KR970011663B1 - 칩정렬장비의 트레이 로딩, 언로딩장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

칩정렬장비의 트레이 로딩, 언로딩장치

제1도는 종래의 장치를 나타낸 사시도,

제2도는 본 발명을 나타낸 정면도 및 평면도,

제3도는 본 발명의 요부를 나타낸 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

3 : 트레이베이스,5 : 메인써포트,

8 : 제2실린더,9 : 분리판,

11 : 제1실린더,13 : 스토퍼,

14 : 제3실린더,15 : 밑판.

본 발명은 웨이퍼에서 절단한 칩(chip)을 보관 및 운반하기 위해 사용되는 트레이(tray)를 트레이베이스에 로딩, 언로딩시키는 칩정렬장비의 트레이 로딩, 언로딩장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 제조공정에서 제조완료된 웨이퍼를 절단한 다음 테스트를 실시, 양품으로 판정된 칩판을 선별하여 트레이내에 담기위해 트레이를 트레이베이스에 로딩하거나, 칩이 채워진 트레이를 적재편내에 언로딩시키는 작업이 자동으로 이루어질 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 웨이퍼에서 분리된 칩을 담아 운반 및 보관하는 트레이는 제1도에 도시한 바와 같이 트레이(1)내에 다수개의 요입홈이 형성되어 있어 웨이퍼에서 절단된 칩을 트레이에 형성된 요입홈내에 넣어 운반 및 보관하게 된다.

종래에는 상기한 바와 같은 트레이에 칩을 자동으로 넣기 위해 제1도에 도시한 바와 같이 X-Y 로보트(2)에 의해 X-Y축으로 이동되는 트레이베이스(3)의 상면으로 가이드블럭(4)을 형성하여 상기 가이드블럭(4)사이에 작업자가 수동으로 트레이(1)를 로딩시키면서 웨이퍼에서 분리된 칩이 이송수단에 의해 트레이의 요입홈으로 공급되므로 요입홈내에 칩이 채워지게 된다.

반복되는 상기 동작에 따라 트레이의 요입홈내에 칩이 가득 채워지면 작업자가 가이드블럭(4)사이에 끼워져 있던 트레이(1)를 분리시킨 다음 칩이 채워진 트레이를 적재편(도시는 생략함)에 수동으로 적재시켰다.

그러나 이러한 종래의 장치는 작업자가 빈트레이를 트레이베이스의 상면에 로딩시키거나, 칩이 채워진 트레이를 트레이베이스에서 언로딩하여 적재편상에 적재시키는 작업을 수동으로 하였기 때문에 작업능률이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 안출한 것으로서, 트레이베이스의 상면으로 트레이를 로딩, 언로딩시키는 작업을 자동으로 수행할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 메인써포터의 일측에 설치되어 빈트레이를 적재하는 로더부와, 상기 로더부의 하방에 설치되어 로더부에 적재된 빈트레이중 최하방의 트레이를 분리하여 트레이베이스의 상면에 얹혀지도록 하는 빈트레이 분리수단과, 상기 빈트레이 분리수단에 의해 최하방에 위치된 빈트레이 분리시 최하방으로부터 2번째 상부로 위치되는 빈트레이를 지지하는 스토퍼와, 상기 메인써포터의 다른 일측에 설치되어 칩이 담겨진 트레이를 적재하는 언로더부와, 상기 언로더부에 트레이를 적재시키기 위해 트레이가 트레이베이스에 얹혀져 이송되어 오면 트레이를 언로더부로 밀어넣는 트레이 적재수단으로 구성된 칩정렬장비의 트레이 로딩, 언로딩장치가 제공된다.

이하, 본 발명을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제2도 및 제3도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제2도는 본 발명을 나타낸 정면도 및 평면도이고 제3도는 본 발명의 요부를 나타낸 사시도로서, 본 발명은 메인써포터(5)의 일측에 빈트레이(1)를 적재하는 로더부가 설치되어 있고 상기 로더부의 일측에 위치되는 메인써포터(5)에는 칩(6)이 담긴 트레이(1a)가 트레이베이스(3)에 얹혀져 이송되어 오면 트레이를 적재시키는 언로더부가 설치되어 있다.

상기 로더부의 구성은 메인써포터(5)에 사각틀형태의 적재편(7)이 고정되어 상기 적재편내에 빈트레이(1)를 차례로 적재시키도록 되어 있다.

그리고 로더부의 하방에는 상기 로더부에 적재된 빈트레이(1)중 최하방에 위치된 빈트레이를 분리하여 트레이베이스(3)의 상면으로 얹혀지도록 하는 빈트레이 분리수단이 설치되어 있다.

상기 빈트레이 분리수단의 구성은 메인써포터(5)의 일측에 제2실린더(8)가 고정되어 있고 상기 제2실린더의 로드에는 적재편(7)의 하방으로 승, 강하는 분리판(9)이 고정되어 있다.

그리고 로더부를 구성하는 적재편(7)의 하방에는 대응되게 한쌍의 센서(10)가 설치되어 있어 분리판(9)에 의해 분리되어 트레이베이스(3)에 얹혀지는 빈트레이(1)의 수량을 감지하도록 되어 있다.

이는 트레이베이스(3)에 한꺼번에 2개 이상의 빈트레이가 얹혀지는 것을 감지하여 쨈(jam)이 발생되는 것을 미연에 방지하기 위함이다.

또한 적재편의 하방에는 분리판(9)에 의해 최하방의 빈트레이를 분리할 때 최하방으로부터 2번째 이상의 빈트레이를 지지하며 스토퍼(11a)를 가진 제1실린더(11)가 설치되어 있다.

상기 트레이베이스(3)에 얹혀진 상태에서 절단된 칩(6)의 공급수단에 의해 트레이의 요입홈내에 칩이 담겨져 채워짐에 따라 이를 차례로 적재시키는 언로더부의 구성은 전술한 로더부와 마찬가지로 메인써포터(5)의 다른 일측에 사각틀형태의 적재편(12)이 고정되어 있고 상기 적재편의 하부내측면에는 한쌍의 스토퍼(13)가 출몰가능하게 탄력설치되어 있어 트레이가 상기 스토퍼(13)에 얹혀지므로서 적재편(12)내에 트레이가 적재된다.

그리고 언로더부의 하방으로는 요입홈내에 칩이 담겨진 상태로 트레이베이스에 얹혀져 이송된 트레이를 언로더부에 적재시키는 트레이 적재수단이 설치되어 있다.

상기 트레이 적재수단의 구성은 적재편(12)의 일측에 제3실린더(14)가 고정설치되어 있고 상기 제3실린더(14)의 로드에는 트레이베이스(3)에 얹혀진 트레이를 적재편사이로 밀어 올리는 밑판(15)이 고정되어 있다.

상기 제2실린더의 로드에 고정된 분리판(9)과, 제3실린더의 로드에 고정된 밑판(15)은 메인써포터(5)와 적재편(12)에 고정된 리니어모션 가이드(16)(17)에 결합되어 승, 강운동시 상기 리니어모션 가이드에 의해 안내되며, 상기 분리판에 밑판이 위치되는 메인써포트에는 이들의 승강운동시 간섭이 발생되지 않도록 절결홈(5a)(5b)이 형성되어 있다.

한편, 메인써포터(5)의 일측으로는 상기 트레이베이스(3)와 고정되어 트레이베이스(3)를 로더부 또는 언로더부 그리고 트레이의 요입홈내에 칩을 담겨지는 위치로 이동시키는 X-Y 로보트(18)가 설치되어 있고 메인써포터(5)의 일측으로는 트레이베이스에 진퇴가능하게 결합된 클램프(3a)를 벌려주는 가이드레일(19)이 고정되어 있다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저 제2도와 같은 상태에서 X-Y 로보트(18)가 동작하면 상기 X-Y 로보트에 고정된 트레이베이스(3)가 메인써포터(5)측으로 이동되므로 트레이베이스에 결합된 클램프(3a)가 가이드레일(19)과 접속되고, 이에 따라 클램프(3a)가 외측으로 벌어진다.

이와 같이 클램프가 벌어진 상태에서 트레이베이스(3)가 이동하여 로더부의 적재편(7) 하방에 위치된 다음 이동이 중단되면 제1실린더(11)가 작동하게 되므로 스토퍼(11a)가 최하방에서부터 2번째 상부에 위치하는 빈트레이(1)를 홀딩하게 된다.

이러한 상태에서 빈트레이 분리수단인 제2실린더(8)가 동작하며 제2실린더의 로드에 고정된 분리판(9)이 리니어모션 가이드(16)에 안내되어 하강되므로 적재편(7)의 최하방에 위치되어 있던 빈트레이(1)가 자중에 의해 분리판에 얹혀져 하강되어 트레이베이스(3)의 상면에 얹혀지게 된다.

상기 동작시 분리판(9)은 트레이베이스(3)의 아랫방향인 메인써포터(5)에 형성된 절결홈(5a)의 하부까지 하강되므로 빈트레이(1)가 얹혀진 트레이베이스(3)가 칩의 로딩위치로 이송시 분리판과 간섭을 일으키지 않게 된다.

이때 트레이베이스(3)의 상면에 얹혀지는 빈트레이가 2개 이상일 경우에는 기기의 동작시 쨈이 발생되므로 적재편(7)의 하방에 설치된 센서(10)가 이를 감지하여 기기의 동작을 중단시킴과 동시에 작업자에게 부저 또는 경고등을 통해 알려주게 되므로 응급조치를 취할 수 있게 된다.

이와 같이 적재편(7)에 적재된 최하방의 빈트레이가 트레이베이스(3)로 공급되고 나면 하강되었던 분리판(9)이 제2실린더(8)의 구동으로 최초의 상태로 환원됨과 동시에 제1실린더(11)가 동작하여 스토퍼(11a)를 후퇴시키게 되므로 적재편(7)에 적재되어 있던 빈트레이가 분리판(9)의 상면에 얹혀지게 된다.

상기 동작에 따라 1개의 빈트레이(1)가 트레이베이스(3)에 얹혀져 칩(6)의 로딩위치로 이동되었으므로 칩의 이송수단(도시는 생략함)에 의해 웨이퍼에서 절단되어 양품으로 판정된 칩이 빈트레이의 요입홈내에 차례로 담겨지게 된다.

빈트레이(1)내에 칩(6)이 전부 담겨지게 되면 적재편(12)에 고정설치된 제2실린더(14)가 작동하여 제3실린더의 로드에 고정된 밑판(15)을 메인써포터(5)에 형성된 절결홈(1b)내에 위치시킨다.

그후, X-Y 로보트(18)가 동작하여 X-Y 로보트에 고정된 트레이베이스(3)를 메인써포터(5)측으로 이동시키게 되므로 트레이베이스에 결합된 클램프(3a)가 가이드레일(19)과 접속되어 외측으로 벌어진다.

이와 같이 클램프가 벌어진 상태에서 트레이베이스(3)가 이동하여 언로더부의 적재편(12) 하방에서 이동을 중단함과 동시에 제3실린더(14)의 동작으로 절결홈의 하부에 위치되어 있던 밑판(15)이 제3실린더의 복귀동작을 상승하면 트레이베이스(3)의 상면에 얹혀진 트레이(1a)가 밑판에 의해 트레이베이스(3)의 상면에서 분리되어 적재편(12)내로 수납된다.

이때 적재편(12)의 하부에 출몰가능하게 탄력설치된 스토퍼(13)는 밑판(15)에 의해 상승되는 트레이(1a)에 밀려 압축력을 받으며 적재편(12)의 내부로 수용되어 있다가 트레이가 스토퍼(13)를 벗어나면 복원력에 의해 최초의 상태로 환원되므로 트레이가 적재편(12)내에 수용된다.

이와 같이 칩(6)이 담겨진 트레이(1a)를 적재편(12)내에 수납시키고 나면 X-Y 로보트(18)가 계속해서 전진하여 트레이베이스(3)를 로더부인 적재편(7)의 직하방으로 이송시키고 동작을 중단하게 되므로 전술한 바와 같은 동작에 의해 적재편(7)의 최하방에 위치된 빈트레이(1)를 트레이베이스(3)의 상부로 공급할 수 있게 된다.

이상에서와 같이 본 발명은 로더부에 적재되어 있는 빈트레이를 트레이베이스에 자동으로 1개씩 공급하여 웨이퍼에서 분리된 칩을 담음과 동시에 트레이내의 요입홈내에 칩이 전부 담기고 나면 트레이를 자동으로 언로더부에 수납시키게 되므로 기기의 자동화실현이 가능해지게 됨은 물론 생산성을 향상시키게 되는 효과를 얻게 된다.

Claims (4)

1. 메인써포터(5)의 일측에 설치되어 빈트레이(1)를 적재하는 로더부와, 상기 로더부의 하방에 설치되어 로더부에 적재된 빈트레이(1)중 최하방의 트레이를 분리하여 트레이베이스(3)의 상면에 얹혀지도록 하는 빈트레이 분리수단과, 상기 빈트레이 분리수단에 의해 최하방에 위치된 빈트레이 분리시 최하방으로부터 2번째 상부로 위치되는 빈트레이를 지지하는 스토퍼(13)와, 상기 메인써포터(5)의 다른 일측에 설치되어 칩(6)이 담겨진 트레이(1a)를 적재하는 언로더부와, 상기 언로더부에 트레이를 적재시키기 위해 트레이가 트레이베이스(3)에 얹혀져 이송되어 오면 트레이(1a)를 언로더부로 밀어넣는 트레이 적재수단으로 구성된 칩정렬장비의 트레이 로딩, 언로딩장치.
2. 제1항에 있어서, 빈트레이 분리수단은 메인써포터(5)에 고정설치된 제2실린더(8)와, 상기 제2실린더의 로드에 고정되어 빈트레이(1)의 하방으로 승, 강하는 분리판(9)으로 구성된 칩정렬장비의 트랜지스터 로딩, 언로딩장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 로더부의 하방에 대응되게 센서(10)를 설치하여 트레이베이스(3)에 얹혀지는 빈트레이(1)의 수량을 감지하도록 된 칩정렬장비의 트레이 로딩, 언로딩장치.
4. 제1항에 있어서, 트레이 적재수단은 언로더부의 일측으로 고정설치된 제3실린더(14)와, 상기 제3실린더의 로드에 고정되어 트레이베이스(3)에 얹혀져 이송되어 온 트레이(1a)를 언로더부로 밀어 올리는 밑판(15)으로 구성된 칩정렬장비의 트레이 로딩, 언로딩장치.