KR102322242B1 - 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러 - Google Patents

반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러 Download PDF

Info

Publication number
KR102322242B1
KR102322242B1 KR1020150131070A KR20150131070A KR102322242B1 KR 102322242 B1 KR102322242 B1 KR 102322242B1 KR 1020150131070 A KR1020150131070 A KR 1020150131070A KR 20150131070 A KR20150131070 A KR 20150131070A KR 102322242 B1 KR102322242 B1 KR 102322242B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stacker
loading
handler
unloading
customer tray
Prior art date
Application number
KR1020150131070A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170033131A (ko
Inventor
나윤성
김남형
곽보현
이상훈
Original Assignee
(주)테크윙
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)테크윙 filed Critical (주)테크윙
Priority to KR1020150131070A priority Critical patent/KR102322242B1/ko
Publication of KR20170033131A publication Critical patent/KR20170033131A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102322242B1 publication Critical patent/KR102322242B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 해당 스택커가 적용될 수 있는 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커는 일부의 정렬부재를 회전시켜서 스택커의 내부를 개방하거나 폐쇄할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 핸들러는 로딩 스택커나 언로딩 스택커의 하방에 대기 스택커를 구비한다.
위와 같은 본 발명에 따르면, 핸들러의 가동률이 크게 상승할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러{STACKER OF HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR AND HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR}
본 발명은 반도체소자를 테스트할 때 사용되는 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것으로, 특히 고객트레이를 적재할 수 있는 스택커에 관한 것이다.
반도체소자 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 약칭 함)는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하는 장비이다.
핸들러는 대한민국 등록 특허 10-0815131호(이하 '종래기술'이라 함) 등을 통해 공개되어 있다.
일반적으로 핸들러는 로딩위치에 있는 테스트트레이로 테스트되어야 할 반도체소자를 로딩(Loading)하고, 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩(Unloading)한다. 이 때, 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩되는 반도체소자는 로딩 플레이트에 있는 고객트레이로부터 공급되고, 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 언로딩되는 반도체소자는 언로딩 플레이트에 있는 빈 고객트레이로 적재된다. 여기서 로딩 플레이트 및 언로딩 플레이트는 트랜스퍼에 의한 고객트레이의 공급 및 회수를 위해 승강 가능하게 구비되며, 주지한 기술이므로 그 설명을 생략한다.
위와 같은 핸들러는 처리 용량의 확장 및 가동률을 상승시키기 위해, 로딩 플레이트에 위치시킬 다수의 고객트레이를 수용하는 로딩 스택커와 언로딩플레이트로부터 회수되는 다수의 고객트레이를 수용하는 언로딩 스택커를 구비한다. 또한, 핸들러는 언로딩 플레이트로 빈 고객트레이를 공급하기 위한 엠프티(empty) 스택커나 불량 판정된 반도체소자들이 적재된 고객트레이를 수용하기 위한 배드빈 스택커 등을 가진다. 물론, 임의적인 필요에 따라서 더 많은 종류의 스택커들을 가질 수 있다.
한편, 종래기술을 살펴보면 고객트레이(종래기술에는 '트레이'라고 명명됨)를 적재할 수 있는 로딩 스택커(종래기술에는 '로딩부'로 명명됨), 언로딩 스택커(종래기술에는 '언로딩부'로 명명됨), 엠프티스택커(종래기술에는 '엠프티적재부'로 명명됨) 등이 제시되어 있다.
그런데, 종래기술 및 공지 기술들에 의하면 로딩 스택커에 수용된 고객트레이들이 모두 소진되거나 언로딩 스택커에 고객트레이가 채워지면, 핸들러의 가동을 정지시킨 후 로딩 스택커로 고객트레이를 공급하거나 언로딩 스택커로부터 고객트레이를 수거한 후 핸들러를 재가동시켜야만 한다. 그리고 이러한 고객트레이의 공급 및 수거에 따른 일련의 작업은 수작업에 의해 이루어져야만 한다.
따라서 그만큼 핸들러의 가동률 및 처리 용량이 하락하게 된다.
본 발명의 제1 목적은 핸들러의 가동 중에도 고객트레이를 공급하거나 수거하는 작업이 이루어질 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
더 나아가 본 발명의 제2 목적은 핸들러의 가동 중에도 자동 대차를 이용하여 고객트레이를 자동으로 공급하거나 회수할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커는, 수직 방향으로 적재되는 고객트레이를 정렬시키기 위한 다수의 정렬부재; 및 상기 다수의 정렬부재 중 전방에 있는 특정 정렬부재를 정역 회전시킴으로써 전방 측으로 내부를 개방하여 고객트레이가 진출 또는 진입할 수 있도록 하거나 내부를 폐쇄시키는 회전기; 를 포함한다.
상기 특정 정렬부재가 결합되며, 수직선을 회전축으로 하여 회전 가능하게 구비되는 회전봉; 을 더 포함하고, 상기 회전기는 상기 회전봉을 회전시키는 회전원을 포함한다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는, 로딩(Loading)위치, 테스트(Test)위치 및 언로딩(Unloading)위치를 거쳐 다시 상기 로딩위치로 이어지는 일정한 순환 경로를 순환하며, 반도체소자가 안착될 수 있는 테스트트레이; 상기 테스트트레이가 상기 로딩위치에 있을 때, 로딩 플레이트에 있는 고객트레이에서 상기 테스트트레이로 반도체소자를 로딩시키는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의한 반도체소자의 로딩이 완료된 후 상기 테스트위치로 온 상기 테스트트레이의 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치; 테스트가 완료된 후 상기 테스트위치로부터 상기 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩 플레이트에 있는 빈 고객트레이로 언로딩시키는 언로딩장치; 상기 로딩 플레이트로 공급될 고객 트레이들이 수용될 수 있는 로딩 스택커 부분; 상기 언로딩 플레이트에서 회수될 고객 트레이들이 수용될 수 있는 언로딩 스택커 부분; 및 상기한 각 구성들에 대하여 필요한 제어를 수행하는 제어장치; 를 포함하고, 상기 로딩 스택커 부분은, 상기 로딩 플레이트로 이송될 고객 트레이가 수용될 수 있는 로딩 스택커; 상기 로딩 스택커의 하방에 구비되어서 상기 로딩 스택커로 공급될 고객트레이가 대기하는 제1 대기 스택커; 및 상기 제1 대기 스택커에 적재된 고객트레이를 상승시켜 상기 로딩 스택커로 이동시키는 제1 이동기; 를 포함하며, 상기 언로딩 스택커 부분은, 상기 언로딩 플레이트로부터 회수된 고객 트레이가 수용될 수 있는 언로딩 스택커; 상기 언로딩 스택커의 하방에 구비되어서 상기 언로딩 스택커로부터 온 고객트레이가 대기하는 제2 대기 스택커; 및 상기 언로딩 스택커에 적재된 고객트레이를 하강시켜 상기 제2 대기 스택커로 이동시키는 제2 이동기; 를 포함한다.
상기 제1 이동기 또는 제2 이동기는, 적재된 고객트레이를 받치는 받침판; 및 상기 받침판을 승강시키는 승강원; 을 포함하고, 상기 로딩 스택커 또는 언로딩 스택커는 고객트레이를 지지하거나 지지를 해제할 수 있는 지지기; 를 포함한다.
상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커는 제1항에 따른 스택커로 구비된다.
상기 핸들러는 자동 대차와 통신하기 위한 통신모듈; 을 더 포함하고, 상기 제어장치는 상기 통신모듈을 통해 상기 자동 대차로부터 고객트레이의 공급 또는 수거 신호가 오면 상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커를 개방시킨다.
상기 제어장치에 의한 상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커의 개방은 상기 로딩장치 및 언로딩장치의 작동과 무관하게 이루어진다.
상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커의 하방에는 상기 자동 대차에 구비되어서 고객트레이를 지지하는 지지기구가 출입할 수 있는 출입공간이 구비되어 있다.
상기 지지기구가 상기 출입공간으로 진입하기 전에 상기 지지기구의 위치를 결정하기 위해 마련되는 피감지체; 를 더 포함할 수 있다.
상기 지지기구가 상기 출입공간으로 진입하기 시작한 후에 상기 지지기구의 위치를 결정하기 위해 마련되는 센서도그; 를 더 포함할 수 있다.
상기 핸들러는 자동 대차와 결합되기 위한 결합기; 를 더 포함하고, 상기 결합기는, 하우징; 및 상기 하우징에 설치되는 롤러들; 을 포함하며, 상기 롤러들 중 전방에 있는 롤러들 간의 간격은 후방에 있는 롤러들 간의 간격보다 넓다.
본 발명에 따르면 핸들러의 가동에 무관하게 핸들러로 고객트레이를 공급하거나 핸들러로부터 고객트레이를 수거할 수 있고, 고객트레이의 공급 및 수거 작업을 자동 대차를 이용해 자동으로 수행할 수 있다.
따라서 핸들러의 가동률 및 처리 용량이 상승하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러에 대한 개념적인 평면 구성도이다.
도 2는 도 1의 핸들러의 특징 부위에 대한 개념적인 정면도이다.
도 3은 도 2에서 로딩 스택커 부분의 일부를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 4는 도 3에서 로딩 스택커를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 5는 도 3에서 지지기를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 6은 도 5의 지지기의 작동을 설명하기 위한 작동 상태도이다.
도 7은 도 3에서 제1 대기 스택커를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 8은 도 7의 제1 대기 스택커에서 개방대의 작동 상태를 설명하기 위한 작동 상태도이다.
도 9는 도 7에서 회전기를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 10은 도 3에서 제1 이동기를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 11은 자동 대차가 도 1의 핸들러로 이동한 모습을 보여주는 배치도이다.
도 12는 도 1의 핸들러에서 결합기를 발췌한 발췌도이다.
도 13은 도 1의 핸들러가 제1 대기 스택커를 개방시킨 모습을 보여주는 작동 상태도이다.
도 14는 도 1의 핸들러가 제1 대기 스택커를 폐쇄시킨 모습을 보여주는 작동 상태도이다.
도 15는 도 1의 핸들러가 로딩 스택커를 개방시킨 모습을 보여주는 작동 상태도이다.
도 16은 도 1의 핸들러에서 제1 이동기에 의해 고객트레이가 제1 대기 스택커에서 로딩 스택커로 이동된 모습을 보여주는 작동 상태도이다.
도 17은 본 발명의 핸들러에 호응하는 자동 대차에 대한 개념적인 구성도이다.
도 18은 도 17의 자동 대차에 적용된 수급장치를 발췌한 발췌사시도이다.
도 19는 도 18의 수급장치에 적용된 지지기를 발췌한 발췌사시도이다.
도 20는 도 19의 지지기의 작동 상태를 설명하기 위한 참조도이다.
도 21은 도 18의 수급장치에 적용된 수급기에 대한 발췌 사시도이다.
도 22는 도 21의 수급기에 적용된 제1 이동유닛에 대한 발췌 사시도이다.
도 23은 도 21의 수급기에 적용된 승강유닛에 대한 발췌 사시도이다.
도 24는 도 21의 수급기에 적용된 제2 이동유닛에 대한 발췌 사시도이다.
도 25는 도 17의 자동 대차에 적용된 결합장치를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 26은 도 1의 핸들러에 적용된 결합기 도 17의 자동 대차에 적용된 결합장치 간의 결합 구조를 설명하기 위한 참조도이다.
도 27은 받침프레임에 의해 공급 스택커에 있는 고객트레이를 받친 상태를 보여주는 작동 상태도이다.
도 28은 고객트레이들이 공급 스택커의 하방으로 하강된 상태를 보여주는 작동 상태도이다.
도 29는 공급 스택커의 위치를 확인하기 위해 받침프레임이 후방으로 일정 거리 이동한 상태를 보여주는 작동 상태도이다.
도 30은 핸들러의 받침판에 고객트레이를 얹어놓은 상태를 보여주는 작동 상태도이다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 참고로 설명의 간결함을 위해 공지되었거나 중복되는 설명이나 도면의 부호 표기는 가급적 생략하거나 압축한다.
<핸들러에 대한 설명>
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러(100)에 대한 개념적인 평면 구성도이다. 참고로 본 실시예에서의 핸들러(100)는 테스트트레이(TT)가 수직인 상태에서 반도체소자들이 테스터(TESTER)에 전기적으로 연결되는 구조를 가진다.
본 발명에 따른 핸들러(100)는 도 1에서와 같이, 테스트트레이(TT), 제1 핸드(110), 제1 챔버(120), 테스트챔버(130), 연결장치(140), 제2 챔버(150), 제2 핸드(160), 로딩 스택커 부분(170), 언로딩 스택커 부분(180), 기타 스택커 부분(190), 제어장치(CA) 및 통신모듈(CM)을 포함하고 있다.
테스트트레이(TT)는 대한민국 공개특허 10-2007-0088010호 등에서 참조되는 바와 같이 반도체소자가 안착될 수 있는 복수의 인서트가 다소 유동 가능하게 설치되며, 다수의 이송장치(미도시)에 의해 정해진 폐쇄경로(C)를 따라 순환한다.
제1 핸드(110)는 로딩 플레이트(LP) 상의 고객트레이(CT)에 적재되어 있는 테스트되어야 할 반도체소자들을 제1 위치(P1)에 있는 테스트트레이(TT)로 로딩(Loading)시킨다. 이러한 경우 제1 핸드(110)는 반도체소자들을 테스트트레이(TT)에 로딩시키는 로딩장치로서 기능하며, 제1 위치(P1)는 로딩위치(Loading Position)가 된다.
제1 챔버(120)는 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트 환경조건에 따라 예열(豫熱) 또는 예냉(豫冷)시키기 위해 마련된다.
테스트챔버(130)는 제1 챔버(120)에서 예열 또는 예냉된 후 테스트위치(TP : Test Position)로 이송되어 온 테스트트레이(TT)의 반도체소자들을 테스트하기 위해 마련된다.
연결장치(140)는 테스트챔버(130) 내의 테스트위치(TP)에 있는 테스트트레이(TT)를 테스트챔버(130) 측에 결합되어 있는 테스터(TESTER) 측으로 밀어 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결시킨다.
제2 챔버(150)는 테스트챔버(130)로부터 이송되어 온 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 가열 또는 냉각된 반도체소자들을 상온(常溫) 또는 상온에 가깝게 회귀시키기 위해 마련된다.
제2 핸드(160)는 제2 위치(P2)로 온 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트 등급별로 분류하면서 언로딩 플레이트(UP) 상에 있는 빈 고객트레이(CT)로 언로딩(Unloading)시킨다. 이러한 경우 제2 핸드(180)는 반도체소자들을 테스트트레이(TT)로부터 언로딩시키는 언로딩장치로서 기능하며, 제2 위치(P2)는 언로딩위치(Unloading Position)가 된다.
위와 같은 구성을 가지는 핸들러(100)에서 테스트트레이(TT)는 제1 위치(P1), 테스트위치(TP) 및 제2 위치(P2)를 지나 다시 제1 위치(P1)로 이어지는 순환 경로(C)를 따라서 순환 이동한다.
그리고 근래에 본 출원인에 의해 새로이 제안된 핸들러에서는, 테스트 모드에 따라서 테스트트레이(TT)가 순환 경로(C)의 역방향으로 순환 이동할 수도 있다. 이러한 경우, 제1 핸드(110)와 제2 핸드(160), 제1 챔버(120)와 제2 챔버(150)의 역할이 전환되며, 제2 위치(P2)가 로딩위치가 되고 제1 위치(P1)가 언로딩위치가 된다.
한편, 로딩 스택커 부분(170)은 로딩 플레이트(LP)로 공급될 고객트레이(CT)를 수용하기 위해 마련된다.
언로딩 스택커 부분(180)은 언로딩 플레이트(UP)로부터 회수되는 고객트레이(CT)를 수용하기 위해 마련된다.
본 발명은 위의 로딩 스택커 부분(170)과 언로딩 스택커 부분(180)에 특징이 있으며, 차후에 더 자세히 설명한다.
기타 스택커 부분(190)은 제1 엠프티 스택커(191), 제2 엠프티 스택커(192), 배드빈 스택커(193) 및 멀티 스택커(194) 등을 포함한다.
제1 엠프티 스택커(191)에는 언로딩 플레이트(UP)로 공급될 빈 고객트레이들이 수용된다.
제2 엠프티 스택커(192)에는 로딩 플레이트(LP)에서 반도체소자가 비워진 고객트레이들이 수용된다. 참고로 제2 엠프티 스택커(192)에 수용된 빈 고객트레이는 트랜스퍼(도시되지 않음)에 의해 제1 엠프티 스택커(191)로 이송된 후 언로딩 플레이트(UP)로 공급될 수 있다.
배드빈 스택커(193)에는 테스트 결과 불량 판정된 반도체소자들이 적재된 고객트레이들이 수용된다.
멀티 스택커(194)에는 양호 판정된 등급들의 반도체소자들 중 상대적으로 소량인 등급의 반도체소들이 적재된 고객트레이들이 수용된다.
제어장치(CA)는 위의 각 구성들 중 작동 가능한 구성들에 대하여 필요한 제어를 수행한다.
통신모듈(CM)은 고객트레이를 공급하거나 수거하는 자동 대차(300)와 무선 통신을 하기 위해 마련된다. 이러한 통신모듈(CM)은 핸들러(100)와 고객트레이(CT)의 물류를 총괄 관리하는 관리서버(MS) 간의 통신을 수행하는데 사용될 수도 있으며, 핸들러(100)와 관리서버(MS) 간의 통신은 유선 통신으로 구현될 수도 있다.
결합기(JA, 도 2 참조)는 자동 대차(300)와의 기구적 결합을 위해 마련되며, 차후에 더 자세히 설명한다.
계속하여 도 2 이하를 참조하여 본 발명의 특징적인 부위인 로딩 스택커 부분(170)과 언로딩 스택커 부분(180)에 대하여 더 자세히 설명한다.
도 2는 도 1의 핸들러(100)의 특징 부위에 대한 개념적인 정면도이다.
도 2를 참조하면 로딩 스택커 부분(170)은 2개의 로딩 스택커(171), 2개의 제1 대기 스택커(172) 및 2개의 제1 이동기(173)를 포함한다. 그리고 언로딩 스택커 부분(180)은 2개의 언로딩 스택커(181), 2개의 제2 대기 스택커(182) 및 2개의 제2 이동기(183)를 포함한다. 그리고 언로딩 스택커 부분(180)의 우측에는 전술한 기타 스택커 부분(190)이 구비된다. 물론, 실시하기에 따라서는 로딩 스택커 부분에 로딩 스택커, 제1 대기 스택커 및 제1 이동 스택커가 1개 씩만 구비되거나 3개 이상씩 구비될 수도 있으며, 언로딩 스택커 부분도 언로딩 스택커, 제2 대기 스택커 및 제2 이동 스택커가 1개 씩만 구비되거나 3개 이상씩 구비될 수도 있다.
한편, 위의 2개의 로딩 스택커(171)와 2개의 언로딩 스택커(181)는 실질적인 구성이 동일하고, 위의 2개의 제1 대기 스택커(172)와 2개의 제2 대기 스택커(182)도 실질적인 구성이 동일하며, 위의 2개의 제1 이동기(173)와 2개의 제2 이동기(183)도 실질적인 구성이 동일하다. 따라서 각각 하나의 로딩 스택커(171), 하나의 제1 대기 스택커(172), 하나의 제1 이동기(173)에 대한 설명으로 나머지에 대한 설명을 갈음한다.
도 3은 로딩 스택커 부분(170)의 일부를 발췌한 발췌 사시도이다. 도 3에서와 같이 로딩 스택커 부분(170)에는 로딩 스택커(171), 제1 대기 스택커(172) 및 제1 이동기(173)가 상호 유기적으로 배치되어 있다.
1. 제1 로딩 스택커에 대한 설명
제1 대기 스택커(172)의 상방에 구비되는 로딩 스택커(171)를 발췌한 도 4에서와 같이 로딩 스택커(171)는 정렬부재(171a)들 및 한 쌍의 지지기(171b)를 포함한다.
정렬부재(171a)들은 상하 방향으로 긴 봉 형태로 8개가 구비된다. 그리고 8개의 정렬부재(171a)들은 2개씩 한 조가 되어 로딩 스택커(171)에 수용된 고객트레이(CT)의 사각 귀퉁이를 정렬시키고, 한편으로는 제1 대기 스택커(172)에서 상방으로 상승하여 오는 고객트레이(CT)들의 상승 이동을 안내한다.
지지기(171b)는 도 5의 발췌 사시도에서와 같이 2개의 회전봉(171b-1), 4개의 지지부재(171b-2), 회전원(171b-3), 승강부재(171b-4) 및 2개의 전환부재(171b-5)를 포함한다.
2개의 회전봉(171b-1)은 상호 일정 간격 이격되어 있으며, 회전원(171b-3)의 작동에 따라서 상호 반대 방향으로 회전한다.
4개의 지지부재(171b-2)는 2개씩 나누어져서 회전봉(171b-1)에 고정 설치된다. 따라서 지지부재(171b-2)는 회전봉(171b-1)의 회전에 연동하여 함께 회전한다.
회전원(171b-3)은 회전봉(171b-1)들의 회전에 필요한 회전력을 제공하기 위한 것으로서, 본 발명에서는 실린더로 구비되고 있으나, 실시하기에 따라서는 모터로 구비될 수도 있다.
승강부재(171b-4)는 회전원(171b-3)의 작동에 따라 승강하며, 회전원(171b-3)의 직선 이동 동력을 2개의 전환부재(171b-5)로 전달한다.
2개의 전환부재(171b-5)는 2개의 회전봉(171b-1)에 각각 나뉘어 결합되며, 승강부재(171b-4)의 승강에 따라 회전함으로써 회전원(171b-3)의 직선 이동 동력을 회전봉(171b-1)들의 회전력으로 전환한다.
위와 같은 구성을 가지는 지지기(171b)는 회전봉(171b-1)의 회전 상태에 따라 도 6의 (a)에서와 같이 로딩 스택커(171)에 수용된 고객트레이(CT)를 지지하거나 도 6의 (b)에서와 같이 로딩 스택커(171)의 내부를 하방 측으로 개방한다. 만일 도 6의 (b)에서와 같이 로딩 스택커(171)의 내부가 하방 측으로 개방된 경우에는 하방의 제1 대기 스택커(172)에 있는 고객트레이(CT)가 상승 이동(화살표 a 참조)하여 로딩 스택커(171)의 내부로 이동할 수 있게 된다. 물론, 제 1 대기 스택커(172)에 있는 고객트레이(CT)가 상승하면 도 6의 (a)에서와 같이 지지기(171b)가 고객트레이(CT)를 지지하는 상태로 전환된다.
참고로 언로딩 스택커(181)에서도 지지기가 고객트레이(CT)를 지지하거나 언로딩 스택커(181)의 내부를 하방 측으로 개방한다. 이 때, 언로딩 스택커(181)의 내부가 하방 측으로 개방되면, 언로딩 스택커(181)에 수용된 고객트레이(CT)가 하방의 제1 대기 스택커(182)로 하강 이동할 수 있게 된다.
2. 제1 대기 스택커에 대한 설명
로딩 스택커(171)의 하방에 구비되는 제1 대기 스택커(172)는 도 7의 발췌 사시도에서와 같이 8개의 정렬부재(172a, RB, OB) 및 2개의 회전기(172b)를 포함한다.
8개의 정렬부재(172a, RB, OB)는 상하 방향으로 긴 후방의 4개의 정렬봉(172a)과 상하 방향으로 긴 전방의 2개의 회전봉(RB) 및 2개의 개방대(OB)로 구성된다.
4개의 정렬봉(172b)은 2개씩 한 조가 되어 제1 대기 스택커(172)에 수용된 고객트레이(CT)의 후방 양 측 귀퉁이를 정렬시키고, 한편으로는 로딩 스택커(171)를 향해 상방으로 상승하는 고객트레이(CT)들의 상승 이동을 안내한다.
2개의 회전봉(RB)은 설치축(IS)에 수직선(PL, 도 9 참조)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 설치되며, 제1 대기 스택커(172)에 수용된 고객트레이(CT)의 전단 좌우 양측을 정렬시킨다.
2개의 개방대(OB)는 각각 2개의 회전봉(RB)에 나뉘어 결합되며, 2개의 회전봉(RB)의 회전에 연동하여 회전한다. 따라서 2개의 개방대(RB)의 회전 상태에 따라서 도 8의 (a)에서와 같이 제1 대기 스택커(172)를 폐쇄시키는 역할과 더불어 제1 대기 스택커(172)에 수용된 고객트레이(CT)의 전단을 정렬하여 고객트레이(CT)의 흐트러짐을 바로잡거나, 도 8의 (b)에서와 같이 제1 대기 스택커(172)의 내부를 전방 측으로 개방시킨다. 참고로 도 8의 (a)에서는 회전봉(RB)이 고객트레이(CT)의 전단 좌우 양측을 정렬시키고 있음을 확인할 수 있다. 물론, 회전봉(RB)이 고객트레이(CT)의 정렬 기능을 가지지 않도록 구성하는 것도 가능하다.
2개의 회전기(172b)는 2개의 개방대(OB)를 각각 서로 반대 방향으로 회전시키기 위해 마련된다. 따라서 상호 동일한 구성을 가지므로 하나의 회전기(172b)에 대한 설명으로 나머지에 대한 설명을 갈음한다.
회전기(172b)는 도 9의 발췌 사시도에서와 같이 피니언(172b-1), 랙(172b-2), 회전원(172b-3), 진퇴부재(172b-4), 가이드봉(172b-5), 가이드부재(172b-6)를 포함한다.
피니언(172b-1)은 회전봉(RB)에 결합되어 있다. 물론, 실시하기에 따라서는 피니언이 회전봉에 일체로 형성될 수도 있다.
회전원(172b-3)의 작동에 따라 랙(172b-2)은 전후 방향으로 이동하며, 피니언(172b-1)과 기어물림 되어 있다.
회전원(172b-3)은 랙(172b-2)을 전후 방향으로 이동시키기 위한 실린더로 구비된다.
진퇴부재(172b-4)는 회전원(172b-3)의 작동에 따라 전후 이동 가능하게 구비되며, 랙(172b-2)이 결합되어 있다.
가이드봉(172b-5)은 진퇴부재(172b-4)에 결합되어 있다.
가이드부재(172b-6)에는 가이드구멍(GH)이 형성되어 있다. 이러한 가이드구멍(GH)에 가이드봉(172b-5)이 통과되게 설치된다. 여기서 가이드구멍(GH) 측에는 가이드부시(GB)가 설치되는 것이 바람직하다.
따라서 회전원(172b-3)이 작동하면 랙(172b-2)이 전후 방향으로 이동하게 되고, 피니언(172b-1), 회전봉(RB) 및 개방대(OB)가 회전하여 도 8의 (a) 또는 (b)의 상태로 된다. 물론, 진퇴부재(172b-4)에 결합된 랙(172b-2)의 전후 직선 이동은 가이드봉(172b-5) 및 가이드부재(172b-6)에 의해 적절히 안내된다.
만일 도 8의 (b)의 상태가 되면, 고객트레이(CT)가 전방에서 제1 대기 스택커(172)의 내부로 진입(화살표 b 참조)할 수 있게 된다.
참고로 제2 대기 스택커(182)에서도 회전기의 작동 상태에 따라 제2 대기 스택커(182)가 전방 측으로 개방될 수 있으며, 이러한 경우 제2 대기 스택커(182)에 수용된 고객트레이(CT)가 제2 대기 스택커(182)의 내부에서 전방으로 인출될 수 있다.
또한, 모터를 회전봉의 상측 또는 하측에 설치하여, 모터에 의해 회전봉(172b-1)을 직접 회전시키는 구조도 충분히 고려될 수 있다.
한편 도7을 다시 참조하면, 제1 대기 스택커(172)들 및 제2 대기 스택커(182)들의 하측에는 자동 대차(300)에 구비되어서 고객트레이(CT)를 지지하는 지지기구인 받침프레임(313a-1, 도 22 참조)이 출입할 수 있는 출입공간(ES)이 구비되어 있다. 그리고 회전대(RB)의 전방에는 자동 대차(300)가 고객트레이(CT)의 공급위치를 파악할 수 있도록 하기 위해서, 자동 대차(300)에 의해 감지될 수 있는 피감지체(PS)가 구비된다. 물론, 자동 대차(300)의 받침프레임(313a-1)에는 피감지체(PS)를 감지할 수 있는 감지체(313a-5, 도 22 참조)가 구비된다. 따라서 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 진입하기 전에 먼저 감지체(313a-5)에 의해 피감지체(PS)를 감지하면서 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 정교하게 진입할 수 있는 상하 방향으로의 높이와 좌우 방향으로의 위치를 확인할 수 있다. 더 나아가 출입공간(ES)의 하측 전방에는 센서도그(SD)가 구비된다. 이러한 센서도그(SD)는 피감지체(PS)의 보조수단으로서 활용되며, 피감지체(PS)를 통해 확인된 좌우 방향으로의 위치를 더 정확하게 확인하기 위해 마련된다. 물론, 자동 대차(300)의 받침프레임(313a-1)에는 센서도그(SD)를 인식할 수 있는 말굽 형상의 감지기(313a-6)가 구비된다. 감지기(313a-6)는 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 진입함에 따라 센서도그(SD)의 상측에서 후방으로 이동하면서 받침프레임(313a-1)의 중심 위치를 확인할 수 있으며, 더불어 받침프레임(313a-1)이 후방으로 너무 깊이 진입하거나 덜 진입하는 문제를 방지하기도 한다.
즉, 피감지체(PS)는 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 진입하기 전에 받침프레임(313a-1)의 위치를 결정하기 위해 마련되며, 센서도그(SD)는 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 진입하기 시작한 후에 받침프레임(313a-1)의 위치를 결정하기 위해 마련된다.
3. 제1 이동기에 대한 설명
도 10의 발췌 사시도에서와 같이 제1 이동기(173)는 받침판(173a) 및 승강원(173b)을 포함한다.
받침판(173a)은 고객트레이(CT)들을 받친다.
승강원(173b)은 받침판(173a)에 받쳐진 고객트레이(CT)를 상승시켜 고객트레이(CT)를 제1 대기 스택커(172)에서 로딩 스택커(171)로 상승 이동시키는 동력을 제공한다. 이러한 승강원(173b)은 본 실시예에서처럼 실린더로서 구비될 수도 있지만, 모터로 구비될 수도 있다. 물론, 받침판(173a)은 승강원(173b)에 의해 승강(화살표 c 참조)되므로, 승강원(173b)에 의해 받침판(173a)이 다시 하강될 수 있다.
참고로, 제2 이동기(183)는 언로딩 스택커(181)에 있는 고객트레이(CT)를 제2 대기 스택커(182)로 하강 이동시키는데 사용된다.
위와 같은 스택커들의 배치 구조에서는, 트랜스퍼(도시되지 않음)가 로딩 스택커(171)에 있는 고객트레이(CT)들을 로딩 플레이트(LP)로 이동시키고, 언로딩 플레이트(UP)에 있는 고객트레이(CT)는 언로딩 스택커(181)로 이동시킨다. 여기서 제1 대기 스택커(172)와 제2 대기 스택커(182)는 트랜스퍼의 작동과 직접적인 관련성이 없음을 알 수 있다. 따라서 트랜스퍼가 로딩 스택커(171)나 언로딩 스택커(181)에 대하여 작업을 수행 중인 경우에도 제1 대기 스택커(172)로 고객트레이(CT)가 공급되거나 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)가 수거될 수 있다. 즉, 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)는 로딩 스택커(171)나 언로딩 스택커(181)와 별개로 구비되며, 로딩장치(110), 언로딩장치(160) 및 트랜스퍼의 작동과 무관하게 고객트레이(CT)를 수용하기 위한 내부의 수용 공간을 전방으로 개폐할 수 있는 것이다. 물론, 제1 대기 스택커(172)로 공급된 고객트레이(CT)는 제1 이동기(173)에 의해 로딩 스택커(171)로 상승할 수 있고, 언로딩 스택커(181)에 수용된 고객트레이(CT)는 제2 이동기(183)에 의해 제2 대기 스택커(182)로 하강할 수 있다.
이어서 위와 같은 구성을 가지는 핸들러(100)의 작동에 대하여 설명한다.
핸들러(100)는 작동 중에 센서를 통해 제1 대기 스택커(171) 또는 제2 대기 스택커(181)에 있는 고객트레이(CT)들의 물량을 지속적으로 파악한다. 만일 제1 대기 스택커(172)가 비워진 상태이거나 제2 대기 스택커(182)를 비워야 하는 상황이 오면, 핸들러(100)는 통신모듈(CM)을 통해 관리서버(MS)로 자신의 상황 정보를 전송한다. 이하에서는 제1 대기 스택커(172)가 비워진 경우를 예로 들어 설명한다.
관리서버(MS)는 핸들러(100)로부터 온 상황 정보를 파악한 후 자동 대차(300)로 해당 핸들러(100)에 고객트레이(CT)를 공급해 줄 것을 요구한다.
자동 대차(300)는 관리서버(MS)로부터 받은 명령에 따라 기 입력되어 있거나 관리서버(MS)로부터 받은 해당 핸들러(100)의 좌표값을 이용하여 해당 핸들러(100)로 이동하여 도 11에서와 같이 핸들러(100)의 전방에 인접하게 위치한다. 도 11의 상태에서는 자동 대차(300)와 핸들러(100) 간에 직접 근거리 무선 통신이 가능하다.
도 11의 상태에서 자동 대차(300)와 핸들러(100)는 안정되게 고객트레이(CT)를 이동시키기 위해 결합대(JB)와 결합기(JA)에 의해 상호 기구적으로 단단히 결합된다. 여기서 결합대(JB)는 자동 대차(300)에 구비된다. 그리고 핸들러(100)에는 도 2에서와 같이 그 하단 부근에 결합기(JA)가 구비된다.
도 12는 핸들러(100)에서 결합기(JA)를 발췌한 발췌도이다.
도 12에서와 같이 결합기(JA)는 하우징(H)과 2개씩 좌우 양측으로 나뉘어 상호 이격되게 설치된 4개의 롤러(R1, R1', R2, R2')로 구성된다. 여기서 전방의 2개의 롤러(R1, R2) 간의 간격(L1)은 후방의 2개의 롤러(R1', R2')간의 간격(L2)보다 더 넓어서, 진입해 오는 결합대(JB)를 적절히 안내할 수 있도록 되어 있다. 물론, 후방의 2개의 롤러(R1', R2') 간의 간격(L2)은 결합대(JB)가 양 롤러(R1', R2') 사이에 끼일 수 있는 간격을 가지도록 하여 핸들러(100)와 자동 대차(300) 상호 간의 위치가 단단히 고정될 수 있도록 되어 있으며, 결합대(JB)가 양 롤러(R1', R2') 사이로 진입하면서 핸들러(100)와 자동 대차(300) 간의 틀어진 위치도 바로 잡힐 수 있다. 또한, 롤러(R1, R1', R2, R2')로 진입해 오는 결합대(JB)를 안내하게 함으로써 마찰도 감소될 수 있다.
참고로 자동 대차(300)가 핸들러(100)에 접근할 때, 감지에 의해 정확한 위치를 설정하는 것을 고려할 수도 있다. 그러나 고객트레이(CT)의 정확한 공급 및 수거를 위해서는 양자 간의 위치가 정밀하게 설정될 필요성이 있는데, 현재의 감지 기술의 수준과 자동 대차(300)의 관성 등으로 인해 감지만으로는 양자 간의 정밀한 위치 설정이 곤란하다. 따라서 결합기(JA)와 결합대(JB)라는 기구적인 도구를 사용하여 자동 대차(300)와 핸들러(100) 양자 간의 위치를 정밀히 설정하고 있다.
한편, 상호 결합이 완료되면 핸들러(100)의 제어장치(CA)는 도 13에서와 같이 개방대(OB)를 역회전 시켜 제1 대기 스택커(172)를 개방시킨다. 그리고 도 13의 상태에서 자동 대차(300)에 의해 고객트레이(CT)가 제1 대기 스택커(172)로 공급된다. 물론, 도 13의 상태에서도 핸들러(100)는 로딩 스택커(171)에 있는 여분의 고객트레이(CT)를 로딩 플레이트(LP)로 이동시키면서 계속 작업을 수행한다. 즉, 자동 대차(300)에 의한 고객트레이(CT)의 공급이나 수거를 위한 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 개방과는 무관하게 핸들러(100)는 제1 핸드(110)나 제2 핸드(160) 등을 작동시키면서 작업을 지속적으로 수행하는 것이다.
제1 대기 스택커(172)로 고객트레이(CT)의 공급이 완료되면, 핸들러(100)의 제어장치(CA)는 개방대(OB)를 정회전시켜 도 14에서와 같이 제1 대기 스택커(172)를 폐쇄시킨다. 이어서 자동 대차(300)와 핸들러(100) 간의 결합이 해제되고 자동 대차(300)는 임무 완성 후 관리서버(MS)의 다음 지시를 수행하기 위해 떠난다. 물론, 도 14의 상태에서 자동 대차(300)는 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 작업을 연속적으로 더 수행할 수도 있다.
한편, 로딩 스택커(171)가 모두 비워지면, 도 15에서와 같이 로딩 스택커(171)의 지지기(171b)가 작동하여 로딩 스택커(171)를 하방향으로 개방시키고, 도 16에서와 같이 제1 이동기(173)가 작동하여 받침판(173a)을 상승시킴으로써 제1 대기 스택커(172)에 수용된 고객트레이(CT)들을 로딩 스택커(171)로 상승 이동시킨다.
도 16의 상태에서 지지기(171b)가 로딩 스택커(171)의 하방을 폐쇄시키면, 제1 이동기(173)가 작동하여 받침판(173a)을 하강시키게 되고, 받침판(173a)의 하강과 함께 고객트레이(CT)들이 약간 하강하면서 지지기(171b)의 지지부재(171b-2)에 받쳐지게 된다.
따라서 이전에 공급된 마지막 고객트레이(CT)가 트랜스퍼(도시되지 않음)에 의해 로딩 스택커(171)에서 로딩 플레이트(LP)로 이동하면서 제1 대기 스택커(172)에 있는 고객트레이(CT)들이 로딩 스택커(171)로 공급될 수 있기 때문에, 고객트레이(CT)의 공급 또는 수거와 무관하게 핸들러(100)는 지속적으로 작동될 수 있는 것이다.
한편, 언로딩 스택커(181)에 수용된 고객트레이(CT)를 자동 대차(300)가 수거해 가는 작업은 로딩 스택커(171)로 고객트레이(CT)를 공급하는 작업과 고객트레이(CT)의 흐름만 반대이고 제반 구성들의 작동은 동일하므로 그 설명을 생략한다.
4. 참고적인 사항
위의 실시예에서 설명된 제1 대기 스택커(172)와 제2 대기 스택커(182)의 개방 구조는 로딩 스택커(171), 언로딩 스택커(181), 제1 엠프티 스택커(191), 제2 엠프티 스택커(192), 배드빈 스택커(193) 및 멀티 스택커(194) 등에도 얼마든지 적용될 수 있다. 특히 제1 엠프티 스택커(191)에는 자동 대차(300)에 의해 빈 고객트레이(CT)를 공급할 수 있도록 구현되는 것이 바람직하므로, 제1 엠프티 스택커(191)는 전방으로 개방되거나 폐쇄될 수 있도록 구성할 필요성이 있다. 마찬가지로 불량 판정된 반도체소자가 적재된 고객트레이(CT)가 수납되는 배드빈 스택커(193)도 전방으로 개방되거나 폐쇄될 수 있도록 구성함으로써, 자동 대차(300)에 의해 불량 반도체소자가 적재된 고객트레이(CT)를 배드빈 스택커(193)로부터 수거할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 위의 실시예에서는 자동 대차(300)를 이용한 고객트레이(CT)의 자동 공급과 수거를 위해 제1 대기 스택커(172)와 제2 대기 스택커(182)가 전방으로 개방될 수 있도록 하고 있지만, 수작업에 의해 고객트레이(CT)를 공급하거나 수거하도록 구현되는 것을 고려한다면 제1 대기 스택커와 제2 대기 스택커가 서랍을 넣고 빼듯이 전방으로 인출될 수 있는 구조도 충분히 고려될 수 있다.
<자동 대차에 대한 설명>
이어서 위의 핸들러(100)에 고객트레이(CT)를 공급하거나 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 자동 대차(300)에 대하여 설명한다.
도 17은 위의 핸들러(100)로 고객트레이(CT)를 공급하거나 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거할 수 있는 자동 대차(300)에 대한 개념적인 구성도이다.
본 실시예에 따른 자동 대차(300)는 수급장치(310), 결합장치(320), 이동장치(330), 통신모듈(340) 및 제어장치(350)를 포함한다.
수급장치(310)는 3개의 공급 스택커(311), 2개의 수거 스택커(312) 및 수급기(313)를 포함한다.
3개의 공급 스택커(311) 및 2개의 수거 스택커(312)는 각각 고객트레이(CT)를 수용할 수 있으며, 그 구조가 서로 동일하다. 따라서 1개의 공급 스택커(311)에 대한 설명으로 나머지들에 대한 설명을 갈음한다.
도 18의 발췌 사시도에서와 같이 공급 스택커(311)는 2개의 지지기(311a) 및 8개의 정렬부재(311b)들을 포함한다.
2개의 지지기(311a)는 수직 방향으로 적층된 고객트레이(CT)의 좌우 양단을 지지하거나 지지를 해제한다. 여기서 지지기(311a)에 의한 고객트레이(CT)의 지지 상태가 해제된 경우에는 고객트레이(CT)들이 하방으로 이동될 수 있다. 이러한 지지기(311a)들 각각은 도 19의 발췌 사시도에서와 같이 회전봉(311a-1), 2개의 지지부재(311a-2), 회전원(311a-3) 및 전환부재(311a-4)를 포함한다.
회전봉(311a-1)들은 상호 일정 간격 이격되어 있으며, 회전원(311a-3)의 작동에 따라서 상호 반대 방향으로 정역 회전한다.
지지부재(311a-2)는 회전봉(311a-1)에 고정 설치된다. 따라서 지지부재(311a-2)들은 회전봉(311a-1)의 회전에 연동하여 함께 회전한다.
회전원(311a-3)은 회전봉(311a-1)의 회전에 필요한 회전력을 제공하기 위한 것으로서, 본 실시예에서는 실린더로 구비되고 있으나, 실시하기에 따라서는 모터로 구비될 수도 있다. 또한, 본 실시예에서는 하나의 회전봉(311a-1)에 하나의 회전원(311a-3)을 구비하고 있지만, 실시하기에 따라서는 하나의 회전원으로 2개의 회전봉을 정역 회전시키도록 구현될 수도 있다.
전환부재(311a-4)는 회전봉(311a-1)에 각각 나뉘어 결합되며, 회전원(311a-3)의 작동에 따라 회전함으로써 회전원(311a-3)의 직선 이동 동력을 회전봉(311a-1)의 회전력으로 전환한다.
위와 같은 구성을 가지는 지지기(311a)는 회전봉(311a-1)의 회전 상태에 따라 도 20의 (a)에서와 같이 공급 스택커(311)에 수용된 고객트레이(CT)를 지지하거나 도 20의 (b)에서와 같이 공급 스택커(311)의 수용 공간(AS)을 하방 측으로 개방한다. 만일 도 20의 (b)에서와 같이 공급 스택커(311)의 수용 공간(AS)이 하방 측으로 개방된 경우에는 고객트레이(CT)들이 수급기(313)에 의해 하방으로 이동(화살표 d 참조)할 수 있게 된다.
참고로 수거 스택커(312)에서도 지지기가 고객트레이(CT)를 지지하거나 수거 스택커(312)의 수용 공간을 하방 측으로 개방한다. 이 때, 수거 스택커(312)의 수용 공간이 하방 측으로 개방되면, 수급기(313)에 의해 핸들러(100)로부터 수거되어 온 고객트레이(CT)들이 상방 이동할 수 있게 된다. 이 때, 수급기(313)에 의해 고객트레이(CT)들의 상방 이동이 완료되면, 지지기는 고객트레이(CT)들을 지지하는 상태로 전환된다.
또한, 본 실시예에서는 공급 스택커(311)와 수거 스택커(312)를 나누고 있지만, 스택커를 비운 후 수거된 고객트레이(CT)를 비워진 스택커에 수용하도록 구현된 경우에는 공급 스택커와 수거 스택커의 구분이 없게 된다.
정렬부재(311b)들은 상하 방향으로 긴 봉 형태로 8개가 구비된다. 그리고 8개의 정렬부재(311b)들은 2개씩 한 조가 되어 공급 스택커(311)에 수용된 고객트레이(CT)의 사각 귀퉁이를 정렬시키고, 한편으로는 하방으로 이동하는 고객트레이(CT)들의 하강 이동을 안내한다. 물론, 수거 스택커(312)에서는 정렬부재들이 상방으로 이동하는 고객트레이(CT)들의 상승 이동을 안내한다.
수급기(313)는 공급 스택커(311)로부터 고객트레이(CT)를 인출하여 핸들러(100)의 제1 대기 스택커(172)로 공급하고, 핸들러(100)의 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)를 수거하여 수거 스택커(112)에 수용시킨다. 이러한 수급기(313)는 도 21의 발췌 사시도에서와 같이 제1 이동유닛(313a), 승강유닛(313b) 및 제2 이동유닛(313c)을 포함한다.
제1 이동유닛(313a)은 도 22의 발췌 사시도에서와 같이 받침프레임(313a-1), 제1 이동기구(313a-2), 설치프레임(313a-3), 승강판(313a-4), 감지체(313a-5), 감지기(313a-6) 및 식별기(313a-7)를 포함한다.
받침프레임(313a-1)은 고객트레이(CT)를 받치며, 전후 방향으로 이동 가능하게 마련된다. 이러한 받침프레임(313a-1)은 한 쌍의 받침바(bar)를 가진다.
한 쌍의 받침바(bar)는 고객트레이(CT)의 좌우 양측을 균형 있게 받치기 위해 상호 간에 일정 간격(D) 이격된다. 여기서 한 쌍의 받침바(bar) 간의 간격(D)은 핸들러(100)의 제1 이동기(173)나 제2 이동기(183)에 구비된 고객트레이(CT)를 받치는 받침판(173a)이 한 쌍의 받침바(bar) 사이에 위치될 수 있도록 확보되는 것이 바람직하다.
제1 이동기구(313a-2)는 받침프레임(313a-1)을 전후 방향으로 이동시킨다. 따라서 받침프레임(313a-1)에 받쳐진 고객트레이(CT)들이 전후 방향으로 이동될 수 있다. 이러한 제1 이동기구(313a-2)는 다양한 형태로 구현될 수 있지만, 본 실시예에서는 모터(M1), 벨트(B1) 및 한 쌍의 레일(RL)로 구성되었다.
설치프레임(313a-3)은 전후 방향으로 이동 가능하게 승강판(313a-4)에 결합되며, 제1 이동기구(313a-2)가 설치된다.
승강판(313a-4)은 승강 가능하게 구비되며, 제1 이동기구(313a-2)가 설치된다. 따라서 승강판(313a-3)의 승강에 따라 설치프레임(313a-3), 제1 이동기구(313a-2) 및 받침프레임(313a-1)이 승강하게 된다. 여기서 승강판(313a-4)은 전후 이동되지 않는다.
한편, 벨트(B1)의 일 측(P0)은 받침프레임(313a-1)과 결합되어 있고, 벨트(B1)의 타 측(Pa)은 결합부재(JE)에 의해 승강판(313a-4)에 결합되어 있다. 따라서 모터(M1)가 정역작동하면, 고정된 승강판(313a-4)에 대하여 설치프레임(313a-3)이 전후 이동하게 되고, 받침프레임(313a-1)도 설치프레임(313a-3)에 대하여 전후 이동하게 된다. 이러한 구조는 한정된 전후 폭을 가지는 자동 대차(300)에서 받침프레임(313a-1)이 전후 방향으로 충분히 이동할 수 있는 이동 거리를 가지게 하기 때문에 바람직하게 고려될 수 있다.
감지체(313a-5)는 핸들러(100)에 있는 피감지체(PS)를 감지하기 위해 마련된다. 이를 위해 감지체(313a-5)는 받침프레임(313a-1)의 받침바(bar) 후단에 구비된다. 따라서 받침프레임(313a-1)이 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 내부로 진입하기 전에 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 정확한 진입 위치를 결정할 수 있다.
감지기(313a-6)는 하방으로 개방된 말굽형태로서 핸들러(100)의 센서도그(SD)를 감지한다. 이러한 감지기(313a-6)를 통해 받침프레임(313a-1)이 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 내부로 진입을 시작한 후 받침프레임(313a-1)의 좌우 위치를 확인하고 적절한 좌우 위치를 결정할 수 있다. 또한, 감지기(313a-6)를 통해 받침프레임(313a-1)의 과도한 진입이나 과소한 진입 상태를 확인할 수도 있기 때문에 받침프레임(313a-1)의 적절한 진입을 결정할 수 있다.
즉, 감지체(313a-5) 및 감지기(313a-6)로 인해 자동 대차(300)가 제1 대기 스택커(172)로 고객트레이(CT)를 정확하게 공급하거나 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)를 정확하게 수거할 수 있다.
식별기(313a-7)는 받침프레임(313a-1)에 고객트레이(CT)가 적재되어 있는지 여부를 식별한다.
승강유닛(313b)은 승강판(313a-4)을 승강시키기 위해 마련된다. 이를 위해 승강유닛(313b)은 도 23의 발췌 사시도에서와 같이 결합부재(313b-1), 승강기구(313b-2), 설치판(313b-3) 및 이동판(313b-4)을 포함한다.
결합부재(313b-1)는 승강 가능하게 구비되며, 승강판(313a-4)과 결합된다. 따라서 결합부재(313b-1)가 승강함에 따라 승강판(313a-4)도 함께 승강하게 된다.
승강기구(313b-2)는 결합부재(313b-1)를 승강시킨다. 물론, 승강기구(313b-2)도 다양한 형태로 구현될 수 있지만, 본 실시예에서는 모터(M2), 스크류축(SS) 및 레일(R2)로 구성되었다. 이러한 승강기구(313b-2)는 상대적으로 하측에 있는 제1 대기 스택커(171)나 제2 대기 스택커(181)의 내부로 받침프레임(313a-1)이진입할 수 있도록 하거나 상대적으로 상측에 있는 제1 엠프티 스택커(191), 제2 엠프티 스택커(192), 배드빈 스택커(193) 및 멀티 스택커(194)의 내부로 받침프레임(313a-1)이 진입할 수 있도록 받침프레임(313a-1)의 높이를 결정한다.
설치판(313b-3)은 그 하단이 이동판(313b-4)에 결합되며, 승강기구(313b-2)가 설치된다.
이동판(313b-4)은 좌우 방향으로 이동 가능하게 구비된다. 따라서 이동판(313b-4)의 좌우 이동에 따라 설치판(313b-3), 승강기구(313b-2) 및 승강기구(313b-2)에 결합된 제1 이동유닛(313a)이 좌우 방향으로 함께 이동한다.
제2 이동유닛(313c)은 설치판(313b-3)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 이를 위해 제2 이동유닛(313c)은 도 24의 발췌 사시도에서와 같이 모터(313c-1), 스크류축(313c-2), 한 쌍의 레일(313c-3) 및 좌우이동체(313c-4)를 포함한다. 좌우이동체(313c-4)에는 이동판(313b-4)이 결합되어 있기 때문에, 모터(313c-1)가 동작하여 스크류축(313c-2)이 회전하면 좌우이동체(313c-4)가 한 쌍의 레일(313c-3)에 안내되면서 좌우 방향으로 이동하고, 이에 연동하여 승강유닛(313b) 및 제1 이동유닛(313a)이 좌우 방향으로 이동하게 된다.
위의 수급장치(310) 및 수급기(313)는 핸들러(100)로 고객트레이(CT)를 공급하는 기능 측면에서 볼 때에는 각각 공급장치 및 공급기로 명명될 수 있고, 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 기능 측면에서 볼 때에는 각각 수거장치 및 수거기로 명명될 수 있다. 즉, 본 실시예에서는 자동 대차(300)가 수급장치(310)에 의해 핸들러(100)로 고객트레이(CT)를 공급하거나 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하도록 구현되고 있지만, 핸들러(100)로 고객트레이(CT)를 공급하는 기능만을 가지는 자동 대차와 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 기능만을 가지는 자동 대차로 얼마든지 나뉘어 구현될 수도 있다.
결합장치(320)는 핸들러(100)와 자동 대차(300) 간의 상호 위치를 고정시키기 위해 마련된다. 이를 위해 결합장치(320)는 도 25의 발췌 사시도에서와 같이 2개의 결합대(JB) 및 2개의 이동기구(322)를 포함한다.
2개의 결합대(JB)는 핸들러(100) 방향으로 긴 봉의 형태로서 그 후단이 핸들러(100) 측으로 이동하여 핸들러(100)에 있는 결합기(JA)의 하우징(H) 내부로 진입하거나 빠질 수 있다. 결합대(JB)가 하우징(H)의 내부로 진입할 때, 결합대(JB)의 후단은 도 26에서와 같이 전단의 롤러(R1, R2)들에 의해 적절히 진입이 안내된 후 후단의 롤러(R1', R2')들 사이에 끼워지게 된다.
2개의 이동기구(322)는 각각 한 개씩의 결합대(JB)를 핸들러(100) 측으로 이동시키거나 반대 방향으로 이동시킨다. 이러한 이동기구(322)는 2개의 로드리스 실린더(322a, 322b)로 구비될 수 있다. 부호 322a의 로드리스 실린더는 결합대(JB)의 후단이 결합기(JA)에 진입되기 전까지 결합대(JB)를 고속으로 이동시키고, 부호 322b의 로드리스 실린더는 결합대(JB)의 후단이 결합기(JA)의 하우징(H) 내부로 저속 진입하도록 한다.
이동장치(330)는 수급장치(310), 결합장치(320), 통신모듈(340) 및 제어장치(350)가 탑재되어 있으며, 제어장치(350)의 제어에 의해 요구된 목표 지점에 자동으로 이동할 수 있다. 이러한 자동 대차(300)의 무인 자동 이동과 관련된 기술은 주지된 기술이므로 그 설명을 생략한다.
통신모듈(340)은 핸들러(100)와 직접 통신하거나 관리서버(MS)와 통신하기 위해 마련된다. 특히, 통신모듈(340)은 자동 대차(300)가 핸들러(100)와 근접 거리에 있을 때, 자동 대차(300)가 핸들러(100)와 직접 무선 교신함으로써 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 개방을 요구할 수 있도록 한다.
제어장치(350)는 수급장치(310), 결합장치(320), 이동장치(330) 및 통신모듈(340)을 제어한다. 즉, 제어장치(350)는 통신모듈(340)을 통해 관리서버(MS)로부터 수신한 명령에 따라 이동장치(330)를 제어하여 핸들러(100)로 접근시킨 후 결합장치(320)를 작동시켜 핸들러(100)와 자동 대차(300)를 결합시키고, 통신모듈(340)을 통해 핸들러(100)로 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)를 개방하도록 하는 명령을 전송한 다음 수급장치(310)를 제어하여 고객트레이(CT)를 이동시킨다.
계속하여 위와 같은 구성을 가지는 자동 대차(300)의 작동에 대하여 핸들러의 제1 대기 스택커(172)가 비워진 경우를 예로 들어 설명한다.
관리서버(MS)는 핸들러(100)로부터 온 상황 정보를 파악한 후 자동 대차(300)로 해당 핸들러(100)에 고객트레이(CT)를 공급해 줄 것을 요구한다. 물론, 자동 대차(300)에는 고객트레이(CT)가 적재되어 있다. 참고로 고객트레이(CT)는 제3의 장소에서 별도의 하역기에 의해 자동으로 자동 대차(300)에 공급될 수도 있고, 작업자에 의해 수동으로 자동 대차(300)에 공급될 수도 있다.
자동 대차(300)는 관리서버(MS)로부터 받은 명령에 따라 기 입력되어 있거나 관리서버(MS)로부터 받은 해당 핸들러(100)의 좌표값을 이용하여 해당 핸들러(100)로 접근함으로써 도 11에서와 같이 핸들러(100)의 전방에 인접하게 위치한다. 도 11의 상태에서는 자동 대차(300)와 핸들러(100) 간에 직접 근거리 무선 통신이 가능하다.
도 11의 상태에서 자동 대차(300)는 결합장치(320)를 작동시켜 결합대(JB)를 핸들러(100) 측으로 이동시켜서 결합대(JB)의 후단이 핸들러(100)의 결합기(JA)에 끼움 결합되게 한다. 이에 따라 자동 대차(300)와 핸들러(100)가 고정됨으로써 고객트레이(CT)의 이동이 안정적으로 이루어질 수 있다.
이어서 자동 대차(300)의 제어장치(350)는 통신모듈(340)을 통해 제1 대기 스택커(172)의 개방을 요구한다. 또한, 제어장치(350)는 제2 이동유닛(313c)을 제어하여 비워질 것이 요구되는 공급 스택커(311)의 하방으로 받침프레임(313a-1)을 이동시킨다. 그리고 제어장치(350)는 승강유닛(313b)을 제어하여 받침프레임(313a-1)을 상승시킴으로써 도 27에서와 같이 공급 스택커(311)에 수용되어 있는 고객트레이(CT)를 받친다. 도 27의 상태에서 지지기(311a)가 고객트레이(CT)를 지지하는 상태를 해제하면 도 28에서와 같이 받침프레임(313a-1)이 하강함으로써 고객트레이(CT)들을 공급 스택커(311)의 하방으로 하강시킨다. 제어장치(350)는 도 28의 상태에서 제2 이동유닛(313c)을 제어하여 공급이 요구되는 제1 대기 스택커(172)의 전방에 받침프레임(313a-1)을 위치시킨 후, 제1 이동유닛(313a)을 제어하여 도 29에서와 같이 감지체(313a-4)가 제1 대기 스택커(172)의 약간 앞 측에 있는 피감지체(PS)를 감지할 수 있을 정도의 거리만큼 받침프레임(313a-1)을 후방으로 이동시킨다. 도 29의 상태에서 제어장치(350)는 제2 이동유닛(313c)을 제어하여 받침프레임(313a-1)을 좌우 방향으로 조금씩 이동시키면서 감지체(313a-5)를 통해 피감지체(PS)를 스캔하고, 감지체(313a-5)의 의해 감지된 피감지체(PS)의 위치정보를 통해 정확한 제1 대기 스택커(172)의 위치를 파악한다. 이에 따라 제1 대기 스택커(172)의 위치가 정확히 파악되면 파악된 위치를 기준으로 하여 받침프레임(313a-1)을 후방으로 이동시키고, 이러한 받침프레임(313a-1) 후방 이동 시에 감지기(313a-6)가 핸들러(100)의 센서도그(SD)를 감지하면서 좌우 중심 위치 확인 및 진입 정도를 확인하게 된다. 그리고 도 30에서와 같이 받침프레임(313a-1)이 후방으로 완전히 이동한 후에는 약간 하강함으로써 궁극적으로 핸들러(100)의 제1 이동기(173)에 구비된 받침판(173a)에 고객트레이(CT)를 얹어 놓는다. 여기서 핸들러(100)의 받침판(173a)이 한 쌍의 받침바(bar) 사이에 위치됨을 확인할 수 있다.
물론, 핸들러(100)의 받침판(173a)에 고객트레이(CT)를 얹어 놓은 후에는 받침프레임(313a-1)이 전방으로 이동하면서 그 다음 작업을 수행한다.
한편, 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 작업은 고객트레이(CT)의 흐름만 다를 뿐 고객트레이(CT)를 공급하는 작업으로부터 충분히 이해될 수 있으므로 그 설명을 생략한다.
참고로 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 작업은 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 공급하는 작업 후에 이어서 연속적으로 이루어지거나 그 직전에 이루어질 수도 있지만, 예를 들면 자동 대차(300)가 다른 작업을 수행한 후 되돌아와서 해당 작업을 수행하거나 다른 자동 대차에 의해 시간차를 두고 수행될 수도 있다.
여하튼 해당 핸들러(100)에 대한 요구된 작업이 모두 완료되면, 자동 대차(300)는 핸들러(100)와의 결합을 해제시키고 다음 임무를 위해 이동한다.
참고로 자동 대차(300)가 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거한 경우에는 제 3의 장소에서 별도의 하역기에 의해 자동으로 자동 대차(300)로부터 내려지거나, 작업자에 의해 수동으로 자동 대차(300)로부터 내려질 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 반도체소자 테스트용 핸들러
110 : 제1 핸드
140 : 연결장치
160 : 제2 핸드
170 : 로딩 스택커 부분
171 : 로딩 스택커
171b : 지지기
172 : 제1 대기 스택커
172a : 정렬봉
OB : 개방대
172b : 회전기
173 : 제1 이동기
173a : 받침판 173b : 승강원
180 : 언로딩 스택커 부분
181 : 언로딩 스택커
182 : 제2 대기 스택커
183 : 제2 이동기
TT : 테스트트레이 CA : 제어장치
CM : 통신모듈 ES : 출입공간
JA : 결합기

Claims (11)

  1. 수직 방향으로 적재되는 고객트레이를 정렬시키기 위한 다수의 정렬부재; 및
    상기 다수의 정렬부재 중 전방에 있는 특정 정렬부재를 정역 회전시킴으로써 전방 측으로 내부를 개방하여 고객트레이가 진출 또는 진입할 수 있도록 하거나 내부를 폐쇄시키는 회전기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 특정 정렬부재가 결합되며, 수직선을 회전축으로 하여 회전 가능하게 구비되는 회전봉; 을 더 포함하고,
    상기 회전기는 상기 회전봉을 회전시키는 회전원을 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커.
  3. 로딩(Loading)위치, 테스트(Test)위치 및 언로딩(Unloading)위치를 거쳐 다시 상기 로딩위치로 이어지는 일정한 순환 경로를 순환하며, 반도체소자가 안착될 수 있는 테스트트레이;
    상기 테스트트레이가 상기 로딩위치에 있을 때, 로딩 플레이트에 있는 고객트레이에서 상기 테스트트레이로 반도체소자를 로딩시키는 로딩장치;
    상기 로딩장치에 의한 반도체소자의 로딩이 완료된 후 상기 테스트위치로 온 상기 테스트트레이의 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치;
    테스트가 완료된 후 상기 테스트위치로부터 상기 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩 플레이트에 있는 빈 고객트레이로 언로딩시키는 언로딩장치;
    상기 로딩 플레이트로 공급될 고객 트레이들이 수용될 수 있는 로딩 스택커 부분;
    상기 언로딩 플레이트에서 회수될 고객 트레이들이 수용될 수 있는 언로딩 스택커 부분; 및
    상기한 각 구성들에 대하여 필요한 제어를 수행하는 제어장치; 를 포함하고,
    상기 로딩 스택커 부분은,
    상기 로딩 플레이트로 이송될 고객 트레이가 수용될 수 있는 로딩 스택커;
    상기 로딩 스택커의 하방에 구비되어서 상기 로딩 스택커로 공급될 고객트레이가 대기하는 제1 대기 스택커; 및
    상기 제1 대기 스택커에 적재된 고객트레이를 상승시켜 상기 로딩 스택커로 이동시키는 제1 이동기; 를 포함하며,
    상기 언로딩 스택커 부분은,
    상기 언로딩 플레이트로부터 회수된 고객 트레이가 수용될 수 있는 언로딩 스택커;
    상기 언로딩 스택커의 하방에 구비되어서 상기 언로딩 스택커로부터 온 고객트레이가 대기하는 제2 대기 스택커; 및
    상기 언로딩 스택커에 적재된 고객트레이를 하강시켜 상기 제2 대기 스택커로 이동시키는 제2 이동기; 를 포함하며,
    상기 제어장치는 상기 로딩 스택커에 있는 고객트레이를 상기 로딩 플레이트로 이동시키거나 상기 언로딩 플레이트에 있는 고객트레이를 상기 언로딩 스택커로 이동시키는 트랜스퍼가 상기 로딩 스택커나 상기 언로딩 스택커에 대하여 작업을 수행 중인 경우에도 상기 제1 대기 스택커로 고객트레이가 공급되거나 상기 제2 대기 스택커로부터 고객트레이가 수거될 수 있도록 제어하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 이동기 또는 제2 이동기는,
    적재된 고객트레이를 받치는 받침판; 및
    상기 받침판을 승강시키는 승강원; 을 포함하고,
    상기 로딩 스택커 또는 언로딩 스택커는 고객트레이를 지지하거나 지지를 해제할 수 있는 지지기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커는 제1항에 따른 스택커로 구비되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  6. 제5 항에 있어서,
    자동 대차와 통신하기 위한 통신모듈; 을 더 포함하고,
    상기 제어장치는 상기 통신모듈을 통해 상기 자동 대차로부터 고객트레이의 공급 또는 수거 신호가 오면 상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커를 개방시키는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제어장치에 의한 상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커의 개방은 상기 로딩장치 및 언로딩장치의 작동과 무관하게 이루어지는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커의 하방에는 자동 대차에 구비되어서 고객트레이를 지지하는 지지기구가 출입할 수 있는 출입공간이 구비되는 것을 특징으로
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 지지기구가 상기 출입공간으로 진입하기 전에 상기 지지기구의 위치를 결정하기 위해 마련되는 피감지체; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 지지기구가 상기 출입공간으로 진입하기 시작한 후에 상기 지지기구의 위치를 결정하기 위해 마련되는 센서도그; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  11. 제3 항에 있어서,
    자동 대차와 결합되기 위한 결합기; 를 더 포함하고,
    상기 결합기는,
    하우징; 및
    상기 하우징에 설치되는 롤러들; 을 포함하며,
    상기 롤러들 중 전방에 있는 롤러들 간의 간격은 후방에 있는 롤러들 간의 간격보다 넓은 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
KR1020150131070A 2015-09-16 2015-09-16 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러 KR102322242B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150131070A KR102322242B1 (ko) 2015-09-16 2015-09-16 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150131070A KR102322242B1 (ko) 2015-09-16 2015-09-16 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170033131A KR20170033131A (ko) 2017-03-24
KR102322242B1 true KR102322242B1 (ko) 2021-11-05

Family

ID=58500603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150131070A KR102322242B1 (ko) 2015-09-16 2015-09-16 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102322242B1 (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102631908B1 (ko) * 2018-08-21 2024-01-31 (주)테크윙 핸들러 및 이를 포함하는 오토메이션 시스템
KR20200121187A (ko) * 2019-04-15 2020-10-23 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
KR20200121186A (ko) * 2019-04-15 2020-10-23 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
KR102227346B1 (ko) * 2019-11-07 2021-03-12 주식회사 아테코 전자부품 테스트 핸들러
KR20220113097A (ko) * 2021-02-05 2022-08-12 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러
KR20220134117A (ko) * 2021-03-26 2022-10-05 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101005293B1 (ko) 2008-10-08 2011-01-04 미래산업 주식회사 핸들러용 멀티스택커
KR101029336B1 (ko) 2011-02-11 2011-04-13 주식회사 넥스트솔루션 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0143334B1 (ko) * 1995-04-17 1998-08-17 정문술 반도체 소자검사기의 고객트레이 이송장치
KR100395367B1 (ko) * 2000-12-30 2003-08-21 미래산업 주식회사 핸들러용 멀티스택커
KR100442671B1 (ko) * 2002-01-21 2004-08-02 미래산업 주식회사 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치
KR100671397B1 (ko) * 2004-10-15 2007-01-18 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 접속장치
KR100553992B1 (ko) * 2005-05-27 2006-02-24 (주)테크윙 테스트 핸들러
KR100795490B1 (ko) * 2006-07-07 2008-01-16 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
KR20080015621A (ko) * 2006-08-16 2008-02-20 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이
KR101380830B1 (ko) * 2007-11-27 2014-04-04 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트방법
KR100929783B1 (ko) * 2008-01-14 2009-12-04 에버테크노 주식회사 에스에스디(ｓｓｄ) 테스트 핸들러의 트레이 스택장치
KR100958275B1 (ko) * 2008-02-05 2010-05-19 에버테크노 주식회사 핸들러의 스택커
KR20090105740A (ko) * 2008-04-03 2009-10-07 (주)티에스이 스택 엘리베이터 및 이를 이용한 확장 스태커
KR101050075B1 (ko) * 2009-04-28 2011-07-19 에버테크노 주식회사 테스트 핸들러의 트레이 디버터

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101005293B1 (ko) 2008-10-08 2011-01-04 미래산업 주식회사 핸들러용 멀티스택커
KR101029336B1 (ko) 2011-02-11 2011-04-13 주식회사 넥스트솔루션 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170033131A (ko) 2017-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102322242B1 (ko) 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러
KR102650702B1 (ko) 전자부품 공급용 트레이 공급대차 및 전자부품을 처리하는 핸들러
JP3689215B2 (ja) 半導体デバイスのテスト用搬送装置
US7621710B2 (en) Work sheet conveying and housing system and work sheet conveying and housing method
KR102030029B1 (ko) 궤도차량의 배터리 리프팅 유닛과 이를 구비한 배터리 충전 스테이션 시스템 및 이에 의한 배터리 교체충전방법
KR20170026074A (ko) 물품 반송 설비
RU2531665C2 (ru) Устройство для перемещения изделия и кран-штабелер, содержащий указанное устройство
CN206782618U (zh) 一种轨道式自动化仓储系统
CN110031711A (zh) 一种小电机碳刷架检测系统及测试方法
CN115121494A (zh) 电子部件测试用分选机
KR102322243B1 (ko) 자동 대차
CN103332426B (zh) 自动化物料传送系统
US20030059283A1 (en) Handling device
CN209356107U (zh) 用于碳刷架装配生产线的碳刷架弹簧力测试设备
CN209326960U (zh) 一种碳刷架装配生产线及碳刷架测试系统
US20210253353A1 (en) Rack for automated warehouses
KR102568869B1 (ko) 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러
CN100431131C (zh) 被处理体的输送系统和被处理体的输送方法
KR101267840B1 (ko) 테스트 핸들러용 트레이 이송장치 및 이를 이용한 트레이이송방법
CN209326705U (zh) 一种小电机碳刷架检测系统
CN113084913A (zh) 载板收板机
CN109279371B (zh) 一种智能光学自走式码垛机
CN208814152U (zh) 一种电芯整车自动上料装置
KR100395367B1 (ko) 핸들러용 멀티스택커
KR20200121186A (ko) 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant