KR101807168B1 - 로드 포트 정렬 측정 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정에서 기판의 반송에 사용되는 로드 포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정할 수 있는 로드 포트 정렬 측정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판 수납 용기를 탑재가능한 로드 포트의 정렬 측정 장치로서, 기판 수납 용기가 탑재되는 위치에 대체 탑재되는 베이스부재; 베이스부재의 내부에 로드 포트의 도어 방향으로 배치되며, 로드 포트의 도어 간극 거리를 측정하는 센서를 상기 도어에 나란한 방향으로 이동시키는 이송부재;를 포함하는 로드 포트 정렬 측정 장치에 관한 것이다.

Description

로드 포트 정렬 측정 장치{Alignment measuring device for load port}
본 발명은 로드 포트 정렬 측정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정에서 기판의 반송에 사용되는 로드 포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정할 수 있는 로드 포트 정렬 측정 장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판의 제조 공정 내에서 FOUP(front opening unified pod)는 FOUP 셸과 정합되어 웨이퍼를 보관 및 반송할 수 있는 밀폐된 초청정 내부 환경을 제공하는 수직 배향식 FOUP 도어로 구성된 기판 수납 용기이다.
기판 제조 설비 내의 FOUP와 처리 공구 사이에서 기판을 반송하기 위해서는, 처리 공구의 전방에 있는 로드 포트 상에 FOUP가 적재되어 FOUP 도어가 처리 공구의 로드 포트 도어 근방에 위치되는 것이 일반적이다. 그 후, 로드 포트 도어 내의 래치 키가 FOUP 도어 내의 래치 조립체와 맞물려 FOUP 도어를 FOUP로부터 분리시키는 동시에 FOUP 도어를 로드 포트 도어에 결합시킨다. 이렇게 결합된 FOUP 도어와 로드 포트 도어는 일시에 로드 포트의 비 공정 구역으로 진퇴되어 FOUP과 처리 공구의 내부 환경이 서로 연결된다.
기판을 제조하기 위한 공정은 순차적으로 진행되는 다양한 단위공정을 통하여 수행되며, 기판은 다양한 단위공정을 수행하기 위한 여러가지 처리공구들 사이에서 이동되게 된다. 특히, 로드 포트는 기판의 제조 공정에서 기판 또는 레티클 등의 자재 반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 협회의 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)에서 권고하는 표준안 중에 전방 개구부 인터페이스 기계적 표준(Front-opening Interface Mechanical Standard, FIMS) 시스템을 구성하는 장비에 포함된다.
이러한 기판을 제조하기 위한 공정에서는 기판 제조에서 요구되는 높은 청정도를 유지하고, 웨이퍼 기판의 이송 중에서 기판 오염을 방지하기 위해 처리 공구로의 기판 공급은 외부와 밀폐되는 기판 수납 용기와 로드 포트 모듈을 통하여 수행된다. 전방 개방형 일체식 용기(front opening unified pod, FOUP)라 칭하는 기판 수납 용기는 외부와 밀폐되는 내부공간에 다수의 기판을 적재하여 단위공정의 처리공구들 사이에서 기판을 이동한다. 각 단위공정 설비로 이동되는 기판 수납 용기는 처리공구의 일측에 배치된 로드 포트 모듈의 상면에 안착되고, 기판 수납 용기의 내부공간을 외부와 구획하여 밀폐시키면서 기판 수납 용기의 도어와 로드 포트의 도어를 함께 개방한다. 이에 따라, 공정 대상인 기판은 외부환경으로부터 오염이 방지되면서 단위 공정의 처리공구들 사이를 이동할 수 있다.
그러나 일반적으로 이 기판 수납 용기가 로드 포트의 상면에 안착될 때, 기판 수납 용기의 도어와 로드 포트의 도어는 서로 일체로 결합하여 동시에 개방된다. 여기서 연속된 단위 공정들을 거치면서 로드 포트는 미세한 외형과 형태의 정렬 상태가 변화되며, 이때 변화된 로드 포트의 정렬 상태는 이후의 기판 수납 용기와의 개폐 동작에서 치명적인 기계적 오류를 야기하게 된다. 특히, 이러한 기계적 오류는 정확도와 밀폐성이 요구되는 기판 제조 공정 내에서 처리공구들로의 기판 공급이 중단되는 경우가 빈번하게 발생한다.
또한, 기판 제조 공정상에서 로드 포트의 미미한 정렬 상태의 변화는 허용 가능한 범위를 벗어나지 않는 수준 내에서는 문제발생률이 낮으나, 이러한 허용 가능한 범위를 벗어난 정렬 상태의 로드 포트 내에서는 비교적 고가의 웨이퍼가 손상되거나 파손되는 문제점이 발생할 수 있다.
(특허문헌 1) KR10-2014-0131736 A
(특허문헌 2) KR10-2015-0091230 A
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 목적은, 로드 포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정하여 로드 포트의 도어가 기 설정된 위치에 위치하였는지 여부를 비교적 높은 정밀도로 확인할 수 있는 로드 포트 정렬 측정 장치를 제공하는 것이다.
또한, 로드 포트의 수직도 확인을 위한 비접촉 치수 측정 및 표시할 수 있는 로드 포트 정렬 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 도어 코너 부위의 면단차 치수 측정 및 표시할 수 있는 로드 포트 정렬 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 도어 래치키 및 키네메틱 핀의 위치 확인할 수 있는 로드 포트 정렬 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적으로 로드 포트의 정렬 변형을 감지하여 기판 용기 내에서 기판의 손상을 방지하는 로드 포트 정렬 측정 장치를 제공하는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 로드 포트 정렬 측정 장치는 기판 수납 용기를 탑재가능한 로드 포트의 정렬 측정 장치로서, 기판 수납 용기가 탑재되는 위치에 대체 탑재되는 베이스부재; 베이스부재의 내부에 로드 포트의 도어 방향으로 배치되며, 로드 포트의 도어 간극 거리를 측정하는 센서를 상기 도어에 나란한 방향으로 이동시키는 이송부재; 를 포함하며, 상기 이송부재는, 상기 도어에 나란한 방향으로 배치되는 가이드부재; 상기 가이드 부재를 따라 슬라이딩되게 서로 대칭으로 상기 가이드부재에 장착되는 한쌍의 지지조립체; 상기 한쌍의 지지조립체의 사이에 위치하여 상기 한쌍의 지지조립체 각각에 장착되는 풀리조립체; 상기 풀리조립체에 연결된 구동수단; 을 포함한다.
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또한, 상기 지지조립체는, 상단 및 하단 각각에 상기 도어에 접근하는 방향으로 이동가능한 활주수단이 구비되고, 상기 활주수단에 외향 돌출되게 상기 센서가 장착될 수 있다.
또한, 상기 활주수단은, 상기 센서의 측정방향으로 측정거리를 조절가능한 조절노브가 마련될 수 있다.
또한, 상기 이송부재는 키네마틱 평판 위에 탑재되었을 경우에 상기 센서의 측정 거리를 표시하기 위한 거리 표시 부재가 구비되며, 상기 거리 표시 부재는 상기 베이스부재에 고정된 LED 표시창인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스부재는, 기판 수납 용기가 탑재되는 키네마틱 평판 과의 위치 관계가 정의되는 일 군의 제1 관통홀이 형성된 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트에 상기 로드 포트의 도어와 나란하게 배치되며, 상기 도어가 기판 수납용기와의 위치 관계가 정의되는 래치키에 맞물림 가능한 일 군의 제2 관통홀이 형성된 제2 플레이트;를 포함한다.
전술한 바와 같은 본 발명의 로드 포트 정렬 측정 장치에 따르면, 로드 포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정하여 로드 포트의 도어가 기 설정된 위치에 위치하였는지 여부를 비교적 높은 정밀도로 확인할 수 있다.
또한, 로드 포트의 수직도 확인을 위한 비접촉 치수 측정 및 표시할 수 있다.
또한, 도어 코너 부위의 면단차 치수 측정 및 표시할 수 있다.
또한, 도어 래치키 및 키네메틱 핀의 위치 확인할 수 있다.
또한, 로드 포트의 정렬 변형을 감지하여 기판 용기 내에서 기판의 손상을 방지할 수 있다.
이상에서의 본 발명에 따른 효과는 상기에 한정되는 것은 아니며, 기타 본 발명의 효과들은 후술할 실시예 및 청구범위에 기재된 사항을 통하여 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 분명하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트 정렬 측정 장치를 개략적으로 나타낸 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트 정렬 측정 장치를 나타낸 사시도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트 정렬 측정 장치를 나타낸 평면도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송부재를 나타낸 사시도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송부재를 나타낸 분해사시도
도 6은 본 발명의 이송부재의 실시상태를 나타낸 사시도
도 7은 본 발명의 이송부재에 탑재된 거리 표시 부재를 나타낸 사시도
도 8은 본 발명의 베이스부재가 장착되는 로드 포트를 나타낸 사시도
도 9는 본 발명의 베이스부재의 실시상태를 나타낸 사시도
도 10은 본 발명의 베이스부재의 주요 요부를 나타낸 사시도
도 11은 본 발명의 베이스부재의 주요 요부를 나타낸 정면도
도 12는 본 발명의 로드 포트 정렬 측정 장치의 표시 패널을 나타낸 정면도
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.
본 발명을 설명함에 있어 동일한 사상의 범위내에서 기능이 동일한 구성에 대해서는 동일 부호를 사용하기로 하며, 이에 대한 중복설명은 생략토록 한다.
먼저, 본 발명은 웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정 상에서 기판의 반송에 사용되는 로드 포트(1000)의 정렬 상태를 측정할 수 있는 로드 포트(1000) 정렬 측정 장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트(1000) 정렬 측정 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면 로드 포트(1000)는 기판이 적재된 기판 수납 용기가 탑재되어 탑재된 기판 수납 용기의 내부에서부터 기판의 반송을 수행한다. 이러한 본 발명의 로드 포트(1000) 정렬 측정 장치(1)는 기판의 반송에 사용되는 로드 포트(1000)에 탑재되어 로드 포트(1000)의 정렬 상태를 측정한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트(1000) 정렬 측정 장치를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트(1000) 정렬 측정 장치를 나타낸 평면도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 로드 포트(1000) 정렬 측정 장치는 대략적으로 베이스부재(10), 센서(20) 및 이송부재(30)를 포함하여 구성된다.
베이스부재(10)는 로드 포트(1000)에 탑재되기 위한 것으로, 기판 수납 용기가 탑재되는 위치에 대체 탑재된다. 구체적으로, 로드 포트(1000)는 기판 수납 용기가 탑재되는 키네마틱 평판(1200)이 마련되며, 이 키네마틱 평판(1200)은 도어(1300)로 근접하도록 이동된다. 본 발명에서 베이스부재(10)는 키네마틱 평판(1200)에 기판 수납 용기를 대체하여 탑재될 수 있다. 그리고 베이스부재(10)는 키네마틱 평판(1200)과의 상대 위치 관계를 정의할 수 있다. 즉, 키네마틱 평판(1200)과의 상대 위치 관계가 고정된 상태에서 키네마틱 평판(1200)이 도어(1300) 방향으로 근접이동 되며, 이때, 베이스부재(10)는 도어(1300)와의 위치 관계가 정의될 수 있다.
센서(20)는 로드 포트(1000)의 도어(1300)의 정렬 상태, 구체적으로는 도어(1300)와, 도어(1300)를 둘러싸는 도어프레임(1400)과의 사이 간격인 도어(1300) 간극의 거리를 측정한다. 더욱 구체적으로, 센서(20)는 베이스부재(10)의 내부에 로드 포트(1000)의 도어(1300) 방향으로 배치될 수 있다. 또, 센서(20)는 도어(1300)의 간극 거리를 측정하기 위한 광학 센서(20)로 마련될 수 있으며, 여기서, 센서(20)를 로드 포트(1000)의 도어(1300)에 나란한 방향으로 이동시키는 이송부재(30)가 포함된다.
센서(20)는 로드 포트(1000)의 도어(1300)의 정렬 상태를 측정한다. 구체적으로 도어(1300)는 이송부재(30)에 탑재되어 이송부재(30)에 의해 센서(20)가 로드 포트(1000)의 도어(1300)에 수직 방향, 바람직하게는 균일한 측정을 위해 도어와 나란한 방향으로 이동되면서 도어(1300)의 간극 거리를 측정한다. 예컨대, 로드 포트(1000)의 도어(1300)면과 도어(1300)를 둘러싼 도어프레임(1400)의 면간의 단차를 측정할 수도 있고, 또, 도어(1300)의 가장자리, 더욱 구체적으로는 도어(1300)의 최외곽지점에서 도어프레임(1400)까지의 거리를 측정할 수 있다.
이송부재(30)는 센서(20)를 이송시키기 위한 기계적 메카니즘이 구비된다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송부재를 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송부재를 나타낸 분해사시도이고, 도 6은 본 발명의 이송부재의 실시상태를 나타낸 사시도이다.
도 4 내지 도 6을 함께 참고하여 보면 본 발명의 이송부재(30)는 가이드부재(31), 지지조립체(32), 풀리조립체(33), 구동수단(34)을 포함하여 이루어진다. 이하, 이송부재(30)에 대하여 더욱 구체적으로 설명하도록 한다.
본 발명의 이송부재(30)는 센서(20)를 로드 포트(1000)의 도어(1300)에 수직 방향으로 왕복이동 시키기 위한 구성이다. 구체적으로 이송부재(30)는 베이스부재(10)의 내부에 로드 포트(1000)의 도어(1300) 방향으로 향하도록 배치될 수 있으며, 도시된 바와 같이 베이스부재(10)의 후방에 장착될 수 있다. 따라서 로드 포트(1000)의 도어(1300)면과 대략 나란한 방향으로 센서(20)를 이동시킬 수 있도록 한다.
가이드부재(31)는 도어면에 나란한 방향으로 배치된다. 가이드부재(31)는 상기 센서(20)를 이동시키기 위한 경로로서, 복수로 마련될 수도 있다. 본 발명에서 가이드부재(31)는 도시된 바와 같이 로드 포트(1000)의 도어(1300)의 길이에 따라서 레일(31a)의 길이가 다양하게 실시될 수 있다. 예컨대, 엘엠가이드와 같은 레일(31a)이 부설된 가이드부재(31)를 채택할 수도 있으며, 일반적으로 시판중인 가이드레일 중에 선택될 수 있다. 다만, 본 발명에서는 가이드부재(31)에 레일(31a)의 양측 끝단측에는 리미트 스위치와 같은 멈춤부재가 마련되는 것이 바람직하다. 여기서 멈춤부재들 간의 폭은 로드 포트의 도어의 길이에 대응할 수 있다.
지지조립체(32)는 한 쌍으로 마련될 수 있으며, 상기 가이드부재(31)를 따라 슬라이딩되게 서로 대칭으로 상기 가이드부재(31)에 수직되게 장착된다. 이때, 지지조립체(32)는 가이드 부재(31)의 레일(31a)에 장착되는 슬라이딩부재(32a)가 고정된다. 슬라이딩부재(32a)는 레일(31a)에 물림으로서 고정되고, 레일(31a)를 따라 이동될 수 있다.
풀리조립체(33)는 상기 한 쌍의 지지조립체(32) 사이에 위치하며 상기 한쌍의 지지조립체(32)에 각각 장착된다. 풀리조립체(33)는 구체적으로 서로 기어물림되는 평기어(33a)와 한쌍의 랙기어(33b)로 이루어질 수 있으며, 이때, 평기어(33a)의 상측 및 하측에 랙기어(33b)가 각각 기어물림된다. 그리고 각 랙기어(33b)는 지지조립체(32)에 각각 1:1 결합되어, 풀리조립체(33)의 구동에 의해 한쌍의 지지조립체(32)가 서로 대칭되게 왕복 이동 가능하게 된다.
구동수단(34)은 풀리조립체(33)에 연결되는 것이다. 본 발명에서는 예컨대 모터, 바람직하게는 정역모터로서 회전력을 풀리조립체(33)에 제공할 수 있다. 구동수단(34)은 회전축을 포함하며, 이 회전축은 풀리조립체(33)의 평기어(33a)에 연결되어 구동수단(34)의 작동에 의해 결과적으로 한쌍의 지지조립체(32)가 구동수단(34)을 기준으로 대칭되게 왕복이동 된다.
본 발명에서 지지조립체(32)는 상단 및 하단 각각에 상기 도어(1300)에 근접하는 방향으로 이동 가능한 활주수단(32a)이 구비된다. 이 활주수단(32a)에 외향 돌출되게 연결되는 연장부재(32b)상에 센서(20)가 장착되는 것이 바람직하며, 특히 활주수단(32a)은 센서(20)의 측정방향으로 측정거리를 사용자가 조절가능한 조절노브(32c)가 마련되는 것이 더욱 바람직하다.
여기서 측정거리는 센서(21)의 신호송수신부(21b)로부터 측정지점인 도어면까지의 거리로 정의될 수 있다. 센서(21)는 광신호를 방출하고, 도어면에서 반사되는 광신호를 수신함으로써 측정거리가 결정된다. 본 발명에서 측정거리는 본 발명의 거리 표시 부재(40)에 표시될 수 있으며, 사용자가 조절노브(32c)를 조절함으로써 측정거리를 변동가능하다. 다만 본 발명에서는 정확하고 일률적인 측정을 위해 미리 정해진 측정거리에서 수행되는 것이 바람직하다.
도 7은 본 발명의 이송부재(30)에 탑재된 거리 표시 부재(40)를 나타낸 사시도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 이송부재(30)에는 키네마틱 평판(1200) 위에 탑재되었을 경우에, 센서(20)의 측정 거리를 표시하기 위한 거리 표시 부재(40)가 구비될 수 있다. 이때, 거리 표시 부재(40)는 베이스부재(10)에 고정된 판상체의 고정대(41)가 구비되고, 고정대(41)에 LED 표시창(42)이 센서와 통신연결된 변환모듈(43)에 연결됨으로서, 센서(20)의 측정 거리 수치가 실시간으로 LED 표시창에 표시될 수 있다.
이하, 본 발명의 베이스부재(10)에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.
도 8은 본 발명의 베이스부재가 장착되는 로드 포트를 나타낸 사시도이고, 도 9은 본 발명의 베이스부재의 실시상태를 나타낸 사시도이고, 도 10는 본 발명의 베이스부재의 주요 요부를 나타낸 사시도이고, 도 11은 본 발명의 베이스부재의 주요 요부를 나타낸 정면도이다.
도시된 바와 같이, 베이스부재(10)는 제1 플레이트(11)와 제2 플레이트(12)가 서로 수직 결합된 것으로서, 하측의 제1 플레이트(11)가 마련되고 제1 플레이트(11)의 후방측에 제2 플레이트(12)가 수직으로 기립된다. 구체적으로 제1 플레이트(11)는 기판 수납 용기가 탑재되는 키네마틱 평판(1200)과의 위치 관계가 정의되는 일 군의 제1 관통홀(11a, 11b, 11c)이 형성된다. 그리고 제2 플레이트(12)는 제1 플레이트(11)에 상기 로드 포트(1000)의 도어(1300)와 나란하게 배치된다. 여기서 제2 플레이트(12)는 도어(1300)와 인접하게 장착되는 것이 바람직하다.
그리고 제2 플레이트(12)는 상기 도어(1300)가 기판 수납 용기와의 위치 관계가 정의되는 래치키(1310)에 맞물림 가능한 일 군의 제2 관통홀(12a, 12b)이 형성되는 것이 바람직하다.
도 12는 본 발명의 로드 포트(1000) 정렬 측정 장치의 표시 패널(50)을 나타낸 정면도이다. 도시된 바와 같이 본 발명의 로드 포트(1000) 정렬 측정 장치는 표시 패널(50)이 구비되며, 표시 패널(50)에는 센서(20)로 측정된 치수가 표시된다.
도시된 바와 같이 본 발명에서는 복수의 센서(20)들에 의해서 도어(1300)의 간극의 길이 및 단차를 측정하여 표시되는 표시 패널(50)이 마련된다. 표시 패널(50)은 디스플레이되는 화면으로서, 시판되고 있는 모니터로 구현될 수 있고 또한, 터치 가능한 터치 패널로 구현될 수 있다.
본 발명에서 표시 패널(50)은 상기 센서(20)들과 실시간 연결되어 측정된 치수가 표시된다.
본 발명에서는 센서(20)의 각 센서(20)가 측정된 위치별로, 구체적으로는 도어(1300)의 최외각 모서리로부터 도어프레임(1400)까지의 측정값이 로드 포트의 위치와 대응되게 표시되는 지시선(55)에 연결된 해당 측정치 표시창에 표시된다.
그리고 도어(1300)의 최외각 모서리의 2 위치간의 측정치의 차이값이 표시된다. 이때, 표시 패널(50)은 측정치의 차이값에 대한 허용범위표시창(51)이 구비되며, 이 허용범위표시창(51)에 표시된 수치를 초과하는 차이값이 발생되면 해당 차이값이 발생된 2 위치를 표출하는 위치표시창(52)가 마련된다. 이러한 일련의 센서(20)에 의한 도어의 단차 측정은 체크 표시창(53)의 선택에 의해 측정될 수 있으며, 이때 측정된 자료는 전송표시창(54)에 의해서 타인 또는 사용자로 전달될 수 있다.
실질적으로는 도어(1300)와 도어프레임(1400) 간의 단차 측정값으로 각 수치는 각 측정치의 차이를 산술 계산된 산술치가 표시된다.
그리고 2 위치간 좌우 수평간 단차값이 표시될 수 있으며, 또한, 이는 도어(1300) 프레임의 최외각 위치들의 측정치의 차이값으로 표시될 수 있고, 또한, 상하 수직간의 단차값이 산술되어 표시될 수 있다.
사용자는 각 표시되는 측정치를 확인함으로써, 로드 포트(1000) 도어(1300)의 정렬 상태를 확인할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 로드 포트 정렬 측정 장치는 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명되었으나, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1 : 로드 포트 정렬 측정 장치 1000 : 로드 포트
10 : 베이스부재 20 : 센서
30 : 이송부재
40 : 거리 표시 부재
50 : 표시 패널

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 기판 수납 용기를 탑재가능한 로드 포트의 정렬 측정 장치로서,
    기판 수납 용기가 탑재되는 위치에 대체 탑재되는 베이스부재;
    베이스부재의 내부에 로드 포트의 도어 방향으로 배치되며, 로드 포트의 도어 간극 거리를 측정하는 센서를 상기 도어에 나란한 방향으로 이동시키는 이송부재; 를 포함하며,
    상기 이송부재는,
    상기 도어에 나란한 방향으로 배치되는 가이드부재;
    상기 가이드 부재를 따라 슬라이딩되게 서로 대칭으로 상기 가이드부재에 장착되는 한쌍의 지지조립체;
    상기 한쌍의 지지조립체의 사이에 위치하여 상기 한쌍의 지지조립체 각각에 장착되는 풀리조립체;
    상기 풀리조립체에 연결된 구동수단;
    을 포함하는 로드 포트 정렬 측정 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지조립체는,
    상단 및 하단 각각에 상기 도어에 접근하는 방향으로 이동가능한 활주수단이 구비되고, 상기 활주수단에 외향 돌출되게 상기 센서가 장착되는 것을 특징으로 하는 로드 포트 정렬 측정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 활주수단은,
    상기 센서의 측정방향으로 측정거리를 조절가능한 조절노브가 마련되는 것을 특징으로 하는 로드 포트 정렬 측정 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 이송부재는 키네마틱 평판 위에 탑재되었을 경우에 상기 센서의 측정 거리를 표시하기 위한 거리 표시 부재가 구비되며, 상기 거리 표시 부재는 상기 베이스부재에 고정된 LED 표시창인 것을 특징으로 하는 로드 포트 정렬 측정 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 베이스부재는,
    기판 수납 용기가 탑재되는 키네마틱 평판 과의 위치 관계가 정의되는 일 군의 제1 관통홀이 형성된 제1 플레이트;
    상기 제1 플레이트에 상기 로드 포트의 도어와 나란하게 배치되며, 상기 도어가 기판 수납용기와의 위치 관계가 정의되는 래치키에 맞물림 가능한 일 군의 제2 관통홀이 형성된 제2 플레이트;
    를 포함하는 로드 포트 정렬 측정 장치.
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