KR970003869A - 반도체 제조장비의 패키지 선별장치 - Google Patents
반도체 제조장비의 패키지 선별장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 패키지 제조공정에서 트리밍/포밍공정을 마친 낱개의 패키지를 소정의 단위로 튜브에 삽입할 때, 불량가능성이 높은 패키지만을 선별하여 별도의 튜브에 함께 모아 놓을 수 있게 함으로써, 패키지의 진행을 안내하는 슈트와패키지가 삽입되는 튜브는 수단을 구비하여 불량가능성이 높은 패키지(예를 들면, 오픈리드를 갖는 리드프레임의 양끝단에 위치되는 패키지)를 이것으로 선별 수납하고, 다수 배열된 튜브중에서 선정된 어느 하나의 튜브에 이러한 패키지만을집중적으로 삽입할 수 있게 함으로써, 패키지의 불량여부 검사대상을 대폭 줄일 수 있게 한 반도체 제조장비의 패키지 선별장치를 제공하고자 한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 패키지 선별장치를 나타내는 사시도.
Claims (5)
- 패키지 진행방향과 같은 방향의 패키지 유도로(10)를 적어도 2개 이상 갖는 동시에 패키지 진행방향을 교차하면서 그 저부에 설치되는 가이드 블럭(11) 위에 놓여져 슬라이드 유동 가능하도록 되는 패키지 수납블럭(12)과, 상기가이드 블럭(11)의 일측에서 이와 나란하게 배치되는 동시에 양편의 스크류 고정브라켓(13)간에 양단지지되면서 모터 구동수단(14)과 연동되는 볼스크류/너트(15)와, 상기 패키지 유도로(10)의 후부를 가로막을 수 있고 하나의 플레이트(23)에일체 고정되는 다수개의 스톱핀(24), 이것들과 연계작동되는 실린더(21) 및 스톱핀(24)의 상하운동을 안내하는 가이드 샤프트(22)로 구성된 패키지 진행단속수단(20)으로 이루어지되, 상기 패키지 수납블럭(12)과 볼스크류/너트(15) 사이에는전동브라켓(16)이 연결설치되어 볼스크류/너트(15)의 운동에 따라 이와 함께 패키지 수납블럭(12)이 전후 슬라이드 유동되면서 슈트(100)내에 삽입할 수 있는 한편, 상기 패키지 진행수단(20)은 실린더작동(21)에 따라 일정한 시간간격을 가지며 선택적으로 패키지 유도로(10)의 저면에 관통되어 소정의 높이로 돌출될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.
- 제1항에 있어서, 상기 패키지 수납블럭(12)이 갖는 다수의 패키지 유도로(10), 슈트(100)가 갖는 패키지진행경로간의 간격, 튜브(110)의 배치간격이 모두 동일한 피치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.
- 제1항에 있어서, 상기 패키지 수납블럭(11)의 패키지 유도로(10)는 슈트(100)의 배출 후단부 및 튜브(110)의 진입 선단부와 동일 높이수준을 유지하면서 근접되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.
- 제1항에 있어서, 상기 볼스크류/너트(15)의 볼스크류(15a)와 상기 모터 구동수단(14)의 출력축은 커플링(18)을 통해 직결되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.
- 제1항에 있어서, 상기 스톱핀(24)의 배치간격은 패키지 유도로(10)간의 피치간격과 동일하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 패키지 선별장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950015046A KR0149246B1 (ko) | 1995-06-08 | 1995-06-08 | 반도체 제조장비의 패키지 선별장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019950015046A KR0149246B1 (ko) | 1995-06-08 | 1995-06-08 | 반도체 제조장비의 패키지 선별장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR970003869A true KR970003869A (ko) | 1997-01-29 |
| KR0149246B1 KR0149246B1 (ko) | 1998-12-01 |
Family
ID=19416661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950015046A KR0149246B1 (ko) | 1995-06-08 | 1995-06-08 | 반도체 제조장비의 패키지 선별장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0149246B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102183180B1 (ko) * | 2020-02-03 | 2020-11-25 | 주식회사 인에이블인터내셔널 | 배터리 충전 시스템 |
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1995
- 1995-06-08 KR KR1019950015046A patent/KR0149246B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0149246B1 (ko) | 1998-12-01 |
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