KR0143333B1 - 반도체 소자검사기의 로더,언로더 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자검사기의 로더, 언로더에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 생산 완료된 반도체소자 중 TSOP(Thin Small Outling Package)타입의 반도체소자만을 전용으로 성능검사를 하는 수평식검사기에서 튜브내에 담겨진 DIP(Dual Inling Package)타입의 반도체소자도 순차적으로 공급하여 테스트한 다음 언로더부의 빈튜브에 담을 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 소자를 수평으로 이동시키면서 소자의 특성을 검사하는 검사기에 있어서, 소자가 담겨진 상태로 스택커(2)내에 적재된 1개의 튜브(1)을 분리하는 튜브 분리수단과, 분리된 1개의 튜브를 일정각도 기울이기 위해 상측으로 이동시키는 엘리베이터(4)와, 상기 엘리베터에 의해 상측으로 이동된 튜브를 일정각도 기울이는 회동수단과, 상기 회동수단에 의해 튜브가 기울어지므로 인해 소자가 자중에 의해 튜브로부터 빠져 나옴에 따라 빠져 나온 소자를 인덱싱하는 인덱싱수단과, 상기 인덱싱된 소자를 소자의 로딩위치로 이송시키는 제1이송수단으로 이루어진로딩부와; 테스트완료된 소자가 언로딩되어 얹혀짐에 따라 수평이동함과 동시에 일정각도 회동하는 제2이송수단과, 상기 제2이송수단에 의해 테스트완료된 소자가 이동되어 옴에 따라 소자를 자중에 의해 공급받아 대기시키는 대기수단과, 상기 대기수단으로부터 소자를 공급받아 테스트결과에 따라 소자를 분류하는 소팅트랙(36)과, 상기 소팅트팩으로부터 분류된 소자가 빈튜브내에 담겨짐에 따라 소자가 담겨진 튜브를 스택커(3)에 적재시킴과 동시에 빈튜브를 스택커의 하부에 장착시켜 주는 빈튜브공급수단으로 이루어진 언로딩부;로 구성하여서 된 것이다.

Description

반도체 소자검사기의 로더, 언로더

제1도는 본 발명의 로더부를 나타낸 평면도

제2도는 제1도의 엘리베이터를 나타낸 측면도

제3도는 이송트랙의 동작을 설명하기 위한 측면도로써,

(a)는 이송트랙이 일정각도 경사를 이루고 있는 상태도

(b)는 이송트랙이 수평을 이루고 있는 상태도

제4도는 이송트랙의 요부를 나타낸 분해사시도

제5도는 소자 안착판에 결합된 슬라이드판의 작동 상태도로써,

(a)는 개방부와 창이 어긋난 상태도

(b)는 개방부와 창이 일치된 상태도

제6도는 이송트랙을 회동시키는 캠의 정면도

제7도는 언로더부를 나타낸 평면도

제8도는 언로더부를 일부를 절결하여 나타낸 측면도

제9도는 언로더부의 요부를 나타낸 사시도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1:튜브 2,3:스택커

6:제1안착편 7:제2안착편

9:안착편 10:스윙암

14:인덱스레일 16:취출레일

18:운반레일 20, 33:이송트랙

24:캠판 26:소자안착판

27:슬라이드판 34:대기트랙

36:소팅트랙 41:이송블럭

46:클리퍼판 50:클리퍼

52:안착편 53:안착블럭

60:칼퀴 61:아암

본 발명은 반도체 소자검사기의 로더, 언로더에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 생산 완료된 반도체소자 중 TSOP(Thin Small Outling Package)타입의 반도체소자만을 전용으로 성능검사를 하는 수평식검사기에서 튜브내에 담겨진 DIP(Dual Inling Package)타입의 반도체소자도 순차적으로 공급하여 테스트한 다음 언로더부의 빈튜브에 담을 수 있도록 한 것이다.

근래에는 부품의 경박단소화 추세에 따라 반도체소자(이하 소자라함) 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 있는데, 그 중 대표적인 소자가 TSOP(Thin Small Outling Package)이다.

상기 TSOP(Thin Small Outling Package)는 그 두께가 약 1mm정도로써, 제조공정에서 생산 완료하여 성능을 검사하는 테스트공정간에 취급부주의등으로 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 검사기내부에서의 이송간 또는 테스트중 소자에 충격이 가해지지 않도록 세심한 주의를 하여야 된다.

이에따라 일반적으로 널리 사용되고 있는 DIP타입의 소자를 자중에 의해 경사진 이송트랙으로 순차 공급하면서 검사하는 검사기에서는 소자를 자중에 의해 이송시키므로 소자간의 충돌이 일어나 소자의 특성이 변할 염려가 있게 되므로 TSOP타입의 소자를 검사하지 않고 있다.

따라서 TSOP타입의 소자를 검사하기 위해서는 소자의 이송시 충격이 발생되지 않도록 소자를 수평 이동하는 수평식검사기를 이용하게 된다.

상기한 수평식검사기는 기기의 구입비용이 매우 비싸기 때문에 TSOP타입의 소자를 검사하지 않을 경우에는 DIP타입의 소자를 검사하여야만 기기의 가동율을 증대시킬 수 있게 된다.

그러나 TSOP타입의 소자는 사각틀형태의 트레이(Tray)내에 소자를 담아 보관하거나 운반하지만, DIP타입의 소자는 직육면체형상으로 된 기다란 튜브내에 보관하거나 운반하게 되므로 튜브내에 담겨져 있던 DIP타입의 소자를 수평식검사기의 로딩부에 로딩시킬 수 없게 된다.

따라서, 튜브내의 소자를 수평식검사기의 로딩부에 로딩시키기 위해서는 작업자가 튜브내에 삽입된 소자를 꺼낸 다음 별도의 트레이에 적재하여 테스트를 실시하고, 테스트가 완료된 후에는 트레이내에 담겨진 소자를 튜브내에 다시 담아 주어야 되었으므로 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, TSOP타입의 소자를 검사하는 수평식검사기에 DIP타입의 소자가 담긴 튜브를 직접로딩하여 소자를 테스트한 다음 테스트완료된 소자를 양,불량품에 따라 튜브내에 자동으로 언로딩하므로 공정의 단축으로 생산성을 극대화시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 소자를 수평으로 이동시키면서 소자의 특성을 검사하는 검사기에 있어서, 소자가 담겨진 상태로 스택커내에 적재된 1개의 튜브를 분리하는 튜브 분리수단과, 분리된 1개의 튜브를 일정각도 기울이기 위해 상측으로 이동시키는 엘리베이터와, 상기 엘리베이터에 의해 상측으로 이동된 튜브를 일정각도 기울이는 회동수단과, 상기 회동수단에 의해 튜브가 기울어지므로 인해 소자가 자중에 의해 튜브로부터 빠져 나옴에 따라 빠져 나온 소자를 인덱싱하는 인덱싱수단과, 상기 인덱싱된 소자를 소자의 로딩위치로 이송시키는 제1이송수단으로 이루어진 로딩부와; 태스트완료된 소자가 언로딩되어 얹혀짐에 따라 수평이동함과 동시에 일정각도 회동하는 제2이송수단과, 상기 제2이송수단에 의해 테스트완료된 소자가 이동되어 옴에 따라 소자를 자중에 의해 공급받아 대기시키는 대기수단과, 상기 대기수단으로부터 소자를 공급받아 테스트결과에 따라 소자를 분류하는 소팅트랙과, 상기 소팅트랙으로부터 분류된 소자가 빈튜브내에 담겨짐에 따라 소자가 담겨진 튜브를 스택커에 적재시킴과 동시에 빈튜브를 스택커의 하부에 장착시켜 주는 빈튜브공급수단으로 이루어진 언로딩부; 로 구성됨을 특지으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더가 제공된다.

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제1도 내지 제9도를 참고로하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제1도는 본 발명의 로더부를 나타낸 평면도이고 제7도는 언로더부를 나타낸 평면도로써, 본 발명은 DIP타입의 소자가 담겨진 튜브(1)를 스택커(2)에서 분리하여 튜브로부터 소자를 자중에 의해 빠져 나오도록 한 다음 순차적으로 1개씩 수평식검사기에 로딩시켜 주는 로딩부와, 검사기에 의해 테스트가 완료된 상태로 송출되는 소자를 빈튜브내에 자중에 의해 담아 빈스택커내(3)에 차례로 언로딩하는 언로딩부로 구성한다.

상기 로딩부는 제1도 내지 제6도에 도시한 바와 같이 스택커(2)내에서 소자가 담겨진 튜브(1)를 1개씩 분리하는 분리수단, 분리된 튜브를 상측으로 이동시키는 엘리베이터(4), 상기 튜브를 일정각도 기울여 자중에 의해 튜브(1)내에 담겨진 소자가 하방을 빠져 나오도록 하는 회동수단, 회동수단에 의해 튜브로부터 빠져 나온 소자를 인덱싱하는 인덱싱수단, 인덱싱된 소자를 소자의 로딩위치로 이송시키는 제1이송수단으로 구성한다.

상기한 구성중 분리수단을 본 발명의 일 실시예에서는 제1도에 도시한 바와 같이 베이스(5)상에 상호 대응되게 고정된 스택커(2)의 하부에 제1안착편(6)을 승,하강하게 설치하고 상기 제1안착편의 외측으로는 제2안착편(7)을 1스탭씩 진퇴가능하게 설치하는데, 이때 제1,2안착편(6)(7)이 하사점에 위치된 상태에서는 상기 제1안착편(6)이 제2안착편(7)보다 아래에 위치되도록 한다.

이는 제1안착편(6)이 스택커(2)에 적재된 최하단의 튜브(1)를 분리하여 하사점에 도달하면 분리된 튜브가 제2안착편(7)상에 얹혀지도록 하기 위함이다.

따라서 제1안착편(6)을 승,하강시키는 실린더(도시는 생략함)의 동작으로 상기 제1안착편이 상사점에 위치한 상태에서 스택커(2)사이에 적재된 최하방의 튜브(1)를 지지하는 스토퍼(도시는 생랴함)의 걸림상태를 해제하면 스택커내의 튜브가 1개의 튜브 두께만큼 하강하게 되므로 최하방에 위치된 튜브가 제1안착편(6)의 상면에 얹혀지게 된다.

이때 상기 제1안착편(6)의 상면에는 튜브(1)의 폭(b)만큼 요입홈(6a)이 형성되어 있으므로 제1안착편의 이동시 튜브가 상기 제1안착편의 상면에서 유동되지 않는다.

이와같이 스택커(2)상에 적재된 1개의 튜브가 제1안착편(6)상에 얹혀지고 나면 후퇴되었던 스토퍼가 실린더의 동작으로 전진하여 최하방으로부터 2번째에 위치된 튜브를 파지하게 되므로 제1안착편(6)이 하강하더라도 스택커(2)상에 적재된 나머지 튜브가 스택커의 하방으로 낙하되지 않는다.

상기한 동작에 의해 스택커(2)상에서 1개의 튜브(1)가 분리되어 제2안착편(7)상에 얹혀지고 나면 수평실린더(도시는 생략함)의 동작으로 제2안착편이 엘리베이터(4)측으로 1스텝(step) 이동된다.

이와같이 분리된 튜브(1)가 엘리베이터측으로 1스텝 이송되고 나면 전술한 바와 같이 제1안착편(6)이 상승하여 스택커상에 적재된 또 다른 튜브를 분리함과 동시에 하강하게 되므로 제2안착편(7)이 분리된 튜브를 순차적으로 엘리베이터측에 이송시킨다.

상기한 동작으로 튜브(1)가 분리되어 엘리베이터의 직하방으로 이송됨에 따라 튜브(1)를 일정각도 기울이기 위해 상측으로 이동시키는 엘리베이터(4)에는 제2도와 같이 승,하강블럭(8)을 결합하고 상기 승,하강블럭에는 튜브(1)가 얹혀지는 안착편(9)을 고정한다.

상기 승,하강블럭(8)은 하사점에 있을 때 제2안착편(7)에 얹혀진 튜브(1)보다 하방에 위치하고 있어 스택커(2)에서 분리된 튜브(1)가 제2안착편(7)에 얹혀진 상태로 승,하강블럭(8)에 고정된 안착편(9)의 상부로 이송되어 옴에 따라 상기 엘리베이터(4)가 동작하여 제2안착편(7)에 얹혀져 있던 튜브(1)를 엘리베이터(4)의 상사점으로 이송시키게 된다.

상기 엘리베이터(4)에 의해 상사점에 위치된 튜브(1)를 일정각도 회동시키는 회동수단은 제2도의 화살표방향으로 수평이동하는 스윙암(10)을 엘리베이터의 상사점 근처에 설치하여 상기 튜브가 엘리베이터의 상사점에 도달하면 제1실린더(11)의 동작으로 스윙암(10)을 수평이동시켜 상기 튜브가 스윙암(10)과 일직선상에 위치하도록 하며, 상기 스윙암에는 튜브가 일직선상에 위치되었을 때 튜브를 스윙암의 내부로 밀어 넣는 푸셔(12)를 설치한다.(제1도 참조)

상기 스윙암은 도시하지 않은 회전실린더가 구동함에 따라 일정각도 회동하여 경사지게 한다.

따라서 튜브(1)가 엘리베이터(4)의 상사점에 위치되면 실린더의 동작으로 스윙암(10)이 제2도의 화살표 방향으로 이동하여 튜브와 일직선상에 위치하게 되므로 제2실린더(13)에 의해서 푸셔(12)가 동작하여 안착편(9)에 얹혀져 있던 튜브를 스윙암(10)의 내부로 밀어 넣게 된다.

이와같이 스윙암(10)의 내부에 튜브가 끼워짐과 동시에 제1실린더(11)의 동작으로 스윙암(10)이 초기상태로 환원된 상태에서 회전실린더가 동작하면 상기 스윙암(10)이 수평면으로부터 일정각도 경사를 이루게 되므로 튜브(1)내에 담겨져 있던 소자가 자중에 의해 튜브의 하부인 개방부를 통해 빠져 나오게 된다.

상기 튜브의 개방부를 통해 빠져 나온 소자를 순차적으로 1개씩 이송시키는 인덱싱수단의 구성은 다음과 같다.

첨부도면 제1도에 도시한 바와 같이 스윙암(10)이 일직선상에 튜브(1)로부터 빠져 나온 소자를 순차적으로 1개씩 이송시키기 위한 인덱스레일(14)을 스윙암(10)의 경사각과 동일한 경사각을 이루도록 설치하고 상기 인덱스레일(14)의 상면에는 소자의 이송을 제어하기 위한 스토퍼핀(15a)(15b)을 각각 가진2개의 실린더(도시는 생략함)를 고정하며, 상기 인덱스레일(14)의 하부에는 인덱스된 소자가 하방으로 송출되기 전에 리드의 변형여부를 검출하여 리드가 변형되어 있을 경우 외부로 취출시키기 위한 취출레일(16)을 설치한다.

따라서 실린더의 작동으로 스토퍼핀(15b)이 하방으로 노출된 상태에서 스윙암(10)이 회동하면 튜브(1)내에 담겨져 있던 선단의 소자가 자중에 의해 인덱스레일(14)의 내부로 빠져 나와 스토퍼핀(15b)에 걸리게 되므로 소자의 이송이 중단되는데, 이때 인덱스레일(14)의 상측에 위치된 스토퍼핀(15a)은 상승된 상태이다.

이러한 상태에서 소자를 순차적으로 1개씩 이송시키기 위해 상측의 스토퍼핀(15a)이 하강하여 최하방으로부터 2번째에 위치된 소자의 상면을 눌러 준 상태에서 하방에 위치되어 소자의 이송을 제어하고 있던 스토퍼핀(15b)을 상승시키면 최하방에 위치된 소자가 자중에 의해 취출레일(16)측으로 이동되므로 소자의 성능검사전에 리드의 변형여부를 검사하게 된다.

이때 취출레일(16)에도 소자의 이송을 제어하기 위한 스토퍼핀이 설치됨은 물론이다.

이는 리드가 변형된 상태로 검사기의 내부로 이동되므로 인해 소자의 이송간에 쨈(jam)이 발생되는 것을 미연에 방지함은 물론 쨈이 발생되지 않더라도 리드의 변형으로 인해 테스트부에서 양품의 소자가 불량품으로 판정되는 것을 미연에 방지 하기 위함이다.

상기한 바와 같이 소자의 리드변형여부를 검사하여 리드가 변형되지 않았을 경우에는 스토퍼핀을 상승시켜 소자가 자중에 의해 하방으로 송출되도록 하고, 이와는 반대로 리드가 변형되었을 경우에는 도시하지 않은 실린더에 의해 상기 취출레일(16)을 일측으로 이동시킨 다음 공지의 취출수단에 의해 취출레일(16)로부터 리드가 변형된 소자를 취출시킨다.

상기 리드가 변형된 소자를 취출레일(16)로부터 취출시키고 나면 일측으로 이동되었던 취출레일(16)은 초기상태로 복귀된다.

상기한 동작에 따라 인덱싱된 소자가 모터(17)의 구동으로 1스탭씩 이동하는 운반트랙(18)의 내부로 삽입되는데, 이때 상기 운반트랙의 하단부에는 삽입되는 소자가 하방으로 자유낙하되는 것을 방지하기 위한 스토퍼핀(19)이 설치되어 있다.

상기 운반트랙(18)의 내부에 삽입된 소자를 공급트랙의 로딩위치로 이송시키는 제1이송수단의 구성을 첨부도면 제3도 내지 제6도를 참고로 설명하면 다음과 같다.

상기 제1이송수단은 경사진 상태에서 운반트랙(18)의 내부에 삽입된 소자를 공급받는 이송트랙(20)과, 상기 이송트랙이 회동가능하게 스프링(21)으로 설치되는 이송체(22)와, 상기 이송체가 수평이동할 때 이를 안내하는 가이드레일(23)과, 상기 이송체가 가이드레일을 따라 수평이동할 때 이송레일을 수평상태로 유지하거나, 일정각도 경사지게 하는 캠판(24)등으로 구성한다.

첨부도면 제3도 및 제4도에 도시한 바와 같이 상기 이송트랙(20)은 이송체(22)에 축(25)을 중심으로 회동가능하게 스프링(21)에 의해 탄력설치됨과 동시에 소자가 안착되는 복수개의 개방부(26a)가 형성된 소자 안착판(26)과, 상기 소자 안착판의 상면에 수평 이동가능하게 결합됨과 동시에 개방부와 일치되는 복수개의 창(27a)을 갖는 슬라이드판(27)고, 상기 슬라이드판의 양측면을 지지하도록 소자 안착판(26)에 고정되는 가이드편(28)과, 상기 슬라이드판의 양측면에 고정되어 소자 안착판의 양단면에 지지되는 고정블럭(29)과, 상기 소자가 개방부의 내부로 삽입되거나, 이송트랙이 가이드레일(23)을 따라 수평이동할 때에는 개방부(26a)와 창(27a)이 상호 어긋나도록 고정블럭중 일측의 고정블럭과 소자 안착판(26)사이에 설치되는 스프링(30)으로 구성한다.

상기한 이송트랙(20)의 하부에는 베어링(31)을 고정하여 상기 베어링이 제6도와 같이 캠판(24)의 상면과 접속되도록 한다.

따라서 8개의 소자가 채워진 운반트랙(18)이 이송트랙(20)의 일측으로 이송된 상태, 즉 운반트랙이 테스트하기 위한 소자를 이송트랙(20)의 소자 안착판(26)에 형성된 개방부(26a)의 내부로 공급할 수 있는 위치로 이송되었을 때에는 제3도의(a) 및 제6도의 실선으로 도시한 바와 같이 이송트랙(20)에 고정된 베어링(31)이 캠판(24)의 상사점(H)에 위치하게 되므로 상기 소자 안착판(26)이 스프링(21)을 인장시키면서 회동하는 운반트랙(18)의 경사각과 일치하는 경사를 이루게 된다.

또한, 상기 소자 안착판(26)이 제6도의 실선과 같은 위치에 있을 경우에는 소자 안착판(26)에 결합된 슬라이드판(27)은 스프링(30)의 복원력으로 도면상 우측으로 이동된 상태이므로 제5도의 (a)와 같이 소자 안착판(26)에 형성된 개방부(26a)와 슬라이드판(27)에 형성된 창(27a)이 어긋난 상태를 유지하게 된다.

이는 운반트랙(18)이 이송트랙(20)측으로 이송되어 와 운반트랙의 내부에 삽입되어 있던 소자를 소자 안착판(26)에 형성된 개방부(26a)의 내부로 자중에 의해 공급한 다음 상기 개방부에 위치된 소자를 소자공급부측으로 공급하기 위해 이송트랙이 이송될 때 충격 등에 의해 소자가 슬라이드판(27)에 형성된 창(27a)을 통해 외부로 빠져 나오는 것을 방지하기 위함이다.

이러한 상태에서 운반트랙(18)의 내부에서 소자가 자유낙하되는 것을 제어하고 있던 스토퍼핀(19)을 상승시키면 운반트랙(18)의 내부에 삽입되어 있던 소자가 자중에 의해 소자 안착판(26)의 개방부(26a) 내부로 삽입된다.

상기한 동작으로 8개의 소자가 소자 안착판(26)의 개방부내부로 공급되고 나면 상기 소자 안착판은 별도의 구동에 의해 가이드레일(23)을 따라 소자공급부측으로 이송되는데, 이와같이 소자 안착판이 가이드레일(23)을 따라 이송됨에 따라 소자안착판(26)에 고정된 베어링(31)이 캠판(24)에 형성된 하사점(L)에 위치되므로 상기 소자 안착판(26)이 스프링(21)의 복원력으로 제3도의 (b)와 같이 수평상태를 유지하게 된다.

이와같이 소자 안착판(26)이 수평상태로 된 상태에서 계속해서 이송되어 제5도의 (b)와 같이 슬라이드판(27)의 일측면이 스토퍼판(32)에 밀착되면 상기 슬라이드판(27)이 스프링(30)을 압축하면서 소자 안착판(26)의 진행방향과 반대방향으로 이동되므로 상기 슬라이드판(27)에 형성된 창(27a)이 소자 안착판(26)에 형성된 개방부(26a)와 일치되는데, 이때 상기 슬라이드판(27)은 가이드편(28)에 의해 안내되므로 안정된 동작을 하게 된다.

제3도의 (b)와 같이 이송트랙(20)이 수평상태로 됨과 동시에 제5도의 (b)와 같이 소자 안착판(26)에 형성된 개방부(26a)와 슬라이드판(27)에 형성된 창(27a)이 일치되고 나면, 별도의 픽업수　이 창(27a)을 통해 개방부(26a)에 위치된 소자를 픽업하여 검사기의 트레이상면(도시는 생략함)으로 소자를 로딩하게 된다.

지금까지는 소자의 로딩부에 대해 설명한 것으로 이를 요약하면, 적재부의 스택커(2)에 적재된 1개의 튜브(1)를 분리하여 엘리베이터(4)에 의해 분리된 튜브를 상승시켜 회동하면 자중에 의해 상기 튜브내에서 소자가 빠져나오게 되므로 이를 인덱싱하여 제1이송수단에 의해 이송시키면서 소자의 로딩지점에서 소자를 수평상태로 유지함과 동시에 소자를 소자공급부측의 트레이상면에 로딩하게 된다.

수평식검사기의 테스트부에서 테스트완료된 소자를 테스트결과에 따라 반류하는 언로딩부의 구성을 살펴보면 다음과 같다.

상기 언로딩부는 제7도 내지 제9도에 도시한 바와 같이 테스트완료되어 수평상태로 이송되어 옴에 따라 이를 받아 일정각도 기울여 외부로 빠져 나오도록 하는 제2이송수단, 상기 제2이송수단으로부터 빠져 나온 소자를 대기시키는 대기수단, 테스트결과에 따라 소자를 분류하는 소팅수단, 소팅수단에 의해 분류되어 튜브내에 소자가 담겨짐에 따라 소자가 담겨진 튜브를 스택커에 적재시킴과 동시에 빈튜브를 스택커의 하부에 장착시키는 빈튜브 공급수단으로 구성한다.

상기한 구성중 제2이송수단은 로딩부의 제1이송수단과 거의 유사한 구조로 구성한다.

상기 제1이송수단에서는 이송트랙(20)을 캠판(24)에 의해 수평상태와, 경사진 상태로 가변시키도록 하였지만, 제2이송수단에서는 캠판을 이용하지 않고 스윙실린더(도시는 생략함)를 이송트랙(33)의 직하방(소자의 언로딩위치)에 위치되도록 설치하여 상기 제2이송수단의 소자 안착판이 소자의 송출부에 위치된 상태에서는 상기 이송트랙을 스프링의 복원력에 의해 수평상태로 유지하고, 대기수단측으로 이송되어 오면 스윙실린더가 동작하여 이송트랙을 일정각도 경사지도록 한다.

따라서 수평식검사기의 테스트부에서 소자의 성능검사를 완료하고 송출부를 통해 소자가 송출되면 별도의 픽업수단이 소자의 언로딩부에 위치된 제2이송수단의 이송트랙(33)내에 소자를 언로딩하게 되는데, 이때 슬라이드판에 형성된 창과 소자 안착판에 형성된 공간부는 상호 일치된 상태를 유지하게 되므로 픽업수단이 트레이에 얹혀져 있던 소자를 이송트랙내에 언로딩시킬 수 있게 된다.

상기 이송트랙의 내부로 언로딩된 소자가 제2이송수단에 의해 이송되어 옴에 따라 대기시키는 대기수단의 대기트랙(34)은 로딩부의 운반트랙과 동일한 구조로써, 차이점이 있다면 로딩부의 운반트랙은 모터(17)의 구동으로 수평이동하지만, 대기수단의 대기트랙(34)은 이동하지 않고 정지된 상태를 유지하면서 이송트랙(33)에 의해 테스트완료된 소자가 이송되어 와 스윙실린더의 동작으로 일정각도 기울어져 소자가 빠져 나옴에 따라 대기시키는 역할을 한다.

이러한 대기트랙(34)의 하방에는 소자가 자중에 의해 하방으로 빠져 나가는 것을 제어하기 위한 스토퍼핀(35)이 설치된다.

따라서 제7도의 일점쇄선으로 도시한 위치에서 테스트완료된 소자가 이송트랙(33)내에 언로딩된 상태에서 상기 이송트랙이 실선위치로 이송되어 와 스윙실린더에 의해 일정각도 경사를 이루면 이송트랙의 내부에 있던 소작 자중에 의해 대기트랙(34)의 내부로 유입되는데, 유입된 소자는 하방에 위치된 스토퍼핀(35)에 의해 걸려 이송이 제어되므로 대기상태로 있게 된다.

상기 대기수단내에 있는 소자를 테스트결과에 따라 소팅하는 소팅트랙(36)을 본 발명의 일 실시예에서는 2개를 한조로 구성하여 타이밍벨트(37)에 고정한다.

이는 소팅트랙(36)내에 한꺼번에 2개의 소자를 공급받아 빈튜브내에 공급하므로써, 생산성을 향상시키기 위함이다.

따라서 모터(38)의 구동으로 구동폴리(39)가 회전하면 상기 타이밍벨트(37)에 고정된 스팅트랙(36)이 대기트랙측으로 이동하여 소자가 담겨져 있는 대기트랙(34)중 어느 2개의 대기트랙과 일치된 지점에서 정지하는데, 이는 센서(도시는 생략함)의 감지로 인해 콘트롤부에서 제어하므로써 동작 가능하게 된다.

상기한 바와 같이 소팅트랙(36)이 소자가 담겨져 있는 어느 2개의 대기트랙(34)과 일치된 상태로 정지하면 소팅트랙과 일치된 대기트랙의 스토퍼핀(35)이 상승하게 되므로 대기트랙에 담겨져 있던 소자가 자중에 의해 소팅트랙(36)의 내부로 유입되는데, 상기 소팅트랙의 내부로 유입된 소자는 소팅트랙의 하부에 설치된 스토퍼핀(40)에 의해 하방으로 빠지는 것이 방지된다.

테스트완료된 소자가 소팅트랙의 내부로 유입되면 상기 소팅트랙의 테스트부에서 판정한 결과에 따라 스택커(3)의 하부에 장착된 빈튜브(1a)내부로 소자를 소팅하기 위해 이송됨과 동시에 소팅트랙의 출구와 빈튜브의 입구가 일치된 지점에서 스토퍼핀(40)을 상승시키게 되므로 소팅트랙내의 소자가 빈튜브내부로 삽입된다.

상기한 동작으로 테스트완료된 소자가 분류되어 빈튜브내에 전부 채워짐에 따라 소자가 담겨진 튜브를 스택커(3)상에 적재시킴과 동시에 빈튜브를 다시 스택커의 하부에 장착시키는 빈튜브공급수단을 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제8도는 언로더부를 일부를 절결하여 나타낸 측면도이고 제9도는 언로더부의 요부를 나타낸 사시도로써, 빈튜브와 소자가 담겨진 튜브가 차례로 적재되는 한쌍의 스택커(3)하방에 이송블럭(41)을 설치하며 모터(도시는 생략함)의 구동이 타이밍밸트(42)를 통해 전달되어 옴에 따라 상기 이송블럭이 가이드봉(43)에 안내되어 안정적으로 수평이동하도록 한다.

상기 이송블럭(41)에 제3,4실린더(44)(45)에 의해 1,2단으로 승,하강운동하는 클리퍼판(46)을 설치하고 상기 클리퍼판에는 제5실린더(47)에 의해 가이드편(48)을 따라 건퇴운동하는 공지의 핑거실린더(49)를 설치하며 상기 핑거실린더에는 한쌍의 클리퍼(50)을 양측으로 벌어지거나, 오므러 들도록 설치하는데, 상기 클리퍼(50)의 내측면에는 외부로 돌출되도록 고무재질의 돌출편(51)을 고정한다.

그리고 상기 클리퍼판(46)의 상,하부에는 빈튜브(1a)가 안착되는 안착편(52)을 고정하고 상기 안착편의 내측으로는 소자가 담겨진 튜브(1)가 얹혀지는 안착블럭(53)을 제6실린더(54)에 의해 진퇴가능하게 설치하고 상기 클리퍼판(46)의 하부에는 제7실린더(55)의 동작으로 진퇴운동하는 푸셔(56)를 설치한다.

한편, 일측 스택커(경사진하부에 위치된 스택커)의 하부바깥측에는 가이드봉(57)을 따라 진퇴가능하게 이송편(58)을 스프링(59)으로 탄력설치하고 상기 이송편(58)에는 스택커(3)의 내부로 노출되도록 칼퀴(60)를 고정하며, 이송편의 하부에는 클리퍼판(46)에 설치된 푸셔(56)에 의해 외측으로 밀리는 아암(61)을 고정하도록 되어 있는데, 이때 아암(61)의 하단에는 푸셔와 접속되도록 베어링(62)을 설치하도록 되어 있다.

이는 푸셔(56)가 아암(61)과 접속될 때 발생하는 마찰저항을 최소화하기 위함이다.

따라서 핑거실린더(49)가 오프되어 한쌍의 클리퍼(50)가 벌어지고, 제6실린더(54)가 오프되어 안착블럭(53)이 외측으로 이동된 상태에서 클리파판(46)의 양측으로 고정된 안착편(52)상에 빈튜브(1a)를 안착시키기 위해 모터가 구동하면 상기 모터의 동력이 타이밍밸트(42)를 통해 이송블럭(41)에 전달되므로 상기 이송블럭이 빈튜브적재판(도시는 생략함)측으로 이동되어 온다.

이러한 상태에서 제3,4실린더(44)(45)가 동작하여 클리퍼판(46)을 상사점에 위치시킨 다음 빈튜브적지판의 하단에 설치된 스토퍼핀을 해제시키면 빈튜브적재판사이에 적재된 빈튜브가 튜브 1개의 두께만큼 자유낙하되므로 최하단의 빈튜브가 안착편(52)의 상면에 얹혀지게 된다.

이와같은 동작으로 빈튜브적재판으로부터 1개의 빈튜브를 분리시키고 나면 후퇴되었던 스토퍼핀이 다시 전진하여 최하방으로부터 2번째 위치한 튜브를 홀딩하게 되므로 이송블럭(41)이 일측으로 이송되더라도 빈튜브적재판에 적재된 나머지 빈튜브가 하방으로 떨어지지 않게 된다.

이와같이 1개의 빈튜브가 이송블럭(41)의 안착편(52)에 얹혀지면 일측으로 이동되어 있던 안착블럭(53)이 제6실린더(54)의 동작으로 인해 빈튜브측으로 이동하면서 빈튜브의 측면을 지지함과 동시에 제3,4실린더(44)(45)가 동작하게 되므로 클리퍼판(46)이 하사점에 위치하게 된다.

이러한 상태에서 다시 모터가 구동하면 이송블럭(41)은 테스트완료된 소자가 가득 채워진 튜브의 직하방으로 이송되어 튜브(1)와 빈튜브(1a)가 수직선상에 위치된 지점에서 정지한다.

이는 센서의 감지에 따른 콘트롤부의 제어로 가능하게 된다.

그후, 이송블럭(41)의 하방에 설치된 제3실린더(44)가 작동하여 클리퍼판(46)을 1단으로 상승시키면 소자가 채워진 튜브는 안착블럭(53)의 상면에 얹혀짐과 동시에 벌어진 한쌍의 클리퍼(50)사이에 위치되므로 핑거실린더(49)의 동작으로 소자가 채워진 튜브는 클리퍼(50)에 홀딩된다.

이와같이 클리퍼(50)가 튜브(1)를 홀딩하고 나면 제7실린더(55)가 동작하여 푸셔(56)를 밀게 되므로 상기 푸셔가 아암(61)의 하단에 결합된 베어링(62)과 접속된 상태로 이동하게 되고, 이에따라 칼퀴(60)가 고정된 이송편(58)이 스프링(59)을 압축시키면서서 스택커(3)의 외측으로 빠져 나가 튜브의 홀딩상태를 해제하게 된다.

그후, 제5실린더(47)가 동작하여 클리퍼(50)를 하방으로 이동시키면 일측(상측)의 스택커(3)에 포킹되어 있던 튜브(소자가 담겨진)가 스택커사이로 위치되게 빠져 나오게 되는데, 이때 클리퍼의 내측면에는 외부로 노출되도록 돌출편(51)이 고정되어 있어 소작 담긴 튜브만이 클리퍼(50)에 홀딩되고, 안착편(52)에 얹혀진 빈 튜브는 홀딩되지 않으므로 빈튜브는 이동되지 않는다.

이와같이 상측의 스택커(3)에 포킹되어 있던 튜부가 스택커(3)사이로 빠져 나온 상태에서 이송블럭(41)의 하부에 설치된 제4실린더(45)가 동작하여 클리퍼판(46)을 2단으로 더욱 상승시키면 안착블럭(53)에 얹혀짐과 동시에 소자가 가득 채워진 튜브(1)는 제8도에 도시한 바와 같이 스프링(63)으로 탄력설치된 스토퍼(64)를 상측으로 밀면서 스택커(3)사이에 쌓여지는데, 소자가 담겨진 튜브(1)가 스토퍼(64)를 통과하고 나면 상기 스토퍼는 스프링(63)의 복원력으로 하방으로 회동되므로 스택커(3)사이에 적재된 튜브가 하방으로 빠져 나오지 못하게 된다.

상기한 바와 같이 클리퍼판(46)이 상사점에 위치하면 빈튜브는 테스트완료된 소자가 송출되는 스택커의 하부와 일직선상에 대기하게 되고, 빈튜브의 측면을 지지하던 안착블럭(53)은 제6실린더(54)의 동작으로 외측으로 밀려 빈튜브의 지지를 해제하게 된다.

그후, 빈튜브를 스택커에 포킹시키기 위해 제7실린더(55)를 오프시키면 아암(61)에 가해지던 푸셔(56)의 힘이 제거되어 이송편(58)이 스프링(59)의 복원력에 의해 최초의 상태로 환원되므로 칼퀴(60)가 스택커(3)의 내측으로 다시 전진하면서 빈튜브(1a)를 상측으로 밀게 되고, 이에따라 빈튜브의 개방부가 상측에 위치된 스택커에 포킹된다.

상기한 바와 같이 소자가 담겨진 튜브를 스택커사이에 적재시킴과 동시에 튜브가 분리된 스택커의 하방에 빈튜브를 포킹시키고 나면 이송블럭()은 모터의 구동으로 빈튜브적재판측으로 이동하여 빈튜브를 어느 하나의 스택커하방으로 공급할 수 있도록 대기하게 된다.

지금까지 설명한 언로딩부는 테스트부에서 소자의 성능검사를 완료하고 소자가 송출됨에 따라 테스트완료된 소자를 트레이에서 픽업하여 빈튜브내에 언로딩하고 빈튜브내에 소자가 가득 채워짐에 따라 소자가 채워진 튜브를 스택커상에 차례로 적재시킴과 동시에 빈튜브를 소자의 송출스택커 하방에 포킹하는 과정을 설명한 것으로써, 상기한 동작은 소자가 테스트되는 동안 계속적으로 이루어지게 됨은 이해 가능한 것이다.

이상에서와 같이 본 발명은 TSOP타입의 소자만을 전용으로 테스트하는 수평식검사기의 로딩, 언로딩부에 DIP타입의 소자를 로딩, 언로딩할 수 있도록 로더, 언로더를 장착하여 DIP타입의 소자를 자동으로 테스트하게 되므로 기기의 완전 자동화실현이 가능하게 되고, 이에 따라 고가 장비의 가동률을 극대화시킬 수 있게 되므로 생산성이 향상되는 효과를 얻게 된다.

Claims (11)

1. 소자를 수평으로 이동시키면서 소자의 특성을 검사하는 검사기에 있어서, 소자가 담겨진 상태로 스택커(2)내에 적재된 1개의 튜브(1)를 분리하는 튜브 분리수단과, 분리된 1개의 튜브를 일정각도 기울이기 위해 상측으로 이동시키는 엘리베이터(4)와, 상기 엘리베이터에 의해 상측으로 이동된 튜브를 일정각도 기울이는 회동수단과, 상기 회동수단에 의해 튜브가 기울어지므로 인해 소자가 자중에 의해 튜브로부터 빠져 나옴에 따라 빠져 나온 소자를 인덱싱하는 인덱싱수단과, 상기 인덱싱된 소자를 소자의 로딩위치로 이송시키는 제1이송수단으로 이루어진 로딩부와; 테스트완료된 소자가 언로딩되어 얹혀짐에 따라 수평이동함과 동시에 일정각도 회동하는 제2이송수단과, 상기 제2이송수단에 의해 수평이동함과 동시에 일정각도 회동하는 제2이송수단과, 상기 제2이송수단에 의해 테스트완료된 소자가 이동되어옴에 따라 소자를 자중에 의해 공급받아 대기시키는 대기수단과, 상기 대기수단으로부터 소자를 공급받아 테스트결과에 따라 소자를 분류하는 소팅트랙(36)과, 상기 소팅트랙으로부터 분류된 소작 빈튜브내에 담겨짐에 따라 소자가 담겨진 튜브를 스택커(3)에 적재시킴과 동시에 빈튜브를 스택커의 하부에 장착시켜 주는 빈튜브공급수단으로 이루어진 언로딩부;로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
2. 제1항에 있어서, 분리수단은 베이스(5)상에 상호 대응되게 고정된 스택커(2)의 하부에 제1안착편(6)을 승,하강하게 설치하고 상기 제1안착편의 외측으로는 제1안착편(6)이 하사점에 위치되었을 때 제1안착편보다 상측에 위치되도록 제2안착편(7)을 진퇴가능하게 설치함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
3. 제1항에 있어서, 엘리베이터(4)에 승,하강블럭(8)을 결합하고 상기 승, 하강블럭(8)에는 튜브(1)가 얹혀지는 안착편(9)을 고정하여 상기 승, 하강블럭(8)이 하사점에 위치되었을 때 안착편이 제2안착편(7)에 얹혀진 튜브(1)보다 하방에 위치되도록 함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
4. 제1항에 있어서, 회동수단은 제1실린더(11)의 동작으로 수평이동하는 스윙암(10)을 엘리베이터의 상사점 근처에 설치하여 상기 튜브가 엘리베이터의 상사점에 도달함에 따라 상기 스윙암(10)을 튜브와 일직선상에 위치되도록 이동시키며, 상기 스윙암에는 튜브가 일직선상에 위치되었을 때 튜브를 스윙암의 내부로 밀어 넣는 푸셔(12)를 설치함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
5. 제1항에 있어서, 인덱싱수단은 스윙암(10)의 일직선상에 튜브(1)로부터 빠져 나온 소자를 순차적으로 1개씩 이송시키기 위한 인덱스레일(14)을 스윙암(10)의 경사각과 동일한 경사각을 이루도록 설치하고 상기 인덱스레일(14)의 상면에는 소자의 이송을 제어하기 위한 스토퍼핀(15a)(15b)을 각각 가진 2개의 실린더를 고정하며, 상기 인덱스레일(14)의 하부에는 인덱스된 소자가 하방으로 송출되기 전에 리드의 변형여부를 검출하여 리드가 변형되어 있을 경우 외부로 취출시키기 위한 취출레일(16)을 설치함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
6. 제1항에 있어서, 제1이송수단은 경사진 상태에서 운반트랙(18)의 내부에 삽입된 소자를 공급받는 이송트랙(20)과, 상기 이송트랙이 회동가능하게 스프링(21)으로 설치되는 이송체(22)와, 상기 이송체가 수평이동할 때 이를 안내하는 가이드레일(23)과, 상기 이송체가 가이드레일을 따라 수평이동할 때 이송레일을 수평상태로 유지하거나, 일정각도 경사지게 하는 캠판(24)으로 구성함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
7. 제6항에 있어서, 이송트랙(20)은 이소체(22)에 축(25)을 중심으로 회동가능하게 스프링(21)에 의해 탄력설치됨과 동시에 소자가 안착되는 복수개의 개방부(26a)가 형성된 소자 안착판(26)과, 상기 소자 안착판의 상면에 수평 이동가능하게 결합됨과 동시에 개방부와 일치되는 복수개의 창(27a)을 갖는 슬라이드판(27)과, 상기 슬라이드판의 양측면을 지지하도록 소자 안착판(26)에 고정되는 가이드편(28)과, 상기 슬라이드판(27)의 양측면에 고정되어 소자 안착판의 양단면에 지지되는 고정블럭(29)과, 상기 소자가 개방부의 내부로 삽입되거나, 이송트랙이 가이드레일(23)을 따라 수평이동할 때에는 개방부(26a)와 창(27a)이 상호 어긋나도록 고정블럭중 일측의 고정블럭과 소자 안착판(26)사이에 설치되는 스프링(30)으로 구성함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
8. 제6항에 있어서, 이송트랙(20)의 하부에 베어링(31)을 고정하여 상기 베어링이 캠판(24)의 상면과 접속되도록 함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
9. 제1항에 있어서, 빈튜브공급수단은 빈튜브와 소자가 담겨진 튜브가 차례로 적재되는 한쌍의 스택커(3)하방에 수평 이동가능하게 설치된 이송블럭(41)과, 상기 이송블럭의 하부에 제3,4실린더(44)(45)에 의해 1,2단으로 승,하강운동하게 설치된 클리퍼판(46)과, 상기 클리퍼판의 양측에 고정되어 빈튜브가 얹혀지는 안착편(52)과, 상기 안착편의 내측에 수평이동가능하게 설치되어 소자가 담겨진 튜브가 얹혀지는 안착블럭(53)과, 상기 안착블럭사이에 회동가능하게 설치되어 안착블럭에 얹혀진 튜브를 홀딩하도록 내측면에 돌출편(51)이 고정된 클리퍼(50)와, 상기 일측 스택커의 하부바깥측에 가이드봉(43)을 따라 진퇴가능하게 탄력설치된 이송편(58)과, 상기 이송편에 스택커(3)의 내부로 노출되도록 아암(61)으로 고정된 칼퀴(60)와, 이송편의 하부에는 클리퍼판(46)에 설치된 푸셔(56)에 의해 외측으로 밀리는 아암(61)으로 구성함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
10. 제9항에 있어서, 상기 클리퍼(50)의 내측면에 외부로 돌출되도록 고정된 돌출편(51)을 고무재질로 함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.
11. 제9항에 있어서, 아암(61)의 하단에 푸셔(56)와 접속되도록 베어링(62)을 설치함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 로더, 언로더.