JP7218340B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
前記収容容器の前記透明部の少なくとも一部を含む被検査部に光を照射するように配置されたフラット型照明と、
前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置され、前記被検査部を撮像して前記収容容器の前記被検査部の異物及び/又は欠陥を検出するように構成されたカメラと
を備えたものであることを特徴とする検査装置を提供する。
前記収容容器本体は、底面、該底面に対向する開口部、及び前記底面と前記開口部との間の側面を含み、
前記フラット型照明が、前記被検査部としての、前記底面の外側と、前記側面の外側の少なくとも一部とに光を照射するように配置されており、
前記カメラが、前記収容容器本体の前記開口部から、前記収容容器本体の内側を撮像するように配置されていることが好ましい。
前記蓋部は、前記収容容器の外側の面としての蓋表面と、該蓋表面の裏側の蓋裏面とを有し、
前記フラット型照明は、前記被検査部としての、前記蓋部の前記蓋表面又は前記蓋裏面を照明するように配置されているものであってもよい。
前記ホルダが、前記フラット型照明及び前記カメラに対して前記収容容器を回転させるように構成された回転機構を備えたものとすることができる。
フラット型照明とカメラとを具備した検査装置を準備し、
前記フラット型照明を、前記収容容器の前記透明部の少なくとも一部を含む被検査部に光を照射するように配置し、且つ前記カメラを、前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置し、
前記フラット型照明から、前記収容容器の前記被検査部に光を照射し、
前記カメラによって前記被検査部を撮像して、前記収容容器の前記被検査部の異物及び/又は欠陥を検出することを特徴とする検査方法を提供する。
前記フラット型照明から、前記被検査部としての、前記底面の外側と、前記側面の外側の少なくとも一部とに光を照射し、
前記収容容器本体の内部を前記開口部から前記カメラを用いて撮像して、前記収容容器本体を検査することが好ましい。
前記フラット型照明から前記蓋部の前記蓋表面又は前記蓋裏面の一方に光を照明し、次いで前記蓋部を裏返して、前記蓋表面又は前記蓋裏面の他方に光を照明して、前記蓋部の前記蓋表面及び前記蓋裏面を前記カメラでそれぞれ撮像して、前記蓋部を検査してもよい。
前記ホルダの前記回転機構によって前記収容容器を回転させることにより、1つの前記フラット型照明及び1つの前記カメラを用いて、前記収容容器を検査することができる。
前記フラット型照明に加えて、前記バー型照明から前記収容容器の前記被検査部に光を照射することもできる。
前記収容容器の前記透明部の少なくとも一部を含む被検査部に光を照射するように配置されたフラット型照明と、
前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置され、前記被検査部を撮像して前記収容容器の前記被検査部の異物及び/又は欠陥を検出するように構成されたカメラと
を備えたものであることを特徴とする検査装置である。
フラット型照明とカメラとを具備した検査装置を準備し、
前記フラット型照明を、前記収容容器の前記透明部の少なくとも一部を含む被検査部に光を照射するように配置し、且つ前記カメラを、前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置し、
前記フラット型照明から、前記収容容器の前記被検査部に光を照射し、
前記カメラによって前記被検査部を撮像して、前記収容容器の前記被検査部の異物及び/又は欠陥を検出することを特徴とする検査方法である。
本発明の検査装置は、光透過性の透明部を含み且つウェーハを収容するように構成された収容容器を検査する検査装置であって、
前記収容容器の前記透明部の少なくとも一部を含む被検査部に光を照射するように配置されたフラット型照明と、
前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置され、前記被検査部を撮像して前記収容容器の前記被検査部の異物及び/又は欠陥を検出するように構成されたカメラと
を備えたものであることを特徴とする。
図1に示す検査装置10は、フラット型照明1と、カメラ2とを具備する。検査装置10は、フラット型照明1及びカメラ2を収容した検査室4を更に具備する。
本発明の検査方法は、光透過性の透明部を含み且つウェーハを収容するように構成された収容容器の異物及び/又は欠陥を検出する検査方法であって、
フラット型照明とカメラとを具備した検査装置を準備し、
前記フラット型照明を、前記収容容器の前記透明部の少なくとも一部を含む被検査部に光を照射するように配置し、且つ前記カメラを、前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置し、
前記フラット型照明から、前記収容容器の前記被検査部に光を照射し、
前記カメラによって前記被検査部を撮像して、前記収容容器の前記被検査部の異物及び/又は欠陥を検出することを特徴とする。
実施例1では、図8に示す判定フローに従い、FOSBの検査を行った。具体的には、以下の通りである。
[1]撮像
以下の手順により、FOSB本体の底面及び側面の内面、並びに蓋部の蓋表面及び蓋裏面の撮像をそれぞれ行った。
図9に示すように、白色LED光源を一面に取り付けているフラット型照明1を検査室4の天井部に下向きに設置した。また、フラット型照明1の200mm下方に開口部112を下に向けてFOSB本体110を設置した。さらにFOSB本体110の底面111から900mm下方に、カメラ本体21及びレンズ22を具備するカメラ2を上向けに設置した。
図10に示すように、白色LED光源を一面に取り付けているフラット型照明1を検査室4の天井部に下向きに設置した。また、フラット型照明1の200mm下方に開口部112を下に向けてFOSB本体110を設置した。FOSB本体110としては、図2を参照しながら説明したのと同様の構造を有するものを用いた。さらにFOSB本体110の底面111の1つの頂点から990mm下方であり、さらに左に825mmの箇所に、カメラ2を、仰角を48度右上向けに固定して設置した。
蓋表面及び蓋裏面からカメラ2までの距離を900mmとしたこと以外は図9に示した配置と同様の配置の検査装置10によって、蓋表面及び蓋裏面の撮像を行った。
撮像した画像に対して、AI及びルールベースに基づく画像処理判定を行い、FOSB本体110の底面111及び側面113、並びに蓋部120に異物があるか否かを検査した。
・目視検査
図12に示すように、被検査面が1700Lxになるように照らされた蛍光灯310の下、検査員300がFOSB本体110を両手で持ち、見やすいように傾けながら4つの側面113と1つの底面111に異物がないか目視検査した。
以上のような1名の検査員300による目視検査(比較例1)と1台の検査装置10による検査(実施例1)の判定結果を比較した。
実施例2では、図11に示す装置を用いたこと、及び図11に示すFOSB本体110を搬入したこと以外は実施例1での側面の撮像と同様の手順で、FOSB本体110の側面113を撮像した。
比較例2では、実施例2での検査対象と同様の構造を有するFOSB本体110 30BOXを検査対象とした。比較例2では、検査員300が、各FOSB本体110の収容用治具114を備えた側面113を、図12を参照しながら説明した方法で検査した。
検査員300が検知できた不良BOXは、微小異物が83%(25BOX)、線状異物が90%(27BOX)、透明異物が100%(30BOX)であった。それに対して、検査装置10が検出した不良BOXは、微小異物が100%(30BOX)、線状異物が97%(29BOX)、透明異物が100%(30BOX)という結果となった。
Claims (15)
- 光透過性の透明部を含み且つウェーハを収容するように構成された収容容器を検査する検査装置であって、
前記収容容器の前記透明部の少なくとも一部を含む被検査部に光を照射するように配置されたフラット型照明と、
前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置され、前記被検査部を撮像して前記収容容器の前記被検査部の異物及び/又は欠陥を検出するように構成されたカメラと
を備えたものであり、
前記カメラが、前記収容容器の前記透明部を透過した透過光、前記収容容器の一部からの反射光、又は前記透過光及び前記反射光の両方を検知するように構成されているものであり、少なくとも着色部からの反射光を検知するように構成されていることを特徴とする検査装置。 - 前記収容容器が、収容容器本体を含み、
前記収容容器本体は、底面、該底面に対向する開口部、及び前記底面と前記開口部との間の側面を含み、
前記フラット型照明が、前記被検査部としての、前記底面の外側と、前記側面の外側の少なくとも一部とに光を照射するように配置されており、
前記カメラが、前記収容容器本体の前記開口部から、前記収容容器本体の内側を撮像するように配置されているものであることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記収容容器本体は、前記透明部、半透明部及び前記着色部で構成されているものであることを特徴とする請求項2に記載の検査装置。
- 前記カメラが前記収容容器本体の前記内側を下方から撮像するように配置されているものであることを特徴とする請求項2又は3に記載の検査装置。
- 前記収容容器が、該収容容器を封止するための蓋部を含み、
前記蓋部は、前記収容容器の外側の面としての蓋表面と、該蓋表面の裏側の蓋裏面とを有し、
前記フラット型照明は、前記被検査部としての、前記蓋部の前記蓋表面又は前記蓋裏面を照明するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記収容容器を保持するように構成されたホルダを更に具備し、
前記ホルダが、前記フラット型照明及び前記カメラに対して前記収容容器を回転させるように構成された回転機構を備えたものであることを特徴とする請求項1~5の何れか1項に記載の検査装置。 - 前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置されたバー型照明を更に備えたものであることを特徴とする請求項1~6の何れか1項に記載の検査装置。
- 光透過性の透明部を含み且つウェーハを収容するように構成された収容容器の異物及び/又は欠陥を検出する検査方法であって、
フラット型照明とカメラとを具備した検査装置を準備し、
前記フラット型照明を、前記収容容器の前記透明部の少なくとも一部を含む被検査部に光を照射するように配置し、且つ前記カメラを、前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置し、
前記フラット型照明から、前記収容容器の前記被検査部に光を照射し、
前記カメラによって前記被検査部を撮像して、前記収容容器の前記被検査部の異物及び/又は欠陥を検出し、
前記カメラにより、前記収容容器の前記透明部を透過した透過光、前記収容容器の一部からの反射光、又は前記透過光及び前記反射光の両方を検知して前記被検査部を撮像して、前記収容容器の前記被検査部を検査し、少なくとも着色部からの反射光を検知することを特徴とする検査方法。 - 前記収容容器として、底面、該底面に対向する開口部、及び前記底面と前記開口部との間の側面を含む収容容器本体を含むものを検査対象とし、
前記フラット型照明から、前記被検査部としての、前記底面の外側と、前記側面の外側の少なくとも一部とに光を照射し、
前記収容容器本体の内部を前記開口部から前記カメラを用いて撮像して、前記収容容器本体を検査することを特徴とする請求項8に記載の検査方法。 - 前記収容容器本体として、前記透明部、半透明部及び前記着色部で構成されているものを検査対象とすることを特徴とする請求項9に記載の検査方法。
- 前記収容容器本体の前記開口部を下向きに配置して、前記カメラによって下方から撮像することを特徴とする請求項9又は10に記載の検査方法。
- 前記収容容器として、該収容容器を封止するための蓋部であって、前記収容容器の外側の面としての蓋表面と、該蓋表面の裏側の蓋裏面とを有する蓋部を含むものを検査対象とし、
前記フラット型照明から前記蓋部の前記蓋表面又は前記蓋裏面の一方に光を照明し、次いで前記蓋部を裏返して、前記蓋表面又は前記蓋裏面の他方に光を照明して、前記蓋部の前記蓋表面及び前記蓋裏面を前記カメラでそれぞれ撮像して、前記蓋部を検査することを特徴とする請求項8に記載の検査方法。 - 前記検査装置として、前記収容容器を保持するように構成されたホルダであって、前記フラット型照明及び前記カメラに対して前記収容容器を回転させるように構成された回転機構を備えたホルダを更に具備したものを用い、
前記ホルダの前記回転機構によって前記収容容器を回転させることにより、1つの前記フラット型照明及び1つの前記カメラを用いて、前記収容容器を検査することを特徴とする請求項8~12の何れか1項に記載の検査方法。 - 前記カメラを用いて、前記収容容器内の異物、ひび、欠け及び/又はパーツの欠陥を検出して、前記収容容器の前記被検査部を検査することを特徴とする請求項8~13の何れか1項に記載の検査方法。
- バー型照明を、前記収容容器の前記被検査部を間に挟んで前記フラット型照明と対向するように配置し、
前記フラット型照明に加えて、前記バー型照明から前記収容容器の前記被検査部に光を照射することを特徴とする請求項8~14の何れか1項に記載の検査方法。
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