KR0149246B1 - 반도체 제조장비의 패키지 선별장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 패키지 제조공정에서 트리밍/포밍공정을 마친 낱개의 패키지를 소정의 단위로 튜브에 삽입할 때, 불량 가능성이 높은 패키지만을 선별하여 별도의 튜브에 함께 모아 놓을 수 있게 함으로써, 패키지의 진행을 안내하는 슈트와 패키지가 삽입되는 튜브는 수단을 구비하여 불량가능성이 높은 패키지(예를 들면, 오픈리드를 갖는 리드프레임의 양끝단에 위치되는 패키지)를 이것으로 선별 수납하고, 다수 배열된 튜브중에서 선정된 어느 하나의 튜브에 이러한 패키지만을 집중적으로 삽입할 수 있게 함으로써, 패키지의 불량여부 검사대상을 대폭 줄일 수 있게 한 반도체 제조장비의 패키지 선별장치를 제공하고자 한 것이다.
Description
제1도는 본 발명에 따른 패키지 선별장치를 나타내는 사시도.
제2도의 (a)와 (b)는 본 발명에 따른 패키지 선별장치의 설치상태를 나타내는 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 패키지 유도로 11 : 가이드 블럭
12 : 패키지 수납블럭 13 : 스크류 고정브라켓
14 : 모터 구동수단 15 : 볼스크류/너트
16 : 전동브라켓 17 : 보조블럭
18 : 커플링 19 : 고정수단
20 : 패키지 진행수단 21 : 실린더
22 : 가이드 샤프트 23 : 플레이트
24 : 스톱핀 100 : 슈트
110 : 튜브
본 발명은 반도체 패키지 제조공정에서 트리밍/포밍공정을 마친 낱개의 패키지를 소정의 단위로 튜브에 삽입할 때, 불량 가능성이 높은 패키지만을 선별하여 별도의 튜브에 함께 모아 놓을 수 있게 함으로써, 패키지에 대한 불량 여부 확인작업을 보다 효율적으로 할 수 있게 한 반도체 제조장비의 패키지 선별장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체를 제조하기 위해서는 여러공정들을 필요로 하게 되고, 특히 패키징 공정의 종단에는 트리밍/포밍공정을 완료한 각각의 패키지를 튜브에 삽입하는 공정을 필요로 하게 된다.
즉, 트리밍/포밍공정을 마친 각각의 패키지들은 패키지 배출부(OFF LOAD)로부터 경사진 자세로 설치되어 있는 슈트(CHUTE)를 따라 진행되면서 슈트의 하단부에 배치되는 튜브내에 소정의 단위로 순차 삽입된다.
한편, 튜브내에 삽입완료된 패키지들은 작업자에 의해 불량여부를 확인받게 되고, 이 과정에서 불량이 확인되면 튜브는 빼내어져 불량자재로 분류되어진다.
그러나, 이와 같은 기존의 패키지 불량여부 확인작업은 모든 패키지를 검사대상으로 하고 있기 때문에 상당한 작업소요시간을 필요로 하게 되는 비효율적인 점을 갖고 있었다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 패키지의 진행을 안내하는 슈트와 패키지가 삽입되는 튜브 사이에 별도의 패키지 수납수단 및 이를 이송시켜 줄 수 있는 수단을 구비하여 불량가능성이 높은 패키지(예를 들면, 오픈리드를 갖는 리드프레임의 양끝단에 위치되는 패키지)를 이것으로 선별 수납하고, 다수 배열된 튜브중에서 선정된 어느 하나의 튜브에 이러한 패키지만을 집중적으로 삽입할 수 있게 함으로써, 패키지의 불량여부 검사대상을 대폭 줄일 수 있게 한 반도체 제조장비의 패키지선별장치를 제공하는데 그 안출의 목적이 있는 것이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 패키지 진행방향과 같은 방향의 패키지 유도로(10)를 적어도 2개 이상 갖는 동시에 패키지 진행방향을 교차하면서 그 저부에 설치되는 가이드 블럭(11)위에 놓여져 슬라이드 유동 가능하도록 되는 패키지 수납블럭(12)과, 상기 가이드 블럭(11)의 일측에서 이와 나란하게 배치되는 동시에 양편의 스크류 고정브라켓(13)간에 양단지지되면서 모터 구동수단(14)과 연동되는 볼스크류/너트(15)와, 상기 패키지 유도로(10)의 후부를 가로막을 수 있고 하나의 플레이트(23)에 일체 고정되는 다수개의 스톱핀(24), 이것들과 연계작동되는 실린더(21) 및 스톱핀(24)의 상하운동을 안내하는 가이드 샤프트(22)로 구성된 패키지 진행단속수단(2)으로 이루어지되, 상기 패키지 수납블럭(12)과 볼스크류/너트(15) 사이에는 전동브라켓(16)이 연결설치되어 볼스크류/너트(15)의 운동에 따라 이와 함께 패키지 수납블럭(12)이 전후 슬라이드 유동되면서 슈트(100)내에 삽입할 수 있는 한편, 상기 패키지 진행수단(20)은 실린더작동(21)에 따라 일정한 시간간격을 가지며 선택적으로 패키지 유도로(10)의 저면에 관통되어 소정의 높이로 돌출될 수 있는 것을 특징으로 한다.
이를 좀 더 상세히 설명하면, 첨부도면 제1도는 본 발명의 패키지 선별장치를 나타내는 사시도이다.
여기서, 도면부호 12는 소정의 패키지를 수납할 수 있는 패키지 수납블럭을 나타낸다.
상기 패키지 수납블럭(12)에는 패키지의 진행방향과 같은 방향을 갖는 다수의 패키지 유도로(10)가 패키지 진행방향을 길이방향으로 할 때 폭방향을 따라 균등피치로 형성되어 있다. 이 때의 각 패키지 유도로(10)간의 피치는 슈츠(100) 또는 튜브(110)의 배치간격과 같게 된다.
예컨대, 본 발명의 일 실시예에서는 4개의 패키지 유도로를 갖는 패키지 수납블럭을 볼 수 있다.
이러한 패키지 수납블럭(12)의 저부에는 패키지 진행방향을 가로지르는 방향을 따라 그 길이방향이 놓여지도록 된 가이드 블럭(11)이 고정설치되고, 이 가이드 블럭(11)의 운동체 위에 보조블럭(17)을 매개로 하여 상기 패키지 수납블럭(12)이 얹혀져서 지지된다. 이렇게 지지되는 패키지 수납블럭(12)은 전후 슬라이드 유동시 상기 가이드 블럭(11)에 의한 미끄럼 운동 안내를 받을 수 있게 된다.
또한, 도면부호 15는 상기 패키지 수납블럭을 실질적으로 운동시켜 주는 볼스크류/너트이다.
상기 볼스크류/너트(15)는 모터 구동수단(14)의 출력축과 직접 연결되는 볼스크류(15a)와, 여기에 볼구름접동되면서 결합되는 볼너트(15b)로 구성되어 있다.
이 때의 볼스크류(15a)는 상기 가이드 블럭(11)의 일측에서 이와 나란하게 배치되는 동시에 그 양단부는 양편의 스크류 고정브라켓(13) 사이에 가로 걸쳐지면서 베어링을 사이에 두고 관통지지되어 자유롭게 회전될 수 있게 설치되고, 볼스크류(15a)이 한쪽 끝단은 커플링(18)을 통해 모터 구동수단(14)의 출력축과 직결되어 이것으로부터 동력을 전달받게 된다.
여기서, 상기 모터 구동수단(14)으로는 회전량 조절이 자유로운 스텝모터(Step motor)를 사용하는 것이 바람직하며, 이러한 스텝모터의 적용은 패키지 수납블럭(12)을 소정의 피치로 정확히 이동시키는 것을 가능하게 해준다.
또한, 도면부호 16은 볼스크류/너트와 패키지 수납블럭을 연결하여 이것들이 일체 운동할 수 있도록 해주는 전동브라켓이다.
이를 위하여 상기 전동브라켓(16)의 하단부는 상기 볼너트(15b)의 플랜지면에 밀착체결되어 고정되고, 상단부는 패키지 수납블럭(12)과 일체로 되어 있는 보조블럭(17)의 측면부에 고정수단을 통해 체결되어 고정된다. 이에 따라 볼너트(15b)와 함께 패키지 수납블럭(12)의 이동이 가능하게 된다.
또한, 도면부호 20은 패키지의 진행을 단속하는 수단을 나타낸다.
상기 패키지 진행단속수단(20)은 상기 패키지 수납블럭(12)의 후단저부중앙에서 아래쪽을 향해 설치도어 수직행정 방향을 갖는 실린더(21)와, 이것의 작동으로 상하로 움직이는 플레이트(23)와, 각각의 패키지 유도로(10)내에 관통위치될 수 있으며, 플레이트(23)의 윗면에 등간격 예컨대, 각 패키지 유도로(10)간의 피치와 동일한 간격을 유지하면서 고정설치되는 다수의 스톱핀(24)으로 구성되어 있다.
특히, 상기 플레이트(23)는 실린더(21)의 작동에 대하여 일정한 수평자세를 유지할 수 있도록 하기 위하여, 그 양측단이 가이드 샤프트(22)에 관통되어 있고, 이것(22)을 통해 상하운동을 안내받을 수 있게 된다.
한편, 첨부도면 제2도는 본 발명에 따른 패치지 선별장치의 설치상태를 나타낸다.
즉, 본 발명의 패키지 선별장치는 슈트(100)와 튜브(110) 사이에 위치되는데, 패키지 선별장치의 패키지 수납블럭(12)은 슈트(100)의 배출 후단부와 튜브(110)의 진입 선단부 사이에 밀착되면서 이와 동일한 높이수준을 유지하게 되고, 그 저부에 볼스크류/너트(15)와 가이드 블럭(11)이 각각 위치된다.
이렇게 위치되는 패키지 수납블럭(12)의 각 패키지 유도로(10)는 슈트(100)내의 패키지 진행경로와 일치될 수 있게 되고, 이 때에는 선택된 2개의 패키지 유도로(10)만이 슈트(100)의 패키지 진행경로와 연통가능하게 된다.
또한, 패키지 수납블럭(12)의 후부에 고정설치되는 패키지 진행단속수단(20)의 스톱핀(24)은 패키지 유도로(10)의 저면 중앙에 관통되어 소정의 높이로 돌출되어 있으며, 실린더(21)의 작동에 의해 일정 시간간격으로 패키지 수납블럭(12)의 각 패키지 유도로(10)를 동시에 개폐가능하게 된다.
따라서, 상기와 같이 구성된 본 발명의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.
트리밍/포밍공정을 완료한 패키지는 패키지 배출부로부터 튜브삽입공정으로 이어지게 된다.
이 때의 패키지는 경사진 슈트(100)에 의한 이송안내를 받으면서 2개의 경로를 통해 미끄럼 자유낙하하게 되고, 스트립 형태로 진행되는 패키지를 소정의 단위로 끊어주는 스톱퍼(도시되지 않음)에 의한 진행단속을 받으면서 슈트(100)의 하단 배출부에 근접배치되어 있는 패키지 수납블럭(12)의 패키지 유도로(10)내에 진입된다.
이 때, 패키지 수납블럭(12)의 각각의 패키지 유도로(10)에는 불량발생 가능성이 높은 패키지와 그렇지 않은 패키지들이 분류되어 진입될 수 있게 해야 되는데, 이는 볼스크류/너트(15)를 통한 패키지 수납블럭(12)을 위치이동시킴으로써 가능하게 된다.
한 예를 들면, 패키지 수납블럭(12)이 갖는 4개의 패키지 유도로(10)중에서 도면 윗쪽으로 위치되는 2개의 패키지 유도로(10)에는 불량 발생 가능성이 거의 없는 패키지(오픈리드를 갖는 리드프레임의 양끝단에 위치되는 패키지를 제외한 나머지 패키지)가 진입되고, 도면 아래쪽으로 위치되는 나머지 2개의 패키지 유도로(10)에는 불량 발생 가능성이 높은 패키지(오픈리드를 갖는 리드프레임의 양끝단에 위치되는 패키지)가 진입된다.
즉, 첨부도면 제2도의 (a)와 같은 상태로 패키지 수납블럭(12)이 위치되어 있으면 이 때에는 불량 발생 가능성이 거의 없는 패키지들이 슈트(100)로부터 배출되어 그것으로 진입되고, 계속해서 그 뒷쪽으로 배치되는 튜브(110)에 삽입된다.
또한, 패키지의 정렬상태에 따른 순차제어 신호에 따라 모터 구동수단(14)이 회전작동되고, 이 때의 회전량에 비례한 거리 예컨대, 패키지 진행경로의 그 피치에 해당되는 거리만큼 볼스크류/너트(15)의 볼너트(15b)와 패키지 수납블럭(12)이 이동되어서, 첨부도면 제2도의 (b)와 같은 상태로 패키지 수납블럭(12)이 위치되어 있으면, 이 때에는 불량 발생 가능성이 높은 패키지들이 그곳으로 진입된다.
한편, 본 발명의 패키지 수납블럭(12)은 (a)와 같은 상태에서 (b)와 같은 상태로의 위치전환은 반복하면서 각각의 패키지 유도로(10)에 해당 패키지를 유도하게 되고 여기에 일정량의 패키지가 채워지게 되면, 패키지 진행을 단속하는 수단(20)의 개폐작동에 따라 이곳의 패키지가 튜브내로 진입될 수 있게 된다.
즉, 상기 패키지 진행단속수단(20)은 미리 셋팅된 갯수의 패키지가 패키지 수납블럭(12)내로 유입되면, 이것을 감지한 센서(도시되지 않음)가 실린더(21)를 작동시키게 된다.
따라서, 실린더(21)의 전진작동으로 플레이트(23)가 하강하게 되면서 이것과 일체동작되는 스톱핀(24)도 함께 하강하게 되고, 이에 따라 패키지의 진행단속이 해제됨과 동시에 패키지 유도로(10)에 유입된 첫 번째 패키지로부터 차례로 튜브내에 진입될 수 있게 된다.
이상에서와 같이 본 발명은 불량 발생 가능성이 높은 패키지만을 별도로 분류하여 한곳의 튜브내에 삽입가능하게 함으로써, 패키지 불량 여부 확인 작업을 보다 효율적으로 할 수 있는 장점이 있는 것이다.
Claims (5)
- 패키지 진행방향과 같은 방향의 패키지 유도로(10)를 적어도 2개 이상 갖는 동시에 패키지 진행방향을 교차하면서 그 저부에 설치되는 가이드 블럭(11) 위에 놓여져 슬라이드 유동 가능하도록 되는 패키지 수납블럭(12)과, 상기 가이드 블럭(11)의 일측에서 이와 나란하게 배치되는 동시에 양편의 스크류 고정브라켓(13)간에 양단지지되면서 모터 구동수단(14)과 연동되는 볼스크류/너트(15)와, 상기 패키지 유도로(10)의 후부를 가로막을 수 있고 하나의 플레이트(23)에 일체 고정되는 다수개의 스톱핀(24), 이것들과 연계작동되는 실린더(21) 및 스톱핀(24)의 상하운동을 안내하는 가이드 샤프트(22)로 구성된 패키지 진행단속수단(20)으로 이루어지되, 상기 패키지 수납블럭(12)과 볼스크류/너트(15) 사이에는 전동브라켓(16)이 연결설치되어 볼스크류/너트(15)의 운동에 따라 이와 함께 패키지 수납블럭(12)이 전후 슬라이드 유동되면서 슈트(100)내에 삽입할 수 있는 한편, 상기 패키지 진행수단(20)은 실린더작동(21)에 따라 일정한 시간간격을 가지며 선택적으로 패키지 유도로(10)의 저면에 관통되어 소정의 높이로 돌출될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.
- 제1항에 있어서, 상기 패키지 수납블럭(12)이 갖는 다수의 패키지 유도로(10), 슈트(100)가 갖는 패키지 진행경로간의 간격, 튜브(110)의 배치간격이 모두 동일한 피치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.
- 제1항에 있어서, 상기 패키지 수납블럭(11)의 패키지 유도로(10)는 슈트(100)의 배출 후단부 및 튜브(110)의 진입 선단부와 동일 높이수준을 유지하면서 근접되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.
- 제1항에 있어서, 상기 볼스크류/너트(15)의 볼스크류(15a)와 상기 모터 구동수단(14)의 출력축은 커플링(18)을 통해 직결되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조방비의 패키지 선별장치.
- 제1항에 있어서, 상기 스톱핀(24)의 배치간격은 패키지 유도로(10)간의 피치간격과 동일하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.
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| KR1019950015046A KR0149246B1 (ko) | 1995-06-08 | 1995-06-08 | 반도체 제조장비의 패키지 선별장치 |
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Publications (2)
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| KR970003869A KR970003869A (ko) | 1997-01-29 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR102183180B1 (ko) * | 2020-02-03 | 2020-11-25 | 주식회사 인에이블인터내셔널 | 배터리 충전 시스템 |
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1995
- 1995-06-08 KR KR1019950015046A patent/KR0149246B1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|---|---|---|
| KR102183180B1 (ko) * | 2020-02-03 | 2020-11-25 | 주식회사 인에이블인터내셔널 | 배터리 충전 시스템 |
Also Published As
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| KR970003869A (ko) | 1997-01-29 |
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