KR200168789Y1 - 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치에 관한 것으로, 본 고안은 최종 검사가 완료된 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 선별 수단과, 상기 감지 수단에 의해 등급이 선별된 반도체 디바이스를 공급받아 빈 튜브로 삽입시키기 위해 이동하는 반도체 디바이스 공급 수단과, 상기 감지 수단과 반도체 디바이스 공급 수단을 통해 빈 튜브로 공급되는 반도체 디바이스의 공급을 조절하기 위한 스톱핑 수단과, 상기 스톱핑 수단의 작동을 제어하기 위한 콘트롤 수단이 구비되므로써 완료된 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 장비의 구조를 단순화할수 있어서 사용 부품의 감소에 의한 설비의 제작 단가를 절감시킬수 있으며, 반도체 디바이스를 신속하게 효율적으로 이스케이핑 및 선별할수 있어서 생산성을 향상시킬수 있게 된다.

Description

핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치

본 고안은 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 언로더에서 최종적으로 검사가 완료된 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 장비의 구조를 단순화할수 있도록 한 것이다.

일반적으로, 전자 산업계에서는 집적 회로 및 반도체 칩 등의 전자 부품을 보다 저렴하고 소형화하는 것이 절대적으로 요구되며, 이러한 전자 부품의 생산성을 높이기 위하여 단위 비용을 감소시키기 위한 방법중의 하나로 이러한 전자 부품을 동시에 많은 양을 테스트하는 것에 의하여 테스트 속도를 높이게 된다.

이와 같은 전자 부품 테스트 시스템(예를 들면 IC 테스터)은 테스트에 응하여 다양한 테스트 신호를 발생시키고, 그 결과의 출력 신호를 판정하기 위한 마스터 유니트와, 자동적으로 테스트될 부품을 테스트 헤드로 이동시켜 테스트하고 테스트된 부품을 테스트 결과에 따라서 분류하는 오토매틱 테스트 핸들러로 구성된다.

한편, 종래의 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 언로더(Tube Unloader)에서 최종적으로 검사가 완료된 복수개의 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑(Escaping) 및 선별시에는 먼저, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와같이, 프레임(26)상의 캐리어(2) 상부에 8개의 양품과 불량품이 섞여 있는 반도체 디바이스(1)를 안착시킨후 상기 프레임(26)의 하부에 설치된 구동 모터(27)의 구동에 의해 타이밍 벨트(28)가 이동됨에 따라 캐리어(2)가 소정의 위치로 이동된 다음 로드리스 실린더(29)의 작동에 의해 상기 캐리어(2)가 일정 각도 경사진 상태로 상승함에 따라 캐리어(2)에 안착된 복수개의 반도체 디바이스(1)가 하강하므로써 등급별로 이스케이핑 및 선별 작업을 거친후 튜브 언로더에 공급된 빈 튜브(3)에 등급별로 반도체 디바이스(1)를 삽입시키게 된다.

그러나, 이와같은 종래의 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 언로더에서 최종적으로 검사가 완료된 복수개의 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별시 10개의 핀실린더를 이용하여 이스케이핑 및 선별 작업을 해야 할 뿐만 아니라 10개의 액츄에어터도 필요하므로 인해 사용 부품이 많이 소요되어 설비의 제작 단가가 상승하게 되고, 반도체 디바이스를 신속하게 효율적으로 이스케이핑 및 선별할수 가 없어서 생산성이 떨어지게 되는 등의 많은 문제점이 있었다.

본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 언로더에서 최종적으로 검사가 완료된 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 장비의 구조를 단순화할수 있도록 하여 사용 부품의 감소에 의한 설비의 제작 단가를 절감시킬수 있을 뿐만 아니라 반도체 디바이스를 신속하게 효율적으로 이스케이핑 및 선별할수 있어서 생산성을 향상시킬수 있는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 언로더에서 최종적으로 검사가 완료된 복수개의 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 장치를 나타낸 사시도

도 2는 도 1의 요부 사시도

도 3은 본 고안에 따른 감지 캐리어를 통해 공급 레일로 반도체 디바이스가 공급되는 상태를 나타낸 사시도

도 4는 도 3의 요부 종단면도

도 5는 본 고안에 따른 감지 캐리어를 통해 공급 레일로 공급되는 반도체 다비이스를 이스케이핑 및 선별하여 빈 튜브로 공급하기 위한 장치를 나타낸 사시도

도 6은 도 5의 작동 상태를 나타낸 종단면도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1; 반도체 디바이스2; 캐리어

3; 튜브4; 감지 캐리어

5; 감지 센서6; 지지 프레임

7; 제 1 모터8,21; 모터축

9; 지지축10; 모터 풀리

11; 타이밍 풀리12; 타이밍 벨트

13; 이동홈 14; 공급 레일

15; 제 1 스톱퍼16; 제 2 스톱퍼

17; 조절 부재18; 탄성체

19; 로울러20; 제 2 모터

22,23; 지지 부재24; 작동 부재

25; 가이드 레일

상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안은 핸들러 시스템의 튜브 언로더에서 최종 검사가 완료된 반도체 디바이스를 이스케이핑 및 선별하여 등급이 분류된 반도체 디바이스를 빈 튜브로 공급하기 위한 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치에 있어서, 상기 최종 검사가 완료된 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 선별 수단과, 상기 선별 수단에 의해 등급이 선별된 반도체 디바이스를 공급받아 빈 튜브로 삽입시키기 위해 이동하는 반도체 디바이스 공급 수단과, 상기 선별 수단과 반도체 디바이스 공급 수단을 통해 빈 튜브로 공급되는 반도체 디바이스의 공급을 조절하기 위한 스톱핑 수단과, 상기 스톱핑 수단의 작동을 제어하기 위한 콘트롤 수단으로 구성된 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치가 제공되므로써 달성된다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 고안에 따른 감지 캐리어를 통해 공급 레일로 반도체 디바이스가 공급되는 상태를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 요부 종단면도이며, 도 5는 본 고안에 따른 감지 캐리어를 통해 공급 레일로 공급되는 반도체 다비이스를 이스케이핑 및 선별하여 빈 튜브로 공급하기 위한 장치를 나타낸 사시도이고, 도 6은 도 5의 작동 상태를 나타낸 종단면도이다.

본 고안은 핸들러 시스템의 튜브 언로더에서 최종 검사가 완료된 반도체 디바이스(1)를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 선별 수단과, 상기 선별 수단에 의해 등급이 선별된 반도체 디바이스(1)를 공급받아 빈 튜브(3)로 삽입시키기 위해 이동하는 반도체 디바이스 공급 수단과, 상기 선별 수단과 반도체 디바이스 공급 수단을 통해 빈 튜브(3)로 공급되는 반도체 디바이스(1)의 공급을 조절하기 위한 스톱핑 수단과, 상기 스톱핑 수단의 작동을 제어하기 위한 콘트롤 수단으로 구성된다.

또한, 상기 선별 수단은 캐리어(2)에 안착된 복수개 반도체 디바이스(1)를 공급받기 위한 감지 캐리어(4)와, 감지 캐리어(4)에 내장되어 이송되는 복수개 반도체 디바이스(1)의 등급을 각각 감지하기 위한 복수개의 감지 센서(5)로 구성된다.

또한, 상기 반도체 디바이스 공급 수단은 지지 프레임(6)의 일단 하부에 설치되어 구동하는 제 1 모터(7)와, 제 1 모터(7)의 모터축(8) 및 상기 지지 프레임(6)타단 상부의 지지축(9)에 각각 설치되어 제 1 모터(7)의 구동력을 전달받아 회전하는 모터 풀리(10) 및 타이밍 풀리(11)와, 모터 풀리(10) 및 타이밍 풀리(11)의 사이에 설치되어 제 1 모터(7)의 구동력을 모터 풀리(10)와 타이밍 풀리(11)을 통해 전달하기 위한 타이밍 벨트(12)와, 상기 타이밍 벨트(12)에 이동가능하게 결합되며 상단에 빈 튜브(3)로 등급이 선별된 반도체 디바이스(1)를 공급하기 위한 이동홈(13)이 형성되는 공급 레일(14)로 구성된다.

또한, 상기 스톱핑 수단은 감지 캐리어(4)내의 하단에 각각 설치되어 감지 캐리어(4)로부터 공급 레일(14)로 반도체 디바이스(1)의 공급을 조절하기 위한 제 1 스톱퍼(15)와, 공급 레일(14)의 이동홈(13) 하단부에 설치되어 공급 레일(14)로부터 빈 튜브(3)로 반도체 디바이스(1)의 공급을 조절하기 위한 제 2 스톱퍼(16)와, 상기 공급 레일(14)의 상단부에 설치되어 제 1 스톱퍼(15)의 작동을 조절하기 위한 조절 부재(17)와, 상기 제 1,2 스톱퍼(15)(16)와 조절 부재(17) 각각의 하단부에 설치되어 동작시 탄성 복원력을 부여하기 위한 스프링으로 된 탄성체(18)와, 상기 제 2 스톱퍼(16)와 조절 부재(17)의 끝단에 각각 회전가능하게 설치되는 로울러(19)로 구성된다.

또한, 상기 콘트롤 수단은 지지 프레임(6)의 타단에 설치되며 정,역 회전하는 스텝핑 모터로 된 제 2 모터(20)와, 제 2 모터(20)의 모터축(21)에 설치된 지지 부재(22)와 상기 지지 프레임(6)의 일단 상부에 설치된 지지 부재(23)의 사이에 공급 레일(14)을 관통하여 연결되며 제 1 스톱퍼(15)와 조절 부재(17)를 작동시키기 위해 제 2 모터(20)의 구동에 따라 회동하는 작동 부재(24)로 구성된다.

그리고, 공급 레일(14)의 측벽에는 각각 상기 제 1 스톱퍼(15)와 조절 부재(17)의 수직 운동을 안내하기 위한 가이드 레일(25)이 설치되어 구성된다.

이와같이 구성된 본 고안의 작용을 첨부된 도면 도 1 내지 도 6에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

핸들러 시스템에 설치되는 튜브 언로더에서 최종적으로 검사가 완료된 복수개의 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별시에는 먼저, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와같이, 프레임(26)상의 캐리어(2) 상부에 8개의 양품과 불량품이 섞여 있는 반도체 디바이스(1)를 안착시킨후 상기 프레임(26)의 하부에 설치된 구동 모터(27)의 구동에 의해 타이밍 벨트(28)가 이동됨에 따라 캐리어(2)가 소정의 위치로 이동된 다음 로드리스 실린더(29)의 작동에 의해 상기 캐리어(2)가 일정 각도 경사진 상태로 상승함에 따라 캐리어(2)에 안착된 복수개의 반도체 디바이스(1)가 하강하여 감지 캐리어(4)내의 하단에 각각 설치된 제 1 스톱퍼(15)에 걸린 상태로 있게 된다.

이와 동시에, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와같이, 지지 프레임(6)의 일단 하부에 설치된 제 1 모터(7)가 구동함에 따라 모터축(8)이 회전하게 됨과 동시에 모터축(8) 및 상기 지지 프레임(6)타단 상부의 지지축(9)에 각각 설치된 모터 풀리(10) 및 타이밍 풀리(11)의 사이에 설치된 타이밍 벨트(12)가 회전하게 됨에 따라 타이밍 벨트(12)에 이동가능하게 결합된 공급 레일(14)이 이동하여 감지 캐리어(4) 하단의 소정 위치에 멈추게 된다.

이와 동시에, 지지 프레임(6)의 타단에 설치되며 정,역 회전하는 스텝핑 모터로 된 제 2 모터(20)가 구동함에 따라 제 2 모터(20)의 모터축(21)에 설치된 지지 부재(22)와 상기 지지 프레임(6)의 일단 상부에 설치된 지지 부재(23)의 사이에 공급 레일(14)을 관통하여 연결된 작동 부재(24)가 도 5 및 도 6에 나타낸 바와같이, 회동하여 감지 캐리어(4)내의 하단에 각각 설치된 제 1 스톱퍼(15)를 눌러주면 공급 레일(14)의 측벽에 설치된 가이드 레일(25)의 안내에 의해 제 1 스톱퍼(15)가 수직 방향으로 하강함에 따라 감지 캐리어(4) 하단의 등급이 선별된 반도체 디바이스(1)가 하강하여 공급 레일(14)의 상단에 형성된 이동홈(13) 끝단의 제 2 스톱퍼(16)에 걸린 상태로 있게 된다.

이와 동시에, 공급 레일(14)의 이동홈(13) 끝단의 제 2 스톱퍼(16)에 걸린 상태로 있는 반도체 디바이스(1)를 담고자 하는 빈 튜브(3)로 공급하기 위해서 상기 공급 레일(14)을 이동시키기 위해 다시 지지 프레임(6)의 일단 하부에 설치된 제 1 모터(7)가 구동하면 모터축(8)이 회전하게 됨과 동시에 모터축(8) 및 상기 지지 프레임(6)타단 상부의 지지축(9)에 각각 설치된 모터 풀리(10) 및 타이밍 풀리(11)의 사이에 설치된 타이밍 벨트(12)가 회전하게 됨에 따라 타이밍 벨트(12)에 이동가능하게 결합된 공급 레일(14)이 이동하여 빈 튜브(3) 상단의 소정 위치에 멈추게 된다.

이와 동시에, 지지 프레임(6)의 타단에 설치된 제 2 모터(20)가 다시 구동하면 작동 부재(24)가 회동하여 공급 레일(14)의 이동홈(13) 끝단의 제 2 스톱퍼(16)를 눌러주면 공급 레일(14)의 측벽에 설치된 가이드 레일(25)의 안내에 의해 제 2 스톱퍼(16)가 수직 방향으로 하강함에 따라 이동홈(13) 끝단의 등급이 선별된 반도체 디바이스(1)가 하강하여 빈 튜브(1)로 공급되는 동작을 반복하므로써 최종적으로 검사가 완료된 복수개의 반도체 디바이스(1)를 등급별로 이스케이핑 및 선별하여 담고자 하는 빈 튜브(3)에 효율적으로 공급할수 있게 된다.

한편, 제 1,2 스톱퍼(15)(16)와 조절 부재(17) 각각의 하단부에는 스프링으로 된 탄성체(18)가 설치되므로 제 1,2 스톱퍼(15)(16)와 조절 부재(17)의 동작시 효과적인 탄성 복원력을 부여할수 있으며, 공급 레일(14)의 측벽에는 각각 가이드 레일(25)이 설치되므로 제 1 스톱퍼(15)와 조절 부재(17)의 수직 운동을 효율적으로 안내할수 있게 된다.

이상에서와 같이, 본 고안은 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 언로더에서 최종적으로 검사가 완료된 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 장비의 구조를 단순화할수 있으므로써 사용 부품의 감소에 의한 설비의 제작 단가를 절감시킬수 있으며, 반도체 디바이스를 신속하게 효율적으로 이스케이핑 및 선별할수 있어서 생산성을 크게 증대시킬수 있으므로 인해 장비의 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 매우 유용한 고안이다.

본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구 범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구 범위 기재의 범위내에 있게 된다.

Claims (9)

1. 핸들러 시스템의 튜브 언로더에서 최종 검사가 완료된 반도체 디바이스를 이스케이핑 및 선별하여 등급이 분류된 반도체 디바이스를 빈 튜브로 공급하기 위한 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치에 있어서,

   상기 최종 검사가 완료된 반도체 디바이스를 등급별로 이스케이핑 및 선별하기 위한 선별 수단과,

   상기 선별 수단에 의해 등급이 선별된 반도체 디바이스를 공급받아 빈 튜브로 삽입시키기 위해 이동하는 반도체 디바이스 공급 수단과,

   상기 선별 수단과 반도체 디바이스 공급 수단을 통해 빈 튜브로 공급되는 반도체 디바이스의 공급을 조절하기 위한 스톱핑 수단과,

   상기 스톱핑 수단의 작동을 제어하기 위한 콘트롤 수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 선별 수단이 캐리어에 안착된 복수개의 반도체 디바이스를 공급받기 위한 감지 캐리어와, 감지 캐리어에 내장되어 이송되는 복수개 반도체 디바이스의 등급을 각각 감지하기 위한 복수개의 감지 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 디바이스 공급 수단이 지지 프레임의 일단 하부에 설치되어 구동하는 제 1 모터와, 제 1 모터의 모터축 및 상기 지지 프레임타단 상부의 지지축에 각각 설치되어 제 1 모터의 구동력을 전달받아 회전하는 모터 풀리 및 타이밍 풀리와, 모터 풀리 및 타이밍 풀리의 사이에 설치되어 제 1 모터의 구동력을 모터 풀리와 타이밍 풀리를 통해 전달하기 위한 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트에 이동가능하게 결합되며 상단에 빈 튜브로 등급이 선별된 반도체 디바이스를 공급하기 위한 이동홈이 형성되는 공급 레일로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 스톱핑 수단이 감지 캐리어로부터 공급 레일로 반도체 디바이스의 공급을 조절하기 위한 제 1 스톱퍼와, 공급 레일로부터 빈 튜브로 반도체 디바이스의 공급을 조절하기 위한 제 2 스톱퍼와, 상기 제 1 스톱퍼의 작동을 조절하기 위한 조절 부재로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 스톱퍼는 감지 캐리어내의 하단에 각각 설치되고, 제 2 스톱퍼는 공급 레일의 이동홈 하단부에 설치되며, 조절 부재는 공급 레일의 상단부에 설치된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.
6. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1,2 스톱퍼와 조절 부재 각각의 하단부에는 동작시 탄성 복원력을 부여하기 위한 스프링으로 된 탄성체가 설치되고, 상기 제 2 스톱퍼와 조절 부재의 끝단에는 각각 회전가능하게 로울러가 설치된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.
7. 제 3 항에 있어서, 상기 공급 레일의 측벽에는 각각 상기 제 1 스톱퍼와 조절 부재의 수직 운동을 안내하기 위한 가이드 레일이 설치된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 콘트롤 수단이 지지 프레임의 타단에 설치되어 정,역 회전하는 스텝핑 모터로 된 제 2 모터와, 제 1 스톱퍼와 조절 부재를 작동시키기 위해 제 2 모터의 구동에 따라 회동하는 작동 부재로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 작동 부재가 제 2 모터의 모터축에 설치된 지지 부재와 상기 지지 프레임의 일단 상부에 설치된 지지 부재의 사이에 공급 레일을 관통하여 연결된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 튜브 언로더의 반도체 디바이스 이스케이핑 및 선별 장치.