, 제4 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법과의 차이는, 도 18에 나타낸 스텝 S172, S183이며, 그 외의 스텝은 같다. 이하에, 이들 스텝만을 도 15 및 도 17을 참조하면서 설명하고, 이들을 제외한 스텝의 설명은 생략한다.
(스텝 S872, S183): 로드 포트(111)에서 임의의 기판캐리어(10)의 ID정보보유수단이 읽어 들여진다(S872). 또한, 스텝 A에서 측정된 도크 플레이트(112)의 기준 높이에 기초한 로드 포트(111)의 로봇 액세스 위치가 읽어 들여진다(S183). 그 후, S872의 ID정보 및 S183의 데이터가 호스트 컴퓨터(도시하지 않음)에 송신되어, 호스트 컴퓨터에서, 그 ID정보와 관련된 기판캐리어(10)의 슬롯 높이(기판캐리어 측정 지그(하측 지그)(103)로 측정된 슬롯 높이 데이터 A)가 판독된다(스텝 F2).
본 실시 형태에 의하면, 데이터 판독 전용으로, 기입 기능이 없는 ID정보보유수단을 구비한 기판캐리어(10)에 대해, 핸드(115)가 기판(11)에 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 그 외의 작용효과에 대해서는, 전술한 제4 실시 형태에 관계되는 충돌방지 방법과 마찬가지의 작용효과를 나타낸다.
<기판캐리어 측정 지그>
(제9 실시 형태)
제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)는, 기판캐리어(10)의 저면에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀(211)을 갖는 캐리어재치부(210)를 구비한 것이었다.
이에 대해, 도 24에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(501)는, 저면(401)에 평탄한 돌기부(402)를 갖는 기판캐리어(400)를 위한 것이다. 본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(501)의 기본적인 구성은, 제1 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(101)와 같기 때문에, 이하에 있어서, 마찬가지의 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략하고, 구성이 다른 부분만을 설명한다.
우선, 본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(501)에 이용되는 기판캐리어(400)는, 기판캐리어 측정 지그(501)의 캐리어재치부(210)상에 수평으로 재치, 위치결정되며, 그 내부에 기판(11)이 수용되는 것이다. 기판캐리어(400)의 저면(캐리어 본체의 저부(底部))(401)에는, 도 22 및 도 23에 나타내는 바와 같이, 선단에 평탄면부(452)가 형성된 돌기부(검출 패드)(402)와, 역 깔때기 형상의 오목부(위치결정구멍)(403)가 형성된다. 3개의 돌기부(402)는, 그 평탄면부(452)가 동일 평면을 형성하고 있다. 또한, 돌기부(402)는, 도 22에 나타내는 바와 같이, 삼각형의 정점(頂点)을 형성하는 위치관계에서, 기판캐리어(400)의 재치부(401)에 형성된다. 또한, 오목부(403)는, 도 23에 나타내는 바와 같이, 구멍 안쪽(도 23 중에서는 상측)을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼(taper) 형상으로 형성되는 핀 가이드부(413)와, 핀 가이드부(413)의 구멍 안쪽으로부터 연속하여 수직상향(垂直上向)으로 형성되는 핀 감입부(嵌入部)(수직구멍 부분)(414)로 구성된다.
이 기판캐리어(400)가 재치되는 본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(501)의 캐리어재치부(210)의 재치면(載置面)에는, 재치면보다 상방으로 돌출시켜 수직상향으로 설치되는 위치결정핀(511)이 2개 설치된다. 또한, 재치면에, 재치면보다 상방으로 돌출되고, 또, 재치면보다 하방으로 몰입(沒入) 가능한 도그 센서(재석검출부(在席檢出部))(512)를 설치해도 좋다.
캐리어재치부(210)와 기판캐리어(400)의 위치결정 구조는, 위치결정핀(511)과 오목부(403)의 결합, 및 캐리어재치부(210)의 재치면과 돌기부(402)의 평탄면(452)의 접촉으로 구성된다. 위치결정핀(511)은, 오목부(403)와 대향하는 위치에 설치된다. 또한, 도그 센서(512)를 설치하는 경우, 도그 센서(512)는, 돌기부(402)와 대향하는 위치에 설치된다.
본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(501)에 의하면, 임의의 기판캐리어(400)에 대해, 제1 측정센서(251)로 임의의 슬롯의 기준치로부터의 높이 및 슬롯 수평도를 측정할 수 있고, 제2 측정센서(252)로 모든 슬롯 사이의 슬롯 피치를 측정할 수 있다.
(제10 실시 형태)
제9 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(501)는, 베이스부재(21)와, 측정수단(22)과, 기입수단(23)을 포함하는 것이었다.
이에 대해, 도 25에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(503)는, 기판캐리어 측정 지그(501)의 기입수단(23) 대신에, 제6 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(103)에 있어서의 판독송신수단(323)을 설치한 것이다. 판독송신수단(323)에 대해서는, 제6 실시 형태에 있어서 상술하고 있기 때문에, 상세한 설명의 기재는 생략한다.
본 실시 형태에 의하면, 기판캐리어(400)의 ID정보보유수단에 데이터를 보유시킬 필요가 없기 때문에, ID정보보유수단으로서 데이터 기억용량이 작은 값싼 것, 또는 데이터 기입이 불가능한 것(바코드 등)을 사용할 수 있다.
<충돌방지 지그>
(제11 실시 형태)
본 발명의, 제11 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그는, 도 24에 나타낸 제9 실시 형태에 관계되는 기판캐리어 측정 지그(501)인 하측 지그와, 도 26에 나타낸 로드 포트(111)에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트(112)의 수평도를 측정하는 상측 지그(520)를 조합하여 이루어지는 것이다.
상측 지그(520)는, 도 27에 나타내는 바와 같이, 판 형상의 부재(121)로 구성되며, 그 하면에, 로드 포트(111)의 2개의 위치결정핀(513)에 대응하여 배치된 2개의 역 깔때기 형상의 오목부(위치결정구멍)(523)와, 선단에 평탄면부(552)가 형성된 단면(斷面) 타원 형상의 3개의 돌기부(검출 패드)(522)를 갖는다. 3개의 돌기부(522)는, 그 평탄면부(552)가 동일 평면을 형성하고 있다. 이들 돌기부(522) 및 오목부(523)의 기본적인 구성은, 도 22에 나타낸 돌기부(402) 및 오목부(403)과 같기 때문에, 상세한 설명의 기재는 생략한다.
또한, 상측 지그(520)는, 도 26에 나타내는 바와 같이, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 로봇(110)의 핸드(115)의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 측정하는 적어도 3개(도 26 중에서는 3개를 도시)의 변위센서(124)를 상면 측에 갖는다. 3개의 변위센서(124)는, 예를 들면, 3개의 돌기부(522)의 위치에 대응한 위치에서, 판 형상 부재(121)의 상면에 배치된다. 여기서 말하는 「핸드(115)의 임의의 기준 높이의 수평면」이란, 핸드(115)의 본체부 하면, 또는 핸드(115)에 얹혀진 기판(임시 웨이퍼)(11)의 하면이다.
상측 지그(520)를 도크 플레이트(112)상에 얹었을 때, 동일 평면상에 있는 3개의 돌기부(522)의 평탄면부(552)가 도크 플레이트(112)에 착좌(着座), 접촉된다. 여기서, 상측 지그(520)의 평탄면부(552)는, 상측 지그(520)의 하면에 대해 평행하게 된다. 또한, 상측 지그(520)는, 판 형상 부재(121)로 구성되는 것이어서, 상하면의 평행 내기를 정밀도가 좋게 행하는 것은 용이하기 때문에, 상측 지그(520)에 있어서 상하면 및 평탄면부(552)는 평행이다. 따라서, 상측 지그(520)를 도크 플레이트(112)상에 얹고, 3개의 변위센서(124)에 의해, 로봇(110)의 핸드(115)의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 측정함으로써, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 도크 플레이트(112)의 기울기 상태(수평도)를 검출할 수 있다.
여기서, 기판(11)으로서 450㎜웨이퍼를, 기판캐리어(400)로서 450㎜FOUP를 이용하는 경우, 300㎜웨이퍼 및 300㎜FOUP에서는 지금까지 그다지 문제가 되지 않았던 로드 포트(111)에 있어서의 도크 플레이트(112)의 수평도의 정밀도가 매우 중요해진다.
왜냐하면, 종래, 로드 포트(111)는, 설치시에 위치결정, 도크 플레이트(112)의 수평 내기의 조정이 이루어지고, 설치 후에 도크 플레이트(112)의 수평도의 재조정을 행하는 것은 없었다(또는 거의 없었다). 450㎜FOUP는, 300㎜FOUP와 비교하여 중량이 대폭으로 늘기 때문에, 도크 플레이트(112)상으로의 FOUP의 반입, 반출을 반복함으로써, 도크 플레이트(112)의 수평도가 변화할 염려가 있다. 또한, 450㎜웨이퍼의 사이즈 및 휨량은, 종래의 300㎜웨이퍼의 그것과 비교하여 커진다.
따라서, 도크 플레이트(112)의 수평도가 정밀도 좋게 나오지 않으면, 로봇 핸드(115)가 웨이퍼에 충돌하기 쉬워지거나, 웨이퍼를 FOUP에 수용할 때에 웨이퍼가 FOUP에 충돌하기 쉬워지거나 한다. 그 결과, 웨이퍼의 손상을 초래할 염려가 있어, 매우 값비싼 웨이퍼의 수율이 악화할 염려가 있다.
여기서, 예를 들면, 전술한 제2 실시 형태에 있어서의 충돌방지 지그의 상측 지그(120)는, 도크 플레이트(112)의 수평도만을 측정하는 것은 아니다. 즉, 상측 지그(120)를 도크 플레이트(112)의 3개의 키네매틱 핀(113)상에 얹음으로써, 상측 지그(120)의 수평도가, 3개의 변위센서(124) 및 로봇 핸드(115)에 의해 측정된다. 이때, 수평도의 변화의 대부분은, 각 키네매틱 핀(113)의 선단면(先端面)에 의해 형성되는 면(이하, 수평면이라고 한다)의 수평도가, 각 핀의 경시 마모에 따라 변화하는 것에 의한다. 그러나, 이때의 상측 지그(120)에 의한 수평도의 측정은, 도크 플레이트의 수평도가 중첩되어(합산되어) 있는 것이므로, 수평면의 수평도만을 측정하는 것도 아니다. 다시 말하면, 상측 지그(120)는, 도크 플레이트(112)의 수평도와 수평면의 수평도가 합쳐져서 이루어지는 수평도(중첩 수평도)를 측정하는 것이어서, 엄밀하게는 도크 플레이트(112)의 수평도만을 측정할 수 없다.
한편, 본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그의 상측 지그(520)를 도크 플레이트(112)상에 재치할 때, 위치결정핀(513)이 다소 마모되어 있었다고 해도, 상측 지그(520)의 Z방향에 있어서의 위치결정에 대한 영향은 거의 없다고 가정한다. 게다가, 전술한 바와 같이, 상측 지그(520)는, 상면 및 하면이 평행하게 유지되어 있는 것이므로, 상측 지그(520)를 도크 플레이트(112)상에 둠으로써, 도크 플레이트(112)의 수평도가 상측 지그(520)의 상면에 그대로 반영된다. 이 때문에, 상측 지그(520)의 상면에 로봇 핸드(115)를 액세스시켜, 3개의 변위센서(124)에 의해, 기판(11)의 하면과의 이간거리를 측정함으로써, 기판(11)의 기울기, 환언하면 도크 플레이트(112)의 수평도(기울기)가 측정된다. 이 측정 결과에 기초하여, 로드 포트(111)의 위치결정의 재조정을 행함으로써, 도크 플레이트(112)의 수평도를 조정하는 것이 가능해진다. 또한, 도크 플레이트(112)의 수평도를 조정하는 대신에, 기판(11)을 FOUP에 넣을 때에, 로봇 핸드(115)를 도크 플레이트(112)의 수평도에 추종시켜 기울이도록 해도 좋다.
이와 같이 상측 지그(520)를 이용함으로써, 도크 플레이트(112)의 수평도의 기울기를 검지할 수 있기 때문에, 로봇 핸드(115)를 기판(11)에 충돌시키거나, 기판(11)을 FOUP에 수용할 때에 기판(11)이 FOUP에 충돌하거나 할 염려가 없어진다. 그 결과, 기판(11)에 손상이 생길 염려가 현저히 감소하기 때문에, 매우 값비싼 기판(11)의 수율이 향상한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 충돌방지 지그의 상측 지그(520)가, 도 24에 나타낸 기판캐리어(400)의 저면(401)과 같은 저면 구조를 갖는 경우를 예로 들어 설명을 했지만, 특히 한정하는 것은 아니다. 예를 들면, 상측 지그(520)의 저면에 돌기부(522)를 형성함이 없이, 오목부(523)만을 갖는 평탄한 저면 구조로 해도 좋다. 이에 의해, 상측 지그(520)의 구조가 한층 더 간략화되므로, 상측 지그(520)의 가공 비용을 저감할 수 있어, 본 실시 형태에 관계되는 충돌방지 지그의 비용 저감을 도모할 수 있다.
이상, 본 발명은, 상술한 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 그 밖에도 여러 가지의 것이 상정되는 것은 말할 필요도 없다.
10 FOUP(기판캐리어)
11 기판
12 슬롯부
21 베이스부재
22 측정수단
23 기입수단
101 기판캐리어 측정 지그
210 캐리어재치부
211 키네매틱 핀
250 센서

Claims (21)

  1. 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의, 슬롯 높이를 측정하는 지그로서,
    상기 기판캐리어의 저면(底面)에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀을 갖는 캐리어재치부(載置部)를 구비한 베이스부재와,
    상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양(兩) 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도(水平度)를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과,
    상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단에, 상기 측정수단으로부터의 정보를 기입하는 기입수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판캐리어 측정 지그.
  2. 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의, 슬롯 높이를 측정하는 지그로서,
    상기 기판캐리어의 저면에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀을 갖는 캐리어재치부를 구비한 베이스부재와,
    상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과,
    상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독함과 아울러, 상기 측정수단으로부터의 정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 판독송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판캐리어 측정 지그.
  3. 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의, 슬롯 높이를 측정하는 지그로서,
    상기 기판캐리어는, 그 저면에, 적어도 3개의 돌기부(突起部)와 적어도 2개의 역(逆) 깔때기 형상의 오목부를 구비하며, 상기 각(各) 돌기부는 그 선단에 동일 평면을 형성하는 평탄면부(平坦面部)를 각각 갖고,
    상기 각 돌기부의 평탄면부가 접촉되는 캐리어재치부를 구비하며, 그 캐리어재치부에, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 적어도 2개의 오목부에 감입(嵌入)되는 적어도 2개의 위치결정핀을 갖는 베이스부재와,
    상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과,
    상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단에, 상기 측정수단으로부터의 정보를 기입하는 기입수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판캐리어 측정 지그.
  4. 기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의, 슬롯 높이를 측정하는 지그로서,
    상기 기판캐리어는, 그 저면에, 적어도 3개의 돌기부와 적어도 2개의 역 깔때기 형상의 오목부를 구비하며, 상기 각 돌기부는 그 선단에 동일 평면을 형성하는 평탄면부를 각각 갖고,
    상기 각 돌기부의 평탄면부가 접촉되는 캐리어재치부를 구비하며, 그 캐리어재치부에, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 적어도 2개의 오목부에 감입되는 적어도 2개의 위치결정핀을 갖는 베이스부재와,
    상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과,
    상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독함과 아울러, 상기 측정수단으로부터의 정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 판독송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판캐리어 측정 지그.
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베이스부재상에 있어서의 상기 캐리어재치부의 근방에 설치되며, 상기 측정수단의 상기 기준치를 결정하는 높이기준부재를 더 포함하는 기판캐리어 측정 지그.
  6. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정수단은 상기 센서를 상하방향으로 승강시키는 승강기구(昇降機構)를 구비한 기판캐리어 측정 지그.
  7. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정수단은,
    상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 상기 기준치로부터의 높이 및 상기 슬롯 수평도를 측정하는 제1 측정센서와,
    상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 상기 슬롯 피치를 측정하는 제2 측정센서를 구비한 기판캐리어 측정 지그.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 베이스부재상에 설치되며, 상기 캐리어재치부를 향해 상기 제1 측정센서를 진퇴 가능하게 슬라이드 시키는 슬라이드장치를 더 포함하는 기판캐리어 측정 지그.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 측정센서는, 상기 슬라이드장치에 고정하여 설치되며, 적어도 1개의 센서지지부재와 상기 센서지지부재의 캐리어재치부 측에 배열설치되는 2개의 높이?수평도 센서를 구비하는 기판캐리어 측정 지그.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 측정센서는, 상기 슬라이드장치에 고정하여 설치되며, 적어도 1개의 센서지지부재와 상기 센서지지부재의 캐리어재치부 측에 삼각형의 정점을 형성하도록 배열설치되는 3개의 높이?수평도 센서를 구비하는 기판캐리어 측정 지그.
  11. 제9 항 또는 제10 항에 있어서,
    상기 슬라이드장치는, 상기 캐리어재치부를 향해 슬라이드 가능한 슬라이더(slider)와, 상기 슬라이더에 입설(立設)되며, 상기 센서지지부재를 수평으로 지지하는 수직가이드부재를 구비하는 기판캐리어 측정 지그.
  12. 제6 항 또는 제8 항에 있어서,
    상기 슬라이드장치의 슬라이드 이동 및 상기 승강기구의 승강 구동의 적어도 한쪽을 조정하는 조정수단을 더 포함하는 기판캐리어 측정 지그.
  13. 미니 엔바이론먼트(mini environment) 내에 배치되는 로봇이, 임의의 로드 포트(load port)의 도크 플레이트(dock plate)에 재치된 임의의 기판캐리어 내에 수용된 기판을 꺼낼 때에, 상기 로봇이 상기 기판에 충돌하는 것을 방지하기 위한 지그로서,
    상기 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트에 설치된 3개의 키네매틱 핀(kinematic pin) 전체의 수평도를 측정하기 위해,
    판 형상의 부재로 구성되며, 상기 3개의 키네매틱 핀에 대응하여 배치된 3개의 V홈을 저면 측에 가짐과 아울러, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 상기 로봇의 핸드의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리(離間距離)를 측정하는 적어도 1개의 변위센서를 상면 측에 갖는 상측(上側) 지그와,
    기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의 슬롯 높이를 측정하기 위해,
    상기 기판캐리어의 저면에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀을 갖는 캐리어재치부를 구비한 베이스부재,
    상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단, 및,
    상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단에, 상기 측정수단으로부터의 정보를 기입하는 기입수단을 포함하는 하측(下側) 지그로 구성되는 것을 특징으로 하는 충돌방지 지그.
  14. 미니 엔바이론먼트 내에 배치되는 로봇이, 임의의 로드 포트의 도크 플레이트에 재치된 임의의 기판캐리어 내에 수용된 기판을 꺼낼 때에, 상기 로봇이 상기 기판에 충돌하는 것을 방지하기 위한 지그로서,
    상기 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트에 설치된 3개의 키네매틱 핀 전체의 수평도를 측정하기 위해,
    판 형상의 부재로 구성되며, 상기 3개의 키네매틱 핀에 대응하여 배치된 3개의 V홈을 저면 측에 가짐과 아울러, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 상기 로봇의 핸드의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 각각 측정하는 적어도 1개의 변위센서를 상면 측에 갖는 상측 지그와,
    기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의 슬롯 높이를 측정하기 위해,
    상기 기판캐리어의 저면에 형성된 3개의 V홈에 대응하여 배치된 3개의 키네매틱 핀을 갖는 캐리어재치부를 구비한 베이스부재와,
    상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단과,
    상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독함과 아울러, 상기 측정수단으로부터의 정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 판독송신수단을 포함하는 하측 지그로 구성되는 것을 특징으로 하는 충돌방지 지그.
  15. 미니 엔바이론먼트 내에 배치되는 로봇이, 임의의 로드 포트의 도크 플레이트에 재치된 임의의 기판캐리어 내에 수용된 기판을 꺼낼 때에, 상기 로봇이 상기 기판에 충돌하는 것을 방지하기 위한 지그로서,
    상기 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트의 수평도를 측정하기 위해,
    판 형상의 부재로 구성되며, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 상기 로봇의 핸드의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 측정하는 적어도 1개의 변위센서를 상면 측에 갖는 상측 지그와,
    기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의 슬롯 높이를 측정하기 위해,
    상기 기판캐리어는, 그 저면에, 적어도 3개의 돌기부와 적어도 2개의 역 깔때기 형상의 오목부를 구비하며, 상기 각 돌기부는 그 선단에 동일 평면을 형성하는 평탄면부를 각각 갖고,
    상기 각 돌기부의 평탄면부가 접촉되는 캐리어재치부를 구비하며, 그 캐리어재치부에, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 적어도 2개의 오목부에 감입되는 적어도 2개의 위치결정핀을 갖는 베이스부재,
    상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단, 및,
    상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단에, 상기 측정수단으로부터의 정보를 기입하는 기입수단을 포함하는 하측 지그로 구성되는 것을 특징으로 하는 충돌방지 지그.
  16. 미니 엔바이론먼트 내에 배치되는 로봇이, 임의의 로드 포트의 도크 플레이트에 재치된 임의의 기판캐리어 내에 수용된 기판을 꺼낼 때에, 상기 로봇이 상기 기판에 충돌하는 것을 방지하기 위한 지그로서,
    상기 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 도크 플레이트의 수평도를 측정하기 위해,
    판 형상의 부재로 구성되며, 그 상면 근방에 진퇴 가능하게 액세스 되는 상기 로봇의 핸드의, 임의의 기준 높이의 수평면에 대한 이간거리를 각각 측정하는 적어도 1개의 변위센서를 상면 측에 갖는 상측 지그와,
    기판이 수용되는 한 쌍의 슬롯부를 갖는 기판캐리어의 슬롯 높이를 측정하기 위해,
    상기 기판캐리어는, 그 저면에, 적어도 3개의 돌기부와 적어도 2의 깔때기 형상의 오목부를 구비하며, 상기 각 돌기부는 그 선단에 동일 평면을 형성하는 평탄면부를 각각 갖고,
    상기 각 돌기부의 평탄면부가 접촉되는 캐리어재치부를 구비하며, 그 캐리어재치부에, 상기 기판캐리어의 저면에 형성된 적어도 2개의 오목부에 감입되는 적어도 2개의 위치결정핀을 갖는 베이스부재,
    상기 베이스부재상에 고정하여 설치되며, 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 센서를 갖는 측정수단,
    상기 베이스부재의 상기 캐리어재치부에 설치되며, 상기 기판캐리어가 구비하는 ID정보보유수단의 정보를 판독함과 아울러, 상기 측정수단으로부터의 정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 판독송신수단을 포함하는 하측 지그로 구성되는 것을 특징으로 하는 충돌방지 지그.
  17. 제13 항 내지 제16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상측 지그의, 적어도 1개의 상기 변위센서를, 상기 판 형상 부재의 상면에 있어서의 상기 키네매틱 핀에 대응한 위치에 배치한 충돌방지 지그.
  18. 제1 항 또는 제3 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그를 이용한 충돌방지 방법으로서,
    임의의 상기 기판캐리어를 상기 기판캐리어 측정 지그에 얹고, 상기 기판캐리어 측정 지그의 상기 측정수단으로 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 스텝 C,
    상기 스텝 C의 데이터에 기초하여, 상기 슬롯의 수평도 및 상기 양 슬롯부의 각 슬롯 높이를 구함과 아울러, 구해진 데이터를 상기 기입수단으로 상기 ID정보보유수단에 기입하는 스텝 E1,
    임의의 상기 로드 포트에 있어서의 상기 도크 플레이트의 기준 높이를 미리 정해 두고, 그 로드 포트의 도크 플레이트에, 상기 스텝 E1에서 데이터 기입 완료된 임의의 상기 기판캐리어를 재치하며, 로드 포트에서 그 기판캐리어의 ID정보보유수단을 읽어들임과 아울러, 미리 정해 둔 상기 기준 높이 및 상기 스텝 E1의 데이터를 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 F1,
    상기 호스트 컴퓨터에서, 상기 송신된 각 데이터에 기초하여 상기 로봇의 액세스 위치를 결정하고, 그 액세스 위치를 로봇에 티칭(teaching)을 행하는 스텝 G,
    상기 티칭 데이터에 기초하여, 상기 로봇과 임의의 상기 로드 포트에 재치된 임의의 상기 기판캐리어 사이에서, 기판의 출납을 행하는 것을 특징으로 하는 충돌방지 방법.
  19. 제2 항 또는 제4 항에 기재된 기판캐리어 측정 지그를 이용한 충돌방지 방법으로서,
    임의의 상기 기판캐리어를 상기 기판캐리어 측정 지그에 얹고, 상기 기판캐리어 측정 지그의 상기 측정수단으로 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 스텝 C,
    상기 스텝 C의 데이터에 기초하여, 상기 슬롯의 수평도 및 상기 양 슬롯부의 각 슬롯 높이를 구함과 아울러, 구해진 데이터를 상기 판독송신수단으로 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 E2,
    임의의 상기 로드 포트의 상기 도크 플레이트에, 상기 스텝 E2에서 데이터 송신 완료된 임의의 상기 기판캐리어를 재치하고, 로드 포트에서 그 기판캐리어의 ID정보보유수단을 읽어들임과 아울러, 상기 로드 포트의 ID정보 및 상기 기판캐리어의 ID정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 F2,
    상기 호스트 컴퓨터에서, 상기 스텝 E2의 각 데이터와 미리 설정해 둔 로봇의 액세스 기준치를 비교하고, 상기 로봇의 액세스 위치를 로봇에 티칭을 행하는 스텝 G,
    상기 티칭 데이터에 기초하여, 상기 로봇과 임의의 상기 로드 포트에 재치된 임의의 상기 기판캐리어 사이에서, 기판의 출납을 행하는 것을 특징으로 하는 충돌방지 방법.
  20. 제13 항 또는 제15 항에 기재된 충돌방지 지그를 이용한 충돌방지 방법으로서,
    상기 상측 지그를 임의의 상기 로드 포트에 있어서의 상기 도크 플레이트에 얹고, 3개의 상기 변위센서에서 각각 측정된 상기 수평면에 대한 이간거리에 기초하여, 그 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 키네매틱 핀 전체의 수평도를 구하는 스텝 A,
    임의의 상기 기판캐리어를 상기 하측 지그에 얹고, 상기 하측 지그의 상기 측정수단으로 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 스텝 C,
    상기 스텝 C의 데이터에 기초하여, 상기 슬롯의 수평도 및 상기 양 슬롯부의 각 슬롯 높이를 구함과 아울러, 구해진 데이터를 상기 기입수단으로 상기 ID정보보유수단에 기입하는 스텝 E1,
    상기 스텝 A에서 데이터를 구한 임의의 상기 로드 포트의 도크 플레이트에, 상기 스텝 E1에서 데이터 기입 완료된 임의의 상기 기판캐리어를 재치하고, 로드 포트에서 그 기판캐리어의 ID정보보유수단을 읽어들임과 아울러, 미리 구해 둔 상기 스텝 A의 데이터 및 상기 스텝 E1의 데이터를 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 F1,
    상기 호스트 컴퓨터에서, 상기 송신된 각 데이터에 기초하여 상기 로봇의 액세스 위치를 결정하고, 그 액세스 위치를 로봇에 티칭을 행하는 스텝 G,
    상기 티칭 데이터에 기초하여, 상기 로봇과 임의의 상기 로드 포트에 재치된 임의의 상기 기판캐리어 사이에서, 기판의 출납을 행하는 것을 특징으로 하는 충돌방지 방법.
  21. 제14 항 또는 제16 항에 기재된 충돌방지 지그를 이용한 충돌방지 방법으로서,
    상기 상측 지그를 임의의 상기 로드 포트에 있어서의 상기 도크 플레이트에 얹고, 3개의 상기 변위센서에서 각각 측정된 상기 수평면에 대한 이간거리에 기초하여, 그 로드 포트에 재치되는 기판캐리어의 슬롯의 기준 높이 및 키네매틱 핀 전체의 수평도를 구하는 스텝 A,
    임의의 상기 기판캐리어를 상기 하측 지그에 얹고, 상기 하측 지그의 상기 측정수단으로 상기 양 슬롯부에 있어서의 적어도 일부의 슬롯에 대해 미리 정해 둔 기준치로부터의 높이, 슬롯 피치, 및 슬롯 수평도를 측정하는 스텝 C,
    상기 스텝 C의 데이터에 기초하여, 상기 슬롯의 수평도 및 상기 양 슬롯부의 각 슬롯 높이를 구함과 아울러, 구해진 데이터를 상기 판독송신수단으로 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 E2,
    상기 스텝 A에서 데이터를 구한 임의의 상기 로드 포트의 도크 플레이트에, 상기 스텝 E2에서 데이터 송신 완료된 임의의 상기 기판캐리어를 재치하고, 로드 포트에서 그 기판캐리어의 ID정보보유수단을 읽어들임과 아울러, 상기 로드 포트의 ID정보 및 상기 기판캐리어의 ID정보를 호스트 컴퓨터에 송신하는 스텝 F2,
    상기 호스트 컴퓨터에서, 상기 스텝 E2의 각 데이터와 스텝 A에서 구해 둔 로봇의 액세스 기준치를 비교하고, 상기 로봇의 액세스 위치를 로봇에 티칭을 행하는 스텝 G,
    상기 티칭 데이터에 기초하여, 상기 로봇과 임의의 상기 로드 포트에 재치된 임의의 상기 기판캐리어 사이에서, 기판의 출납을 행하는 것을 특징으로 하는 충돌방지 방법.
KR1020117022673A 2009-04-13 2010-04-12 기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법 KR101445911B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2009-096559 2009-04-13
JP2009096559 2009-04-13
PCT/JP2010/056546 WO2010119846A1 (ja) 2009-04-13 2010-04-12 基板キャリア測定治具、衝突防止治具及びそれを用いた衝突防止方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120022742A true KR20120022742A (ko) 2012-03-12
KR101445911B1 KR101445911B1 (ko) 2014-09-29

Family

ID=42982508

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117022673A KR101445911B1 (ko) 2009-04-13 2010-04-12 기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9111978B2 (ko)
JP (1) JP5280519B2 (ko)
KR (1) KR101445911B1 (ko)
TW (1) TWI485801B (ko)
WO (1) WO2010119846A1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9097515B2 (en) 2012-08-02 2015-08-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Measuring device and measuring method
KR20170006338A (ko) * 2015-07-07 2017-01-18 에스케이하이닉스 주식회사 웨이퍼 이송 부재를 구비하는 반도체 제조 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 방법
KR20200014899A (ko) * 2017-06-08 2020-02-11 브룩스 오토메이션 (저머니) 게엠베하 기판 컨테이너에 대한 검사 시스템 및 검사 방법
KR102382339B1 (ko) * 2020-09-28 2022-04-05 주식회사 저스템 로드포트모듈의 상태를 측정하는 장치

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010018465B4 (de) * 2010-04-27 2020-02-06 Centrotherm Photovoltaics Ag Vorrichtung und Verfahren zum Ermitteln der räumlichen Lage von Plattenelementen eines Waferbootes sowie Beladevorrichtung und Verfahren zum Be- und/oder Entladen eines solchen Waferbootes
JP6040757B2 (ja) * 2012-10-15 2016-12-07 東京エレクトロン株式会社 搬送機構の位置決め方法、被処理体の位置ずれ量算出方法及び搬送機構のティーチングデータの修正方法
JP6148025B2 (ja) * 2013-02-04 2017-06-14 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置
JP6124405B2 (ja) * 2013-06-25 2017-05-10 芝浦メカトロニクス株式会社 ウェーハ収納カセットの検査装置及び検査方法
US9666465B2 (en) 2013-12-12 2017-05-30 Seagate Technology Llc Positioning apparatus
JP6825451B2 (ja) * 2017-03-29 2021-02-03 Tdk株式会社 搬送容器接続装置、ロードポート装置、搬送容器保管ストッカー及び搬送容器接続方法
KR101807168B1 (ko) 2017-05-16 2017-12-08 주식회사 싸이맥스 로드 포트 정렬 측정 장치
US20220020623A1 (en) * 2018-12-07 2022-01-20 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Substrate transferring device and method of operating the same
TWI699608B (zh) * 2019-03-15 2020-07-21 日月光半導體製造股份有限公司 用於組裝光學裝置之設備
JP7336877B2 (ja) * 2019-05-21 2023-09-01 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板処理方法
CN113834400B (zh) * 2020-06-23 2022-11-15 长鑫存储技术有限公司 位置检测判断装置、校准装置、方法及系统

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07125806A (ja) * 1993-11-01 1995-05-16 Hitachi Ltd 半導体製造装置
JPH08105726A (ja) * 1994-10-04 1996-04-23 Hitachi Ltd 板状物カセット検査方法および装置
JP3638245B2 (ja) * 1999-06-01 2005-04-13 株式会社半導体先端テクノロジーズ ロードポート調整治具、ｆｏｕｐ測定治具、ｆｏｕｐウェーハ位置測定治具、キネマティックピン形状評価治具、キネマティックピン位置評価治具、およびこれらを用いる調整・測定・評価方法
JP4469462B2 (ja) * 2000-05-25 2010-05-26 株式会社ニコン キャリア形状測定機
US6591160B2 (en) * 2000-12-04 2003-07-08 Asyst Technologies, Inc. Self teaching robot
JP3697477B2 (ja) * 2001-08-06 2005-09-21 ソニー株式会社 基板収納容器測定装置および基板収納容器測定用治具
JP4383071B2 (ja) 2003-03-04 2009-12-16 芝浦メカトロニクス株式会社 ウエハ収納カセットの検査装置及び方法
US20070018469A1 (en) * 2005-07-25 2007-01-25 Multimetrixs, Llc Contamination-free edge gripping mechanism with withdrawable pads and method for loading/unloading and transferring flat objects
US7596456B2 (en) * 2005-11-18 2009-09-29 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for cassette integrity testing using a wafer sorter
US8365919B2 (en) * 2005-12-29 2013-02-05 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9097515B2 (en) 2012-08-02 2015-08-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Measuring device and measuring method
KR20170006338A (ko) * 2015-07-07 2017-01-18 에스케이하이닉스 주식회사 웨이퍼 이송 부재를 구비하는 반도체 제조 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 방법
KR20200014899A (ko) * 2017-06-08 2020-02-11 브룩스 오토메이션 (저머니) 게엠베하 기판 컨테이너에 대한 검사 시스템 및 검사 방법
KR102382339B1 (ko) * 2020-09-28 2022-04-05 주식회사 저스템 로드포트모듈의 상태를 측정하는 장치

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2010119846A1 (ja) 2012-10-22
WO2010119846A1 (ja) 2010-10-21
KR101445911B1 (ko) 2014-09-29
TW201100314A (en) 2011-01-01
TWI485801B (zh) 2015-05-21
JP5280519B2 (ja) 2013-09-04
US9111978B2 (en) 2015-08-18
US20120118083A1 (en) 2012-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20120022742A (ko) 기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법
US6501289B1 (en) Inspection stage including a plurality of Z shafts, and inspection apparatus
US9543178B2 (en) Semiconductor wafer stocker apparatus and wafer transferring methods using the same
KR100451586B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치의 작업 높이인식장치 및 이를 이용한 작업 높이 인식방법
KR100880462B1 (ko) 검사장치 및 검사방법
EP1290452B1 (en) Self teaching robotic carrier handling system
KR102264851B1 (ko) 포크 로봇 및 포크의 삽입 거리 산출 방법
KR102247038B1 (ko) 호이스트 모듈의 위치 보정 방법
KR100909494B1 (ko) 처리장치
KR102166343B1 (ko) 스토커
KR102169581B1 (ko) 비히클 유지 보수용 승강 장치
KR102403118B1 (ko) 집적회로 칩용 레이저 프로파일 스캐너 자동 위치 조절 장치 구동 방법
JPS62169341A (ja) プロ−ブカ−ド自動交換プロ−バ
US10535543B2 (en) Teaching jig, substrate processing apparatus, and teaching method
KR101690229B1 (ko) 기판 반송 방법, 기판 반송 장치 및 기억 매체
KR102234767B1 (ko) 스토커
JP2011003695A (ja) 基板搬送装置
KR20210029421A (ko) 선반 기울기 측정 유닛 및 이를 갖는 물류 저장 장치
CN117665338B (zh) 卡盘组件及探针台
KR102413446B1 (ko) 집적회로 칩용 레이저 프로파일 스캐너 자동 위치 조절 장치
KR20160098640A (ko) 소자핸들러 및 비전검사방법
CN220381014U (zh) 图像采集系统
KR100833286B1 (ko) 웨이퍼 공급장치 및 이를 이용한 웨이퍼 공급방법
KR102316946B1 (ko) 스토커 및 이의 레티클 처리 방법
US20240186175A1 (en) Substrate transfer apparatus and substrate transfer method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170818

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180903

Year of fee payment: 5