KR20150073950A - 반도체 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 발열체의 방열성이 우수하고, 고열전도율의 필름의 열경화 후의 냉각시 및 어셈블리 후의 열 이력에서 발생하는 발열체와 기판의 열팽창률의 차에 기인하는 응력에 의해 발열체와 기판의 접합 강도가 저하되어 버린다는 문제 및 필름의 내열성이 충분하지 않다는 문제를 해결하는 신뢰성이 높은 반도체 장치를 제공하는 것이다.
발열체(2)와, 수열기(3)와, 발열체(2)와 수열기(3)의 사이에 발열체(2)로부터의 열을 수열기(3)에 전하기 위한 고열전도 층(4)을 구비하는 반도체 장치(1)로서, 고열전도 층(4)이 (A) 적어도 특정 구조의 비닐기가 결합된 페닐기를 양 말단에 갖는 폴리에테르 화합물을 포함하는 2종 이상의 열경화성 수지와, (B) 열가소성 일래스토머와, (C) 열전도성 무기 필러와, (D) 경화제를 포함하는 고열전도 필름의 열경화체이고, 두께가 10 내지 300㎛인 것을 특징으로 하는 반도체 장치(1)이다.

Description

반도체 장치{SEMICONDUCTOR DEVICE}
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 특히, 방열성이 우수하고 신뢰성이 높은 반도체 장치에 관한 것이다.
근래, 모듈이나 전자부품의 고기능화, 고밀도화에 수반하여 모듈이나 전자부품 등의 발열체로부터 발생되는 열량이 크게 되어지고 있다. 이들 발열체로부터의 열은 기판 등에 전해져 방열 되고 있다. 이 열전도를 효율적으로 행하기 위해, 발열체와 기판 사이의 접착제에는 고열전도율의 것이 이용되고 있다. 또한, 핸들링하기 편리함으로 접착제 대신에 고열전도의 접착 필름이 사용되고 있다.
여기서, 접착 필름의 열전도가 양호하지 않으면 모듈이나 전자부품을 조립한 반도체 장치에 열이 축적되어, 반도체 장치의 고장을 유발하여 버린다 라는 문제가 있다. 따라서 고열전도율 필름의 개발이 각 회사에서 진행되고 있다.
이 고열전도율의 필름으로서는 고열전도성의 필러를 다량으로 사용하는 방열성 다이본드 필름(특허 문헌 1)이나, 필름에 함유되는 필러의 형상을 특정한 것으로 함으로써, 반도체 장치의 방열성을 향상시키는 열전도성 시트(특허 문헌 2)가, 보고되어 있다.
특허 문헌 1 : 일본 특개2011-023607호 공보 특허 문헌 2 : 일본 특개2011-142129호 공보
그러나, 고열전도성의 필러를 대량으로 사용하는 방열성 다이본드 필름은 에폭시 수지, 페놀 수지 및 아크릴 수지를 사용하고 있기 때문에 (특허 문헌 1의 제 [0035], [0099] 단락), 열경화 후의 방열성 다이본드 필름의 경도가 너무 높아져서, 고열전도율의 방열성 다이본드 필름의 열경화 후의 냉각시에 발생하는 발열체와 기판과의 열팽창률의 차에 기인하는 응력에 의해 발열체와 기판과의 접합 강도가 저하되어 버린다 라는 문제가 있다. 또한, 이 방열성 다이본드 필름에서는 내열성이 충분하다고는 말할 수가 없어서, 모듈이나 전자부품 등의 열량의 증가에 수반하는 발열에 대처할 수가 없는 경우가 있고, 열전도가 충분하지 않은 열전도 필름을 사용한 반도체 장치에서는 반도체 장치 그 자체의 신뢰성이 손상될 우려가 있다.
또한, 특정 형상의 필러를 함유하는 열전도성 시트도, 열경화성 수지를 사용하고 있으며(특허 문헌 2의 제 [0029], [0037] 단락), 상술한 발열체와 기판과의 접합 강도가 저하되어 버린다 라는 문제가 있어서, 열전도성 시트의 내열성이 충분하다고는 말할 수가 없으며, 반도체 장치 그 자체의 신뢰성이 손상될 우려가 있다는 문제도 있다. 또한, 열전도성 시트에 특별한 형상이나 가공이 되어 있는 필러를 사용하면 반도체 장치의 고비용화에 이르게 되어 버린다. 또한, 열전도성 시트에 접하는 부재의 열전도성 시트측의 면에 요철을 형성하기 때문에 사용 가능한 반도체 장치가 한정되어 버린다 라는 문제도 있다.
본 발명의 과제는 발열체의 방열성이 우수하고, 고열전도율 필름의 열경화 후의 냉각시 및 어셈블리 후의 열 이력에서 발생하는 발열체와 기판과의 열팽창률의 차에 기인하는 응력에 의해 발열체와 기판과의 접합 강도가 저하되어 버린다는 문제 및 필름의 내열성이 충분하지 않다는 문제를 해결하는 신뢰성이 높은 반도체 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 이하의 구성을 구비함으로써 상기 문제를 해결하는 반도체 장치에 관한 것이다.
[1] 발열체와, 수열기(受熱器)와, 발열체와 수열기의 사이에 발열체로부터의 열을 수열기에 전하기 위한 고열전도 층을 구비하는 반도체 장치에 있어서,
고열전도 층이, (A) 적어도 이하의 일반식(1) :
Figure pct00001
Figure pct00002
(식 중,
R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7은 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자, 알킬기, 할로겐화 알킬기 또는 페닐기이고,
-(O-X-O)-는 구조식(2)로 나타나고, 여기서, R8, R9, R10, R14, R15는 동일 또는 달라도 좋고, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, R11, R12, R13 은 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고,
-(Y-O)-는 구조식(3)으로 나타내는 1종류의 구조, 또는 구조식(3)으로 나타내는 2종류 이상의 구조가 랜덤하게 배열된 것이며, 여기서, R16, R17은 동일 또는 달라도 좋고, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, R18, R19는 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고,
Z는 탄소수 1 이상의 유기기(有機基)이고, 경우에 따라 산소 원자, 질소 원자, 유황 원자, 할로겐 원자를 포함하는 것도 있고,
a, b는 적어도 어느 한쪽이 0이 아닌, 0 내지 300의 정수(整數)를 나타내고,
c, d는 0 또는 1의 정수를 나타낸다)로 표시되는 비닐기가 결합된 페닐기를 양 말단에 갖는 폴리에테르 화합물을 포함하는 2종 이상의 열경화성 수지와,
(B) 열가소성 일래스토머와,
(C) 열전도성 무기 필러와,
(D) 경화제를 포함하는 고열전도 필름의 열경화체이고, 두께가 10 내지 300㎛인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
[2] 고열전도 층의 25℃에서의 전단 접착 강도가, 13N/㎜ 이상인, 상기 [1]에 기재된 반도체 장치.
[3] 고열전도 층의 두께가, 10㎛ 이상 100㎛ 이하인, 상기 [1] 또는 [2]에 기재된 반도체 장치.
[4] 고열전도 층의 체적 저항률이 1×1010Ω·㎝ 이상이고, 또한, 열전도율이 0.8W/m·K 이상인, 상기 [1] 내지 [3]중 어느 하나에 기재된 반도체 장치.
[5] (C)성분이 MgO, Al2O3, AlN, BN, 다이아몬드 필러, ZnO 및 SiC로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상인 상기 [1] 내지 [4]중 어느 하나에 기재된 반도체 장치.
[6] (D)성분이 이미다졸계 경화제인, 상기 [1] 내지 [5]중 어느 하나에 기재된 반도체 장치.
[7] 수열기가 전극이 형성된 기판이고,
고열전도 층이 발열체와, 기판상에 형성된 전극과의 사이에 형성되는 상기 [1] 내지 [6]중 어느 하나에 기재된 반도체 장치.
[8] 발열체가 전극을 가지며, 수열기가 기판이고,
고열전도 층이 발열체의 전극과, 기판과의 사이에 형성되는 상기 [1] 내지 [6]중 어느 하나에 기재된 반도체 장치.
[9] 발열체가, IC 칩, 베어 칩, LED 칩, FWD(Free Wheeling Diode), 또는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)인, 상기 [1] 내지 [7]중 어느 하나에 기재된 반도체 장치.
[10] 기판이 메탈 베이스 CCL 사용 기판, 고열전도 CEM-3 사용 기판, 고열전도 FR-4 사용 기판, 저열 저항 FCCL 사용 기판, 메탈 기판, 또는 세라믹스 기판인, 상기 [7] 내지 [9]중 어느 하나에 기재된 반도체 장치.
[11] 발열체가 반도체 모듈이고, 수열기가 방열판인, 상기 [1] 내지 [6]중 어느 하나에 기재된 반도체 장치.
[12] 반도체 모듈이 파워 반도체 모듈인, 상기 [11]에 기재된 반도체 장치.
본 발명에 의하면 발열체의 방열성이 우수하고, 발열체와 기판과의 열팽창률의 차에 기인하는 응력에 의해 발열체와 기판과의 접합 강도가 저하되는 일이 없ㅇ으며, 또한 내열성이 부여된 고신뢰성의 반도체 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 반도체 장치의 단면 모식도의 한 예.
도 2는 고열전도 층의 두께와 접착 강도(전단 강도)의 관계를 도시하는 도면.
도 3은 반도체 장치의 단면의 구체예를 도시하는 도면.
도 4는 반도체 장치의 단면의 구체예를 도시하는 도면.
도 5는 반도체 장치의 단면의 구체예를 도시하는 도면.
도 6은 반도체 장치의 단면의 구체예를 도시하는 도면.
도 7은 반도체 장치의 단면의 구체예를 도시하는 도면.
도 8은 반도체 장치의 단면의 구체예를 도시하는 도면.
도 9는 고열전도 층의 전단 접착 강도의 평가방법을 설명하는 모식도.
도 10은 열저항 측정 장치의 모식도.
도 11은 열저항의 평가 결과를 도시하는 도면.
본 발명의 반도체 장치는 발열체와, 수열기와, 발열체와 수열기의 사이에 발열체로부터의 열을 수열기에 전하기 위한 고열전도 층을 구비하는 반도체 장치로서,
고열전도 층이, (A) 적어도 이하의 일반식(1) :
Figure pct00003
Figure pct00004
(식 중,
R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7은 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자, 알킬기, 할로겐화알킬기 또는 페닐기이고,
-(O-X-O)-는 구조식(2)로 표시되고, 여기서, R8, R9, R10, R14, R15는 동일 또는 달라도 좋고, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, R11, R12, R13은 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고,
-(Y-O)-는 구조식(3)으로 표시되는 1종류의 구조, 또는 구조식(3)으로 표시되는 2종류 이상의 구조가 랜덤하게 배열된 것이고, 여기서, R16, R17은 동일 또는 달라도 좋고, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, R18, R19은 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고,
Z는 탄소수 1 이상의 유기기이고, 경우에 따라 산소 원자, 질소 원자, 유황 원자, 할로겐 원자를 포함하는 것도 있고,
a, b는 적어도 어느 한쪽이 0이 아닌, 0 내지 300의 정수를 나타내고,
c, d는 0 또는 1의 정수를 나타낸다)로 표시되는 비닐기가 결합된 페닐기를 양 말단에 갖는 폴리에테르 화합물을 포함하는 2종 이상의 열경화성 수지와,
(B) 열가소성 일래스토머와,
(C) 열전도성 무기 필러와,
(D) 경화제를 포함하는 고열전도 필름의 열경화체이고, 두께가 10 내지 300㎛인 것을 특징으로 한다. 이 고열전도 층이 열전도성과 내열성이 우수하기 때문에 발열체의 방열성이 우수하고, 신뢰성이 높은 반도체 장치가 된다. 도 1에 본 발명의 반도체 장치의 단면의 모식도의 한 예를 도시한다. 도 1에 도시하는 바와 같이 본 발명의 반도체 장치(1)는 발열체(2)와, 수열기(3)와, 발열체와 수열기의 사이에 발열체로부터의 열을 수열기에 전하기 위한 고열전도 층(4)을 구비하고, 고열전도 층(4)은 고열전도 필름의 열경화체이다. 이하, 발열체, 수열기, 고열전도 층의 순서로 설명한다.
[발열체]
발열체는 특히 한정되는 것이 아니고, 여러가지의 반도체나 반도체 모듈을 사용할 수 있지만, 본 발명의 효과를 발휘하기 위해서는 발열량이 많은 발열체, 즉, 베어 칩 등의 IC 칩, LED 칩, FWD(Free Wheeling Diode), 또는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor) 등의 반도체, 또는 자동차 등의 수송 기기에 사용되는 파워 반도체 모듈 등의 반도체 모듈이 바람직하다. 또한, 본 발명의 효과를 발휘하기 위해서는 총 발열량이 0.5W 내지 500W의 고출력의 반도체 또는 반도체 모듈이 보다 바람직하다.
[수열기]
수열기로서는 기판, 방열판 등을 들 수 있다. 기판으로서는 고열전도 CEM-3 사용 기판, 고열전도 FR-4 사용 기판 등의 수지계 기판이나, 메탈 베이스 CCL 사용 기판, 저열 저항 FCCL 사용 기판 등의 메탈 기판, Al2O3, AlN, SiC, BN 등의 세라믹스 기판을 들 수 있고, 반도체 장치의 설계에 응하여 여러가지의 것을 사용할 수 있다. 수열기로서 수지계 기판을 사용하면 저탄성률의 고열전도 층에 의해 발열체와 수열기의 열팽창 차에 기인하는 응력이 완화되기 때문에 휘어짐을 방지할 수 있고, 또한 반도체 장치에 내열성을 부여할 수 있다. 수열기로서 메탈 기판이나 세라믹스 기판을 사용하면 발열체와 수열기의 열전도율이 가깝기 때문에 발열체와 수열기의 열팽창 차에 기인하는 응력이 완화되고, 또한 고열전도 층이 저탄성률이기 때문에 고열전도 층에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 또한 반도체 장치에 내열성을 부여할 수 있다. 특히, 응력의 완화를 중시하는 용도에서는 수지계 기판의 사용이 바람직하고, 저열 저항의 관점에서는 메탈 기판이나 세라믹스 기판의 사용이 바람직하다. 참고로서, 표 1에 각 수지계 기판의 열팽창계수와 열전도율의 한 예를 표시한다. 또한, 표 1에는 IC 칩 등의 재료인 실리콘의 데이터도 기재한다. 또한, 방열판으로서는 반도체 모듈 등으로부터의 열을 방열할 수 있는 것이면 좋고, 형상 등은 특히 한정되지 않는다.
Figure pct00005
[고열전도 층]
우선, 고열전도 층을 구성하는 열경화체를 형성하기 위한 고열전도 필름에 관해 설명한다. 고열전도 필름에 포함되는 (A)성분은 적어도 일반식(1)로 표시되는 비닐기가 결합된 페닐기를 양 말단에 갖는 폴리에테르 화합물(이하, 변성 OPE라고 한다)을 포함하는 2종 이상의 열경화성 수지이다. 본 발명에서는 열경화성 수지로서 변성 OPE를 사용하고 있기 때문에 에폭시를 주로 이용한 종래품에 비하여, Tg가 높고(216℃), 내열성이 우수하며, 고열전도 층의 경시 변화가 생기기 어렵고, 반도체 장치의 장기 신뢰성을 유지할 수 있다. 또한, 수지 중의 친수기의 수가 적기 때문에 흡습성이 우수하다는 특징이 있다. 이 때문에 150℃ 부근의 온도가 걸리는 용도라도 고열전도 층은 발열체나 수열기와 박리가 생기지 않아, 신뢰성이 높은 반도체 장치이다. 또한, 변성 OPE와 일래스토머에 의한 효과에 의해 고열전도 층이 외부로부터의 응력을 완화할 수 있는 적당한 유연성을 갖고 있기 때문에 반도체 장치 내에 생기는 응력을 완화할 수 있다. 또한, 변성 OPE는 절연성이 우수하고, 고열전도 층의 두께를 작게 하여도, 반도체 장치의 신뢰성을 유지할 수 있다. 이 변성 OPE는 일본 특개2004-59644호 공보에 기재된 바와 같다. 또한, Tg가 높은 에폭시 수지를 사용한 조성물은 필름형상으로 성형할 수가 없고, Tg가 낮은 에폭시 수지를 사용한 조성물은 필름형상으로 성형할 수 있지만, 얻어지는 필름의 Tg가 낮아지기 때문에 필름의 내열성이 열화되어 버린다.
일반식(1)으로 표시되는 변성 OPE의 -(O-X-O)-에 관한 구조식(2)에서, R8, R9, R10, R14, R15는 바람직하게는 탄소수 3 이하의 알킬기이고, R11, R12, R13은 바람직하게는 수소 원자 또는 탄소수 3 이하의 알킬기이다. 구체적으로는 구조식(4)를 들 수 있다.
Figure pct00006
-(Y-O)-에 관한 구조식(3)에서, R16, R17은 바람직하게는 탄소수 3 이하의 알킬기이고, R18, R19은 바람직하게는 수소 원자 또는 탄소수 3 이하의 알킬기이다. 구체적으로는 구조식(5) 또는 (6)을 들 수 있다.
Figure pct00007
Z는 탄소수 3 이하의 알킬렌기를 들 수 있고, 구체적으로는 메틸렌기이다.
a, b는 적어도 어느 한쪽이 0이 아닌, 0 내지 300의 정수를 나타내고 바람직하게는 0 내지 30의 정수를 나타낸다.
수평균분자량(數平均分子量) 1000 내지 3000인 일반식(1)의 변성 OPE가 바람직하다. 수평균분자량은 겔 퍼미션 크로마토그래피법(GPC)에 의해 표준 폴리스티렌에 의한 검량선을 이용한 값으로 한다.
상기의 변성 OPE는 단독으로도 2종 이상 조합시켜서 사용하여도 좋다.
(A)성분에 함유되는 일반식(1)의 변성 OPE 이외의 열경화성 수지로서는 비페닐형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 비스페놀A형 에폭시 수지, 비스페놀F형 에폭시 수지, 노볼락형 에폭시 수지, 카르보디이미드 수지, 비스말레이미드 수지 등을 들 수 있고, 비페닐형 에폭시 수지가 고열전도 필름의 성형성의 관점에서 바람직하다. 에폭시 수지는 접착 강도를 향상시키기 위해 사용된다. 또한, 카르보디이미드 수지는 에폭시 수지보다 접착 강도를 향상시킬 수 있기 때문에 고접착력이 요구되는 용도에서는 카르보디이미드 수지가 바람직하다. 비스말레이미드 수지는 접착 강도 향상 및 고 Tg(유리 전이점)화의 관점에서 바람직하다. (A)성분에 함유되는 변성 OPE 이외의 열경화성 수지는 단독으로도 2종 이상을 병용하여도 좋다.
(B)성분으로서는 스티렌-부타디엔 블록 공중합체(SBS), 스티렌-에틸렌/부틸렌-스티렌 블록 공중합체(SEBS), 스티렌-이소프렌-스티렌 블록 공중합체(SIS), 폴리부타디엔(PB), 스티렌-(에틸렌-에틸렌/프로필렌)-스티렌 블록 공중합체(SEEPS)를 들 수 있고, 스티렌-에틸렌/부틸렌-스티렌 블록 공중합체가, 경화 후의 고열전도 필름에의 내열성 부여의 관점에서 바람직하다. (B)성분은 단독으로도 2종 이상을 병용하여도 좋다. (B)성분은 중량평균분자량은 30,000 내지 200,000인 것이 바람직하다. 중량평균분자량은 겔 퍼미션 크로마토그래피법(GPC)에 의해 표준 폴리스티렌에 의한 검량선을 이용한 값으로 한다.
(C)성분의 열전도성 무기 필러란, 열전도율이 5W/m·K 이상의 것을 말한다. (C)성분은 절연성을 유지하는 관점에서, 일반적인 무기 필러를 사용할 수 있고, 열전도율, 절연성 및 열팽창계수의 점에서, MgO, Al2O3, AlN, BN, 다이아몬드 필러, ZnO 및 SiC로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종 이상의 무기 필러라면 바람직하다. 또한, ZnO 및 SiC에는 필요에 응하여 절연 처리를 하여도 좋다. 각 재료의 열전도율 측정 결과의 한 예로서는(단위는 W/m·K), MgO는 37, Al2O3는 30, AlN은 200, BN은 30, 다이아몬드는 2000, ZnO는 54, SiC는 90이다.
(C)성분의 평균 입경(입상이 아닌 경우는 그 평균 최대지름)은 특히 한정되지 않지만, 0.05 내지 50㎛인 것이 고열전도 필름 내에 (C)성분을 균일하게 분산시키는데 바람직하다. 0.05㎛ 미만이면 고열전도 필름을 형성하기 위한 조성물의 점도가 상승하여, 성형성이 악화될 우려가 있다. 50㎛ 초과면 고열전도 필름 내에 (C)성분을 균일하게 분산시키는 것이 곤란해질 우려가 있다. 여기서, (C)성분의 평균 입경은 동적 광산란식 나노트랙 입자 분석계에 의해 측정한다. (C)성분은 단독으로도 2종 이상을 병용하여도 좋다.
(D)성분으로서는 페놀계 경화제, 아민계 경화제, 이미다졸계 경화제, 산무수물계 경화제 등을 들 수 있고, (D)성분이 이미다졸계 경화제라면 변성 OPE 이외의 열경화성 수지에 대한 경화성, 접착성의 관점에서 바람직하다.
(A)성분은 경화 후의 고열전도 필름의 열전도율의 관점에서, 고열전도 필름 : 100질량부에 대해, 5 내지 25질량부면 바람직하다. 또한, 변성 OPE는 경화 후의 고열전도 필름의 내열성의 관점에서, (A)성분 : 100질량부에 대해, 60 내지 95질량부면 바람직하다.
(B)성분은 고열전도 필름의 성형성 및 경화 후의 고열전도 필름의 탄성률의 관점에서, 고열전도 필름 : 100질량부에 대해, 5 내지 25질량부면 바람직하다.
(C)성분은 절연성, 접착성 및 열팽창계수의 관점에서, 고열전도 필름 : 100질량부에 대해, 50 내지 90질량부면 바람직하다. (C)성분이 90질량부를 초과하면 고열전도 필름 접착력이 저하되기 쉽다. 한편, (C)성분이 50질량부 미만이면 무기 필러의 열전도율이 높아도, 고열전도 층의 열전도가 불충분할 우려가 있다.
(D)성분은 고열전도 필름의 보존 안정성, 고열전도 필름의 경화성의 관점에서, 고열전도 필름 : 100질량부에 대해, 0.01 내지 1질량부면 바람직하다.
또한, 고열전도 필름은 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 점착성 부여제, 소포제, 유동 조정제, 성막 보조제, 분산 조제 등의 첨가제를 포함할 수 있다.
고열전도 필름을 형성하기 위한 조성물(이하, 고열전도 필름용 조성물이라고 한다)은 (A) 내지 (D)성분 등을 포함하는 원료를, 유기 용제에 용해 또는 분산 등 시킴에 의해 고열전도 필름용 조성물을 얻을 수 있다. 이들의 원료의 용해 또는 분산 등의 장치로서는 특히 한정되는 것이 아니지만, 교반, 가열 장치를 구비한 라이카이기, 3본 롤밀, 볼밀, 플라네터리 믹서, 비즈밀 등을 사용할 수 있다. 또한, 이들 장치를 적절하게 조합시켜서 사용하여도 좋다.
유기 용제로서는 방향족계 용제, 예를 들면 톨루엔, 크실렌 등, 케톤계 용제, 예를 들면 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 등을 들 수 있다. 유기 용제는 단독으로도, 2종 이상을 조합시켜서 사용하여도 좋다. 또한, 유기 용제의 사용량은 특히 한정되지 않지만, 고형분이 20 내지 50질량%가 되도록 사용하는 것이 바람직하다. 작업성의 점에서, 고열전도 필름용 조성물은 200 내지 3000mPa·s의 점도의 범위인 것이 바람직하다. 점도는 E형 점도계를 이용하여, 회전수 10rpm, 25℃에서 측정한 값으로 한다.
고열전도 필름은 고열전도 필름용 조성물을 소망하는 지지체에 도포한 후, 건조함에 의해 얻어진다. 지지체는 특히 한정되지 않고, 구리, 알루미늄 등의 금속박, 폴리에스테르 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지 등의 유기 필름 등을 들 수 있다. 지지체는 실리콘계 화합물 등으로 이형(離型) 처리되어 있어도 좋다.
고열전도 필름용 조성물을 지지체에 도포하는 방법은 특히 한정되지 않지만, 박막화·막두께 제어의 점에서는 마이크로그라비어법, 슬롯다이법, 독터블레이드법이 바람직하다. 슬롯다이법에 의해 열경화 후의 두께가 10 내지 300㎛가 되는 고열전도 필름을 얻을 수 있다.
건조 조건은 고열전도 필름용 조성물에 사용되는 유기 용제의 종류나 양, 도포의 두께 등에 응하여, 적절히 설정할 수 있고, 예를 들면 50 내지 120℃에서, 1 내지 30분 정도로 할 수 있다. 이와 같이 하여 얻어진 고열전도 필름은 양호한 보존 안정성을 갖는다. 또한, 고열전도 필름은 소망하는 타이밍에서, 지지체로부터 박리할 수 있다.
고열전도 층은 미경화 상태의 고열전도 필름을 예를 들면 발열체와 수열기의 사이에 배치한 후, 예를 들면 130 내지 200℃에서, 60 내지 180분의 사이 열경화시켜서 형성할 수 있다. 이 고열전도 층은 발열체와 수열기와, 경우에 따라 전극 등을 접착함과 함께, 발열체로부터의 열을 수열기측에 도피시키고, 수열기측에서 방열시키는 열전달의 역할을 이룬다. 또한, 고열전도 층은 발열체와 수열기의 사이 경우에 따라 발열체 또는 수열기와 전극 등과의 사이의 열팽창률의 차에 기인하는 응력을 완화하는 역할을 이룬다.
고열전도 층의 두께는 10㎛ 이상 300㎛ 이하이고 바람직하게는 10㎛ 이상 100㎛ 이하, 보다 바람직하게는 10㎛ 이상 50㎛ 이하이다. 10㎛ 미만에서는 소망하는 절연성을 얻을 수 없게 될 우려가 있다. 300㎛를 초과하면 발열체의 방열이 충분하게는 될 수 없게 된다. 고열전도 층의 두께가 얇아짐에 따라, 발열체와 수열기의 거리가 짧아지기 때문에 효율적인 열전도의 관점에서, 고열전도 층의 두께는 얇은 쪽이 바람직하다.
또한, 고열전도 층은 그 두께가 얇을수록 접착 강도가 높다는 특징을 갖고 있다. 고열전도 층의 두께와 접착 강도(전단 강도)의 관계를, 표 2와 도 2에 도시한다. 도 2에서, 횡축은 막두께, 종축은 전단 강도이고, 파선은 전단 강도와 막두께의 경향을 나타낸다. 도 2로 부터 알 수 있는 바와 같이 고열전도 층은 그 두께가 얇을수록 접착 강도가 높다. 따라서 고열전도 층의 두께가, 10㎛ 이상 300㎛ 이하면 전단 강도가 10N/㎜ 이상이 되기 때문에 바람직하고, 10㎛ 이상 100㎛ 이하면 전단 강도가 14N/㎜ 이상이 되기 때문에 보다 바람직하고, 10㎛ 이상 50㎛ 이하면 전단 강도가 15N/㎜ 이상이 되기 때문에 더욱 바람직하다. 고열전도 층의 전단 강도가 높은 것은 고열전도 층이 외부로부터의 응력을 완화한 적당한 유연성을 갖기 때문이지만, 고열전도 층이 300㎛를 초과하면 고열전도 층 자체에 균열이 생기고, 파괴되기 쉽게 된다. 발열체가 반도체 모듈이고, 수열기가 방열판인 경우와 같은 방열 용도에서는 높은 접착성이 요구되지 않는 경우가 많지만, 발열체가 IC 칩 등의 반도체이고, 수열기가 기판인 경우와 같은 높은 접착성이 요구되는 용도에서는 고열전도 층을 300㎛ 보다 두껍게 하는 것은 바람직하지가 않다. 고열전도 층의 두께를 바람직한 범위로 하려면 고열전도 필름을 상기한 바람직한 범위의 두께로 함으로써 실현할 수 있다.
Figure pct00008
고열전도 층의 25℃에서의 전단 접착 강도는 13N/㎜ 이상인 것이 바람직하다. 13N 미만이면 발열체가 IC 칩 등의 반도체이고, 수열기가 기판인 경우와 같은 접착성이 요구되는 용도에 사용하기가 어려워진다.
고열전도 층은 체적 저항률이 1×1010Ω·㎝ 이상이고, 또한, 열전도율이 0.8W/m·K 이상이면 바람직하다. 고열전도 층은 체적 저항률이 1×1012Ω·㎝ 이상이면 보다 바람직하고, 1×1013Ω·㎝ 이상이라고 더욱 바람직하다. 또한, 고열전도 층은 열전도율이 1.0W/m·K 이상이면 보다 바람직하다. 고열전도 층의 체적 저항률이 1×1010Ω·㎝ 미만인 경우에는 반도체 장치에 요구되는 절연성을 만족할 수 없을 우려가 있다. 또한, 고열전도 층의 열전도율이 0.8W/m·K 미만인 경우에는 발열체로부터의 수열기에의 열전달이 불충분하게 될 우려가 있다. 고열전도 층의 체적 저항률과 열전도율은 (C)성분의 종류와 함유량에 의해 제어할 수 있다.
[반도체 장치]
이하, 본 발명의 반도체 장치의 각 실시 형태에 관해 설명하지만, 본 발명은 이들의 실시 형태로 한정되지 않는다. 본 발명의 반도체 장치는 수열기가 전극이 형성된 기판이고,
고열전도 층이 발열체와, 기판상에 형성된 전극과의 사이에 형성되면 발열체의 열이 기판상에 형성된 전극 경유로 방열되기 때문에 바람직하다. 이 구조는 후술하는 도 5에 존재한다. 또한, 본 발명의 다른 반도체 장치에서는 발열체가 전극을 가지며, 수열기가 기판이고, 고열전도 층이 발열체의 전극과, 기판과의 사이에 형성되면 발열체의 열이 발열체의 전극 경유로 방열되기 때문에 바람직하다. 이 구조는 후술하는 도 4, 도 6에 존재한다. 이하, 도 3 내지 도 8에 의거하여, 이와 같은 반도체 장치의 단면의 구체예를 설명한다.
도 3에 도시하는 반도체 장치(10)에서는 발열체인 IC 칩(12)과, 수열기인 기판(13)과의 사이에 고열전도 층(14)이 마련되고, 또한 IC 칩(12)과 와이어 본딩(16)으로 접속된 기판(13) 상의 전극(15)과, 기판(13)과의 사이에도 고열전도 층(14)이 마련된 구조를 하고 있다. 이 구조에서는 IC 칩(12)으로부터의 열은 고열전도 층(14)을 경유하여 기판(13)에 방열되고, 또한 와이어 본딩(16)과 전극(15)을 통하여 고열전도 층(14)을 경유하여 기판(13)에 방열되는 경로로 방열된다. 도 3에서는 고열전도 층(14)은 기판(13)과 IC 칩(12) 및 기판(13)과 전극(15)의 접착층으로서도 기능하고 있다. 또한, 고열전도 층(14)은 기판(13)과 IC 칩(12) 및 기판(13)과 전극(15)의 열팽창률의 차에 기인하는 응력을 완화하고 있다.
도 4에 도시하는 반도체 장치(20)에서는 발열체인 IC 칩(22)에 형성된 전극(범프)(27)과, 수열기인 기판(23)상에 형성된 전극(25)이 접합되어 있고, 기판(23)과 전극(25)과의 사이에 IC 칩(22)으로부터의 열을 기판(23)에 전하기 위한 고열전도 층(24)이 마련된 구조를 하고 있다. 이 구조에서는 IC 칩(22)으로부터의 열은 전극(범프)(27)과 전극(25)을 통하여 고열전도 층(24)을 경유하여 기판(23)에 방열된다. 도 4에서는 고열전도 층(24)은 기판(23)과 전극(25)의 접착층으로서도 기능하고 있다. 또한, 고열전도 층(24)은 기판(23)과 전극(25)과의 열팽창률의 차에 기인하는 응력을 완화하고 있다.
도 5에 도시하는 반도체 장치(30)에서는 발열체인 IC 칩(32)은 상부의 고열전도 층(34)을 이용하여 전극(35)과 접착하고 있고, 전극(35)은 하부의 고열전도 층(34)을 통하여 기판(33)과 접착하고 있다. 또한, IC 칩(32)은 본딩 와이어(36)에 의해서도 전극(35)과 접합하고 있다. 이 구조에서는 IC 칩(32)으로부터의 열은 상부의 고열전도 층(34) 경유로 전극(35)에 방열되고, 또한 본딩 와이어(36) 경유로도 전극(35)에 방열된다. 전극(35)에 전하여진 열은 하부의 고열전도 층(34) 경유로 기판(33)에 방열된다. 도 5에서는 고열전도 층(34)은 IC 칩(32)과 전극(35) 및 전극(35)과 기판(33)의 접착층으로서도 기능하고 있다. 또한, 고열전도 층(34)은 IC 칩(32)과 전극(35) 및 전극(35)과 기판(33)의 열팽창률의 차에 기인하는 응력을 완화하고 있다.
도 6에 도시하는 반도체 장치(40)에서는 IC 칩(42)은 좌부의 전극(리드 프레임)(48)과 접합하고 있다. 또한, IC 칩(42)은 와이어 본딩(46)에 의해 우부의 전극(리드 프레임)(48)과 접합하고 있다. 리드 프레임(48)은 전극(45)과 접합하고 있고, 전극(45)은 고열전도 층(44)을 통하여 기판(43)과 접착하고 있다. 또한, IC 칩(42), 와이어 본딩(46), 전극(리드 프레임)(48)의 일부는 몰드 수지(49)로 밀봉되어 있다. 이 구조에서는 IC 칩(42)으로부터의 열은 직접 좌부의 전극(리드 프레임)(48)에 또한 와이어 본딩(46)에 의해 우부의 전극(리드 프레임)(48)에 또한 몰드 수지(49)를 통하여 좌우의 전극(리드 프레임)(48)에 전하여진다. 전극(리드 프레임)(48)에 전하여진 열은 전극(45)과 고열전도 층(44)을 통하여 기판(43)에 방열된다. 도 6에서는 고열전도 층(44)은 전극(45)과 기판(43)의 접착층으로서도 기능하고 있다. 또한, 고열전도 층(44)은 전극(45)과 기판(43)과의 열팽창률의 차에 기인하는 응력을 완화하고 있다.
도 7에 도시하는 반도체 장치(50)에서는 반도체 모듈(52)은 전극(55)과 접합하고 있다. 전극(55)은 상부의 고열전도 층(54)을 통하여 기판(53)과 접착하고 있고, 기판(53)은 하부의 고열전도 층(54)을 통하여 방열판(56)과 접착하고 있다. 이 구조에서는 반도체 모듈(52)로부터의 열은 전극(55), 상부의 고열전도 층(54), 기판(53), 하부의 고열전도 층(54)을 통하여 방열판(56)에 방열된다. 도 7에서는 고열전도 층(54)은 전극(55)과 기판(53) 및 기판(53)과 방열판(56)의 접착층으로서도 기능하고 있다. 또한, 고열전도 층(54)은 전극(55)과 기판(53) 및 기판(53)과 방열판(56)의 열팽창률의 차에 기인하는 응력을 완화하고 있다.
도 8에 도시하는 반도체 장치(60)에서는 반도체 모듈(62)은 전극(65)과 접합하고 있다. 전극(65)은 하부의 고열전도 층(64)을 통하여 기판(63)과 접착하고 있다. 또한, 반도체 모듈(62)은 상부의 고열전도 층(64)을 통하여 방열판(66)과 접착하고 있다. 이 구조에서는 반도체 모듈(62)로부터의 열은 상부의 고열전도 층(64)을 통하여 방열판(66)에 방열되고, 또한 전극(65), 하부의 고열전도 층(64)을 통하여 기판(63)에 방열된다. 도 8에서는 고열전도 층(64)은 전극(65)과 기판(63) 및 반도체 모듈(62)과 방열판(66)의 접착층으로서도 기능하고 있다. 또한, 고열전도 층(64)은 전극(65)과 기판(63) 및 반도체 모듈(62)과 방열판(66)의 열팽창률의 차에 기인하는 응력을 완화하고 있다.
[실시예]
본 발명에 관해, 실시예에 의해 설명하지만, 본 발명은 이들로 한정되는 것이 아니다. 또한, 이하의 실시예에서, 부%는 단서가 없는 한 질량부, 질량%를 나타낸다.
[실시예 1 내지 5, 비교예 1 내지 7]
표 3과 표 4에 표시하는 배합에서, (A)성분, (B)성분, 적량의 톨루엔을 계량 배합한 후, 그들을 80℃로 가온된 반응 가마에 투입하고, 회전수 150rpm으로 회전시키면서, 상압 혼합을 3시간 행하여 클리어를 제작하였다. 제작한 클리어에 (C)성분, (D)성분, 경우에 따라 그 외를 가하고, 플라네터리 믹서에 의해 분산하여, 고열전도 필름용 조성물을 제작하였다. 이와 같이 하여 얻어진 고열전도 필름용 조성물을 지지체인 이형 처리를 시행한 PET 필름의 편면에 도포하고, 100℃로 건조시킴에 의해 지지체 부착의 고열전도 필름을 얻었다. 또한, 비교예 5와 비교예 7은 필름을 형성할 수가 없었다.
Figure pct00009
Figure pct00010
[고열전도 층의 평가]
고열전도 층을 평가하기 위해, 하기한 평가마다, 고열전도 필름을 열경화시켰다. 표 5, 표 6에 고열전도 필름을 열경화시킨 때의 경화 온도, 경화 시간을 나타낸다.
≪열전도율≫
미경화의 고열전도 필름을 200℃의 프레스기로 60분간 가열 경화시켰다. 경화시킨 고열전도 필름의 열전도율을 NETZSCH사제 열전도율계(Xe 플래시 애널라이저, 형번 : LFA447Nanoflash)를 이용하여 측정하였다.
≪필 강도≫
접착 필름의 양면에 조화면(粗化面)을 내측으로 하여 구리박을 맞붙이고, 프레스기로 열압착시켰다(180℃, 60min, 0.1㎫). 이 시험편을 10㎜ 폭으로 컷트하고, 오토 그래프로 당겨 벗겨서, 필 강도를 측정하였다. 측정 결과에 관해, 각 N=5의 평균치를 계산하였다.
≪유리 전이점 온도(Tg)≫
동적 점탄성 측정(DMA)으로 측정하였다. 고열전도 필름을 200℃, 60min로 열경화시켜서, 지지체로부터 박리한 후, 고열전도 필름의 열경화체로부터 시험편(10±0.5㎜×40±1㎜)을 절출(切出)하고, 시험편의 폭, 두께를 측정하였다. 그 후, 세이코인스트루먼트사제 DMS(형번 : EXSTAR6100)로 측정(인장 모드)을 행하였다(3℃/min, 10Hz, 25-220℃). tanδ의 피크 온도를 판독하고, Tg로 하였다.
≪탄성률의 평가≫
상기 동적 점탄성 측정(DMA)으로 측정한 25℃에서의 저장 탄성률을 탄성률로 하였다. 표 5, 표 6에 고열전도 필름의 탄성률의 평가 결과를 표시한다.
Figure pct00011
Figure pct00012
≪전단 접착 강도의 평가≫
실시예 1, 비교예 1과 2에 관해, 고열전도 층의 전단 접착 강도의 평가를 행하였다. 도 9에 고열전도 층의 전단 접착 강도의 평가방법을 설명하는 모식도를 도시한다. 기판(72)으로서, FR-4 기판과, 실리콘 칩(73)으로서, 5㎜각의 실리콘 칩을 준비하였다. Φ2㎜의 고열전도 필름을 기판(72) 상의 고열전도 층(74)을 형성하고 싶은 위치에 재치하고, 고열전도 필름상에 실리콘 칩(73)을 마운트하였다. 이 후, 200℃에서 60분간, 고열전도 필름을 열경화시켜서, 고열전도 층(74)을 형성하였다. 아이코-엔지니어링제 탁상 강도 시험기(형번 : 1605HTP)를 사용하여, 25℃, 150℃에서의 전단 강도(단위 : N)를 측정하였다. 표 7에 고열전도 층의 전단 접착 강도의 평가 결과를 표시한다.
≪열저항≫
도 10에 열저항 측정 장치의 모식도를 도시한다. K형 열전대(86)를 매입한, 폭 : 50㎜, 길이 : 50㎜, 두께 : 5㎜의 구리판(82)의 사이에 폭 : 20㎜, 길이 : 20㎜, 두께 : 20 내지 390㎛의, 200℃×60분간으로 경화시킨 고열전도 필름(83)을 설치하고, 그 구리판(82)의 위에 히트 싱크(84)와 무게 : 660g의 추(85)로 꽉 눌렀다. 하부에 히터(81)를 놓고, 하기 조건으로 가열하여, 열저항을 산출하였다.
시험 조건은 공급 전압 : 40W(=100V×0.4A), 측정 영역 : 20㎜□이다.
전력 공급 시작부터 5min 후의 히터측 온도를 Ta, 히트 싱크측 온도를 Tb,
공급 전력을 P로 하여, 열저항(단위 : ℃/W)을 하기 식 :
Rth =(Ta - Tb)/ P
으로 산출하였다. 표 8과 도 11에 열저항의 평가 결과를 도시한다.
Figure pct00014
표 5로부터 알 수 있는 바와 같이 실시예 1 내지 5의 전부에서, 열전도율, 필 강도, 유리 전이 온도의 전부가 높고, 탄성률은 소망하는 범위 내였다. 이에 대해, 표 6으로 부터 알 수 있는 바와 같이 변성 OPE를 사용하지 않은 비교예 1은 유리 전이 온도와 탄성률이 낮았다. 또한, 변성 OPE를 사용하지 않은 비교예 2는 탄성률이 너무 높았다. (C)성분 대신에 무기 필러로서 실리카(열전도율 : 약 1W/m·K)를 사용한 비교예 3은 열전도율이 낮았다. 열경화성 수지가, 변성 OPE뿐인 비교예 4는 필 강도가 낮았다. (B)성분을 포함하지 않은 비교예 5, (D)성분을 포함하지 않은 비교예 7은 필름을 형성할 수가 없었다. (C)성분을 포함하지 않는 비교예 6은 열전도율과 탄성률이 낮았다.
또한, 표 7로부터 알 수 있는 바와 같이 실시예 1은 25℃, 150℃ 모두, 전단 접착 강도가 높았다. 이에 대해, 비교예 1은 25℃의 전단 접착 강도가 낮고, 150℃의 전단 접착 강도는 현저하게 낮았다. 또한, 비교예 2는 실시예 1과 동등한 값을 나타내었다.
표 8, 도 11의 열저항의 평가 결과로 부터 알 수 있는 바와 같이 고열전도 층의 두께가 300㎛ 이하면 열저항이 0.4℃/W 미만이 되고, 저열 저항이라고 할 수 있음을 알았다. 또한, 고열전도 층의 두께가 100㎛ 이하면 열저항이 0.3℃/W 미만이 되고, 현저하게 저열 저항이라고 할 수 있음을 알았다.
[산업상의 이용 가능성]
본 발명의 반도체 장치는 발열체의 방열성이 우수하고, 발열체와 수열기의 접착 강도가 저하되는 일이 없이 고내열성이기 때문에 고신뢰성이다.
1 : 반도체 장치 2 : 발열체
3 : 수열기 4 : 고열전도 층
10, 20, 30, 40 : 반도체 장치 12, 22, 32, 42 : IC 칩
13, 23, 33, 43 : 기판 14, 24, 34, 44 : 고열전도 층
15, 25, 35, 45 : 전극 16, 36, 46 : 본딩 와이어
27 : 전극(범프) 48 : 전극(리드 프레임)
49 : 몰드 50, 60 : 반도체 장치
52, 62 : 반도체 모듈 53, 63 : 기판
54, 64 : 고열전도 층 55, 65 : 전극
56, 66 : 방열판 71 : 셰어 툴
72 : 기판 73 : 실리콘 칩
74 : 고열전도 층 81 : 히터
82 : 구리판 83 : 고열전도 필름
84 : 히트 싱크 85 : 추
86 : K형 열전대

Claims (12)

  1. 발열체와, 수열기와, 발열체와 수열기의 사이에 발열체로부터의 열을 수열기에 전하기 위한 고열전도 층을 구비하는 반도체 장치에 있어서,
    고열전도 층이,
    (A) 적어도 이하의 일반식(1) :
    [화학식 7]
    Figure pct00015

    [화학식 8]
    Figure pct00016

    (식 중, R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7은 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자, 알킬기, 할로겐화알킬기 또는 페닐기이고,
    -(O-X-O)-는 구조식(2)로 표시되고, 여기서, R8, R9, R10, R14, R15는 동일 또는 달라도 좋고, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, R11, R12, R13은 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고,
    -(Y-O)-는 구조식(3)으로 표시되는 1종류의 구조, 또는 구조식(3)으로 표시되는 2종류 이상의 구조가 랜덤하게 배열한 것이고, 여기서, R16, R17은 동일 또는 달라도 좋고, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고, R18, R19은 동일 또는 달라도 좋고, 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 6 이하의 알킬기 또는 페닐기이고,
    Z는 탄소수 1 이상의 유기기이고, 경우에 따라 산소 원자, 질소 원자, 유황 원자, 할로겐 원자를 포함하는 것도 있고,
    a, b는 적어도 어느 한쪽이 0이 아닌, 0 내지 300의 정수를 나타내고,
    c, d는 0 또는 1의 정수를 나타낸다)로 표시되는 비닐기가 결합된 페닐기를 양 말단에 갖는 폴리에테르 화합물을 포함하는 2종 이상의 열경화성 수지와,
    (B) 열가소성 일래스토머와,
    (C) 열전도성 무기 필러와,
    (D) 경화제를 포함하는 고열전도 필름의 열경화체이고, 두께가 10 내지 300㎛인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    고열전도 층의 25℃에서의 전단 접착 강도가, 13N/㎜ 이상인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    고열전도 층의 두께가, 10㎛ 이상 100㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    고열전도 층의 체적 저항률이 1×1010Ω·㎝ 이상이고, 또한, 열전도율이 0.8W/m·K 이상인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    (C)성분이 MgO, Al2O3, AlN, BN, 다이아몬드 필러, ZnO 및 SiC로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    (D)성분이 이미다졸계 경화제인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    수열기가 전극이 형성된 기판이고,
    고열전도 층이 발열체와, 기판상에 형성된 전극과의 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  8. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    발열체가 전극을 가지며, 수열기가 기판이고,
    고열전도 층이 발열체의 전극과, 기판의 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  9. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    발열체가 IC 칩, 베어 칩, LED 칩, FWD(Free Wheeling Diode), 또는 IGBT(Insulated Gate BipolarTransistor)인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  10. 제 7항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    기판이 메탈 베이스 CCL 사용 기판, 고열전도 CEM-3 사용 기판, 고열전도 FR-4 사용 기판, 저열 저항 FCCL 사용 기판, 메탈 기판, 또는 세라믹스 기판인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  11. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    발열체가 반도체 모듈이고, 수열기가 방열판인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    반도체 모듈이 파워 반도체 모듈인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
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