KR101029336B1

KR101029336B1 - 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치

Info

Publication number: KR101029336B1
Application number: KR1020110014922A
Authority: KR
Inventors: 김병노
Original assignee: 주식회사 넥스트솔루션
Priority date: 2011-02-11
Filing date: 2011-02-21
Publication date: 2011-04-13

Abstract

다수의 커버트레이가 탑재되어 수납되는 장치 본체와, 장치 본체에 왕복이동 가능하게 설치되며 제1방향으로 이동시 장치 본체에 탑재된 복수의 커버트레이 중에서 취출시킬 커버트레이를 이웃한 커버트레이와 이격되게 분리시킨 상태로 밀어서 낱개로 취출시키고 제1방향의 반대인 제2방향으로 이동하여 초기위치로 이동되는 후크부재와, 후크부재를 왕복 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치가 개시된다.

Description

반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치{A COVER-TRAY SEPARATIING APPARATUS FOR C-TRAY OF A SEMICONDUCTOR PROCESS}

본 발명은 테스트된 반도체 소자가 적재된 테스트 트레이가 스택커에 적재된 후 적재된 트레이 상부에 트레이 커버를 적층 시킬 때 작업자가 용이하게 트레이 커버를 인출할 수 있는 트레이 커버 하우스 장치에 관한 것이다.

일반적으로 생산된 반도체 소자의 경우 불량 등을 확인하기 위하여 테스터에서 이를 테스트하여야 하는데, 소자가 일정한 포맷에 맞게 트레이에 적재되고 테스트 핸들러가 트레이를 테스터의 테스트 영역으로 이송한 후 불량 등이 테스트 된 후 테스트 핸들러가 트레이를 스택커로 이송하여 적재하게 된다.

이때, 스택커에 적재된 트레이의 상부에는 테스트된 소자나 트레이의 정보 등이 기재된 로트카드가 끼워진 커버트레이가 적층된다. 이러한 커버트레이는 테스터의 측면이나 전면 등에 적층되어 있고, 작업자가 적층된 커버트레이를 위쪽에서 한 장을 빼서 로트 카드를 끼운 후에 트레이가 적층된 상면에 커버트레이를 적층시켜 외부로 이송하게 된다.

그러나 이와 같이 종래에는 적층된 커버트레이를 작업자가 한 장씩 빼서 사용하여야 하는데 적층된 상태에서 한 장을 빼기가 불편함 점이 있었다.

또한, 작업자가 수작업으로 로트 카드를 커버트레이에 삽입하여 사용함에 따라 다른 커버트레이에 삽입하는 문제가 발생할 수 있으며, 또한, 수작업으로 로트 카드를 삽입하여야 함에 따라 작업시간이 길어지거나 숙달되지 않은 경우에 많은 불편함이 있었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로서, 복수의 커버트레이를 수납하고 낱개씩 분리하여 자동으로 빼낼 수 있는 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의한 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치는, 다수의 커버트레이가 탑재되어 수납되는 장치 본체와; 상기 장치 본체에 왕복이동 가능하게 설치되며, 제1방향으로 이동시 상기 장치 본체에 탑재된 복수의 커버트레이 중에서 취출시킬 커버트레이를 이웃한 커버트레이와 이격되게 분리시킨 상태로 밀어서 낱개로 취출시키고, 상기 제1방향의 반대인 제2방향으로 이동하여 초기위치로 이동되는 후크부재와; 상기 후크부재를 왕복 이동시키는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 후크부재에 의해 밀려서 취출된 커버트레이를 감지하는 감지부를 더 포함하며, 상기 구동부는 상기 감지부에서의 감지정보에 따라서 선택적으로 구동제어되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 감지부는, 상기 장치 본체의 상기 커버트레이의 취출방향 쪽에 설치되며, 상기 후크부재에 밀려서 취출되는 커버트레이에 접촉되어 취출된 커버트레이의 유무를 감지하는 접촉센서를 포함하는 것이 좋다.

또한, 상기 장치 본체는, 상기 다수의 커버트레이가 적층되는 바닥벽과; 상기 바닥벽의 전단부에 설치되며, 다수의 커버트레이 중에서 상기 후크부재에 밀쳐서 취출되는 커버트레이를 가이드하는 전방가이드와; 상기 바닥벽의 후단부에 설치되어 적층된 다수의 커버트레이가 정렬되도록 지지하는 후방가이드와; 상기 바닥벽의 상기 전방가이드 및 후방가이드 사이에 설치되어 상기 커버트레이의 양측면 각각을 가이드지지하는 복수의 측면가이드부재;를 포함하며, 상기 바닥벽에는 상기 후크부재가 상기 바닥벽의 상부에 적층된 커버트레이를 낱개로 분리하여 이동시키도록 상기 후크부재의 이동을 허용하는 개구부가 형성된 것이 좋다.

또한, 상기 바닥벽의 개구부 테두리에는 상기 후크부재의 이동을 안내하는 레일부재가 설치되는 것이 좋다.

또한, 상기 후크부재는 상기 바닥벽의 하부에서 상기 개구부를 통해 상기 바닥벽의 상부로 부분적으로 돌출된 상태로 이동 가능하게 설치되며, 상기 구동부는 상기 바닥벽의 하부에 설치되어 구동시 상기 후크부재를 상기 제1 및 제2방향으로 이동시키는 유압실린더를 포함하는 것이 좋다.

이상에서 설명된 본 발명에 의하면, 복수의 트레이 커버를 장치 본체에 수납하고 낱개씩 자동으로 분리하여 취출시킬 수 있게 된다.

따라서 비숙련자라도 적재된 커버트레이 중에서 한 장씩 빼내는 작업을 용이하게 할 수 있어, 작업성을 높일 수 있으며, 작업 속도를 향상시켜 생산성을 높일 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치에 커버트레이가 적재된 상태를 나타내 보인 사시도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 커버트레이의 분리장치의 사시도이다.
도 4 및 도 5는 장치 본체에서 커버트레이를 낱개씩 분리하여 취출하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 1에 도시된 커버트레이 분리장치에 커버트레이가 적층된 상태를 우측에서 나타내 보인 도면이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치를 자세히 설명하기로 한다.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치는, 다수의 커버트레이(10)가 탑재되어 수납되는 장치 본체(100)와, 상기 장치 본체(100)에 왕복 이동 가능하게 설치되는 후크부재(200)와, 상기 후크부재(200)를 왕복 구동시키는 구동부(300) 및 감지부(400)를 구비한다.

상기 장치 본체(100)는 다수의 커버트레이(10)가 적층되는 플레이트형의 바닥벽(110)과, 바닥벽(110)의 상면에 설치되는 전방가이드(120)와, 후방가이드(130) 및 측면가이드부재(140)를 구비한다.

상기 바닥벽(110)의 상부의 전단부에 한 쌍의 전방가이드(120)가 서로 이격되게 설치되며, 후단부의 양측 모서리부분에는 한 쌍의 후방가이드(130)가 설치된다. 이러한 바닥벽(110)에는 상기 후크부재(200)가 상부로 돌출된 상태로 이동 가능하게 가이드하는 개구부(111)가 형성된다. 상기 개구부(111)는 바닥벽(110)의 후단으로부터 소정 길이 즉, 후크부재(200)의 왕복 이동거리에 대응되는 길이로 형성된다.

상기 한 쌍의 전방가이드(120) 각각은 몸체부(121)와, 몸체부(121)의 상부에서 서로 마주하는 방향으로 연장된 간섭부(122)를 가진다. 각각의 몸체부(121) 사이의 간격은 상기 커버트레이(10)의 단폭에 대응되는 거리만큼 이격되게 설치된다. 따라서 바닥벽(110)의 상면에 적층된 다수의 커버트레이들(10) 중에서 맨 아래에 위치한 커버트레이(10')만 낱장으로 분리되어 몸체부들(121) 사이로 통과하여 전방으로 취출된다. 이때, 상기 간섭부(122)는 바닥벽(110)의 상면으로부터 소정 높이, 바람직하게는 커버트레이(10)의 두께에 대응되는 높이에 위치되도록 몸체부(121)에서 돌출되게 설치된다. 따라서 적층된 다수의 커버트레이(10) 중에서 맨 아래의 커버트레이(10') 만이 한 쌍의 전방가이드(120) 사이로 가이드되어 취출되고, 맨 아래의 커버트레이(10')의 바로 상부에 적층된 커버트레이(10)는 상기 전방가이드(120)에 간섭되어 취출되지 않게 된다. 또한, 취출되는 커버트레이(10)는 위로 들리지 않고 바닥벽(110)의 상면에 접촉된 상태로 취출되도록 상기 전방가이드(120)에 의해 가이드됨으로써, 취출 된 후 상기 감지부(400)에서 취출된 커버트레이(10')를 정확하게 감지할 수 있게 된다.

상기 후방가이드(130)는 한 쌍의 바닥벽(110)의 후단부의 양쪽 모서리부분에 대응되도록 바닥벽(110)의 상부에 설치된다. 이러한 후방가이드(130)는 적층된 다수의 커버트레이(10)의 후방측 모서리부분들을 지지하여 정렬된 상태로 적층 될 수 있게 가이드 한다.

상기 측면가이드부재(130)는 바닥벽(110)의 양측 테두리부분에 복수개 씩 설치되어 바닥벽(110)의 상부에 적층된 커버트레이들(10)의 양측면 각각을 지지하여 가이드한다. 본 발명의 실시예에서는 상기 측면가이드부재(130)는 봉 즉, 샤프트형상인 것을 예로 들어 도시하였으나, 이외에도 다양한 구조가 가능한 것으로 이해되어야 한다.

상기 후크부재(200)는 바닥벽(110)의 하부에 위치되어 상기 구동부(300)에 의해서 왕복 이동 즉, 제1방향(A) 및 제1방향(A)의 반대인 제2방향(B)으로 왕복 이동 가능하게 설치된다. 상기 후크부재(200)는 상단에서 절곡되어 형성된 한 쌍의 후크부(210)를 가지며, 상기 후크부(210)는 상기 개구부(111)를 통해 바닥벽(110)의 상부로 돌출된 상태로 제1방향(A)으로 이동시 적층된 커버트레이들(10) 중에서 맨 아래의 커버트레이(10')와 바로 위의 커버트레이(10") 사이로 진입하여 각 커버트레이들(10',10")을 이격시킨 상태로, 맨 아래의 커버트레이(10')를 제1방향(A)으로 밀어내는 역할을 한다.

상기 후크부재(200)의 이동시 바닥벽(110)에 대해 안정되게 이동될 수 있도록 지지하는 안내돌기(220)가 후크부(210)의 측면으로 돌출되어 바닥벽(110)의 상면에 접촉되게 설치된다.

물론, 상기 안내돌기(220)가 바닥벽(110)의 상면에 접촉되도록 설치되는 구조 이외에, 개구부(111)의 테두리에 레일(미도시)을 설치하고, 안내돌기(220)가 또는 후크부재(200)가 직접 상기 레일을 따라서 이동될 수 있는 구성도 가능하다.

상기 구동부(300)는 바닥벽(110)의 하부에 설치되는 유압실린더(310)를 포함한다. 상기 유압실린더(310)의 피스톤부(311)에 상기 후크부재(200)가 연결된다. 이러한 유압실린더(310)는 구동시 상시 피스톤부(311)가 왕복 이동되면서 상기 후크부재(200)를 왕복 이동시킬 수 있게 된다.

상기 감지부(400)는 상기 바닥벽(110)의 선단부에 설치되어 취출되는 커버트레이(10')가 접촉되는 접촉센서(410)를 구비한다. 상기 접촉센서(410)는 바닥벽(110)의 전단부에서 연장된 지지브라켓(113)에 움직임 가능하게(회동가능하게) 설치되는 스위칭레버(411)와, 스위칭레버(411)의 선단에 회전 가능하게 설치되며 취출되는 커버트레이(10')가 접촉되는 접촉롤러(412)를 구비한다.

상기 구성에 의하면, 취출되는 커버트레이(10')가 소정 거리 취출되면, 커버트레이(10')의 하면이 도 5에 도시된 바와 같이, 접촉롤러(412)에 접촉되면서 이동되고, 접촉롤러(412)가 커버트레이(10')에 눌리게 되어 스위칭레버(411)가 회동됨으로써 커버트레이(10')가 취출된 상태인 것을 감지하게 된다. 이와 같이 커버트레이(10')의 취출상태를 감지할 수 있는 스위칭레버(411)는 온/오프 스위치일 수 있으며, 그러한 온/오프 감지신호에 의해 구동부(300) 즉, 유압실린더(310)의 온/오프 구동이 제어될 수 있다. 즉, 스위칭레버(411)에 의해 유압실린더(310)가 직접 온/오프 연동하여 작동되도록 할 수도 있고, 별도의 콘트롤러로 스위칭레버(411)의 스위칭신호가 전달되고, 콘트롤러는 유압실린더(310)의 구동을 제어할 수 있게 된다.

또한, 상기 감지부(400)는 취출되는 커버트레이(10')에 의해 접촉되어 온/오프 동작되는 체크밸브를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 유압실린더(310)에 작용하는 유압의 작동을 선택적으로 제어할 수 있게 된다.

또한, 상기 바닥벽(110)의 하부에는 장치 본체(100)를 소정 거치구조물에 소정 자세로 설치하기 위한 한 쌍의 결합유닛(500)이 설치된다. 상기 결합유닛(400)은 바닥벽(110)의 하부에 고정 설치되는 고정브라켓(510)과, 고정브라켓(510)과의 사이에 거치용 샤프트(20)를 사이에 두고 나사 등에 의해 체결되어 결합되는 연결브라켓(520)을 구비한다. 상기 구성의 결합유닛(500)을 이용하여 장치 본체(110)를 거치용 샤프트(20)와 같은 거치구도물에 대해 각도 즉, 자세를 조정하여 설치할 수 있고, 필요에 따라서 분리할 수도 있다.

또한, 상기 바닥벽(110)의 전단부의 하부에는 취출되는 커버트레이(10')에 대한 정보를 확인할 수 있는 정보 수집센서(600)가 설치될 수 있다. 상기 정보 수집센서(500)는 커버트레이(10)에 설치되어 해당 커버트레이(10)에 대한 정보가 입력된 RFID 등의 정보 제공부로부터 정보를 수신하는 RF 센서일 수 있다.

이하 상기 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치를 자세히 설명하기로 한다.

먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 바닥벽(110)의 상부에 다수의 커버트레이(10)를 적층하여 적재한 상태로 보관한다.

도 4의 상태에서 상기 유압실린더(310)를 작동시키면, 후크부재(200)가 제1방향(A)으로 이동되면서, 후크부(210)가 맨 아래의 커버트레이(10')와 바로 위의 커버트레이(10") 사이로 진입하여 두 커버트레이(10'.10")의 한쪽을 분리시킨다.

상기와 같이 후크부(210)가 두 커버트레이(10'.10")를 분리시킨 상태에서, 후크부재(200)를 제1방향으로 계속 이동시키면, 후크부재(200)에 의해 맨 아래의 커버트레이(10')는 바로 위의 커버트레이(10")에 적층되어 간섭받지 않은 상태이므로, 도 5와 같이 제1방향(A)으로 이동된다.

즉, 커버트레이(10')는 도 5에 도시된 바와 같이, 전방가이드(120) 사이를 통해 낱개로 취출되며, 바로 위의 커버트레이(10")는 전방가이드(120)에 걸려서 취출되는 커버트레이(10')에 이끌려서 나오는 것이 근본적으로 방지된다.

그리고 취출된 커버트레이(10')는 도 5와 같이 접촉센서(410)를 간섭하여 접촉센서(410)를 작동시키게 된다.

이와 같이 접촉센서(410)는 취출된 커버트레이(10')와의 접촉에 의해 취출된 커버트레이(10')가 있음을 감지할 수 있으며, 취출된 커버트레이(10')를 감지한 정보 즉, 스위칭정보에 의해 유압실린더(310)의 작동이 멈추게 됨으로써, 후크부재(200)가 제1방향으로 더 이상 이동되지 않고 정지되며, 커버트레이(10')도 일정 부분만 취출된 상태를 유지하게 된다.

상기 상태에서 취출된 상태의 커버트레이(10')를 작업자가 사용을 위해 장치 본체(100)로부터 완전히 빼내게 되면, 커버트레이(10')에 접촉되어 눌려 있던 접촉센서(410)는 다시 초기위치로 복귀되면서 커버트레이(10')가 없는 것으로 감지하게 된다. 이와 같이 접촉센서(410)에서 취출된 커버트레이를 감지하지 못하는 신호에 의해서 유압실린더(310)가 작동되며, 이 경우에는 후크부재(200)가 제2방향(B)으로 이동되어 도 4와 같이 초기위치로 복귀한 뒤, 다시 제1방향(A)으로 이동되어 다음에 맨 아래로 내려오는 커버트레이(10")를 분리하여 도 5와 같은 취출위치로 이동시키게 된다.

즉, 취출된 커버트레이(10')가 완전히 취출되면, 유압실리더(310)는 후크부재(200)가 1회 왕복 이동되도록 작동됨으로써, 취출된 커버트레이(10')의 바로 위의 커버트레이(10")를 순차적으로 취출시켜서 쉽게 빼낼 수 있는 대기상태로 이동시키게 된다.

이와 같이 상기 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치에 의하면, 장치 본체(100)에 적층된 복수의 커버트레이(10) 중에서 낱개씩 분리하여 빼내는 작업이 용이하며, 따라서 비숙련자라도 커버트레이(10)를 낱개씩 분리하여 필요한 곳으로 옮기는 작업을 용이하게 수행할 수 있게 되어 작업효율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며 특허청구범위를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 수정과 변형실시가 가능하다 할 것이다.

Claims

다수의 커버트레이가 탑재되어 수납되는 장치 본체와;
상기 장치 본체에 왕복이동 가능하게 설치되며, 제1방향으로 이동시 상기 장치 본체에 탑재된 복수의 커버트레이 중에서 취출시킬 커버트레이를 이웃한 커버트레이와 이격되게 분리시킨 상태로 밀어서 낱개로 취출시키고, 상기 제1방향의 반대인 제2방향으로 이동하여 초기위치로 이동되는 후크부재와;
상기 후크부재를 왕복 이동시키는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치.
제1항에 있어서,
상기 후크부재에 의해 밀려서 취출된 커버트레이를 감지하는 감지부를 더 포함하며,
상기 구동부는 상기 감지부에서의 감지정보에 따라서 선택적으로 구동제어되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치.
제2항에 있어서, 상기 감지부는,
상기 장치 본체의 상기 커버트레이의 취출방향 쪽에 설치되며, 상기 후크부재에 밀려서 취출되는 커버트레이에 접촉되어 취출된 커버트레이의 유무를 감지하는 접촉센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치 본체는,
상기 다수의 커버트레이가 적층되는 바닥벽과;
상기 바닥벽의 전단부에 설치되며, 다수의 커버트레이 중에서 상기 후크부재에 밀쳐서 취출되는 커버트레이를 가이드 하는 전방가이드와;
상기 바닥벽의 후단부에 설치되어 적층된 다수의 커버트레이가 정렬되도록 지지하는 후방가이드와;
상기 바닥벽의 상기 전방가이드 및 후방가이드 사이에 설치되어 상기 커버트레이의 양측면 각각을 가이드 지지하는 복수의 측면가이드부재;를 포함하며,
상기 바닥벽에는 상기 후크부재가 상기 바닥벽의 상부에 적층된 커버트레이를 낱개로 분리하여 이동시키도록 상기 후크부재의 이동을 허용하는 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치.
제4항에 있어서,
상기 바닥벽의 개구부 테두리에는 상기 후크부재의 이동을 안내하는 레일부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치.
제4항에 있어서,
상기 후크부재는 상기 바닥벽의 하부에서 상기 개구부를 통해 상기 바닥벽의 상부로 부분적으로 돌출된 상태로 이동 가능하게 설치되며,
상기 구동부는 상기 바닥벽의 하부에 설치되어 구동시 상기 후크부재를 상기 제1 및 제2방향으로 이동시키는 유압실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정의 씨트레이용 커버트레이의 분리장치.