JP4383071B2 - ウエハ収納カセットの検査装置及び方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハを整列収納するためのウエハ収納カセットの内部形状を検査するための検査装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハ（以下、単にウエハという）の製造工程あるいは運送過程で用いられるウエハ収納カセットの検査装置が提案されている（特許文献１参照）。この従来のウエハ収納カセットの検査装置は、ウエハ収納カセットのウエハを収納するためのスリットが位置すべき高さに設置された一対の光学センサを有し、その一対の光学センサでの光検出の有無に基づいて前記スリットが正規の位置にあるか否かを判定している。また、この従来のウエハ収納カセットの検査装置は、ウエハ収納カセットの設置位置に対して所定の関係となる位置に設置された反射型の光学センサを有し、その光学センサでの光検出の有無に基づいて前記設置位置に設置されたウエハ収納カセットに歪みがあるか否かを判定している。
【０００３】
このような従来のウエハ収納カセットの検査装置は、簡易な構造によりウエハ収納カセットの変形や歪みを判定することができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２３３４２７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述したような従来のウエハ収納カセットの検査装置では、ウエハ収納カセットの所定部位が本来位置すべき位置にあるか否かを光学センサでの光検出の有無に基づいて判定しているだけなので、その所定部位の寸法が本来あるべき寸法からどの程度ずれているか否かなど、精度の良い検査を行うことができない。近年、ウエハの大口径化に伴って、ウエハ収納カセットの寸法精度が非常に重要になっており、このような状況に対して前述したような従来のウエハ収納カセットの検査装置は充分に対応し得るものではない。例えば、前記ウエハ収納カセットのスリットが正規の位置にあるか否かを前記一対の光学センサでの光検出の有無に基づいて判定する方法では、前記スリット幅より小さい分解能をもってウエハ収納カセットの良否を判定することができない。
【０００６】
本発明は、前述したような問題に鑑みてなされたもので、ウエハ収納カセットをより精度良く検査することができるようなウエハ収納カセットの検査装置及び方法を提供するものである。
【０００７】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査対象となるウエハ収納カセットを設置する設置台と、前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から当該処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有し、前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなる構成となる。
【０００８】
このような構成により、ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影する撮影装置からの画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報がまず生成され、次いで、その画像上形状情報から処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記所定部位の実形状を表す実形状情報が生成される。このようにウエハ収納カセット内部の所定部位の実形状を表す実形状情報が生成されるので、その実形状情報に基づいて前記所定部位の実形状の適否を判定できるようになる。
【０００９】
前記所定の変換情報は、撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物体の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物体の形状を表すための基準との関係に基づいて定めることができる。また、前記画像上形状情報は、前記所定部位の形状に関する情報であれば特に限定されず、例えば、位置、距離等の情報となる。更に、実形状情報も、前記所定部位の実形状に関する情報であれば特に限定されず、例えば、位置、距離等の情報となる。
【００１０】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成するように構成することができる。
【００１１】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系において撮影された所定部位の位置を表す画像上位置情報が生成され、その画像上位置情報が所定の絶対座標系における実位置情報に変換される。そして、その実位置情報に基づいた実形状情報が生成される。
【００１２】
前記所定の絶対座標系は、設置台に設置されたウエハ収納カセットの実形状を表しうるものであれば任意に設定することができる。そして、前記変換情報は、前記画像座標系と絶対座標系との関係を表すものとして定めればよい。
【００１３】
前記実位置情報に基づいた実形状情報は、前記実位置情報そのものであっても、前記実位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００１４】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記処理ユニットに予め保存されて前記実形状情報生成手段にて用いられる変換情報は、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットから得られた前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて定められたものとなる構成とすることができる。
【００１５】
このような構成により、基準ウエハ収納カセットの所定部位の実形状を基準として検査対象となるウエハ収納カセットの所定部位の実形状を検査することができるようになる。
【００１６】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が側壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を所定数の棚板部の所定部分とした構成とすることができる。
【００１７】
このような構成により、側壁に配列される複数の棚板部における所定数の棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００１８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を隣接する２つの棚板部の所定部分とした構成とすることができる。
【００１９】
このような構成により、隣接する２つの棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、隣接した２つの棚板部で形成されるスロットの実形状を検査することができるようになる。
【００２０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の前端部分を前記所定部位として撮影するようにした構成とすることができる。
【００２１】
このような構成により、所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記前端部分についての実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の後端部分を前記所定部位として撮影するようにした構成とすることができる。
【００２３】
このような構成により、所定数の棚板部の後端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記後端部分についての実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００２５】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて所定数の棚板部の後端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記前端分及び後端部分の実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２６】
前記第一の撮影ユニットによる前記前端部分の撮影と、前記第二の撮影ユニットによる前記後端部分の撮影とは、同時になされても、異なるタイミングでなされてもよい。効率的な検査が可能となるという観点からは、前記両撮影は同時になされることが好ましい。
【００２７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、一方の側壁に垂直方向に配列される複数の棚板部を備えた第一のウエハ支持体と、他方の側壁に垂直方向に配列される複数の棚板部を備えた第二のウエハ支持体とを備えたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置が、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第三の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第四の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００２８】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部の前端部分の実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部の後端部分の実形状情報がれられる。また、第三の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部の前端部分の実形状情報が得られ、第四の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部の後端部分の実形状情報が得られる。一方の側壁における各棚板部の前記前端部分及び後端端部分についての実形状情報から、一方の側壁における各棚板部の実形状を検査することができると共に、他方の側壁における各棚板部の前記前端部分及び後端部分についての実形状情報から、他方の側壁における各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２９】
前記第一の撮影ユニットによる撮影と、前記第二の撮影ユニットによる撮影と、前記第三の撮影ユニットによる撮影と、前記第四の撮影ユニットによる撮影とは、全て異なるタイミングでなされても、全て同時になされてもよい。更に、任意に組み合わせた撮影を同時に行うこともできる。効率的な検査が可能になるという観点からは、任意に組み合わせた撮影を同時に行うことが好ましく、更に、全ての撮影が同時になされることがより好ましい。
【００３０】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報を生成するように構成することができる。
【００３１】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報が生成され、その画像上ウエハ支持面位置情報が所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換される。そして、その実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各棚板部のウエハ支持面の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００３２】
前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報は、前記実ウエハ支持面位置情報そのものであっても、前記実ウエハ支持面情報から得られる形状情報であってもよい。
【００３３】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各棚板部に対する前記実ウエハ支持面位置情報に基づいて前記各棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するように構成することができる。
【００３４】
このような構成により、各棚板部の間隔を表す実形状情報から、隣接する２つの棚板部で形成されるスロットの幅を検査することができるようになる。
【００３５】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数の棚板部の所定部分を含む前記撮影装置の撮影領域を前記複数の棚板部の配列方向に移動させる撮影領域移動手段を有する構成とすることができる。
【００３６】
このような構成により、撮影領域の移動がなされ、側壁に配列された複数の棚板部において所定数の棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報を複数得ることができることとなる。この複数の実形状情報から、前記複数の棚板部のより広い範囲における各棚板部の実形状を検査できるようになる。
【００３７】
前記撮影領域移動手段による撮影領域の移動手法については特に限定されず、像を撮影装置に導くための光学系を切替えるものであっても、撮影装置と検査対象となるウエハ収納カセットとを相対的に移動させるものであってもよい。
【００３８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影装置を前記複数の棚板部の配列方向に移動させるリフタ装置を有する構成とすることができる。
【００３９】
このような構成により、撮影装置がリフタ装置によって検査対象となるウエハ収納カセットにおける複数の棚板部の配列方向に移動させられることとなる。その結果、撮影装置の撮影領域が前記複数の棚板部の配列方向に移動する。
【００４０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記複数の棚板部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域をステップ的に移動させるようにした構成とすることができる。
【００４１】
このような構成により、複数の棚板部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られることとなる。その結果、得られた実形状情報に基づいて側壁に形成された複数の棚板部全体の実形状を検査することができるようになる。
【００４２】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影領域を前記複数の棚板部の間隔に対応した所定量ずつ移動させるようにした構成とすることができる。
【００４３】
このような構成により、所定数の棚板部の所定部位を含む撮影領域が棚板部の間隔に対応した所定量ずつ移動させられる過程で、複数の棚板部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られ、複数の実形状情報が得られる棚板部も存在しうる。そのように各棚板部について得られた実形状情報に基づいて前記複数の棚板部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００４４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各棚板部についての実ウエハ支持面位置情報に基づいて少なくとも前記各棚板部の間隔及び前記複数の棚板部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００４５】
このような構成により、複数の棚板部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報が生成され、その画像上ウエハ支持面位置情報が所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換される。その結果、前記複数の棚板部全てについて実ウエハ支持面位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各棚板部についての実ウエハ支持面位置情報に基づいて少なくとも各棚板部の間隔及び前記複数の棚板部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このような実形状情報から、前記複数の棚板部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００４６】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハの端部を支持するＶ溝支持部が背面壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を所定数のＶ溝支持部の所定部分とした構成とすることができる。
【００４７】
このような構成により、背面壁に配列される複数のＶ溝支持部における所定数のＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００４８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置にて撮影されるべき前記所定部位を隣接する２つのＶ溝支持部の所定部分とした構成とすることができる。
【００４９】
このような構成により、隣接する２つのＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、隣接した２つのＶ溝支持部の各棚板部で形成されるスロットの実形状を検査することができるようになる。
【００５０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記ウエハ収納カセットの前部開口面に対向して設置された前記撮影装置に導く光学系を有し、前記撮影装置が前記支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００５１】
このような構成により、ウエハ収納カセットの前部開口面に対向した撮影装置に向けて開放する溝部を有する各Ｖ溝支持部の側端部分の像が光学系により撮影装置に導かれ、撮影装置が各Ｖ溝支持部の側端部分を撮影する。そのため、各Ｖ溝支持部の側端部分の実形状を表す実形状が得られることとなる。各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記光学系が、前記所定数のＶ溝支持部の両側端部分の像を前記映像装置に導くように設定された構成とすることができる。
【００５３】
このような構成により、各Ｖ溝支持部の両側端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各Ｖ溝支持部の両側端部分についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００５４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、更に、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が側壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置が、前記側壁に形成された所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００５５】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて側壁に形成された所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号に表される画像に基づいて背面壁に形成された所定数のＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部についての実形状情報と各Ｖ溝支持部についての実形状情報とに基づいて各棚板部及び各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５６】
前記第一の撮影ユニットによる前記所定数の棚板部の前端部分の撮影と、前記第二の撮影ユニットによる前記所定数のＶ溝支持部の所定部分の撮影とは、同時になされても、異なるタイミングでなされてもよい。効率的な検査が可能となるという観点からは、前記両撮影は同時になされることが好ましい。
【００５７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第二の撮影ユニットのカメラに導く光学系を有し、前記第二の撮影ユニットが前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００５８】
このような構成により、第二の撮影ユニットにて所定数のＶ溝支持部の側端部分が撮影され、それにより得られた画像上形状情報から実形状情報が生成される。前記各棚板部の実形状とともに、各Ｖ溝支持部の側端部についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５９】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が一方の側壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第一のウエハ支持体と、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハ端部を支持するＶ溝支持部が前記背面壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第二のウエハ支持体と、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が他方の側壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第三のウエハ支持体と、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハ端部を支持するＶ溝支持部が前記背面壁の前記第二のウエハ支持体と前記他方の側壁との間に垂直方向に配列されるように複数形成された第四のウエハ支持体とを有するウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置は、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットと、前記第三のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第三の撮影ユニットと、前記第四のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第四の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００６０】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部（第一のウエハ支持体）の前端部分の実画像情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて背面壁における所定数のＶ溝支持部(第二のウエハ支持体)の所定部分の実形状情報が得られる。また、第三の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部(第三のウエハ支持体)の前端部分の実形状情報が得られ、第四の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて背面壁の第二のウエハ支持体と前記他方の側壁との間における所定数のＶ溝支持部(第四のウエハ支持体)の所定部分の実形状情報が得られる。前記一方の側壁における各棚板部の前端部分についての実形状情報と前記他方の側壁における各棚板部の前端部分についての実形状情報から、両側壁における各棚板部の実形状を検査することができると共に、背面壁における各Ｖ溝支持部の所定部分についての実形状情報から各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００６１】
前記第一の撮影ユニットによる撮影と、前記第二の撮影ユニットによる撮影と、前記第三の撮影ユニットによる撮影と、前記第四の撮影ユニットによる撮影とは、全て異なるタイミングでなされても、全て同時になされてもよい。更に、任意に組み合わせた撮影を同時に行うこともできる。効率的な検査が可能になるという観点からは、任意に組み合わせた撮影を同時に行うことが好ましく、更に、全ての撮影が同時になされることがより好ましい。また、ウエハ収納カセットの背面壁においてＶ溝支持部が垂直方向に配列されてなる第二のウエハ支持体及び第四のウエハ支持体それぞれの所定部分を照らす第二の撮影ユニット及び第四の撮影ユニットにおける各光源は、共通化することも別体とすることもできる。
【００６２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記第二のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第二の撮影ユニットのカメラに導く第一の光学系と、前記第四のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第四の撮影ユニットのカメラに導く第二の光学系とを有し、前記第二の撮影ユニットが前記第二のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影すると共に、前記第四の撮影ユニットが前記第四のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００６３】
このような構成により、第二のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影する第二の撮影ユニットからの画像信号にて表される画像に基づいて第二のウエハ支持体における各Ｖ溝支持体の側端部分についての実形状情報が得られ、また、第四のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影する第四の撮影ユニットからの画像信号にて表される画像に基づいて第四のウエハ支持体における各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形状情報が得られる。これら各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形形状情報により、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００６４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の位置を表す画像上溝線位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上溝線位置情報を所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実溝位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００６５】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の位置を表す画面上溝線位置情報が生成され、その画像上溝線一情報が所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換される。そして、その実溝線位置に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各Ｖ溝支持部の溝線の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００６６】
前記実溝線位置情報に基づいた実形状情報は、前記実溝線位置情報そのものであっても、前記実溝線位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００６７】
また、本発明にかかるウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上棚板面位置情報を所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実棚板面位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００６８】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各棚板部の上面位置を表す画面上棚板面位置情報が生成され、その画面上棚板面位置情報が所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換される。そして、その実棚板面位置情報に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各棚板部の上面の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００６９】
前記実棚板面位置情報に基づいた実形状情報は、前記実棚板面位置情報そのものであっても、前記実棚板面位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００７０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各Ｖ溝支持部における溝部の溝線に対する実溝位置情報に基づいて前記溝線の間隔を表す実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００７１】
このような構成により、各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔を表わす実形状情報から、隣接する２つのＶ溝支持部で形成されるスロットのピッチを検査することができるようになる。
【００７２】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各Ｖ溝支持部における棚板部に対する実棚板面位置情報に基づいて前記棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００７３】
このような構成により、各Ｖ溝支持部の棚板部の間隔を表す実形状情報から、隣接する２つのＶ溝支持部の棚板部で形成されるスロットの幅を検査することができるようになる。
【００７４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部を含む前記撮影装置の撮影領域を前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させる撮影領域移動手段を有する構成とすることができる。
【００７５】
このような構成により、撮影領域の移動がなされ、背面壁に配列された複数のＶ溝支持部において所定数のＶ溝支持部の所定部位の実形状を表す実形状情報を複数得ることができることとなる。この複数の実形状情報から、前記複数のＶ溝支持部のより広い範囲における各Ｖ溝支持部の実形状を検査できるようになる。
【００７６】
前記撮影領域移動手段による撮影領域に移動手法については特に限定されず、撮影装置を移動させても、検査対象となるウエハ収納カセットを移動させても、更に、撮影装置に各Ｖ溝支持部の所定部分の像を導く光学系を切替えるようにしてもよい。
【００７７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影装置を前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させるリフタ装置を有する構成とすることができる。
【００７８】
このような構成により、撮影装置がリフタ装置によって検査対象となるウエハ収納カセットにおける複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させられることとなる。その結果、撮影装置の撮影領域が前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動する。
【００７９】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域をステップ的に移動させるようにした構成とすることができる。
【００８０】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られることとなる。その結果、得られた実形状情報に基づいて背面壁に形成された複数のＶ溝支持部全体の実形状を検査することができるようになる。
【００８１】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影領域を前記複数のＶ溝支持部の間隔に対応した所定量ずつ移動させるようにした構成とすることができる。
【００８２】
このような構成により、所定数のＶ溝支持部の所定部位を含む撮影領域がＶ溝支持部の間隔に対応した所定量ずつ移動させられる過程で、複数のＶ溝支持部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られ、複数の実形状情報が得られるＶ溝支持部も存在しうる。そのように各Ｖ溝支持部について得られた実形状情報に基づいて前記複数のＶ溝支持部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００８３】
本発明にかかるウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部の溝部における溝線の位置を表す画像上溝線位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状生成手段が、前記所定の変換情報を用いて前記画像上溝線位置情報を所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各Ｖ溝支持部についての実溝線位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各溝線の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００８４】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部の溝部における溝線の位置を表す画像上溝線位置情報が生成され、その画像上溝線位置情報が所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換される。その結果、前記複数のＶ溝支持部全てについて実溝線位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各Ｖ溝支持部についての実溝線位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔及び前記複数のＶ溝支持部における溝線の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このよう情報から、前記複数のＶ溝支持部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００８５】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記所定の変換情報を用いて前記画像上棚板面位置情報を所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各Ｖ溝支持部についての実棚板面位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における棚板部の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００８６】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部の棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報が生成され、その画像上棚板面位置情報が所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換される。その結果、前記複数のＶ溝支持部全てについて実棚板面位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各Ｖ溝支持部についての実棚板面位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における棚板部の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このような実形状情報から、前記複数のＶ溝支持部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００８７】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査結果を出力ユニットから出力させる検査結果出力制御手段を有し、前記検査結果出力制御手段が、前記実形状情報生成手段にて得られた実形状情報を前記検査結果として前記出力ユニットから出力させるようにした構成とすることができる。
【００８８】
このような構成により、検査対象となるウエハ収納カセットの内部の所定部位について生成された実形状情報が検査結果として出力ユニットから出力されることとなる。例えば、検査員は、その出力ユニットから出力された実形状情報に基づいて検査対象となるウエハ収納カセットの良否を容易に判断することができるようになる。
【００８９】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査結果を出力ユニットに出力させる検査結果出力制御手段と、前記実形状情報生成手段にて得られた実形状情報が所定の基準を満たしているか否かの判定を行う形状判定手段とを有し、前記検査結果出力制御手段が、前記形状判定手段での判定結果を前記検査結果として前記出力ユニットに出力させるようにした構成とすることができる。
【００９０】
このような構成により、検査対象となるウエハ収納カセットの内部の所定部位について生成された実形状情報が所定の基準を満たしているか否かの判定結果が検査結果として出力ユニットに出力されることとなる。例えば、検査員は、その出力ユニットにより出力された判定結果に基づいて検査対象となるウエハ収納カセットの良否を直接的に判断することができるようになる。
【００９１】
前記各出力ユニットは、検査員に実形状情報を可視的に出力するもの（例えば、表示ユニット、プリンタユニット等）であっても、その実形状情報を他のシステム（ウエハ収納カセットの搬送システム、検査結果集計システムなど）に出力するものであってもよい。
【００９２】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、ロボットにより把持されるハンドリング部材を上面に備えたウエハ収納カセットを設置する設置台と、前記設置台に設置されるウエハ収納カセットの前記ハンドリング部材を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記ハンドリング部の実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部材の外形形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から当該処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部の実外形形状を表す実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有し、前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなる構成となる。
【００９３】
このような構成により、ウエハ収納カセットの上面に備えられたハンドリング部材を撮影する撮影装置からの画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部の形状を表す画像上形状情報がまず生成され、次いで、その画像上形状情報から処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部材の実外形形状を表す実形状情報が生成される。このようにウエハ収納カセットの上面に備えられたハンドリング部材の実外形形状を表す実形状情報が生成されるので、その実形状情報に基づいて前記ハンドリング部材の実際の外形形状の適否を判定することができるようになる。
【００９４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、検査対象となるウエハ収納カセットを設置台に設置する設置ステップと、前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影装置で撮影する撮影ステップと、処理ユニットにより実行され、前記所定部位の撮影により前記撮影装置から出力される画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ステップとを有し、前記処理ステップは、前記画像信号にて表される画像上における前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理ステップと、前記画像処理ステップにて得られた画像上形状情報から前記処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成ステップとを有し、前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなる構成となる。
【００９５】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、前記画像処理ステップが、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成し、前記実形状情報生成ステップが、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換ステップを有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成する構成とすることができる。
【００９６】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、前記実形状情報生成ステップにて用いられる変換情報を取得して前記処理ユニットに保存する変換情報取得ステップを有し、前記変換情報取得ステップは、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットに対して前記設置ステップ、前記撮影ステップ及び画像処理ステップを実施して前記基準ウエハ収納カセットにおける前記所定部位の画像上形状情報を生成する第一のステップと、前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて前記変換情報を生成する第二のステップとを有する構成とすることができる。
【００９７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００９８】
本発明の第一の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットは図１に示すように構成される。
【００９９】
図１において、このウエハ収納カセット１０は、半導体製造工程においてウエハを搬送するために用いられるものであって、前部に開口面を有した箱体（例えば、樹脂製）となっている。ウエハ収納カセット１０の内部において、一方の側壁（左側壁）１１には左ウエハ支持体１３Ｌが形成されると共に、他方の側壁（右側壁）１２には右ウエハ支持体１３Ｒが形成されている。左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔をもって配列された複数の棚板部を備えている。ウエハは、その周辺部が左ウエハ支持体１３Ｌの棚板部及びそれと同じ高さに位置する右ウエハ支持体１３Ｒの棚板部にて支えられた状態でウエハ収納カセット１０に収納される。
【０１００】
ウエハ収納カセット１０の上面には、搬送ロボットにより把持されるハンドリング部材１５(ハンドリングフランジ)が備えられている。半導体製造工程において搬送ロボットがこのハンドリング部材１５を把持してウエハ収納カセット１０を搬送する。ハンドリング部材１５は、矩形形状をしており、所定の位置に切り欠きが形成されている。
【０１０１】
左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれの各棚板部の前端部分（ウエハ収納カセット１０の前部開口面側）は図２に示すように構成され、また、各棚板部の後端部分（ウエハ収納カセット１０の奥側）は図３に示すように構成される。隣接するｋ番目の棚板部１３１（ｋ）とｋ＋１番目の棚板部１３１（ｋ＋１）との間にウエハ周辺部が挿入されるべきスロットＳＬkが形成される。そして、そのウエハ周辺部が棚板部１３１（ｋ）の上面（ウエハ支持面）にて支えられるようになっている。なお、各棚板部の前端部分及び後端部分のウエハ支持面には突出部分が形成され、ウエハ表面と棚板部のウエハ支持面との接触面積がより小さくなるような構造となっている。
【０１０２】
前述したような構造のウエハ収納カセット１０を検査するための検査装置は、図４乃至図８に示すように構成されている。なお、図４乃至図８は、主に、検査装置の構成部品の配置関係を示すものであり、各構成部品の固定、支持等は、周知の手法にてなされる。
【０１０３】
図４において、検査装置１００は、検査台１０１、背面板１０２及び天板１０３を備えている。検査台１０１は、ウエハ収納カセット１０が設置されるカセット設置台１１０と、後述するような構成となる撮影装置が設置される撮影台１２１とを備えている。カセット設置台１１０には、ウエハ収納カセット１０の位置決め機構（図示略）が設けられており、ウエハ収納カセット１０が常にその前部開口面を撮影台１２１に向けた状態でカセット設置台１１０の一定の位置に設置されるようなになっている。
【０１０４】
撮影台１２１上には、第一のカメラユニット２０１（１）、第一の照明器２０２（１）、第二のカメラユニット２０１（２）、第二の照明器２０２（２）、第三のカメラユニット２０１（３）、第三の照明器２０２（３）、第四のカメラユニット２０１（４）及び第四の照明器２０２（４）が設置されている。第一のカメラユニット２０１（１）及び第一の照明器２０２（１）と、第二のカメラユニット２０１（２）及び第二の照明器２０２（２）とは、ウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの撮影に用いられる。また、第三のカメラユニット２０１（３）及び第三の照明器２０２（３）と、第四のカメラユニット２０１（４）及び第四の照明器２０２（４）とは、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの撮影に用いられる。
【０１０５】
天板１０３の所定部位には矩形状の測定窓が形成され、その測定窓に位置するように、カメラユニット２０３及び照明器２０６が設置されている。照明器２０６は、カセット設置台１１０に設置されたウエハ収納カセット１０の上面に設けられたハンドリング部材１５を照らし、カメラユニット２０３は、そのハンドリング部材１５を撮影する。
【０１０６】
撮影装置における第一のカメラユニット２０１（１）及び第一の照明器２０２（１）は、撮影台１２１上において図５に示すように配置される。第一のカメラユニット２０１（１）はレンズ部２０１ａ、コンバータ２０１ｂ及びカメラ本体２０１ｃ（例えば、ＣＣＤカメラ）にて構成される。レンズ部２０１ａ及びカメラ本体２０１ｃのウエハ収納カセット１０からの距離の調整、第一のカメラユニット２０１（１）の光軸の角度Ａの調整等により、第一のカメラユニット２０１（１）がウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの後端部分（図３参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第一の照明器２０２（１）のウエハ収納カセット１０からの距離の調整及びその光軸の角度Ｘの調整等により、第一の照明器２０２（１）が第一のカメラユニット２０１（１）の撮影領域を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット１０の背後の所定位置には第一のカメラユニット２０１（１）にて得られる左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分の画像と背景とのコントラストを明瞭にするためのスクリーン２０（例えば、白系の色）が配置される。
【０１０７】
第二のカメラユニット２０１（２）及び第二の照明器２０２（２）は、図６に示すように配置される。この場合も、レンズ部２０１ａ及びカメラ本体２０１ｃのウエハ収納カセット１０からの距離の調整、第二のカメラユニット２０１（２）の光軸の角度Ａの調整等により、第二のカメラユニット２０１（２）がウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分（図２参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第二の照明器２０２（２）のウエハ収納カセット１０からの距離の調整及びその光軸の角度Ｘの調整等により、第二の照明器２０２（２）が第二のカメラユニット２０１（２）の撮影領域を照らすように配置される。
【０１０８】
第三のカメラユニット２０１（３）は、第二のカメラユニット２０１（２）と同様にして（図６参照）、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの前端部分を撮影できるように配置され、第三の照明器２０２（３）は、第二の照明器２０２（２）と同様にして（図６参照）、右ウエハ支持体１３Ｒの前端部分を照らすように配置される。また、第四のカメラユニット２０１（４）は、第一のカメラユニット２０１（１）と同様にして（図５参照）、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの後端部分を撮影できるように配置され、第四の照明器２０２（４）は、第一の照明器２０２（１）と同様にして（図５参照）、右ウエハ支持体１３Ｒの後端部分を照らすように配置される。
【０１０９】
前述したように配置される各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）の撮影領域Ｅｋは、図１４及び図１５に示すように、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれにおいて隣接する棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）が含まれるように、即ち、それら棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）で形成されるスロットＳＬk（図２、図３参照）が含まれるように設定される。
【０１１０】
前述したように撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）が設置される撮影台１２１は、図７に示すように、検査台１０１（図４参照）内に設置されたリフタ装置１２０の昇降シャフト１２２の先端に固定されている。このリフタ装置１２０によって撮影装置が垂直方向に移動され、その撮影装置の撮影領域を垂直方向に順次移動させることができるようになっている。なお、撮影台１２１に設置される撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）の周りには、カセット設置台１１０に対向した面に開口を有する透明の保護板１０５が設けられている。
【０１１１】
また、撮影台１２１に対向し、検査対象となるウエハ収納カセット１０が設置されるカセット設置台１１０の所定位置には、図８に示すように、４つの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄが埋設されている。これらの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄは、ウエハ収納カセット１０の底板の対応する位置に設けられるべきパッド１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｄの有無を光学的に検出する。即ち、４つの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄにより、４つのパッド１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄの有無により表される４ビッドの情報の読取りがなされる。この４ビットの情報によりウエハ収納カセット１０に関する種々の情報を表し得る。
【０１１２】
検査装置における処理系は、図９に示すように構成される。図９において、この処理系は、処理ユニット３００、入力ユニット３０１（キーボード等）、表示ユニット３０２及び駆動制御回路３０３を有する。処理ユニット３００は、撮影台１２１に設置された各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）からの画像信号を処理して検査対象となるウエハ収納カセット１０の左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状を表す実形状データ（例えば、位置、距離等を表す）を生成する。また、処理ユニット３００は、天板１０３に設置されたカメラユニット２０３からの画像信号を処理してウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状を表す実形状データを生成する。更に、処理ユニット３００は、リフタ装置１２０の駆動制御を行う駆動制御回路３０３に対して所定の制御情報を供給する。
【０１１３】
処理ユニット３００は、前述したように生成した実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を判定し、その良否判定結果を出力する。そして、処理ユニット３００は、前述したように生成された左ウエハ支持体１３Ｌ、右ウエハ支持体１３Ｒ及びハンドリング部材１５についての実形状情報及びそれらの実形状情報に基づいた良否判定結果を表示ユニット３０２に表示させる。
【０１１４】
また、処理ユニット３００は、カセット設置台１１０に備えられた４つの光学センサ１１５ａ〜１１５ｄからの出力信号に基づいてウエハ収納カセット１０についての所定の情報を取得する。
【０１１５】
駆動制御回路３０３は、制御ユニット３００の制御のもと、リフタ装置１２０の駆動源となるモータ１２５をそのモータ１２５に対して設けられたセンサ１２６からの出力に基づいて駆動制御する。この駆動制御回路３０３は、図１０に示すように構成される。
【０１１６】
図１０において、この駆動制御回路３０３は、位置制御部３０３１、モータ駆動部３０３２、位置情報設定部３０３３、位置検出部３０３４及び比較部３０３５を有する。位置制御部３０３１は、処理ユニット３００から供給される位置指令情報に基づいてリフタ装置１２０の目標駆動量に対応する目標位置情報を出力すると共に駆動制御信号を出力する。モータ駆動部３０３２は、位置制御部３０３１からの駆動制御信号に基づいてリフタ装置１２０の駆動源となるモータ１２５に対して駆動パルス信号を出力する。位置情報設定部３０３３は、位置制御部３０３１から出力される目標位置情報を取得して保持する。位置検出部３０３４は、センサ１２６からのモータ１２５の実際の駆動量に対応した検出位置情報（例えば、モータ１２５の駆動量に対応したパルス数）を取得する。比較部３０３５は、位置情報設定部３０３３に設定された目標位置情報と位置検出部３０３４にて取得される検出位置情報とを比較し、その比較結果を位置制御部３０３１に供給する。位置制御部３０３１は、比較部３０３５からの比較結果に基づいて駆動制御信号の出力制御を行う。そして、前記目標位置情報と前記検出位置情報とが一致すると、位置制御部３０３１は、その際の比較部３０３５での比較結果に基づいて駆動制御信号の出力を停止する。その結果、リフタ装置１２０のモータ１２５が停止する。
【０１１７】
前述したように構成される駆動制御回路３０３により、モータ１２５が前記目標駆動量（位置指令情報に対応）だけ駆動される。このように駆動制御されるモータ１２５によってリフタ装置１２０の昇降シャフト１２２（図７参照）がその目標駆動量ずつ最下位位置から順次上方に移動される。例えば、その目標駆動量が左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれにおける隣接する棚板部の間隔に対応した量（スロットピッチ）に設定されると、リフタ装置１２０により撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）の撮影領域Ｅｋがそのスロットピッチずつ移動することとなる。
【０１１８】
処理ユニット３００は、図１１乃至図１３に示す手順に従って処理を行う。なお、各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）から得られる画像信号に対する処理は同じであるので、以下、各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）を撮影装置と総称して説明する。
【０１１９】
まず、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状が既知となる基準ウエハ収納ケース（良品となるウエハ収納カセット）がカセット設置台１１０に設置される。この状態で、入力ユニット３０１においてキャリブレーションモードの入力操作がなされると、処理ユニット３００は、まず、図１１に示す手順に従って処理を実行する。なお、前記既知となる実形状は、所定の絶対座標系（Ｘ−Ｙ）におけるＹ座標値及びＸ座標値（実形状データ）で表される。具体的には、図１５に示すように、各棚板部（１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）等）のウエハ支持面における所定ポイント（▽）のＹ座標値（Ｙk、Ｙk+1等）、及び各棚板部の根元部及び先端部の所定ポイント（▼）のＸ座標値（Ｘk、Ｘk+1等）で実形状が表される。
【０１２０】
図１１において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ１）後、撮影装置が撮影領域Ｅｋ（Ｅ１）の位置になるようにリフタ装置１２０の駆動制御回路３０３を制御する（Ｓ２）。これにより、図１４に示すように、最下位の棚板部１３１（１）とそれに隣接する棚板部１３２（２）を含む（スロットＳＬ１を含む）撮影領域Ｅ１が得られるように撮影装置がセットされる。この状態で、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅ１を撮影する撮影装置からの画像信号を画素単位の画像データに変換して所定のメモリに格納する（Ｓ３）。その後、処理ユニット３００は、内部カウンタｋがＮ−１に達したか否かを判定する（Ｓ４）。なお、Ｎは、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれにおける棚板部の総数である。
【０１２１】
内部カウンタｋがＮ−１に達していなければ（Ｓ４でＮＯ）、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを＋１だけインクリメントして（Ｓ５）、撮影装置が次の撮影領域Ｅk（Ｅ２）の位置になるようにリフタ装置１２０の駆動制御回路３０３を制御する（Ｓ２）。これにより、図１４に示すように、棚板部１３１（２）とそれに隣接する棚板部１３１（３）を含む（スロットＳＬ２を含む）撮影領域Ｅ２が得られるように撮影装置がセットされる。この状態で、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅ２を撮影する撮影装置からの画像信号に基づいた画像データを所定のメモリに格納する（Ｓ３）。
【０１２２】
以下、同様にして、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅｋがスロットピッチずつ移動するように撮影装置を移動させ、各撮影領域Ｅｋにて得られる画像データを順次所定のメモリに格納する（Ｓ２〜Ｓ５）。この過程で、内部カウンタｋがＮ−１に達すると、図１４に示すように、棚板部１３１（Ｎ−１）とそれに隣接する最上位の棚板部１３１（Ｎ）を含む（スロットＳＬN-1を含む）撮影領域ＥN-1を撮影する撮影装置からの画像信号に基づいた画像データが所定のメモリに格納される（Ｓ２、Ｓ３）。そして、内部カウンタｋがＮ−１に達したとの判定により（Ｓ４でＹＥＳ）、処理ユニット３００は、一連の処理を終了させる。
【０１２３】
以上のような処理により、基準ウエハ収納カセットにおける左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれにおいて隣接する棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）（ｋ＝１、２、・・・、Ｎ−１）を表すＮ−１個の画像データが処理ユニット３００に取り込まれる。
【０１２４】
次いで、処理ユニット３００は、図１２に示す手順に従った処理を実行する。図１２において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ１１）後に、以下の処理（Ｓ１２〜Ｓ１５）を実行する毎に内部カウンタｋを＋１ずつインクリメントし（Ｓ１６）、内部カウンタｋがＮ−１に達した時点で処理を終了させる。まず、前述したように取り込まれたＮ−１個の画像データからｋ番目の画像データが読み出される（Ｓ１２）。そして、この画像データに基づいて、隣接する棚板部１３１（ｋ）、棚板部１３１（ｋ＋１）の画像上での形状を特定する画像上形状データが生成される（Ｓ１３）。具体的には、図１５に示すように、画像上の画素位置を特定するための座標系（以下、画素座標系という）ｘ−ｙにおいて、各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面における所定ポイント（▽）のｙ座標値（ｙk、ｙk+1）と、各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）の根元部及び先端部の所定ポイント（▼）のｘ座標値（ｘk、ｘk+1）とが画像上形状データとして生成される。
【０１２５】
このようにして画像上形状データが得られると、その画像上形状データ（ｙk、ｙk+1、ｘk、ｘk+1）と既知となる実形状を表す前記実形状データ（Ｙk、Ｙk+1、Ｘk、Ｘk+1）との相関を表す相関データａ、ｂ、ｃ、ｄが下式に従って演算され、ｋ番目の画像（撮影領域Ｅkの画像）に対する相関データ（a、b、ｃ、ｄ）kとして処理ユニット３００に保存される（Ｓ１４）。
Ｘk＝ａ・ｘk＋ｂ ・・・（１）
Ｙk＝ｃ・ｙk＋ｄ ・・・（２）
Ｘk+1＝ａ・ｘk+1＋ｂ ・・・（３）
Ｙk+1＝ｃ・ｙk+1＋ｄ ・・・（４）
【０１２６】
処理ユニット３００は、前述した処理（Ｓ１２〜Ｓ１４）を繰り返し実行し、前記Ｎ−１個の画像データ全てについて前記相関データが得られると（Ｓ１５でＹＥＳ）、一連処理を終了させる。このようなキャリブレーションモードでの処理が終了すると、各撮影領域Ｅｋに対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）kが処理ユニット３００に保存されることになる。
【０１２７】
次に、検査対象となるウエハ収納カセット１０がカセット設置台１１０に設置され、入力ユニット１１０において検査モードの入力操作がなされると、処理ユニット３００は、図１１及び図１３に示す手順に従って処理を実行する。図１１に示す処理では、基準ウエハ収納カセットの場合と同様に、リフタ装置１２０の制御によって撮影装置の撮影領域Ｅｋが順次上昇移動される。そして、その過程で隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）を含む各撮影領域Ｅkについての画像データが処理ユニット３００に蓄積される。
【０１２８】
次いで、処理ユニット３００は、図１３に示す手順に従って処理を実行する。図１３において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ２１）後に、以下の処理（Ｓ２２〜Ｓ２６）を実行する毎に内部カウンタｋを＋１ずつインクリメントし（Ｓ２７）、内部カウンタｋがＮ−１に達した時点で、次のステップＳ２８に進む。まず、前述したように取り込んだＮ−１個の画像データからｋ番目の画像データが読み出される（Ｓ２２）。そして、この画像データに基づいて、隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面における所定ポイント（図１５における▽参照）の画素座標系ｘ−ｙ上でのｙ座標値ｙk、ｙk+1が画像上ウエハ支持面位置データとして計測される（Ｓ２３）。
【０１２９】
このようにして隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）についての画像上ウエハ支持面位置データ（ｙk、ｙk+1）の計測が終了すると、当該画像データ（撮影領域Ｅkの画像）に対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）kのｃ、ｄを用いて前記式（２）、（４）に従って、画像上ウエハ支持面位置データ（ｙk、ｙk+1）が所定の絶対座標系Ｘ−Ｙ上でのＹ座標値Ｙk、Ｙk+1に変換される（Ｓ２４）。そして、このＹ座標値Ｙk、Ｙk+1が各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面の実位置を表す実ウエハ支持面位置データとして処理ユニット３００に保存される（Ｓ２５）。
【０１３０】
処理ユニット３００は、前述した処理（Ｓ２２〜Ｓ２５）を繰り返し実行し、前記Ｎ−１個の画像データ全てについて実ウエハ支持面位置データ（Ｙk、Ｙk+1）が得られると（Ｓ２６でＹＥＳ）、保存された実ウエハ支持面位置データ（Ｙk、Ｙk+1）を用いて、図１４に示されるような隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面の間隔ΔＹk+1（各棚板部の間隔）を
ΔＹk+1＝Ｙk+1−Ｙk ・・・（５）
に従って演算する（Ｓ２８）。
【０１３１】
なお、図１４に示すように、隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）を含む撮影領域Ｅkがスロットピッチずつ移動することから、２番目の棚板部１３１（２）からＮ−１番目の棚板部１３１（Ｎ−１）のそれぞれについては画像上ウエハ支持面位置データｙkが２つずつ得られる。これに対応して、棚板部１３１（２）から棚板部１３１（Ｎ−１）のそれぞれについて実ウエハ支持面位置データＹkも２つずつ得られる。従って、棚板部１３１（２）から棚板部１３１（Ｎ−１）については、それら２つの実ウエハ支持面位置データＹkの平均値を用いてウエハ支持面の間隔ΔＹk+1が演算される（式（５）参照）。
【０１３２】
次いで、処理ユニット３００は、全ての棚板部について隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ΔＹk+1が得られると、それらの総和ΣΔＹkを演算する（Ｓ２９）。
【０１３３】
前述した処理は、第一のカメラユニット２０１（１）、第二のカメラユニット２０１（２）、第三のカメラユニット２０１（３）及び第四のカメラユニット２０１（４）からの画像信号のそれぞれに対して実行される。従って、前述した処理の結果、図１６に示すように、左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＡＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＡＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、また、左ウエハ支持体１３Ｌの後端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＢＺ１と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＢＺ２６（ΣΔＹk）とが得られる。更に、右ウエハ支持体１３Ｒについても同様に、前端部分及び後端部分のそれぞれの画像から、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５、ＤＺ２〜ＤＺ２５と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＣＺ１、ＤＺ１と、各間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５、ＤＺ２〜ＤＺ２５の総和ＣＺ２６、ＤＺ２６とが得られる。なお、図１６に示す例では、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒがそれぞれ２５個（Ｎ＝２５）の棚板部を有する構造となっている。
【０１３４】
前述したように、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒについての各棚板部の実形状を表す実形状データ（Ｙ1、ΔＹk、ΣΔＹk）が得られると、処理ユニット３００は、それらの実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を判定する（Ｓ３０）。この良否判定は、前記実形状データが所定の条件を満足するか否かに基づいてなされる。例えば、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔は全て所定の範囲内にあるか否か、前記間隔の総和は所定の範囲内にあるか否か、左ウエハ支持体１３Ｌの前後部分及び右ウエハ支持体１３Ｒの前後部分について得られた４つの前記間隔の総和の差分が所定範囲内となっているか否か等の判定がなされる。なお、この判定の項目及びその基準は、ウエハ収納カセット１０の形状的な要求などに基づいて適宜定めることができる。
【０１３５】
前記良否判定の処理が終了すると、処理ユニット３００は、検査結果を表示ユニット３０２に供給し（Ｓ３１）、その検査結果が表示ユニット３０２に表示される。この検査結果は、検査対象となるウエハ収納カセット１０についての良否判定結果、前記判定の項目それぞれの判定結果、及び図１６に示す実形状データ（Ｙ1、ΔＹk、ΣΔＹk）の全てまたは一部の任意の組み合わせとすることができる。このような検査結果が表示ユニット３０２に表示されることにより、オペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を即座に判定することができるようになる。前記のように検査結果の出力が終了すると、処理ユニット３００は、検査モードでの一連の処理を終了する。
【０１３６】
なお、前述した例では、撮影領域Ｅkをスロットピッチずつ移動させ、その過程で得られる画像に基づいて実形状データを得るようにしているが、その撮影領域Ｅkの移動ピッチは任意に定めることができる。例えば、簡易な検査でよければ、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒの下方所定部位、中間所定部位、上方所定部位の３箇所を撮影できるように撮影領域を移動させ、各部位に設定された撮影領域から得られる画像に基づいて実形状データを得るようにしてもよい。また、各撮影領域Ｅkは、連続して配列される３以上の棚板部が含まれるように設定することも、単一の棚板部だけが含まれるように設定することもできる。
【０１３７】
更に、撮影する部位は、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒの前後部分の４箇所に限られることはない。各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒそれぞれの前端部分だけを、あるいは後端部分だけを撮影するようにしてもよい。
【０１３８】
また、前記例では、全ての隣接する２つの棚板部の組について基準ウエハ収納カセットを利用して相関データを生成するようにしたが、一部の隣接する２つの棚板部の組についてのみ基準ウエハ収納カセットを利用して相関データを生成し、他の隣接する２つの棚板部の組については、補間処理によってその相関データを生成するようにしてもよい。更に、各カメラユニットの画面に絶対座標系での位置が既知となる基準点と基準ピッチとを表すスケールを写し込むようにしてもよい。この場合、その基準点の絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値（Ｘ，Ｙ）及びその基準ピッチの絶対座標系Ｘ−Ｙ上での距離と、画素座標系ｘ−ｙで表される画像上形状データ（ｘ、ｙ）との関係に基づいて当該画像上形状データを実形状データに変換することもできる。
【０１３９】
更に、また、前述した例では、絶対座標系Ｘ−ＹにおけるＸ座標値と画素座標系ｘ−ｙにおけるｘ座標値との相関関係を表す相関データａ、ｂを求めたが、実際には縦方向（Ｙ方向）の形状しか検査をしないことから、実形状データとしては、Ｙ座標値しか用いていない。このため、前記相関データａ、ｂは特に求めなくてもよい。しかし、実形状データとして絶対座標系Ｘ−ＹにおけるＸ座標値を用いる場合には、前述した例のように、前記相関データａ、ｂを求める必要がある。
【０１４０】
処理ユニット３００は、所定のタイミング、例えば、前述した左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査に先立って、ウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状を検査する。具体的には、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査と同様に、キャリブレーションモードでの処理及び検査モードでの処理が行われる。キャリブレーションモードでの処理では、ハンドリング部材の実形状データ（所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値）が既知となる基準ウエハ収納カセットの当該ハンドリング部材がカメラユニット２０３にて撮影され、そのカメラユニット２０３から出力される画像信号に対応した画像データの取り込みがなされる（図１１の手順参照）。そして、その画像データから得られる画像上形状データ（所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙでの座標値）と前記既知となる実形状データとの関係から相関データが演算される（図１２参照）。
【０１４１】
検査モードの処理では、前述した左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査の場合と同様に、検査対象となるウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５がカメラユニット２０３によって撮影され、そのカメラユニット２０３から出力される画像信号に対応した画像データの取り込みがなされる（図１１の手順参照）。そして、その画像データから得られる画像上形状データ（所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙでの座標値）を前記相関データに従って実形状データ（所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値）に変換する。ハンドリング部材１５の前記所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値に基づいて、例えば、図１７に示すように、ハンドリング部材１５の横辺及び縦辺の長さＨＦ３、ＨＦ５、ハンドリング部材１５の下横辺とウエハ収納カセット１０の前端との距離ＨＦ１、前記下横辺とノッチ部１５ａとの距離ＨＦ２、左縦辺とノッチ部１５ｂとの距離ＨＦ４、上横辺に形成された２つのノッチ部１５ｃ、１５ｄとの間隔ＨＦ６、ハンドリング部材１５の下横辺とウエハ収納カセット１０の前端縁線とのなす角度θａ等が更に実形状データとして計測される。
【０１４２】
前述したように得られた実形状データが所定の基準を満たすか否かの判定結果に基づいてウエハ収納カセット１０の良否の判定がなされる。前記実形状データ及び良否の判定結果の少なくとも一方が表示ユニット３０２に表示される。この表示ユニット３０２の表示内容に基づいてオペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状の良否を判定することができる。
【０１４３】
次に、本発明の第二の実施の形態に係るウエハ収納カセットの検査装置について説明する。この第二の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットは図１８に示すように構成される。
【０１４４】
図１８において、このウエハ収納カセット５０は、ウエハを他の作業場等に運送するために用いられるものであり、前部に開口面を有した箱体となっている。ウエハ収納カセット５０の内部において、一方の側壁（左側壁）５１には左ウエハ支持体５３Ｌが形成されると共に、他方の側壁（右側壁）５２には右ウエハ支持体５３Ｒが形成されている。左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔をもって配列された棚板部を複数備えている。
【０１４５】
また、背面壁５５には、左背面ウエハ支持体５４Ｌと、この左背面ウエハ支持体５４Ｌと右側壁５２との間に位置する右背面ウエハ支持体５４Ｒが形成されている。左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔を持って配列された後述するような構造となる複数のＶ溝支持部を備えている。
【０１４６】
左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒそれぞれの各棚板部の前端部分は図１９に示すように構成される。隣接するｋ番目の棚板部５３１（ｋ）とｋ＋１番目の棚板部５３１（ｋ＋１）との間にウエハ周辺部が挿入されるべきスロットＳＬkが形成される。そして、ウエハ周辺部が棚板部５３１（ｋ）のウエハ支持面（上面）にて支えられるようになっている。
【０１４７】
左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれは図２０に示すように構成される。図２０において、ｋ番目のＶ溝支持部５４０（ｋ）は、左右端に位置するＶ字形状の第一の溝部５４２ａ（ｋ）及び第二の溝部５４２ｂ（ｋ）と、第一の溝部５４２ａ（ｋ）の下端から張出す第一の棚板部５４１ａ（ｋ）と、第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の下端から張出す第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）とを備えた構造となっている。そして、第一の溝部５４２ａの溝線５４３ａ（ｋ）と第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ｂ（ｋ）とは同じ高さに位置すると共に、第一の棚板部５４１ａ（ｋ）の上面と第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）の上面とは同じ高さに位置するように設計されている。隣接するｋ番目のＶ溝支持部５４０（ｋ）の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）とｋ＋１番目のＶ溝支持部５４０（ｋ＋１）の棚板部５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）との間にウエハ周端部が挿入されるべきスロットＳＬkが形成される。
【０１４８】
ウエハ収納カセット５０は、ウエハ周辺部が左ウエハ支持体５３Ｌの棚板部５３１（ｋ）及びそれと対応した位置となる右ウエハ支持体５３Ｒの棚板部５３１（ｋ）に支えられると共に、その周端部が前記各棚板部５３１（ｋ）と対応した位置となる左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４ＲそれぞれのＶ溝支持部５４０（ｋ）に支持された状態でウエハを収納する。そして、ウエハ収納カセット５０の前部開口面を蓋体（図示略）で閉じると、ウエハ端部が蓋体にて僅に押され、ウエハの逆端がＶ溝支持部５４０（ｋ）における溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）に押さえつけられるようになり、当該ウエハのウエハ収納カセット５０内でのがたつきが防止される。
【０１４９】
前述したような構造のウエハ収納カセット５０を検査するための検査装置は、図２１乃至図２３に示すように構成される。なお、図２１乃至図２３は、主に、検査装置の構成部品の配置関係を示すものであり、各構成部品の固定、支持等は、周知の手法にてなされる。
【０１５０】
図２１において、検査装置１００は、検査台１０１、側板１０６、１０７及び背面板１０８を備えている。検査台１０１は、前記第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０が設置されるカセット設置台１１０と、後述するような構成となる撮影装置が設置される撮影台１２１とを備えている。また、カセット設置台１１０には、第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０の位置決め機構が設けられており、ウエハ収納カセット５０が常にその前部開口面を撮影台１２１に向けた状態でカセット設置台１１０の一定位置に設置されるようになっている。
【０１５１】
撮影台１２１上には、第一のカメラユニット２０４（１）、第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）及び第四のカメラユニット２０４（４）の四台のカメラユニットと、第一の照明器２０５（１）、第二の照明器２０５（２）及び第三の照明器２０５（３）の３台の照明器とが設置されている。第一のカメラユニット２０４（１）及び第一の照明器２０５（１）は、ウエハ収納カセット５０における左ウエハ支持体５３Ｌの撮影に用いられ、第二のカメラユニット２０４（２）及び第二の照明器２０５（２）は、ウエハ収納カセット５０における左背面ウエハ支持体５４Ｌの撮影に用いられる。また、第三のカメラユニット２０４（３）及び第二の照明器２０５（２）は、ウエハ収納カセット５０における右背面ウエハ支持体５４Ｒの撮影に用いられ、第四のカメラユニット２０４（４）及び第三の照明器２０５（３）は、右ウエハ支持体５３Ｒの撮影に用いられる。
【０１５２】
検査台１０１には、一端が検査台１０１に固定され、他端にミラー１５２ａ、１５２ｂが固定設置された板体１５１が設けられている。この板体１５１は、カセット設置台１１０に設置されたウエハ収納カセット５０の底板との間に所定の隙間をもってカセット収納カセット５０内に延びており、２つのミラー１５２ａ、１５２ｂがウエハ収納カセット５０の背面壁５５近傍に位置するようになっている。ミラー１５２ａは、後述するように、左背面ウエハ支持体５４Ｌの側端部分の像を第二のカメラユニット２０４（２）に導くようにその向きが設定されている。また、ミラー１５２ｂは、右背面ウエハ支持体５４Ｒの側端部分の像を第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにその向きが設定されている。
【０１５３】
撮影装置における第一のカメラユニット２０４（１）及び第一の照明器２０５（１）は、撮影台１２１上において図２２に示すように配置される。レンズ部２０４ａ、コンバータ２０４ｂ及びカメラ本体２０４ｃ（例えば、ＣＣＤカメラ）にて構成される第一のカメラユニット２０４（１）のレンズ部２０４ａ及びカメラ本体２０４ｃのウエハ収納カセット５０からの距離の調整、第一のカメラユニット２０４（１）の光軸の角度Ａの調整等により、第一のカメラユニット２０４（１）がウエハ収納カセット５０における左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分（図１９参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第一の照明器２０５（１）のウエハ収納カセット５０からの距離の調整及びその光軸の角度の調整（ウエハ収納カセット５０の中心軸に略平行）等により、第一の照明器２０５（１）が第一のカメラユニット２０４（１）の撮影領域を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット５０の背後の所定位置には第一のカメラユニット２０４（１）にて得られる左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分の画像と背景とのコントラストが明瞭にするためのスクリーン６０（例えば、白系の色）が配置される。
【０１５４】
第二のカメラユニット２０４（２）及び第二の照明器２０５（２）は、図２３に示すように配置される。レンズ部２０４ａ及びカメラ本体２０４ｃのウエハ収納カセット５０からの距離の調整、第二のカメラユニット２０４（２）の光軸の角度Ａの調整等により、第二のカメラユニット２０４（２）がミラー１５２ａに映し出される像を撮影できるように配置される。ミラー１５２ａは、その角度α及び左背面ウエハ支持体５４Ｌとの距離ｍが第二のカメラユニット２０４（２）の前記位置及び向きの調整に対応して調整され、左背面ウエハ支持体５４Ｌの両側端部分（図２０に示す各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）における第一の棚板部５４１ａ（ｋ）及び第一の溝部５４２ａ（ｋ）側の部分と、第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）及び第二の溝部５４２ｂ（ｋ）側の部分）の所定範囲（計測部）の像を第二のカメラユニット２０４（２）に導くように配置される。また、第二の照明器２０５（２）のウエハ収納カセット５０からの距離の調整及びその光軸の調整等により、第二の照明器２０５（２）がミラー１５２ａに映し出される左背面ウエハ支持体５４Ｌの所定範囲を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット５０の側方の所定位置には第二のカメラユニット２０４（２）にて得られる左背面ウエハ支持体５４Ｌの両側端部分の画像と背景とのコントラストを明瞭にするためのスクリーン６１（例えば、黒系の色）が配置される。
【０１５５】
第三のカメラユニット２０４（３）及びミラー１５２ｂは、第二のカメラユニット２０４（２）及びミラー１５２ａと同様にして（図２３参照）、右背面ウエハ支持体５４Ｒの両側端部分の所定範囲を撮影できるようにそれぞれ配置される。第二の照明器２０５（２）は、前述したようにミラー１５２ａに映し出される左背面ウエハ支持体５４Ｌの所定範囲を照らすと共に、ミラー１５２ａと同様にミラー１５２ｂが映し出す右背面ウエハ支持体５４Ｒの所定範囲を照らすように配置される。また、第四のカメラユニット２０４（４）は、第一のカメラユニット２０４（１）と同様にして（図２２参照）、ウエハ収納カセット５０における右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分を撮影できるように配置され、第三の照明器２０５（３）は、第一の照明器２０５（１）と同様にして（図２２参照）、右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分を照らすように配置される。
【０１５６】
前述したように配置される第一のカメラユニット２０４（１）及び第四のカメラユニット２０４（４）の撮影領域Ｅｋは、前記第一の実施の形態における第一のカメラユニット２０１（１）及び第四のカメラユニット２０１（４）と同様に、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒのそれぞれにおいて隣接する棚板部５３１（ｋ）、５３１（ｋ＋１）が含まれるように設定される（図１４及び図１５参照）。また、前述したように配置される第二のカメラユニット２０４（２）及び第三のカメラユニット２０４（３）の撮影領域Ｅkは、図２４に示すように、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれにおいて隣接するＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の両側端部分が含まれるように設定される。
【０１５７】
前述したように撮影装置（各カメラユニット２０４（１）〜２０４（４）等）が設置される撮影台１２１は、前記第一の実施の形態と同様に、リフタ装置１２０により昇降可能となっている（図７参照）。また、カセット設置台１１０の所定位置には、前記第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０の底板に設けられた複数のパッドの有無を光学的に検出するための複数の光学センサが埋設されている（図８参照）。更に、検査装置における処理系は、前記第一の実施の形態と同様に、図９及び図１０に示すように構成される。
【０１５８】
前述したような構成となる第二の実施の形態に係る検査装置は、前記第一の実施の形態と同様に、キャリブレーションモードでの処理及び検査モードでの処理により、ウエハ収納カセット５０の左ウエハ支持体５３Ｌ、右ウエハ支持体５３Ｒ、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの実形状を検査する。
【０１５９】
まず、基準ウエハ収納カセット（良品となるウエハ収納カセット）がカセット設置台１１０に設置され、第一の実施の形態と同様に、図１１及び図１２に示す手順に従ってキャリブレーションモードでの処理が実行される。このキャリブレーションモードでの処理では、各撮影領域Ｅkでの画像を表す画像データに基いて相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）kが生成される（前記式（１）〜（４）参照）。基準ウエハ収納カセットは、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒの各棚板部のウエハ支持面における所定ポイントの絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値及びＸ座標値（図１５参照）が実形状データとして既知となる。また、図２０に示す左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの各Ｖ溝支持部（５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）等）の各棚板部（５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）等）の上面の所定ポイント及び各溝部（５４２ａ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１）、５４２ｂ（ｋ＋１）等）の溝線（５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ＋１）等）の絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値及びＸ座標値が実形状データとして既知となる。
【０１６０】
左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについては、前記第一の実施の形態と同様に、各撮影領域Ｅk（図１５参照）に対して一組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）kが生成される。また、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについては、図２４に示すような各撮影領域Ｅkに対して、隣接する第一の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第一の溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１）の溝線５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）の計４組の相関データが生成される。これは、カメラユニットにて撮影される部位に対する視差に応じて画像上の形状と実際の形状との相関関係が異なることから、その視差（Ｘ軸方向の位置）に応じてより適した相関データを得るためである。
【０１６１】
前記キャリブレーションモードでの処理が終了すると、検査対象となるウエハ収納カセット５０がカセット設置台１１０に設置され、検査モードでの処理が図１１及び図１３に示す手順に従って実行される。この検査モードでの処理は、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについては、前記第一の実施の形態と同様に、各撮影領域Ｅkから得られた画像データに基づいて各棚板部のウエハ支持面における所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙにおけるｙ座標値（ｙk，ｙk+1）が画像上形状データとして得られる。そして、そのｙ座標値（ｙk，ｙk+1）が当該撮影領域Ｅｋに対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）ｋにおけるｃ、ｄを用いて絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値（Ｙk、Ｙk+1）に変換される（前記式（２）、（４）参照）。このＹ座標値（Ｙk、Ｙk+1）が実形状データとして得られる。また、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ΔＹk+1（前記式（５）参照）及びそれら間隔の総和ΣΔＹkが実形状データとして算出される。
【０１６２】
左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについては、各撮影領域Ｅk（図２４参照）から得られた画像データに基づいて、各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の各棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）の上面における所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙにおけるｙ座標値（ｙak、ｙbk、ｙak+1、ｙbk+1）が画像上形状データとして得られる。また、各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の各溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ＋１）の画素座標系ｘ−ｙでのｙ座標値（ｙavk，ｙbvk、ｙavk+1、ｙbvk+1）が画像上形状データとして得られる。そして、隣接する第一の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）の上面のｙ座標値（ｙak、ｙak+1）、隣接する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１）の上面のｙ座標値（ｙbk、ｙbk+1）、隣接する第一の溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）のｙ座標値（ｙavk、ｙavk+1）、及び隣接する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１）の溝線５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）のｙ座標値（ｙbvk、ｙbvk+1）のそれぞれが対応する相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）のｃ、ｄを用いて絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値（Ｙak、Ｙak+1）、（Ｙbk、Ｙbk+1）、（Ｙavk、Ｙavk+1）、（Ｙbvk、Ｙbvk+1）に変換され（前記式（２）、（４）参照）、これらのＹ座標値（Ｙak、Ｙak+1）、（Ｙbk、Ｙbk+1）、（Ｙavk、Ｙavk+1）、（Ｙbvk、Ｙbvk+1）が実形状データとして得られる。
【０１６３】
更に、例えば、各第一の棚板部５４１ａ（ｋ）の上面のＹ座標値Ｙakと対応する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）の上面のＹ座標値Ｙbkとの平均値がＶ溝支持部５４０の棚板部の上面のＹ座標値Ｙkとして演算され、各第一の溝部５４２ａ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）のＹ座標値Ｙavkと対応する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ｂ（ｋ）のＹ座標値Ｙbvkとの平均値がＶ溝支持部５４０の溝線のＹ座標値Ｙvkとして演算される。また、更に、隣接する２つのＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）について得られた前記棚板部のＹ座標値（Ｙk、Ｙk+1）に基づいて棚板部の間隔ΔＹk+1（前記式（５）参照）が算出されると共にそれらの総和ΣΔＹkが算出され、隣接する２つのＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）について得られた前記溝線のＹ座標値（Ｙvk、Ｙvk+1）に基づいて溝線の間隔ΔＹvk+1（前記式（５）参照）が算出されると共にそれらの総和ΣΔＹvkが算出される。
【０１６４】
前述した処理の結果、図２５に示すように、前記第一の実施の形態と同様に、左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＡＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＡＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、また、右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＤＺ２〜ＤＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＤＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＤＺ２〜ＤＺ２５の総和ＤＺ２６（ΣΔＹk）とが得られる。更に、左背面ウエハ支持体５４Ｌの画像から、隣接する２つのＶ溝支持部における棚板部の上面の間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＢＺ１（Ｙ1）と、各間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５の総和ＢＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、隣接する２つのＶ溝支持部における溝線の間隔ＥＺ２〜ＥＺ２５（ΔＹvk）と、一番目の溝線の水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＥＺ１（Ｙv1）と、各間隔ＥＺ２〜ＥＺ２５の総和ＥＺ２６（ΣΔＹvk）とが得られる。また、右背面ウエハ支持体５４Ｒの画像から、前記と同様に、隣接する２つＶ溝支持部における棚板部の上面の間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＣＺ１（Ｙ1）と、各間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５の総和ＣＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、隣接する２つのＶ溝支持部における溝線の間隔ＦＺ２〜ＦＺ２５（ΔＹvk）と、一番目の溝線の水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＦＺ１（Ｙv1）と、各間隔ＦＺ２〜ＦＺ２５の総和ＦＺ２６（ΣΔＹvk）とが得られる。
【０１６５】
前述したように、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについての各棚板部の実形状を表す実形状データ（Ｙ１、ΔＹｋ、ΣΔＹk）、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについての各棚板部及び溝線の実形状を表す実形状データ（Ｙ１、ΔＹk、ΣΔＹk，Ｙv1、ΔＹvk，ΣΔＹvk）が得られると、前記第一の実施の形態と同様に、それらの実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット５０の良否判定がなされる。そして、この良否判定が終了すると、その検査結果が表示ユニットに表示される。この検査結果は、前記第一の実施の形態と同様に、検査対象となるウエハ収納カセット５０についての良否判定結果、判定の項目それぞれの判定結果、及び図２５に示す実形状データ（Ｙ1、ΔＹk、ΣΔＹk、Ｙv1、ΔＹvk、ΣΔＹvk）の全てまたは一部の任意の組み合わせとすることができる。このような検査結果が表示ユニットに表示されることにより、オペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット５０の良否を即座に判定することができるようになる。前記のように検査結果の出力が終了すると、検査モードでの一連の処理は終了する。
【０１６６】
なお、前記第二の実施の形態では、ミラー１５２ａ、１５２ｂにて左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持面５４Ｒの両側端部分の像を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにしているが、他の光学系（ミラー、レンズ、ファイバー等）によって前記像を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにすることもできる。
【０１６７】
また、前記第二の形態では、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの両側端部分を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）にて撮影するようにしているが、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの一方の側端部分だけを撮影するようにしてもよい。
【０１６８】
各カメラユニット２０４（１）〜２０４（４）の撮影領域Ｅkは、図２４に示すものに限られず、前記第一の実施の形態において記載したように、適宜設定することができる。また、撮影領域Ｅｋの移動ピッチも、検査の目的（詳細検査、簡易検査等）に応じて適宜設定することができる。
【０１６９】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置及び方法によれば、ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影装置で撮影し、その結果得られた前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を実形状情報に変換するようにしているので、その実形状情報に基づいてウエハ収納カセットをより精度良く検査することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットを示す図である。
【図２】図１に示すウエハ収納カセットのウエハ支持体の前端部分の構造を示す図である。
【図３】図１に示すウエハ収納カセットのウエハ支持体の後端部分の構造を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る検査装置の構成を示す図である。
【図５】図４に示す検査装置における第一のカメラユニット及び第一の照明器の配置を示す図である。
【図６】図４に示す検査装置における第二のカメラユニット及び第二の照明器の配置を示す図である。
【図７】図４に示す検査装置が備えるリフタ装置を示す図である。
【図８】図４に示す検査装置におけるカセット設置台及び撮影台の状態を示す図である。
【図９】図４に示す検査装置における処理系の構成を示すブロック図である。
【図１０】図９に示す処理系における駆動制御回路の具体的な構成を示すブロック図である。
【図１１】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その１）を示すフローチャートである。
【図１２】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その２）を示すフローチャートである。
【図１３】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その３）を示すフローチャートである。
【図１４】ウエハ支持体の棚板部の構造と撮影領域との関係とを示す図である。
【図１５】撮影領域と隣接する２つの棚板部の計測ポイントとを示す図である。
【図１６】図４に示す検査装置による測定結果を示す図である。
【図１７】ウエハ収納カセットの上面に設けられたハンドリング部材１５の具体的な形状を表す図である。
【図１８】本発明の第二の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットを示す図である。
【図１９】左右ウエハ支持体それぞれの前端部分の構造を示す図である。
【図２０】左右背面ウエハ支持体それぞれの構造を示す図である。
【図２１】本発明の第二の実施の形態に係る検査装置の構成を示す図である。
【図２２】図２１に示す検査装置における第一のカメラユニット及び第一の照明器の配置示す図である。
【図２３】図２１に示す検査装置における第二のカメラユニット、第二の照明器、及びミラーの配置を示す図である。
【図２４】左右背面ウエハ支持体それぞれについての撮影領域を示す図である。
【図２５】図２１に示す検査装置による測定結果を示す図である。
【符号の説明】
１０ ウエハ収納カセット
１１ 左側壁
１２ 右側壁
１３Ｌ 左ウエハ支持体
１３Ｒ 右ウエハ支持体
１５ ハンドリング部材
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ パッド
２０ スクリーン
５０ ウエハ収納カセット
５１ 左側壁
５２ 右側壁
５３Ｌ 左ウエハ支持体
５３Ｒ 右ウエハ支持体
５４Ｌ 左背面ウエハ支持体
５４Ｒ 右背面ウエハ支持体
５５ 背面
６０、６１ スクリーン
１００ 検査装置
１０１ 検査台
１０２ 背面版
１０３ 天板
１０６、１０７ 側板
１０８ 背面板
１１０ カセット設置台
１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄ 光学センサ
１２０ リフタ装置
１２１ 撮影台
１２２ 昇降シャフト
１２５ モータ
１２６ エンコーダ
１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１） 棚板部
１５１ 板体
１５２ａ、１５２ｂ ミラー
２０１（１）、２０４（１） 第一のカメラユニット
２０１（２）、２０４（２） 第二のカメラユニット
２０１（３）、２０４（３） 第三のカメラユニット
２０１（４）、２０４（４） 第四のカメラユニット
２０１ａ、２０４ａ レンズ部
２０１ｂ、２０４ｂ コンバータ
２０１ｃ、２０４ｃ カメラ本体
２０２（１）、２０５（１） 第一の照明器
２０２（２）、２０５（２） 第二の照明器
２０２（３）、２０５（３） 第三の照明器
２０２（４） 第四の照明器
２０３ カメラユニット
２０６ 照明器
３００ 処理ユニット
３０１ 入力ユニット
３０２ 表示ユニット
３０３ 駆動制御回路
３０３１ 周波数制御部
３０３２ 駆動パルス出力部
３０３３ 駆動パルスカウンタ
３０３４ 出力パルスカウンタ
３０３５ 比較器
５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１） Ｖ溝支持部
５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１） 第一の棚板部
５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１） 第二の棚板部
５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１） 第一の溝部
５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１） 第二の溝部
５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）溝線
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハを整列収納するためのウエハ収納カセットの内部形状を検査するための検査装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハ（以下、単にウエハという）の製造工程あるいは運送過程で用いられるウエハ収納カセットの検査装置が提案されている（特許文献１参照）。この従来のウエハ収納カセットの検査装置は、ウエハ収納カセットのウエハを収納するためのスリットが位置すべき高さに設置された一対の光学センサを有し、その一対の光学センサでの光検出の有無に基づいて前記スリットが正規の位置にあるか否かを判定している。また、この従来のウエハ収納カセットの検査装置は、ウエハ収納カセットの設置位置に対して所定の関係となる位置に設置された反射型の光学センサを有し、その光学センサでの光検出の有無に基づいて前記設置位置に設置されたウエハ収納カセットに歪みがあるか否かを判定している。
【０００３】
このような従来のウエハ収納カセットの検査装置は、簡易な構造によりウエハ収納カセットの変形や歪みを判定することができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２３３４２７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述したような従来のウエハ収納カセットの検査装置では、ウエハ収納カセットの所定部位が本来位置すべき位置にあるか否かを光学センサでの光検出の有無に基づいて判定しているだけなので、その所定部位の寸法が本来あるべき寸法からどの程度ずれているか否かなど、精度の良い検査を行うことができない。近年、ウエハの大口径化に伴って、ウエハ収納カセットの寸法精度が非常に重要になっており、このような状況に対して前述したような従来のウエハ収納カセットの検査装置は充分に対応し得るものではない。例えば、前記ウエハ収納カセットのスリットが正規の位置にあるか否かを前記一対の光学センサでの光検出の有無に基づいて判定する方法では、前記スリット幅より小さい分解能をもってウエハ収納カセットの良否を判定することができない。
【０００６】
本発明は、前述したような問題に鑑みてなされたもので、ウエハ収納カセットをより精度良く検査することができるようなウエハ収納カセットの検査装置及び方法を提供するものである。
【０００７】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査対象となるウエハ収納カセットを設置する設置台と、前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から当該処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有し、前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなる構成となる。
【０００８】
このような構成により、ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影する撮影装置からの画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報がまず生成され、次いで、その画像上形状情報から処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記所定部位の実形状を表す実形状情報が生成される。このようにウエハ収納カセット内部の所定部位の実形状を表す実形状情報が生成されるので、その実形状情報に基づいて前記所定部位の実形状の適否を判定できるようになる。
【０００９】
前記所定の変換情報は、撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物体の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物体の形状を表すための基準との関係に基づいて定めることができる。また、前記画像上形状情報は、前記所定部位の形状に関する情報であれば特に限定されず、例えば、位置、距離等の情報となる。更に、実形状情報も、前記所定部位の実形状に関する情報であれば特に限定されず、例えば、位置、距離等の情報となる。
【００１０】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成するように構成することができる。
【００１１】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系において撮影された所定部位の位置を表す画像上位置情報が生成され、その画像上位置情報が所定の絶対座標系における実位置情報に変換される。そして、その実位置情報に基づいた実形状情報が生成される。
【００１２】
前記所定の絶対座標系は、設置台に設置されたウエハ収納カセットの実形状を表しうるものであれば任意に設定することができる。そして、前記変換情報は、前記画像座標系と絶対座標系との関係を表すものとして定めればよい。
【００１３】
前記実位置情報に基づいた実形状情報は、前記実位置情報そのものであっても、前記実位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００１４】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記処理ユニットに予め保存されて前記実形状情報生成手段にて用いられる変換情報は、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットから得られた前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて定められたものとなる構成とすることができる。
【００１５】
このような構成により、基準ウエハ収納カセットの所定部位の実形状を基準として検査対象となるウエハ収納カセットの所定部位の実形状を検査することができるようになる。
【００１６】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が側壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を所定数の棚板部の所定部分とした構成とすることができる。
【００１７】
このような構成により、側壁に配列される複数の棚板部における所定数の棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００１８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を隣接する２つの棚板部の所定部分とした構成とすることができる。
【００１９】
このような構成により、隣接する２つの棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、隣接した２つの棚板部で形成されるスロットの実形状を検査することができるようになる。
【００２０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の前端部分を前記所定部位として撮影するようにした構成とすることができる。
【００２１】
このような構成により、所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記前端部分についての実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の後端部分を前記所定部位として撮影するようにした構成とすることができる。
【００２３】
このような構成により、所定数の棚板部の後端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記後端部分についての実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置が、前記所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００２５】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて所定数の棚板部の後端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部の前記前端分及び後端部分の実形状情報から、各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２６】
前記第一の撮影ユニットによる前記前端部分の撮影と、前記第二の撮影ユニットによる前記後端部分の撮影とは、同時になされても、異なるタイミングでなされてもよい。効率的な検査が可能となるという観点からは、前記両撮影は同時になされることが好ましい。
【００２７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、一方の側壁に垂直方向に配列される複数の棚板部を備えた第一のウエハ支持体と、他方の側壁に垂直方向に配列される複数の棚板部を備えた第二のウエハ支持体とを備えたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置が、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第三の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数の棚板部の後端部分を照らす光源と前記後端部分を撮影するカメラとを有する第四の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００２８】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部の前端部分の実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部の後端部分の実形状情報がれられる。また、第三の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部の前端部分の実形状情報が得られ、第四の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部の後端部分の実形状情報が得られる。一方の側壁における各棚板部の前記前端部分及び後端端部分についての実形状情報から、一方の側壁における各棚板部の実形状を検査することができると共に、他方の側壁における各棚板部の前記前端部分及び後端部分についての実形状情報から、他方の側壁における各棚板部の実形状を検査することができるようになる。
【００２９】
前記第一の撮影ユニットによる撮影と、前記第二の撮影ユニットによる撮影と、前記第三の撮影ユニットによる撮影と、前記第四の撮影ユニットによる撮影とは、全て異なるタイミングでなされても、全て同時になされてもよい。更に、任意に組み合わせた撮影を同時に行うこともできる。効率的な検査が可能になるという観点からは、任意に組み合わせた撮影を同時に行うことが好ましく、更に、全ての撮影が同時になされることがより好ましい。
【００３０】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報を生成するように構成することができる。
【００３１】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報が生成され、その画像上ウエハ支持面位置情報が所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換される。そして、その実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各棚板部のウエハ支持面の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００３２】
前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報は、前記実ウエハ支持面位置情報そのものであっても、前記実ウエハ支持面情報から得られる形状情報であってもよい。
【００３３】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各棚板部に対する前記実ウエハ支持面位置情報に基づいて前記各棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するように構成することができる。
【００３４】
このような構成により、各棚板部の間隔を表す実形状情報から、隣接する２つの棚板部で形成されるスロットの幅を検査することができるようになる。
【００３５】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数の棚板部の所定部分を含む前記撮影装置の撮影領域を前記複数の棚板部の配列方向に移動させる撮影領域移動手段を有する構成とすることができる。
【００３６】
このような構成により、撮影領域の移動がなされ、側壁に配列された複数の棚板部において所定数の棚板部の所定部分の実形状を表す実形状情報を複数得ることができることとなる。この複数の実形状情報から、前記複数の棚板部のより広い範囲における各棚板部の実形状を検査できるようになる。
【００３７】
前記撮影領域移動手段による撮影領域の移動手法については特に限定されず、像を撮影装置に導くための光学系を切替えるものであっても、撮影装置と検査対象となるウエハ収納カセットとを相対的に移動させるものであってもよい。
【００３８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影装置を前記複数の棚板部の配列方向に移動させるリフタ装置を有する構成とすることができる。
【００３９】
このような構成により、撮影装置がリフタ装置によって検査対象となるウエハ収納カセットにおける複数の棚板部の配列方向に移動させられることとなる。その結果、撮影装置の撮影領域が前記複数の棚板部の配列方向に移動する。
【００４０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記複数の棚板部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域をステップ的に移動させるようにした構成とすることができる。
【００４１】
このような構成により、複数の棚板部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られることとなる。その結果、得られた実形状情報に基づいて側壁に形成された複数の棚板部全体の実形状を検査することができるようになる。
【００４２】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影領域を前記複数の棚板部の間隔に対応した所定量ずつ移動させるようにした構成とすることができる。
【００４３】
このような構成により、所定数の棚板部の所定部位を含む撮影領域が棚板部の間隔に対応した所定量ずつ移動させられる過程で、複数の棚板部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られ、複数の実形状情報が得られる棚板部も存在しうる。そのように各棚板部について得られた実形状情報に基づいて前記複数の棚板部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００４４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各棚板部についての実ウエハ支持面位置情報に基づいて少なくとも前記各棚板部の間隔及び前記複数の棚板部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００４５】
このような構成により、複数の棚板部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報が生成され、その画像上ウエハ支持面位置情報が所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換される。その結果、前記複数の棚板部全てについて実ウエハ支持面位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各棚板部についての実ウエハ支持面位置情報に基づいて少なくとも各棚板部の間隔及び前記複数の棚板部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このような実形状情報から、前記複数の棚板部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００４６】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハの端部を支持するＶ溝支持部が背面壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を所定数のＶ溝支持部の所定部分とした構成とすることができる。
【００４７】
このような構成により、背面壁に配列される複数のＶ溝支持部における所定数のＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００４８】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影装置にて撮影されるべき前記所定部位を隣接する２つのＶ溝支持部の所定部分とした構成とすることができる。
【００４９】
このような構成により、隣接する２つのＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。この実形状情報から、隣接した２つのＶ溝支持部の各棚板部で形成されるスロットの実形状を検査することができるようになる。
【００５０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記ウエハ収納カセットの前部開口面に対向して設置された前記撮影装置に導く光学系を有し、前記撮影装置が前記支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００５１】
このような構成により、ウエハ収納カセットの前部開口面に対向した撮影装置に向けて開放する溝部を有する各Ｖ溝支持部の側端部分の像が光学系により撮影装置に導かれ、撮影装置が各Ｖ溝支持部の側端部分を撮影する。そのため、各Ｖ溝支持部の側端部分の実形状を表す実形状が得られることとなる。各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記光学系が、前記所定数のＶ溝支持部の両側端部分の像を前記映像装置に導くように設定された構成とすることができる。
【００５３】
このような構成により、各Ｖ溝支持部の両側端部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各Ｖ溝支持部の両側端部分についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００５４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、更に、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が側壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置が、前記側壁に形成された所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００５５】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて側壁に形成された所定数の棚板部の前端部分の実形状を表す実形状情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号に表される画像に基づいて背面壁に形成された所定数のＶ溝支持部の所定部分の実形状を表す実形状情報が得られることとなる。各棚板部についての実形状情報と各Ｖ溝支持部についての実形状情報とに基づいて各棚板部及び各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５６】
前記第一の撮影ユニットによる前記所定数の棚板部の前端部分の撮影と、前記第二の撮影ユニットによる前記所定数のＶ溝支持部の所定部分の撮影とは、同時になされても、異なるタイミングでなされてもよい。効率的な検査が可能となるという観点からは、前記両撮影は同時になされることが好ましい。
【００５７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第二の撮影ユニットのカメラに導く光学系を有し、前記第二の撮影ユニットが前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００５８】
このような構成により、第二の撮影ユニットにて所定数のＶ溝支持部の側端部分が撮影され、それにより得られた画像上形状情報から実形状情報が生成される。前記各棚板部の実形状とともに、各Ｖ溝支持部の側端部についての実形状情報から、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００５９】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が一方の側壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第一のウエハ支持体と、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハ端部を支持するＶ溝支持部が前記背面壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第二のウエハ支持体と、収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が他方の側壁に垂直方向に配列されるように複数形成された第三のウエハ支持体と、前記前部開口面に向けて開放するＶ字状の溝部と該溝部の下端から前記前部開口面に向かって張出す棚板部とを有して収納されるウエハ端部を支持するＶ溝支持部が前記背面壁の前記第二のウエハ支持体と前記他方の側壁との間に垂直方向に配列されるように複数形成された第四のウエハ支持体とを有するウエハ収納カセットを検査対象とし、前記撮影装置は、前記第一のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第一の撮影ユニットと、前記第二のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第二の撮影ユニットと、前記第三のウエハ支持体における所定数の棚板部の前端部分を照らす光源と前記前端部分を撮影するカメラとを有する第三の撮影ユニットと、前記第四のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の所定部分を照らす光源と前記所定部分を撮影するカメラとを有する第四の撮影ユニットとを有する構成とすることができる。
【００６０】
このような構成により、第一の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて一方の側壁における所定数の棚板部（第一のウエハ支持体）の前端部分の実画像情報が得られ、第二の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて背面壁における所定数のＶ溝支持部(第二のウエハ支持体)の所定部分の実形状情報が得られる。また、第三の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて他方の側壁における所定数の棚板部(第三のウエハ支持体)の前端部分の実形状情報が得られ、第四の撮影ユニットから得られる画像信号にて表される画像に基づいて背面壁の第二のウエハ支持体と前記他方の側壁との間における所定数のＶ溝支持部(第四のウエハ支持体)の所定部分の実形状情報が得られる。前記一方の側壁における各棚板部の前端部分についての実形状情報と前記他方の側壁における各棚板部の前端部分についての実形状情報から、両側壁における各棚板部の実形状を検査することができると共に、背面壁における各Ｖ溝支持部の所定部分についての実形状情報から各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００６１】
前記第一の撮影ユニットによる撮影と、前記第二の撮影ユニットによる撮影と、前記第三の撮影ユニットによる撮影と、前記第四の撮影ユニットによる撮影とは、全て異なるタイミングでなされても、全て同時になされてもよい。更に、任意に組み合わせた撮影を同時に行うこともできる。効率的な検査が可能になるという観点からは、任意に組み合わせた撮影を同時に行うことが好ましく、更に、全ての撮影が同時になされることがより好ましい。また、ウエハ収納カセットの背面壁においてＶ溝支持部が垂直方向に配列されてなる第二のウエハ支持体及び第四のウエハ支持体それぞれの所定部分を照らす第二の撮影ユニット及び第四の撮影ユニットにおける各光源は、共通化することも別体とすることもできる。
【００６２】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記第二のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第二の撮影ユニットのカメラに導く第一の光学系と、前記第四のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分の像を前記第四の撮影ユニットのカメラに導く第二の光学系とを有し、前記第二の撮影ユニットが前記第二のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影すると共に、前記第四の撮影ユニットが前記第四のウエハ支持体における前記所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影するようにした構成とすることができる。
【００６３】
このような構成により、第二のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影する第二の撮影ユニットからの画像信号にて表される画像に基づいて第二のウエハ支持体における各Ｖ溝支持体の側端部分についての実形状情報が得られ、また、第四のウエハ支持体における所定数のＶ溝支持部の側端部分を撮影する第四の撮影ユニットからの画像信号にて表される画像に基づいて第四のウエハ支持体における各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形状情報が得られる。これら各Ｖ溝支持部の側端部分についての実形形状情報により、各Ｖ溝支持部の実形状を検査することができるようになる。
【００６４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の位置を表す画像上溝線位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上溝線位置情報を所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実溝位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００６５】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の位置を表す画面上溝線位置情報が生成され、その画像上溝線一情報が所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換される。そして、その実溝線位置に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各Ｖ溝支持部の溝線の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００６６】
前記実溝線位置情報に基づいた実形状情報は、前記実溝線位置情報そのものであっても、前記実溝線位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００６７】
また、本発明にかかるウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、前記画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段は、前記所定の変換情報を用いて前記画像上棚板面位置情報を所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実棚板面位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００６８】
このような構成により、画像上に設定される画像座標系にて各棚板部の上面位置を表す画面上棚板面位置情報が生成され、その画面上棚板面位置情報が所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換される。そして、その実棚板面位置情報に基づいた実形状情報が生成される。この実形状情報により、各棚板部の上面の実位置に基づいた実形状を検査することができるようになる。
【００６９】
前記実棚板面位置情報に基づいた実形状情報は、前記実棚板面位置情報そのものであっても、前記実棚板面位置情報から得られる形状情報であってもよい。
【００７０】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各Ｖ溝支持部における溝部の溝線に対する実溝位置情報に基づいて前記溝線の間隔を表す実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００７１】
このような構成により、各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔を表わす実形状情報から、隣接する２つのＶ溝支持部で形成されるスロットのピッチを検査することができるようになる。
【００７２】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記実形状情報生成手段が、前記各Ｖ溝支持部における棚板部に対する実棚板面位置情報に基づいて前記棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するようにした構成とすることができる。
【００７３】
このような構成により、各Ｖ溝支持部の棚板部の間隔を表す実形状情報から、隣接する２つのＶ溝支持部の棚板部で形成されるスロットの幅を検査することができるようになる。
【００７４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記所定数のＶ溝支持部を含む前記撮影装置の撮影領域を前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させる撮影領域移動手段を有する構成とすることができる。
【００７５】
このような構成により、撮影領域の移動がなされ、背面壁に配列された複数のＶ溝支持部において所定数のＶ溝支持部の所定部位の実形状を表す実形状情報を複数得ることができることとなる。この複数の実形状情報から、前記複数のＶ溝支持部のより広い範囲における各Ｖ溝支持部の実形状を検査できるようになる。
【００７６】
前記撮影領域移動手段による撮影領域に移動手法については特に限定されず、撮影装置を移動させても、検査対象となるウエハ収納カセットを移動させても、更に、撮影装置に各Ｖ溝支持部の所定部分の像を導く光学系を切替えるようにしてもよい。
【００７７】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影装置を前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させるリフタ装置を有する構成とすることができる。
【００７８】
このような構成により、撮影装置がリフタ装置によって検査対象となるウエハ収納カセットにおける複数のＶ溝支持部の配列方向に移動させられることとなる。その結果、撮影装置の撮影領域が前記複数のＶ溝支持部の配列方向に移動する。
【００７９】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域をステップ的に移動させるようにした構成とすることができる。
【００８０】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られることとなる。その結果、得られた実形状情報に基づいて背面壁に形成された複数のＶ溝支持部全体の実形状を検査することができるようになる。
【００８１】
また、更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記撮影領域移動手段が、前記撮影領域を前記複数のＶ溝支持部の間隔に対応した所定量ずつ移動させるようにした構成とすることができる。
【００８２】
このような構成により、所定数のＶ溝支持部の所定部位を含む撮影領域がＶ溝支持部の間隔に対応した所定量ずつ移動させられる過程で、複数のＶ溝支持部のそれぞれについて少なくとも１つの実形状情報が得られ、複数の実形状情報が得られるＶ溝支持部も存在しうる。そのように各Ｖ溝支持部について得られた実形状情報に基づいて前記複数のＶ溝支持部の実形状をより精度よく検査することができるようになる。
【００８３】
本発明にかかるウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部の溝部における溝線の位置を表す画像上溝線位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状生成手段が、前記所定の変換情報を用いて前記画像上溝線位置情報を所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各Ｖ溝支持部についての実溝線位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各溝線の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００８４】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部の溝部における溝線の位置を表す画像上溝線位置情報が生成され、その画像上溝線位置情報が所定の絶対座標系における実溝線位置情報に変換される。その結果、前記複数のＶ溝支持部全てについて実溝線位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各Ｖ溝支持部についての実溝線位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における溝部の溝線の間隔及び前記複数のＶ溝支持部における溝線の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このよう情報から、前記複数のＶ溝支持部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００８５】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、前記画像処理手段が、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系において各Ｖ溝支持部における棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、前記実形状情報生成手段が、前記所定の変換情報を用いて前記画像上棚板面位置情報を所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記各Ｖ溝支持部についての実棚板面位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における棚板部の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方を前記実形状情報として生成するようにした構成とすることができる。
【００８６】
このような構成により、複数のＶ溝支持部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域がステップ的に移動する過程で、各撮影領域について得られた画像上に設定される画像座標系にて各Ｖ溝支持部の棚板部の上面位置を表す画像上棚板面位置情報が生成され、その画像上棚板面位置情報が所定の絶対座標系における実棚板面位置情報に変換される。その結果、前記複数のＶ溝支持部全てについて実棚板面位置情報が少なくとも１つ得られることとなる。このような各Ｖ溝支持部についての実棚板面位置情報に基づいて少なくとも各Ｖ溝支持部における棚板部の間隔及び前記複数のＶ溝支持部全てにおける各棚板部の間隔の総和のいずれか一方が実形状情報として生成されることとなる。このような実形状情報から、前記複数のＶ溝支持部全体の配列状態をより精度よく検査することができるようになる。
【００８７】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査結果を出力ユニットから出力させる検査結果出力制御手段を有し、前記検査結果出力制御手段が、前記実形状情報生成手段にて得られた実形状情報を前記検査結果として前記出力ユニットから出力させるようにした構成とすることができる。
【００８８】
このような構成により、検査対象となるウエハ収納カセットの内部の所定部位について生成された実形状情報が検査結果として出力ユニットから出力されることとなる。例えば、検査員は、その出力ユニットから出力された実形状情報に基づいて検査対象となるウエハ収納カセットの良否を容易に判断することができるようになる。
【００８９】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、検査結果を出力ユニットに出力させる検査結果出力制御手段と、前記実形状情報生成手段にて得られた実形状情報が所定の基準を満たしているか否かの判定を行う形状判定手段とを有し、前記検査結果出力制御手段が、前記形状判定手段での判定結果を前記検査結果として前記出力ユニットに出力させるようにした構成とすることができる。
【００９０】
このような構成により、検査対象となるウエハ収納カセットの内部の所定部位について生成された実形状情報が所定の基準を満たしているか否かの判定結果が検査結果として出力ユニットに出力されることとなる。例えば、検査員は、その出力ユニットにより出力された判定結果に基づいて検査対象となるウエハ収納カセットの良否を直接的に判断することができるようになる。
【００９１】
前記各出力ユニットは、検査員に実形状情報を可視的に出力するもの（例えば、表示ユニット、プリンタユニット等）であっても、その実形状情報を他のシステム（ウエハ収納カセットの搬送システム、検査結果集計システムなど）に出力するものであってもよい。
【００９２】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置は、ロボットにより把持されるハンドリング部材を上面に備えたウエハ収納カセットを設置する設置台と、前記設置台に設置されるウエハ収納カセットの前記ハンドリング部材を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記ハンドリング部の実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部材の外形形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から当該処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部の実外形形状を表す実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有し、前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなる構成となる。
【００９３】
このような構成により、ウエハ収納カセットの上面に備えられたハンドリング部材を撮影する撮影装置からの画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部の形状を表す画像上形状情報がまず生成され、次いで、その画像上形状情報から処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部材の実外形形状を表す実形状情報が生成される。このようにウエハ収納カセットの上面に備えられたハンドリング部材の実外形形状を表す実形状情報が生成されるので、その実形状情報に基づいて前記ハンドリング部材の実際の外形形状の適否を判定することができるようになる。
【００９４】
本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、検査対象となるウエハ収納カセットを設置台に設置する設置ステップと、前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影装置で撮影する撮影ステップと、処理ユニットにより実行され、前記所定部位の撮影により前記撮影装置から出力される画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ステップとを有し、前記処理ステップは、前記画像信号にて表される画像上における前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理ステップと、前記画像処理ステップにて得られた画像上形状情報から前記処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成ステップとを有し、前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなる構成となる。
【００９５】
また、本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、前記画像処理ステップが、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成し、前記実形状情報生成ステップが、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換ステップを有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成する構成とすることができる。
【００９６】
更に、本発明に係るウエハ収納カセットの検査方法は、前記実形状情報生成ステップにて用いられる変換情報を取得して前記処理ユニットに保存する変換情報取得ステップを有し、前記変換情報取得ステップは、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットに対して前記設置ステップ、前記撮影ステップ及び画像処理ステップを実施して前記基準ウエハ収納カセットにおける前記所定部位の画像上形状情報を生成する第一のステップと、前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて前記変換情報を生成する第二のステップとを有する構成とすることができる。
【００９７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００９８】
本発明の第一の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットは図１に示すように構成される。
【００９９】
図１において、このウエハ収納カセット１０は、半導体製造工程においてウエハを搬送するために用いられるものであって、前部に開口面を有した箱体（例えば、樹脂製）となっている。ウエハ収納カセット１０の内部において、一方の側壁（左側壁）１１には左ウエハ支持体１３Ｌが形成されると共に、他方の側壁（右側壁）１２には右ウエハ支持体１３Ｒが形成されている。左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔をもって配列された複数の棚板部を備えている。ウエハは、その周辺部が左ウエハ支持体１３Ｌの棚板部及びそれと同じ高さに位置する右ウエハ支持体１３Ｒの棚板部にて支えられた状態でウエハ収納カセット１０に収納される。
【０１００】
ウエハ収納カセット１０の上面には、搬送ロボットにより把持されるハンドリング部材１５(ハンドリングフランジ)が備えられている。半導体製造工程において搬送ロボットがこのハンドリング部材１５を把持してウエハ収納カセット１０を搬送する。ハンドリング部材１５は、矩形形状をしており、所定の位置に切り欠きが形成されている。
【０１０１】
左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれの各棚板部の前端部分（ウエハ収納カセット１０の前部開口面側）は図２に示すように構成され、また、各棚板部の後端部分（ウエハ収納カセット１０の奥側）は図３に示すように構成される。隣接するｋ番目の棚板部１３１（ｋ）とｋ＋１番目の棚板部１３１（ｋ＋１）との間にウエハ周辺部が挿入されるべきスロットＳＬkが形成される。そして、そのウエハ周辺部が棚板部１３１（ｋ）の上面（ウエハ支持面）にて支えられるようになっている。なお、各棚板部の前端部分及び後端部分のウエハ支持面には突出部分が形成され、ウエハ表面と棚板部のウエハ支持面との接触面積がより小さくなるような構造となっている。
【０１０２】
前述したような構造のウエハ収納カセット１０を検査するための検査装置は、図４乃至図８に示すように構成されている。なお、図４乃至図８は、主に、検査装置の構成部品の配置関係を示すものであり、各構成部品の固定、支持等は、周知の手法にてなされる。
【０１０３】
図４において、検査装置１００は、検査台１０１、背面板１０２及び天板１０３を備えている。検査台１０１は、ウエハ収納カセット１０が設置されるカセット設置台１１０と、後述するような構成となる撮影装置が設置される撮影台１２１とを備えている。カセット設置台１１０には、ウエハ収納カセット１０の位置決め機構（図示略）が設けられており、ウエハ収納カセット１０が常にその前部開口面を撮影台１２１に向けた状態でカセット設置台１１０の一定の位置に設置されるようなになっている。
【０１０４】
撮影台１２１上には、第一のカメラユニット２０１（１）、第一の照明器２０２（１）、第二のカメラユニット２０１（２）、第二の照明器２０２（２）、第三のカメラユニット２０１（３）、第三の照明器２０２（３）、第四のカメラユニット２０１（４）及び第四の照明器２０２（４）が設置されている。第一のカメラユニット２０１（１）及び第一の照明器２０２（１）と、第二のカメラユニット２０１（２）及び第二の照明器２０２（２）とは、ウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの撮影に用いられる。また、第三のカメラユニット２０１（３）及び第三の照明器２０２（３）と、第四のカメラユニット２０１（４）及び第四の照明器２０２（４）とは、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの撮影に用いられる。
【０１０５】
天板１０３の所定部位には矩形状の測定窓が形成され、その測定窓に位置するように、カメラユニット２０３及び照明器２０６が設置されている。照明器２０６は、カセット設置台１１０に設置されたウエハ収納カセット１０の上面に設けられたハンドリング部材１５を照らし、カメラユニット２０３は、そのハンドリング部材１５を撮影する。
【０１０６】
撮影装置における第一のカメラユニット２０１（１）及び第一の照明器２０２（１）は、撮影台１２１上において図５に示すように配置される。第一のカメラユニット２０１（１）はレンズ部２０１ａ、コンバータ２０１ｂ及びカメラ本体２０１ｃ（例えば、ＣＣＤカメラ）にて構成される。レンズ部２０１ａ及びカメラ本体２０１ｃのウエハ収納カセット１０からの距離の調整、第一のカメラユニット２０１（１）の光軸の角度Ａの調整等により、第一のカメラユニット２０１（１）がウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの後端部分（図３参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第一の照明器２０２（１）のウエハ収納カセット１０からの距離の調整及びその光軸の角度Ｘの調整等により、第一の照明器２０２（１）が第一のカメラユニット２０１（１）の撮影領域を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット１０の背後の所定位置には第一のカメラユニット２０１（１）にて得られる左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分の画像と背景とのコントラストを明瞭にするためのスクリーン２０（例えば、白系の色）が配置される。
【０１０７】
第二のカメラユニット２０１（２）及び第二の照明器２０２（２）は、図６に示すように配置される。この場合も、レンズ部２０１ａ及びカメラ本体２０１ｃのウエハ収納カセット１０からの距離の調整、第二のカメラユニット２０１（２）の光軸の角度Ａの調整等により、第二のカメラユニット２０１（２）がウエハ収納カセット１０における左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分（図２参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第二の照明器２０２（２）のウエハ収納カセット１０からの距離の調整及びその光軸の角度Ｘの調整等により、第二の照明器２０２（２）が第二のカメラユニット２０１（２）の撮影領域を照らすように配置される。
【０１０８】
第三のカメラユニット２０１（３）は、第二のカメラユニット２０１（２）と同様にして（図６参照）、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの前端部分を撮影できるように配置され、第三の照明器２０２（３）は、第二の照明器２０２（２）と同様にして（図６参照）、右ウエハ支持体１３Ｒの前端部分を照らすように配置される。また、第四のカメラユニット２０１（４）は、第一のカメラユニット２０１（１）と同様にして（図５参照）、ウエハ収納カセット１０における右ウエハ支持体１３Ｒの後端部分を撮影できるように配置され、第四の照明器２０２（４）は、第一の照明器２０２（１）と同様にして（図５参照）、右ウエハ支持体１３Ｒの後端部分を照らすように配置される。
【０１０９】
前述したように配置される各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）の撮影領域Ｅｋは、図１４及び図１５に示すように、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれにおいて隣接する棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）が含まれるように、即ち、それら棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）で形成されるスロットＳＬk（図２、図３参照）が含まれるように設定される。
【０１１０】
前述したように撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）が設置される撮影台１２１は、図７に示すように、検査台１０１（図４参照）内に設置されたリフタ装置１２０の昇降シャフト１２２の先端に固定されている。このリフタ装置１２０によって撮影装置が垂直方向に移動され、その撮影装置の撮影領域を垂直方向に順次移動させることができるようになっている。なお、撮影台１２１に設置される撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）の周りには、カセット設置台１１０に対向した面に開口を有する透明の保護板１０５が設けられている。
【０１１１】
また、撮影台１２１に対向し、検査対象となるウエハ収納カセット１０が設置されるカセット設置台１１０の所定位置には、図８に示すように、４つの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄが埋設されている。これらの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄは、ウエハ収納カセット１０の底板の対応する位置に設けられるべきパッド１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｄの有無を光学的に検出する。即ち、４つの光学センサ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄにより、４つのパッド１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄの有無により表される４ビッドの情報の読取りがなされる。この４ビットの情報によりウエハ収納カセット１０に関する種々の情報を表し得る。
【０１１２】
検査装置における処理系は、図９に示すように構成される。図９において、この処理系は、処理ユニット３００、入力ユニット３０１（キーボード等）、表示ユニット３０２及び駆動制御回路３０３を有する。処理ユニット３００は、撮影台１２１に設置された各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）からの画像信号を処理して検査対象となるウエハ収納カセット１０の左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状を表す実形状データ（例えば、位置、距離等を表す）を生成する。また、処理ユニット３００は、天板１０３に設置されたカメラユニット２０３からの画像信号を処理してウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状を表す実形状データを生成する。更に、処理ユニット３００は、リフタ装置１２０の駆動制御を行う駆動制御回路３０３に対して所定の制御情報を供給する。
【０１１３】
処理ユニット３００は、前述したように生成した実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を判定し、その良否判定結果を出力する。そして、処理ユニット３００は、前述したように生成された左ウエハ支持体１３Ｌ、右ウエハ支持体１３Ｒ及びハンドリング部材１５についての実形状情報及びそれらの実形状情報に基づいた良否判定結果を表示ユニット３０２に表示させる。
【０１１４】
また、処理ユニット３００は、カセット設置台１１０に備えられた４つの光学センサ１１５ａ〜１１５ｄからの出力信号に基づいてウエハ収納カセット１０についての所定の情報を取得する。
【０１１５】
駆動制御回路３０３は、制御ユニット３００の制御のもと、リフタ装置１２０の駆動源となるモータ１２５をそのモータ１２５に対して設けられたセンサ１２６からの出力に基づいて駆動制御する。この駆動制御回路３０３は、図１０に示すように構成される。
【０１１６】
図１０において、この駆動制御回路３０３は、位置制御部３０３１、モータ駆動部３０３２、位置情報設定部３０３３、位置検出部３０３４及び比較部３０３５を有する。位置制御部３０３１は、処理ユニット３００から供給される位置指令情報に基づいてリフタ装置１２０の目標駆動量に対応する目標位置情報を出力すると共に駆動制御信号を出力する。モータ駆動部３０３２は、位置制御部３０３１からの駆動制御信号に基づいてリフタ装置１２０の駆動源となるモータ１２５に対して駆動パルス信号を出力する。位置情報設定部３０３３は、位置制御部３０３１から出力される目標位置情報を取得して保持する。位置検出部３０３４は、センサ１２６からのモータ１２５の実際の駆動量に対応した検出位置情報（例えば、モータ１２５の駆動量に対応したパルス数）を取得する。比較部３０３５は、位置情報設定部３０３３に設定された目標位置情報と位置検出部３０３４にて取得される検出位置情報とを比較し、その比較結果を位置制御部３０３１に供給する。位置制御部３０３１は、比較部３０３５からの比較結果に基づいて駆動制御信号の出力制御を行う。そして、前記目標位置情報と前記検出位置情報とが一致すると、位置制御部３０３１は、その際の比較部３０３５での比較結果に基づいて駆動制御信号の出力を停止する。その結果、リフタ装置１２０のモータ１２５が停止する。
【０１１７】
前述したように構成される駆動制御回路３０３により、モータ１２５が前記目標駆動量（位置指令情報に対応）だけ駆動される。このように駆動制御されるモータ１２５によってリフタ装置１２０の昇降シャフト１２２（図７参照）がその目標駆動量ずつ最下位位置から順次上方に移動される。例えば、その目標駆動量が左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒのそれぞれにおける隣接する棚板部の間隔に対応した量（スロットピッチ）に設定されると、リフタ装置１２０により撮影装置（各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）等）の撮影領域Ｅｋがそのスロットピッチずつ移動することとなる。
【０１１８】
処理ユニット３００は、図１１乃至図１３に示す手順に従って処理を行う。なお、各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）から得られる画像信号に対する処理は同じであるので、以下、各カメラユニット２０１（１）〜２０１（４）を撮影装置と総称して説明する。
【０１１９】
まず、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状が既知となる基準ウエハ収納ケース（良品となるウエハ収納カセット）がカセット設置台１１０に設置される。この状態で、入力ユニット３０１においてキャリブレーションモードの入力操作がなされると、処理ユニット３００は、まず、図１１に示す手順に従って処理を実行する。なお、前記既知となる実形状は、所定の絶対座標系（Ｘ−Ｙ）におけるＹ座標値及びＸ座標値（実形状データ）で表される。具体的には、図１５に示すように、各棚板部（１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）等）のウエハ支持面における所定ポイント（▽）のＹ座標値（Ｙk、Ｙk+1等）、及び各棚板部の根元部及び先端部の所定ポイント（▼）のＸ座標値（Ｘk、Ｘk+1等）で実形状が表される。
【０１２０】
図１１において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ１）後、撮影装置が撮影領域Ｅｋ（Ｅ１）の位置になるようにリフタ装置１２０の駆動制御回路３０３を制御する（Ｓ２）。これにより、図１４に示すように、最下位の棚板部１３１（１）とそれに隣接する棚板部１３２（２）を含む（スロットＳＬ１を含む）撮影領域Ｅ１が得られるように撮影装置がセットされる。この状態で、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅ１を撮影する撮影装置からの画像信号を画素単位の画像データに変換して所定のメモリに格納する（Ｓ３）。その後、処理ユニット３００は、内部カウンタｋがＮ−１に達したか否かを判定する（Ｓ４）。なお、Ｎは、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれにおける棚板部の総数である。
【０１２１】
内部カウンタｋがＮ−１に達していなければ（Ｓ４でＮＯ）、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを＋１だけインクリメントして（Ｓ５）、撮影装置が次の撮影領域Ｅk（Ｅ２）の位置になるようにリフタ装置１２０の駆動制御回路３０３を制御する（Ｓ２）。これにより、図１４に示すように、棚板部１３１（２）とそれに隣接する棚板部１３１（３）を含む（スロットＳＬ２を含む）撮影領域Ｅ２が得られるように撮影装置がセットされる。この状態で、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅ２を撮影する撮影装置からの画像信号に基づいた画像データを所定のメモリに格納する（Ｓ３）。
【０１２２】
以下、同様にして、処理ユニット３００は、撮影領域Ｅｋがスロットピッチずつ移動するように撮影装置を移動させ、各撮影領域Ｅｋにて得られる画像データを順次所定のメモリに格納する（Ｓ２〜Ｓ５）。この過程で、内部カウンタｋがＮ−１に達すると、図１４に示すように、棚板部１３１（Ｎ−１）とそれに隣接する最上位の棚板部１３１（Ｎ）を含む（スロットＳＬN-1を含む）撮影領域ＥN-1を撮影する撮影装置からの画像信号に基づいた画像データが所定のメモリに格納される（Ｓ２、Ｓ３）。そして、内部カウンタｋがＮ−１に達したとの判定により（Ｓ４でＹＥＳ）、処理ユニット３００は、一連の処理を終了させる。
【０１２３】
以上のような処理により、基準ウエハ収納カセットにおける左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒそれぞれにおいて隣接する棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）（ｋ＝１、２、・・・、Ｎ−１）を表すＮ−１個の画像データが処理ユニット３００に取り込まれる。
【０１２４】
次いで、処理ユニット３００は、図１２に示す手順に従った処理を実行する。図１２において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ１１）後に、以下の処理（Ｓ１２〜Ｓ１５）を実行する毎に内部カウンタｋを＋１ずつインクリメントし（Ｓ１６）、内部カウンタｋがＮ−１に達した時点で処理を終了させる。まず、前述したように取り込まれたＮ−１個の画像データからｋ番目の画像データが読み出される（Ｓ１２）。そして、この画像データに基づいて、隣接する棚板部１３１（ｋ）、棚板部１３１（ｋ＋１）の画像上での形状を特定する画像上形状データが生成される（Ｓ１３）。具体的には、図１５に示すように、画像上の画素位置を特定するための座標系（以下、画素座標系という）ｘ−ｙにおいて、各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面における所定ポイント（▽）のｙ座標値（ｙk、ｙk+1）と、各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）の根元部及び先端部の所定ポイント（▼）のｘ座標値（ｘk、ｘk+1）とが画像上形状データとして生成される。
【０１２５】
このようにして画像上形状データが得られると、その画像上形状データ（ｙk、ｙk+1、ｘk、ｘk+1）と既知となる実形状を表す前記実形状データ（Ｙk、Ｙk+1、Ｘk、Ｘk+1）との相関を表す相関データａ、ｂ、ｃ、ｄが下式に従って演算され、ｋ番目の画像（撮影領域Ｅkの画像）に対する相関データ（a、b、ｃ、ｄ）kとして処理ユニット３００に保存される（Ｓ１４）。
Ｘk＝ａ・ｘk＋ｂ ・・・（１）
Ｙk＝ｃ・ｙk＋ｄ ・・・（２）
Ｘk+1＝ａ・ｘk+1＋ｂ ・・・（３）
Ｙk+1＝ｃ・ｙk+1＋ｄ ・・・（４）
【０１２６】
処理ユニット３００は、前述した処理（Ｓ１２〜Ｓ１４）を繰り返し実行し、前記Ｎ−１個の画像データ全てについて前記相関データが得られると（Ｓ１５でＹＥＳ）、一連処理を終了させる。このようなキャリブレーションモードでの処理が終了すると、各撮影領域Ｅｋに対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）kが処理ユニット３００に保存されることになる。
【０１２７】
次に、検査対象となるウエハ収納カセット１０がカセット設置台１１０に設置され、入力ユニット１１０において検査モードの入力操作がなされると、処理ユニット３００は、図１１及び図１３に示す手順に従って処理を実行する。図１１に示す処理では、基準ウエハ収納カセットの場合と同様に、リフタ装置１２０の制御によって撮影装置の撮影領域Ｅｋが順次上昇移動される。そして、その過程で隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）を含む各撮影領域Ｅkについての画像データが処理ユニット３００に蓄積される。
【０１２８】
次いで、処理ユニット３００は、図１３に示す手順に従って処理を実行する。図１３において、処理ユニット３００は、内部カウンタｋを「１」にセットした（Ｓ２１）後に、以下の処理（Ｓ２２〜Ｓ２６）を実行する毎に内部カウンタｋを＋１ずつインクリメントし（Ｓ２７）、内部カウンタｋがＮ−１に達した時点で、次のステップＳ２８に進む。まず、前述したように取り込んだＮ−１個の画像データからｋ番目の画像データが読み出される（Ｓ２２）。そして、この画像データに基づいて、隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面における所定ポイント（図１５における▽参照）の画素座標系ｘ−ｙ上でのｙ座標値ｙk、ｙk+1が画像上ウエハ支持面位置データとして計測される（Ｓ２３）。
【０１２９】
このようにして隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）についての画像上ウエハ支持面位置データ（ｙk、ｙk+1）の計測が終了すると、当該画像データ（撮影領域Ｅkの画像）に対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）kのｃ、ｄを用いて前記式（２）、（４）に従って、画像上ウエハ支持面位置データ（ｙk、ｙk+1）が所定の絶対座標系Ｘ−Ｙ上でのＹ座標値Ｙk、Ｙk+1に変換される（Ｓ２４）。そして、このＹ座標値Ｙk、Ｙk+1が各棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面の実位置を表す実ウエハ支持面位置データとして処理ユニット３００に保存される（Ｓ２５）。
【０１３０】
処理ユニット３００は、前述した処理（Ｓ２２〜Ｓ２５）を繰り返し実行し、前記Ｎ−１個の画像データ全てについて実ウエハ支持面位置データ（Ｙk、Ｙk+1）が得られると（Ｓ２６でＹＥＳ）、保存された実ウエハ支持面位置データ（Ｙk、Ｙk+1）を用いて、図１４に示されるような隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）のウエハ支持面の間隔ΔＹk+1（各棚板部の間隔）を
ΔＹk+1＝Ｙk+1−Ｙk ・・・（５）
に従って演算する（Ｓ２８）。
【０１３１】
なお、図１４に示すように、隣接する２つの棚板部１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１）を含む撮影領域Ｅkがスロットピッチずつ移動することから、２番目の棚板部１３１（２）からＮ−１番目の棚板部１３１（Ｎ−１）のそれぞれについては画像上ウエハ支持面位置データｙkが２つずつ得られる。これに対応して、棚板部１３１（２）から棚板部１３１（Ｎ−１）のそれぞれについて実ウエハ支持面位置データＹkも２つずつ得られる。従って、棚板部１３１（２）から棚板部１３１（Ｎ−１）については、それら２つの実ウエハ支持面位置データＹkの平均値を用いてウエハ支持面の間隔ΔＹk+1が演算される（式（５）参照）。
【０１３２】
次いで、処理ユニット３００は、全ての棚板部について隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ΔＹk+1が得られると、それらの総和ΣΔＹkを演算する（Ｓ２９）。
【０１３３】
前述した処理は、第一のカメラユニット２０１（１）、第二のカメラユニット２０１（２）、第三のカメラユニット２０１（３）及び第四のカメラユニット２０１（４）からの画像信号のそれぞれに対して実行される。従って、前述した処理の結果、図１６に示すように、左ウエハ支持体１３Ｌの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＡＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＡＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、また、左ウエハ支持体１３Ｌの後端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＢＺ１と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＢＺ２６（ΣΔＹk）とが得られる。更に、右ウエハ支持体１３Ｒについても同様に、前端部分及び後端部分のそれぞれの画像から、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５、ＤＺ２〜ＤＺ２５と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＣＺ１、ＤＺ１と、各間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５、ＤＺ２〜ＤＺ２５の総和ＣＺ２６、ＤＺ２６とが得られる。なお、図１６に示す例では、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒがそれぞれ２５個（Ｎ＝２５）の棚板部を有する構造となっている。
【０１３４】
前述したように、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒについての各棚板部の実形状を表す実形状データ（Ｙ1、ΔＹk、ΣΔＹk）が得られると、処理ユニット３００は、それらの実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を判定する（Ｓ３０）。この良否判定は、前記実形状データが所定の条件を満足するか否かに基づいてなされる。例えば、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔は全て所定の範囲内にあるか否か、前記間隔の総和は所定の範囲内にあるか否か、左ウエハ支持体１３Ｌの前後部分及び右ウエハ支持体１３Ｒの前後部分について得られた４つの前記間隔の総和の差分が所定範囲内となっているか否か等の判定がなされる。なお、この判定の項目及びその基準は、ウエハ収納カセット１０の形状的な要求などに基づいて適宜定めることができる。
【０１３５】
前記良否判定の処理が終了すると、処理ユニット３００は、検査結果を表示ユニット３０２に供給し（Ｓ３１）、その検査結果が表示ユニット３０２に表示される。この検査結果は、検査対象となるウエハ収納カセット１０についての良否判定結果、前記判定の項目それぞれの判定結果、及び図１６に示す実形状データ（Ｙ1、ΔＹk、ΣΔＹk）の全てまたは一部の任意の組み合わせとすることができる。このような検査結果が表示ユニット３０２に表示されることにより、オペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット１０の良否を即座に判定することができるようになる。前記のように検査結果の出力が終了すると、処理ユニット３００は、検査モードでの一連の処理を終了する。
【０１３６】
なお、前述した例では、撮影領域Ｅkをスロットピッチずつ移動させ、その過程で得られる画像に基づいて実形状データを得るようにしているが、その撮影領域Ｅkの移動ピッチは任意に定めることができる。例えば、簡易な検査でよければ、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒの下方所定部位、中間所定部位、上方所定部位の３箇所を撮影できるように撮影領域を移動させ、各部位に設定された撮影領域から得られる画像に基づいて実形状データを得るようにしてもよい。また、各撮影領域Ｅkは、連続して配列される３以上の棚板部が含まれるように設定することも、単一の棚板部だけが含まれるように設定することもできる。
【０１３７】
更に、撮影する部位は、各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒの前後部分の４箇所に限られることはない。各ウエハ支持体１３Ｌ、１３Ｒそれぞれの前端部分だけを、あるいは後端部分だけを撮影するようにしてもよい。
【０１３８】
また、前記例では、全ての隣接する２つの棚板部の組について基準ウエハ収納カセットを利用して相関データを生成するようにしたが、一部の隣接する２つの棚板部の組についてのみ基準ウエハ収納カセットを利用して相関データを生成し、他の隣接する２つの棚板部の組については、補間処理によってその相関データを生成するようにしてもよい。更に、各カメラユニットの画面に絶対座標系での位置が既知となる基準点と基準ピッチとを表すスケールを写し込むようにしてもよい。この場合、その基準点の絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値（Ｘ，Ｙ）及びその基準ピッチの絶対座標系Ｘ−Ｙ上での距離と、画素座標系ｘ−ｙで表される画像上形状データ（ｘ、ｙ）との関係に基づいて当該画像上形状データを実形状データに変換することもできる。
【０１３９】
更に、また、前述した例では、絶対座標系Ｘ−ＹにおけるＸ座標値と画素座標系ｘ−ｙにおけるｘ座標値との相関関係を表す相関データａ、ｂを求めたが、実際には縦方向（Ｙ方向）の形状しか検査をしないことから、実形状データとしては、Ｙ座標値しか用いていない。このため、前記相関データａ、ｂは特に求めなくてもよい。しかし、実形状データとして絶対座標系Ｘ−ＹにおけるＸ座標値を用いる場合には、前述した例のように、前記相関データａ、ｂを求める必要がある。
【０１４０】
処理ユニット３００は、所定のタイミング、例えば、前述した左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査に先立って、ウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状を検査する。具体的には、左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査と同様に、キャリブレーションモードでの処理及び検査モードでの処理が行われる。キャリブレーションモードでの処理では、ハンドリング部材の実形状データ（所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値）が既知となる基準ウエハ収納カセットの当該ハンドリング部材がカメラユニット２０３にて撮影され、そのカメラユニット２０３から出力される画像信号に対応した画像データの取り込みがなされる（図１１の手順参照）。そして、その画像データから得られる画像上形状データ（所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙでの座標値）と前記既知となる実形状データとの関係から相関データが演算される（図１２参照）。
【０１４１】
検査モードの処理では、前述した左ウエハ支持体１３Ｌ及び右ウエハ支持体１３Ｒの実形状の検査の場合と同様に、検査対象となるウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５がカメラユニット２０３によって撮影され、そのカメラユニット２０３から出力される画像信号に対応した画像データの取り込みがなされる（図１１の手順参照）。そして、その画像データから得られる画像上形状データ（所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙでの座標値）を前記相関データに従って実形状データ（所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値）に変換する。ハンドリング部材１５の前記所定ポイントの絶対座標系Ｘ−Ｙでの座標値に基づいて、例えば、図１７に示すように、ハンドリング部材１５の横辺及び縦辺の長さＨＦ３、ＨＦ５、ハンドリング部材１５の下横辺とウエハ収納カセット１０の前端との距離ＨＦ１、前記下横辺とノッチ部１５ａとの距離ＨＦ２、左縦辺とノッチ部１５ｂとの距離ＨＦ４、上横辺に形成された２つのノッチ部１５ｃ、１５ｄとの間隔ＨＦ６、ハンドリング部材１５の下横辺とウエハ収納カセット１０の前端縁線とのなす角度θａ等が更に実形状データとして計測される。
【０１４２】
前述したように得られた実形状データが所定の基準を満たすか否かの判定結果に基づいてウエハ収納カセット１０の良否の判定がなされる。前記実形状データ及び良否の判定結果の少なくとも一方が表示ユニット３０２に表示される。この表示ユニット３０２の表示内容に基づいてオペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット１０のハンドリング部材１５の実形状の良否を判定することができる。
【０１４３】
次に、本発明の第二の実施の形態に係るウエハ収納カセットの検査装置について説明する。この第二の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットは図１８に示すように構成される。
【０１４４】
図１８において、このウエハ収納カセット５０は、ウエハを他の作業場等に運送するために用いられるものであり、前部に開口面を有した箱体となっている。ウエハ収納カセット５０の内部において、一方の側壁（左側壁）５１には左ウエハ支持体５３Ｌが形成されると共に、他方の側壁（右側壁）５２には右ウエハ支持体５３Ｒが形成されている。左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔をもって配列された棚板部を複数備えている。
【０１４５】
また、背面壁５５には、左背面ウエハ支持体５４Ｌと、この左背面ウエハ支持体５４Ｌと右側壁５２との間に位置する右背面ウエハ支持体５４Ｒが形成されている。左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれは、垂直方向に所定の間隔を持って配列された後述するような構造となる複数のＶ溝支持部を備えている。
【０１４６】
左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒそれぞれの各棚板部の前端部分は図１９に示すように構成される。隣接するｋ番目の棚板部５３１（ｋ）とｋ＋１番目の棚板部５３１（ｋ＋１）との間にウエハ周辺部が挿入されるべきスロットＳＬkが形成される。そして、ウエハ周辺部が棚板部５３１（ｋ）のウエハ支持面（上面）にて支えられるようになっている。
【０１４７】
左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれは図２０に示すように構成される。図２０において、ｋ番目のＶ溝支持部５４０（ｋ）は、左右端に位置するＶ字形状の第一の溝部５４２ａ（ｋ）及び第二の溝部５４２ｂ（ｋ）と、第一の溝部５４２ａ（ｋ）の下端から張出す第一の棚板部５４１ａ（ｋ）と、第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の下端から張出す第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）とを備えた構造となっている。そして、第一の溝部５４２ａの溝線５４３ａ（ｋ）と第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ｂ（ｋ）とは同じ高さに位置すると共に、第一の棚板部５４１ａ（ｋ）の上面と第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）の上面とは同じ高さに位置するように設計されている。隣接するｋ番目のＶ溝支持部５４０（ｋ）の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）とｋ＋１番目のＶ溝支持部５４０（ｋ＋１）の棚板部５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）との間にウエハ周端部が挿入されるべきスロットＳＬkが形成される。
【０１４８】
ウエハ収納カセット５０は、ウエハ周辺部が左ウエハ支持体５３Ｌの棚板部５３１（ｋ）及びそれと対応した位置となる右ウエハ支持体５３Ｒの棚板部５３１（ｋ）に支えられると共に、その周端部が前記各棚板部５３１（ｋ）と対応した位置となる左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４ＲそれぞれのＶ溝支持部５４０（ｋ）に支持された状態でウエハを収納する。そして、ウエハ収納カセット５０の前部開口面を蓋体（図示略）で閉じると、ウエハ端部が蓋体にて僅に押され、ウエハの逆端がＶ溝支持部５４０（ｋ）における溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）に押さえつけられるようになり、当該ウエハのウエハ収納カセット５０内でのがたつきが防止される。
【０１４９】
前述したような構造のウエハ収納カセット５０を検査するための検査装置は、図２１乃至図２３に示すように構成される。なお、図２１乃至図２３は、主に、検査装置の構成部品の配置関係を示すものであり、各構成部品の固定、支持等は、周知の手法にてなされる。
【０１５０】
図２１において、検査装置１００は、検査台１０１、側板１０６、１０７及び背面板１０８を備えている。検査台１０１は、前記第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０が設置されるカセット設置台１１０と、後述するような構成となる撮影装置が設置される撮影台１２１とを備えている。また、カセット設置台１１０には、第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０の位置決め機構が設けられており、ウエハ収納カセット５０が常にその前部開口面を撮影台１２１に向けた状態でカセット設置台１１０の一定位置に設置されるようになっている。
【０１５１】
撮影台１２１上には、第一のカメラユニット２０４（１）、第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）及び第四のカメラユニット２０４（４）の四台のカメラユニットと、第一の照明器２０５（１）、第二の照明器２０５（２）及び第三の照明器２０５（３）の３台の照明器とが設置されている。第一のカメラユニット２０４（１）及び第一の照明器２０５（１）は、ウエハ収納カセット５０における左ウエハ支持体５３Ｌの撮影に用いられ、第二のカメラユニット２０４（２）及び第二の照明器２０５（２）は、ウエハ収納カセット５０における左背面ウエハ支持体５４Ｌの撮影に用いられる。また、第三のカメラユニット２０４（３）及び第二の照明器２０５（２）は、ウエハ収納カセット５０における右背面ウエハ支持体５４Ｒの撮影に用いられ、第四のカメラユニット２０４（４）及び第三の照明器２０５（３）は、右ウエハ支持体５３Ｒの撮影に用いられる。
【０１５２】
検査台１０１には、一端が検査台１０１に固定され、他端にミラー１５２ａ、１５２ｂが固定設置された板体１５１が設けられている。この板体１５１は、カセット設置台１１０に設置されたウエハ収納カセット５０の底板との間に所定の隙間をもってカセット収納カセット５０内に延びており、２つのミラー１５２ａ、１５２ｂがウエハ収納カセット５０の背面壁５５近傍に位置するようになっている。ミラー１５２ａは、後述するように、左背面ウエハ支持体５４Ｌの側端部分の像を第二のカメラユニット２０４（２）に導くようにその向きが設定されている。また、ミラー１５２ｂは、右背面ウエハ支持体５４Ｒの側端部分の像を第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにその向きが設定されている。
【０１５３】
撮影装置における第一のカメラユニット２０４（１）及び第一の照明器２０５（１）は、撮影台１２１上において図２２に示すように配置される。レンズ部２０４ａ、コンバータ２０４ｂ及びカメラ本体２０４ｃ（例えば、ＣＣＤカメラ）にて構成される第一のカメラユニット２０４（１）のレンズ部２０４ａ及びカメラ本体２０４ｃのウエハ収納カセット５０からの距離の調整、第一のカメラユニット２０４（１）の光軸の角度Ａの調整等により、第一のカメラユニット２０４（１）がウエハ収納カセット５０における左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分（図１９参照）の所定範囲（計測部）を撮影できるように配置される。また、第一の照明器２０５（１）のウエハ収納カセット５０からの距離の調整及びその光軸の角度の調整（ウエハ収納カセット５０の中心軸に略平行）等により、第一の照明器２０５（１）が第一のカメラユニット２０４（１）の撮影領域を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット５０の背後の所定位置には第一のカメラユニット２０４（１）にて得られる左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分の画像と背景とのコントラストが明瞭にするためのスクリーン６０（例えば、白系の色）が配置される。
【０１５４】
第二のカメラユニット２０４（２）及び第二の照明器２０５（２）は、図２３に示すように配置される。レンズ部２０４ａ及びカメラ本体２０４ｃのウエハ収納カセット５０からの距離の調整、第二のカメラユニット２０４（２）の光軸の角度Ａの調整等により、第二のカメラユニット２０４（２）がミラー１５２ａに映し出される像を撮影できるように配置される。ミラー１５２ａは、その角度α及び左背面ウエハ支持体５４Ｌとの距離ｍが第二のカメラユニット２０４（２）の前記位置及び向きの調整に対応して調整され、左背面ウエハ支持体５４Ｌの両側端部分（図２０に示す各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）における第一の棚板部５４１ａ（ｋ）及び第一の溝部５４２ａ（ｋ）側の部分と、第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）及び第二の溝部５４２ｂ（ｋ）側の部分）の所定範囲（計測部）の像を第二のカメラユニット２０４（２）に導くように配置される。また、第二の照明器２０５（２）のウエハ収納カセット５０からの距離の調整及びその光軸の調整等により、第二の照明器２０５（２）がミラー１５２ａに映し出される左背面ウエハ支持体５４Ｌの所定範囲を照らすように配置される。なお、ウエハ収納カセット５０の側方の所定位置には第二のカメラユニット２０４（２）にて得られる左背面ウエハ支持体５４Ｌの両側端部分の画像と背景とのコントラストを明瞭にするためのスクリーン６１（例えば、黒系の色）が配置される。
【０１５５】
第三のカメラユニット２０４（３）及びミラー１５２ｂは、第二のカメラユニット２０４（２）及びミラー１５２ａと同様にして（図２３参照）、右背面ウエハ支持体５４Ｒの両側端部分の所定範囲を撮影できるようにそれぞれ配置される。第二の照明器２０５（２）は、前述したようにミラー１５２ａに映し出される左背面ウエハ支持体５４Ｌの所定範囲を照らすと共に、ミラー１５２ａと同様にミラー１５２ｂが映し出す右背面ウエハ支持体５４Ｒの所定範囲を照らすように配置される。また、第四のカメラユニット２０４（４）は、第一のカメラユニット２０４（１）と同様にして（図２２参照）、ウエハ収納カセット５０における右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分を撮影できるように配置され、第三の照明器２０５（３）は、第一の照明器２０５（１）と同様にして（図２２参照）、右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分を照らすように配置される。
【０１５６】
前述したように配置される第一のカメラユニット２０４（１）及び第四のカメラユニット２０４（４）の撮影領域Ｅｋは、前記第一の実施の形態における第一のカメラユニット２０１（１）及び第四のカメラユニット２０１（４）と同様に、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒのそれぞれにおいて隣接する棚板部５３１（ｋ）、５３１（ｋ＋１）が含まれるように設定される（図１４及び図１５参照）。また、前述したように配置される第二のカメラユニット２０４（２）及び第三のカメラユニット２０４（３）の撮影領域Ｅkは、図２４に示すように、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒのそれぞれにおいて隣接するＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の両側端部分が含まれるように設定される。
【０１５７】
前述したように撮影装置（各カメラユニット２０４（１）〜２０４（４）等）が設置される撮影台１２１は、前記第一の実施の形態と同様に、リフタ装置１２０により昇降可能となっている（図７参照）。また、カセット設置台１１０の所定位置には、前記第一の実施の形態と同様に、ウエハ収納カセット５０の底板に設けられた複数のパッドの有無を光学的に検出するための複数の光学センサが埋設されている（図８参照）。更に、検査装置における処理系は、前記第一の実施の形態と同様に、図９及び図１０に示すように構成される。
【０１５８】
前述したような構成となる第二の実施の形態に係る検査装置は、前記第一の実施の形態と同様に、キャリブレーションモードでの処理及び検査モードでの処理により、ウエハ収納カセット５０の左ウエハ支持体５３Ｌ、右ウエハ支持体５３Ｒ、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの実形状を検査する。
【０１５９】
まず、基準ウエハ収納カセット（良品となるウエハ収納カセット）がカセット設置台１１０に設置され、第一の実施の形態と同様に、図１１及び図１２に示す手順に従ってキャリブレーションモードでの処理が実行される。このキャリブレーションモードでの処理では、各撮影領域Ｅkでの画像を表す画像データに基いて相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）kが生成される（前記式（１）〜（４）参照）。基準ウエハ収納カセットは、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒの各棚板部のウエハ支持面における所定ポイントの絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値及びＸ座標値（図１５参照）が実形状データとして既知となる。また、図２０に示す左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの各Ｖ溝支持部（５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）等）の各棚板部（５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）等）の上面の所定ポイント及び各溝部（５４２ａ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１）、５４２ｂ（ｋ＋１）等）の溝線（５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ＋１）等）の絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値及びＸ座標値が実形状データとして既知となる。
【０１６０】
左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについては、前記第一の実施の形態と同様に、各撮影領域Ｅk（図１５参照）に対して一組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）kが生成される。また、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについては、図２４に示すような各撮影領域Ｅkに対して、隣接する第一の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第一の溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）、隣接する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１）の溝線５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）について１組の相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）の計４組の相関データが生成される。これは、カメラユニットにて撮影される部位に対する視差に応じて画像上の形状と実際の形状との相関関係が異なることから、その視差（Ｘ軸方向の位置）に応じてより適した相関データを得るためである。
【０１６１】
前記キャリブレーションモードでの処理が終了すると、検査対象となるウエハ収納カセット５０がカセット設置台１１０に設置され、検査モードでの処理が図１１及び図１３に示す手順に従って実行される。この検査モードでの処理は、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについては、前記第一の実施の形態と同様に、各撮影領域Ｅkから得られた画像データに基づいて各棚板部のウエハ支持面における所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙにおけるｙ座標値（ｙk，ｙk+1）が画像上形状データとして得られる。そして、そのｙ座標値（ｙk，ｙk+1）が当該撮影領域Ｅｋに対応した相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）ｋにおけるｃ、ｄを用いて絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値（Ｙk、Ｙk+1）に変換される（前記式（２）、（４）参照）。このＹ座標値（Ｙk、Ｙk+1）が実形状データとして得られる。また、隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ΔＹk+1（前記式（５）参照）及びそれら間隔の総和ΣΔＹkが実形状データとして算出される。
【０１６２】
左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについては、各撮影領域Ｅk（図２４参照）から得られた画像データに基づいて、各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の各棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）、５４１ｂ（ｋ＋１）の上面における所定ポイントの画素座標系ｘ−ｙにおけるｙ座標値（ｙak、ｙbk、ｙak+1、ｙbk+1）が画像上形状データとして得られる。また、各Ｖ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）の各溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ＋１）の画素座標系ｘ−ｙでのｙ座標値（ｙavk，ｙbvk、ｙavk+1、ｙbvk+1）が画像上形状データとして得られる。そして、隣接する第一の棚板部５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１）の上面のｙ座標値（ｙak、ｙak+1）、隣接する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１）の上面のｙ座標値（ｙbk、ｙbk+1）、隣接する第一の溝部５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）のｙ座標値（ｙavk、ｙavk+1）、及び隣接する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１）の溝線５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）のｙ座標値（ｙbvk、ｙbvk+1）のそれぞれが対応する相関データ（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）のｃ、ｄを用いて絶対座標系Ｘ−ＹでのＹ座標値（Ｙak、Ｙak+1）、（Ｙbk、Ｙbk+1）、（Ｙavk、Ｙavk+1）、（Ｙbvk、Ｙbvk+1）に変換され（前記式（２）、（４）参照）、これらのＹ座標値（Ｙak、Ｙak+1）、（Ｙbk、Ｙbk+1）、（Ｙavk、Ｙavk+1）、（Ｙbvk、Ｙbvk+1）が実形状データとして得られる。
【０１６３】
更に、例えば、各第一の棚板部５４１ａ（ｋ）の上面のＹ座標値Ｙakと対応する第二の棚板部５４１ｂ（ｋ）の上面のＹ座標値Ｙbkとの平均値がＶ溝支持部５４０の棚板部の上面のＹ座標値Ｙkとして演算され、各第一の溝部５４２ａ（ｋ）の溝線５４３ａ（ｋ）のＹ座標値Ｙavkと対応する第二の溝部５４２ｂ（ｋ）の溝線５４３ｂ（ｋ）のＹ座標値Ｙbvkとの平均値がＶ溝支持部５４０の溝線のＹ座標値Ｙvkとして演算される。また、更に、隣接する２つのＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）について得られた前記棚板部のＹ座標値（Ｙk、Ｙk+1）に基づいて棚板部の間隔ΔＹk+1（前記式（５）参照）が算出されると共にそれらの総和ΣΔＹkが算出され、隣接する２つのＶ溝支持部５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１）について得られた前記溝線のＹ座標値（Ｙvk、Ｙvk+1）に基づいて溝線の間隔ΔＹvk+1（前記式（５）参照）が算出されると共にそれらの総和ΣΔＹvkが算出される。
【０１６４】
前述した処理の結果、図２５に示すように、前記第一の実施の形態と同様に、左ウエハ支持体５３Ｌの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＡＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＡＺ２〜ＡＺ２５の総和ＡＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、また、右ウエハ支持体５３Ｒの前端部分の画像から隣接する２つの棚板部のウエハ支持面の間隔ＤＺ２〜ＤＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＤＺ１（Ｙ１）と、各間隔ＤＺ２〜ＤＺ２５の総和ＤＺ２６（ΣΔＹk）とが得られる。更に、左背面ウエハ支持体５４Ｌの画像から、隣接する２つのＶ溝支持部における棚板部の上面の間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＢＺ１（Ｙ1）と、各間隔ＢＺ２〜ＢＺ２５の総和ＢＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、隣接する２つのＶ溝支持部における溝線の間隔ＥＺ２〜ＥＺ２５（ΔＹvk）と、一番目の溝線の水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＥＺ１（Ｙv1）と、各間隔ＥＺ２〜ＥＺ２５の総和ＥＺ２６（ΣΔＹvk）とが得られる。また、右背面ウエハ支持体５４Ｒの画像から、前記と同様に、隣接する２つＶ溝支持部における棚板部の上面の間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５（ΔＹk）と、一番目（最下位）の棚板部と水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＣＺ１（Ｙ1）と、各間隔ＣＺ２〜ＣＺ２５の総和ＣＺ２６（ΣΔＹk）とが得られ、隣接する２つのＶ溝支持部における溝線の間隔ＦＺ２〜ＦＺ２５（ΔＹvk）と、一番目の溝線の水平基準面（Ｙ＝０）との距離ＦＺ１（Ｙv1）と、各間隔ＦＺ２〜ＦＺ２５の総和ＦＺ２６（ΣΔＹvk）とが得られる。
【０１６５】
前述したように、左ウエハ支持体５３Ｌ及び右ウエハ支持体５３Ｒについての各棚板部の実形状を表す実形状データ（Ｙ１、ΔＹｋ、ΣΔＹk）、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒについての各棚板部及び溝線の実形状を表す実形状データ（Ｙ１、ΔＹk、ΣΔＹk，Ｙv1、ΔＹvk，ΣΔＹvk）が得られると、前記第一の実施の形態と同様に、それらの実形状データに基づいて検査対象となるウエハ収納カセット５０の良否判定がなされる。そして、この良否判定が終了すると、その検査結果が表示ユニットに表示される。この検査結果は、前記第一の実施の形態と同様に、検査対象となるウエハ収納カセット５０についての良否判定結果、判定の項目それぞれの判定結果、及び図２５に示す実形状データ（Ｙ1、ΔＹk、ΣΔＹk、Ｙv1、ΔＹvk、ΣΔＹvk）の全てまたは一部の任意の組み合わせとすることができる。このような検査結果が表示ユニットに表示されることにより、オペレータは、検査対象となるウエハ収納カセット５０の良否を即座に判定することができるようになる。前記のように検査結果の出力が終了すると、検査モードでの一連の処理は終了する。
【０１６６】
なお、前記第二の実施の形態では、ミラー１５２ａ、１５２ｂにて左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持面５４Ｒの両側端部分の像を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにしているが、他の光学系（ミラー、レンズ、ファイバー等）によって前記像を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）に導くようにすることもできる。
【０１６７】
また、前記第二の形態では、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの両側端部分を第二のカメラユニット２０４（２）、第三のカメラユニット２０４（３）にて撮影するようにしているが、左背面ウエハ支持体５４Ｌ及び右背面ウエハ支持体５４Ｒの一方の側端部分だけを撮影するようにしてもよい。
【０１６８】
各カメラユニット２０４（１）〜２０４（４）の撮影領域Ｅkは、図２４に示すものに限られず、前記第一の実施の形態において記載したように、適宜設定することができる。また、撮影領域Ｅｋの移動ピッチも、検査の目的（詳細検査、簡易検査等）に応じて適宜設定することができる。
【０１６９】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明に係るウエハ収納カセットの検査装置及び方法によれば、ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影装置で撮影し、その結果得られた前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を実形状情報に変換するようにしているので、その実形状情報に基づいてウエハ収納カセットをより精度良く検査することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットを示す図である。
【図２】図１に示すウエハ収納カセットのウエハ支持体の前端部分の構造を示す図である。
【図３】図１に示すウエハ収納カセットのウエハ支持体の後端部分の構造を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る検査装置の構成を示す図である。
【図５】図４に示す検査装置における第一のカメラユニット及び第一の照明器の配置を示す図である。
【図６】図４に示す検査装置における第二のカメラユニット及び第二の照明器の配置を示す図である。
【図７】図４に示す検査装置が備えるリフタ装置を示す図である。
【図８】図４に示す検査装置におけるカセット設置台及び撮影台の状態を示す図である。
【図９】図４に示す検査装置における処理系の構成を示すブロック図である。
【図１０】図９に示す処理系における駆動制御回路の具体的な構成を示すブロック図である。
【図１１】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その１）を示すフローチャートである。
【図１２】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その２）を示すフローチャートである。
【図１３】図９に示す処理系における処理ユニットでの処理手順（その３）を示すフローチャートである。
【図１４】ウエハ支持体の棚板部の構造と撮影領域との関係とを示す図である。
【図１５】撮影領域と隣接する２つの棚板部の計測ポイントとを示す図である。
【図１６】図４に示す検査装置による測定結果を示す図である。
【図１７】ウエハ収納カセットの上面に設けられたハンドリング部材１５の具体的な形状を表す図である。
【図１８】本発明の第二の実施の形態に係る検査装置の検査対象となるウエハ収納カセットを示す図である。
【図１９】左右ウエハ支持体それぞれの前端部分の構造を示す図である。
【図２０】左右背面ウエハ支持体それぞれの構造を示す図である。
【図２１】本発明の第二の実施の形態に係る検査装置の構成を示す図である。
【図２２】図２１に示す検査装置における第一のカメラユニット及び第一の照明器の配置示す図である。
【図２３】図２１に示す検査装置における第二のカメラユニット、第二の照明器、及びミラーの配置を示す図である。
【図２４】左右背面ウエハ支持体それぞれについての撮影領域を示す図である。
【図２５】図２１に示す検査装置による測定結果を示す図である。
【符号の説明】
１０ ウエハ収納カセット
１１ 左側壁
１２ 右側壁
１３Ｌ 左ウエハ支持体
１３Ｒ 右ウエハ支持体
１５ ハンドリング部材
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ パッド
２０ スクリーン
５０ ウエハ収納カセット
５１ 左側壁
５２ 右側壁
５３Ｌ 左ウエハ支持体
５３Ｒ 右ウエハ支持体
５４Ｌ 左背面ウエハ支持体
５４Ｒ 右背面ウエハ支持体
５５ 背面
６０、６１ スクリーン
１００ 検査装置
１０１ 検査台
１０２ 背面版
１０３ 天板
１０６、１０７ 側板
１０８ 背面板
１１０ カセット設置台
１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄ 光学センサ
１２０ リフタ装置
１２１ 撮影台
１２２ 昇降シャフト
１２５ モータ
１２６ エンコーダ
１３１（ｋ）、１３１（ｋ＋１） 棚板部
１５１ 板体
１５２ａ、１５２ｂ ミラー
２０１（１）、２０４（１） 第一のカメラユニット
２０１（２）、２０４（２） 第二のカメラユニット
２０１（３）、２０４（３） 第三のカメラユニット
２０１（４）、２０４（４） 第四のカメラユニット
２０１ａ、２０４ａ レンズ部
２０１ｂ、２０４ｂ コンバータ
２０１ｃ、２０４ｃ カメラ本体
２０２（１）、２０５（１） 第一の照明器
２０２（２）、２０５（２） 第二の照明器
２０２（３）、２０５（３） 第三の照明器
２０２（４） 第四の照明器
２０３ カメラユニット
２０６ 照明器
３００ 処理ユニット
３０１ 入力ユニット
３０２ 表示ユニット
３０３ 駆動制御回路
３０３１ 周波数制御部
３０３２ 駆動パルス出力部
３０３３ 駆動パルスカウンタ
３０３４ 出力パルスカウンタ
３０３５ 比較器
５４０（ｋ）、５４０（ｋ＋１） Ｖ溝支持部
５４１ａ（ｋ）、５４１ａ（ｋ＋１） 第一の棚板部
５４１ｂ（ｋ）、５４１ｂ（ｋ＋１） 第二の棚板部
５４２ａ（ｋ）、５４２ａ（ｋ＋１） 第一の溝部
５４２ｂ（ｋ）、５４２ｂ（ｋ＋１） 第二の溝部
５４３ａ（ｋ）、５４３ａ（ｋ＋１）、５４３ｂ（ｋ）、５４３ｂ（ｋ＋１）溝線
Claims (12)
- 検査対象となるウエハ収納カセットを設置する設置台と、
前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、
前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、
前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、
前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から当該処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有し、
前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなることを特徴とするウエハ収納カセットの検査装置。 - 前記画像処理手段は、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、
前記実形状情報生成手段は、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにしたことを特徴とする請求項１記載のウエハ収納カセットの検査装置。 - 前記処理ユニットに予め保存されて前記実形状情報生成手段にて用いられる変換情報は、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットから得られた前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて定められたものとなることを特徴とする請求項１または２記載のウエハ収納カセットの検査装置。
- 収納されるウエハ周辺部を支える棚板部が側壁に垂直方向に配列されるように複数形成されたウエハ収納カセットを検査対象とし、
前記撮影装置にて撮影すべき前記所定部位を所定数の棚板部の所定部分としたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のウエハ収納カセットの検査装置。 - 前記画像処理手段は、前記画像上に設定される画像座標系において各棚板部のウエハ支持面の位置を表す画像上ウエハ支持面位置情報を前記画像上形状情報として生成するようにし、
前記実形状情報生成手段は、前記変換情報を用いて前記画像上ウエハ支持面位置情報を所定の絶対座標系における実ウエハ支持面位置情報に変換する座標変換手段を有し、前記実ウエハ支持面位置情報に基づいた実形状情報を生成するようにしたことを特徴とする請求項４記載のウエハ収納カセットの検査装置。 - 前記実形状情報生成手段は、前記各棚板部に対する前記実ウエハ支持面位置情報に基づいて前記各棚板部の間隔を表す実形状情報を生成するようにしたことを特徴とする請求項５記載のウエハ収納カセットの検査装置。
- 前記所定数の棚板部の所定部分を含む前記撮影装置の撮影領域を前記複数の棚板部の配列方向に移動させる撮影領域移動手段を有することを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載のウエハ収納カセットの検査装置。
- 前記撮影領域移動手段は、前記複数の棚板部のそれぞれが少なくとも一回撮影領域に含まれるように前記撮影領域をステップ的に移動させるようにしたことを特徴とする請求項７記載のウエハ収納カセットの検査装置。
- ロボットにより把持されるハンドリング部材を上面に備えたウエハ収納カセットを設置する設置台と、
前記設置台に設置されるウエハ収納カセットの前記ハンドリング部材を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、
前記撮影装置からの画像信号にて表される画像に基づいて前記ハンドリング部の実形状情報を生成する処理ユニットとを有し、
前記処理ユニットは、前記画像信号にて表される画像上において前記ハンドリング部材の外形形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理手段と、
前記画像処理手段にて得られた画像上形状情報から当該処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記ハンドリング部の実外形形状を表す実形状情報を生成する実形状情報生成手段とを有し、
前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなることを特徴とするウエハ収納カセットの検査装置。 - 検査対象となるウエハ収納カセットを設置台に設置する設置ステップと、
前記設置台に設置される前記ウエハ収納カセット内部の所定部位を撮影装置で撮影する撮影ステップと、
処理ユニットにより実行され、前記所定部位の撮影により前記撮影装置から出力される画像信号にて表される画像に基づいて前記所定部位の実形状を表す実形状情報を生成する処理ステップとを有し、
前記処理ステップは、前記画像信号にて表される画像上における前記所定部位の形状を表す画像上形状情報を生成する画像処理ステップと、
前記画像処理ステップにて得られた画像上形状情報から前記処理ユニットに予め保存された所定の変換情報を用いて前記実形状情報を生成する実形状情報生成ステップとを有し、
前記所定の変換情報は、前記撮影装置からの画像信号にて表される画像上で表される被撮影物の形状を表すための基準と、設置台に設置される被撮影物の形状を表すための基準との関係に基づいて定められたものとなることを特徴とするウエハ収納カセットの検査方法。 - 前記画像処理ステップは、前記画像上に設定される画像座標系において前記所定部位の位置を表す画像上位置情報を前記画像上形状情報として生成し、
前記実形状情報生成ステップは、前記変換情報を用いて前記画像上位置情報を所定の絶対座標系における実位置情報に変換する座標変換ステップを有し、前記実位置情報に基づいた実形状情報を生成することを特徴とする請求項１０記載のウエハ収納カセットの検査方法。 - 前記実形状情報生成ステップにて用いられる変換情報を取得して前記処理ユニットに保存する変換情報取得ステップを有し、
前記変換情報取得ステップは、前記所定部位の形状を表す実形状情報が既知となる基準ウエハ収納カセットに対して前記設置ステップ、前記撮影ステップ及び画像処理ステップを実施して前記基準ウエハ収納カセットにおける前記所定部位の画像上形状情報を生成する第一のステップと、
前記画像上形状情報と前記既知となる実形状情報との関係に基づいて前記変換情報を生成する第二のステップとを有することを特徴とする請求項１０または１１記載のウエハ収納カセットの検査方法。
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