KR100442671B1

KR100442671B1 - 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치

Info

Publication number: KR100442671B1
Application number: KR10-2002-0003328A
Authority: KR
Inventors: 최원호; 김원
Original assignee: 미래산업 주식회사
Priority date: 2002-01-21
Filing date: 2002-01-21
Publication date: 2004-08-02
Also published as: KR20030062874A

Abstract

본 발명은 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치에 관한 것으로, 수직식 핸들러의 소자 안내용 레일 조립체에 반도체 소자가 걸려 정지하는 경우에 이를 자동으로 신속하게 해제시켜줌으로써 반도체 소자의 진행이 원활히 이루어질 수 있도록 한 것이다.

이를 위해 본 발명은, 상하로 수직하게 설치된 베이스판과, 상기 베이스판의 전방면에 상하방향으로 오목하게 형성되어 반도체 소자를 안내하는 안내홈과, 상기 베이스판의 전방면에 고정되게 설치되는 고정판과, 상기 고정판의 후면부에 상기 안내홈과 대응하는 위치에 오목하게 형성되어 안내홈을 따라 하강하는 반도체 소자를 지지하는 지지부를 포함하여 구성된 핸들러의 소자 안내용 레일 조립체에 있어서, 상기 베이스판에 안내홈을 따라 관통되게 형성된 복수개의 관통공과, 일단이 상기 각 관통공을 통해 안내홈 전방부까지 전진 및 후진 운동 가능하도록 베이스판의 후면부에 설치된 푸쉬부재와, 상기 푸쉬부재를 운동시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성된 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치를 제공한다.

Description

수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치{Apparatus for clearing jammed semiconductor in vertical type handler}

본 발명은 수직식 핸들러에서 반도체 소자의 걸림 현상을 해제하여 주는 장치에 관한 것으로, 특히 수직식 핸들러의 소자 안내용 레일에서 자중에 의해 낙하하는 반도체 소자가 트랙의 어느 지점에 걸려 이동하지 못하게 되었을 때 이를 자동으로 해제시켜줌으로써 반도체 소자의 원활한 이동을 보장할 수 있도록 한 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치에 관한 것이다.

통상적으로, 생산라인에서 생산 완료된 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 된다.

이러한 반도체 소자를 테스트하는 장비인 핸들러는 수평식 핸들러와 수직식 핸들러로 대별되는데, 수평식 핸들러는 합성수지재의 트레이에 담겨진 반도체 소자를 상면 또는 하면이 개방된 금속재의 테스트용 트레이 또는 셔틀에 수평으로 로딩하여 상기 테스트용 트레이 또는 셔틀을 공정간에 수평상태로 이송시키면서 수평하게 정렬된 테스트 사이트에서 테스트를 실시하도록 된 것이다.

반면에, 수직식 핸들러는 기다란 튜브 형상의 슬리브(sleeve) 내에 테스트하고자 하는 반도체 소자들을 채워 넣은 상태에서 이를 핸들러의 로딩스택커(loading stacker)에 차례로 적재시켜 놓으면, 이송수단이 로딩스택커에 적재된 슬리브들을 1개씩 분리하여 일정각도 경사지게 함으로써 슬리브 내에서 반도체 소자들을 자중에 의해 분리하여 수직으로 설치된 테스트사이트(test site)에 연속적으로 공급하며 테스트를 수행하도록 된 것이다.

첨부된 도면의 도 1은 종래의 수직식 핸들러 구성의 일례를 나타낸 것으로, 핸들러 최상단에는 테스트할 반도체 소자들이 수납된 복수개의 슬리브(1)들이 적재되는 로딩부(10)가 위치되고, 이 로딩부(10)의 일측에는 로딩부(10)의 슬리브(1)를 1개씩 선회시켜 기울임으로써 슬리브로부터 반도체 소자들을 자중에 의해 분리시키는 슬리브 선회장치(20)가 설치된다.

핸들러 후방 중간부에는 상기 슬리브 선회장치(20)로부터 분리된 반도체 소자를 받아 수직 하방으로 안내하는 소자 안내용 레일 조립체(30) 및, 이 소자 안내용 레일 조립체(30)에 의해 안내되어 최하측으로 이송된 반도체 소자를 테스트 소켓에 전기적으로 접속시킴으로써 소정의 테스트를 단계적으로 수행하는 테스트 사이트(40)가 통합되어 구성되어 있다.

그리고, 상기 테스트사이트(40)의 하단부에는 테스트사이트(40)로부터 테스트 완료된 반도체 소자들을 공급받아 테스트 결과에 따라 분류하여 하부에 설치된 복수개의 소팅트랙(60)에 공급하는 소팅장치(50)가 설치된다.

상기 소팅트랙(60)들은 각각 하부의 언로딩부(70)에 준비된 빈 슬리브(1)들과 일치하도록 구성되어, 소팅부(50)에 의해 테스트 등급별로 분류된 반도체 소자들을 각각에 대응하는 빈 슬리브(1)들로 안내하는 역할을 하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래의 수직식 핸들러는 슬리브 선회장치(20)로부터 분리된 반도체 소자가 소자 안내용 레일 조립체(30)를 따라 하강하는 도중 옆으로 기울어지면서 소자 안내용 레일 조립체(30)에 걸리는 현상이 종종 발생하게 되는데,이 경우 작업자가 핸들러 가동을 중지시키고 일일이 손 또는 기타 공구로 소자 안내용 레일(30)에 걸린 반도체 소자를 건드려 걸림현상을 해제시켜주어야 했고, 이에 따라 테스트 효율이 현저히 저하되는 문제점이 있었다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 수직식 핸들러의 소자 안내용 레일 조립체에 반도체 소자가 걸려 정지하는 경우에 이를 자동으로 신속하게 해제시켜줌으로써 반도체 소자의 진행이 원활히 이루어질 수 있도록 한 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 일반적인 수직식 핸들러의 구성을 나타낸 측면도

도 2는 본 발명에 따른 걸림 해제장치가 설치된 수직직 핸들러의 소자 안내용 레일의 구성을 나타낸 정면에서 본 사시도

도 3은 도 2의 소자 안내용 레일 조립체의 후면에서 본 사시도

도 4는 도 2의 소자 안내용 레일 조립체의 정면도

도 5는 도 2의 소자 안내용 레일 조립체의 측면도

도 6은 도 2의 소자 안내용 레일 조립체의 요부 횡단면도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

31 : 베이스판 311 : 안내홈

312 : 관통공 32 : 커버판

33 : 설치블럭 34 : 푸쉬부재

35 : 회전축 37 : 공압실린더

371 : 실린더로드 381 : 스토퍼

391, 392 : 센서

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상하로 수직하게 설치된 베이스판과, 상기 베이스판의 전방면에 상하방향으로 오목하게 형성되어 반도체 소자를 안내하는 안내홈과, 상기 베이스판의 전방면에 고정되게 설치되는 고정판과, 상기 고정판의 후면부에 상기 안내홈과 대응하는 위치에 오목하게 형성되어 안내홈을 따라 하강하는 반도체 소자를 지지하는 지지부를 포함하여 구성된 핸들러의 소자 안내용 레일 조립체에 있어서, 상기 베이스판에 안내홈을 따라 관통되게 형성된 복수개의 관통공과, 일단이 상기 각 관통공을 통해 안내홈 전방부까지 전진 및 후진 운동 가능하도록 베이스판의 후면부에 설치된 푸쉬부재와, 상기 푸쉬부재를 운동시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성된 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치를 제공한다.

본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 푸쉬부재는 일단이 베이스판 전방면쪽으로 절곡되어 상기 각 관통공 내에 위치하고 타단이 상기 베이스판의 일측에 회전축을 매개로 선회가능하게 설치되어, 푸쉬부재의 선회운동에 의해 그의 일단이 관통공을 통해 전후진하며 안내홈 상의 반도체 소자를 건드려주도록 된 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 푸쉬부재를 운동시키기 위한 구동수단은, 베이스판 또는 고정판의 일측에 고정되게 설치된 실린더블럭과, 상기 실린더블럭에 설치되는 공압실린더와, 끝단이 상기 푸쉬부재의 일측단부와 결합되어 공압실린더에 의해 전후진하며 푸쉬부재를 선회운동시키는 실린더로드를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 2 내지 도 6은 본 발명의 반도체 소자 걸림 해제장치가 설치된 수직식 핸들러의 소자 안내용 레일 조립체를 나타낸 것으로, 핸들러의 중간부분에는 소자 안내용 레일 조립체를 구성하는 베이스판(31)이 수직하게 설치되고, 이 베이스판(31)의 전면부에는 커버판(32)이 연접하게 설치되며, 상기 커버판(32)의 전방면에는 설치블럭(33)이 고정된다.

상기 베이스판(31)의 중앙부에는 상측의 슬리브 선회장치(20)(도 1참조)로부터 분리되어 하강하는 반도체 소자(2)를 베이스판(31)의 하측으로 안내하도록 레일 역할을 하는 안내홈(311)이 상하방향으로 오목하게 형성된다.

그리고, 상기 커버판(32)은 상기 안내홈(311)과 대응하는 일측단부가 오목하게 형성되어 안내홈(311)을 따라 하강하는 반도체 소자(2)의 몰드부(2a)를 이동가능하게 지지하도록 지지부(321)를 이루며, 이 지지부(321)의 일측면부는 반도체 소자(2)의 한 쪽 리드부(2b)를 이동가능하게 수용하도록 홈(322)이 형성되어 있다. 여기서, 반도체 소자(2)의 다른 한 쪽 리드부(2b)는 지지부(321) 외측에 위치하게 된다.

상기 베이스판(31)에는 상기 안내홈(311)을 따라 장공형의 관통공(312)이 복수개 형성된다.

그리고, 베이스판(31)의 후면부에는 그 일단부가 베이스판(31) 전방쪽으로 절곡되어 상기 각 관통공(312)에 위치하게 되는 푸쉬부재(34)가 설치되는데, 이 푸쉬부재(34)의 타단부는 베이스판(31)의 일측단부에 회전가능하게 설치되는 회전축(35)에 고정되어, 이 회전축(35)을 중심으로 선회가능하도록 구성된다.

또한, 상기 설치블럭(33)의 일측단부에는 공압실린더(37)가 결합되는 실린더블럭(361) 및, 이 실린더블럭(361)과 일체로 되어 상기 회전축(35)의 양단부가 각각 결합되는 결합편(362)이 고정되며, 상기 공압실린더(37)의 실린더로드(371)는 상기 회전축(35)과 결합되어 있는 푸쉬부재(34)의 외측 끝단부와 결합된다.

따라서, 상기 공압실린더(37)의 실린더로드(371)의 전후진 동작에 의해 푸쉬부재(34)가 회전축(35)을 중심으로 선회하게 되고, 이에 따라 관통공(312)에 위치한 푸쉬부재(34)의 일단부가 전후진 이동하게 된다.

또한, 상기 실린더로드(371)가 결합된 푸쉬부재(34)의 끝단부에는 인장스프링(363)의 일단이 결합되고, 실린더블럭(361)의 일측단에는 상기 인장스프링(363)의 타단이 결합되는바, 공압실린더(37)의 작동이 해제되면 인장스프링(363)의 탄성력에 의해 푸쉬부재(34)가 원상태로 복원되도록 선회하게 된다.

한편, 미설명부호 381과 382는 각각 안내홈(311)을 따라 최하측으로 이동된 반도체 소자(2)를 일시 정지시켜주는 스토퍼 및 이 스토퍼(381)를 전후진 동작시켜주는 공압실린더를 나타낸다.

그리고, 상기 베이스판(31)의 상단부 및 상기 스토퍼(381)가 설치된 베이스판(31)의 하단부 각각에는 반도체 소자(2)의 유무를 감지하는 센서(391, 392)가 설치된다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 반도체 소자 걸림 해제장치는 다음과 같이 작동한다.

핸들러의 슬리브 선회장치(20)(도 1참조)가 선회하면 슬리브(1)(도 1참조) 내의 반도체 소자(2)들이 슬리브(1)로부터 분리되고, 이 분리된 반도체 소자(2)들은 소자 안내용 레일 조립체의 안내홈(311)을 따라 하강하게 된다.

상기와 같이 반도체 소자(2)들이 하강하는 도중 기울어지면서 안내홈(311)의 어느 지점에서 걸리는 현상이 발생할 수 있는데, 이 때 반도체 소자가 레일 조립체의 안내홈(311)에 걸림은 베이스판(31) 상,하측에 설치된 센서(391, 392)에 의해 감지된다.

즉, 반도체 소자(2)가 안내홈(311)을 따라 하강중 어느 지점에서 걸리게 되면, 베이스판(31) 상측의 센서(391)는 반도체 소자(2)를 감지하나 스토퍼(381)가 위치한 하측의 센서(392)는 반도체 소자(2)를 감지하지 못하게 되므로, 핸들러의제어유닛(미도시)에서는 반도체 소자(2)가 안내홈(311) 상에 걸린 것으로 판정하게 된다.

따라서, 핸들러의 제어유닛(미도시)은 안내홈(311) 상에 걸린 반도체 소자를 제거시키기 위해 공압실린더(37)를 동작시키게 되는 바, 공압실린더(37)의 실린더로드(371)가 연장되면 이에 결합된 푸쉬부재(34)가 회전축(35)을 중심으로 선회하게 되고, 이에 따라 관통공(312) 내에 위치한 푸쉬부재(34)의 일단부가 관통공(312) 전방쪽으로 전진하여 안내홈(311) 면상으로 튀어나오면서 안내홈(311)에 걸린 반도체 소자(2)를 건드려 주게 되고, 걸려있던 반도체 소자(2)는 다시 안내홈(311)을 따라 하강하게 된다.

이어서, 공압실린더(37)의 작동이 해제되면 인장스프링(363)의 작용에 의해 푸쉬부재(34)가 상기와는 반대로 선회하면서 푸쉬부재(34)의 일단이 관통공(312) 내로 후퇴하게 되고, 다음 반도체 소자들이 계속적으로 하강하며 아래쪽으로 공급될 수 있게 된다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 반도체 소자들이 소자 안내용 레일 조립체를 하강하는 도중 걸리는 현상이 발생하게 되면 자동으로 이를 감지하여 걸림 현상을 해제시켜 줄 수 있게 되므로 핸들러의 작동을 중지시킴없이 테스트가 원활히 진행될 수 있으며, 기존의 수작업으로 행하던 걸림 해제작업이 자동으로 이루어지게 되므로 작업의 효율성도 향상될 수 있게 된다.

Claims

상하로 수직하게 설치된 베이스판과, 상기 베이스판의 전방면에 상하방향으로 오목하게 형성되어 반도체 소자를 안내하는 안내홈과, 상기 베이스판의 전방면에 고정되게 설치되는 고정판과, 상기 고정판의 후면부에 상기 안내홈과 대응하는 위치에 오목하게 형성되어 안내홈을 따라 하강하는 반도체 소자를 지지하는 지지부를 포함하여 구성된 핸들러의 소자 안내용 레일 조립체에 있어서,

상기 베이스판에 안내홈을 따라 관통되게 형성된 복수개의 관통공과;

상기 베이스판의 후면부에 회전축을 중심으로 앞뒤로 일정량 회전 가능하게 설치되고, 일단부가 전방으로 절곡되어 상기 각 관통공에 위치되어, 선회 운동에 의해 일단부가 상기 관통공을 통해 안내홈 내측까지 전진 및 후퇴하며 안내홈 상의 반도체 소자를 건드려주도록 된 푸쉬부재와;

상기 베이스판의 상단 및 하단에 설치되어 안내홈을 따라 하강하는 반도체 소자의 유무를 감지하여 반도체 소자가 안내홈 상에 걸림을 감지하는 센서와;

상기 센서에 의한 반도체 소자의 걸림 감지 여부에 따라 상기 푸쉬부재를 회전시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성된 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치.
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제 1항에 있어서, 상기 푸쉬부재를 회전시키기 위한 구동수단은, 베이스판 또는 고정판의 일측에 고정되게 설치된 실린더블럭과, 상기 실린더블럭에 설치되는 공압실린더와, 끝단이 상기 푸쉬부재의 일측단부와 결합되어 공압실린더에 의해 전후진하며 푸쉬부재를 선회운동시키는 실린더로드를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치.
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