KR20140065331A - 연삭 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 연삭 휠의 착탈 작업을 용이하게 행할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
연삭 휠 착탈 수단(30)은, 회전축(24)의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 흡인관(31)과 제1 흡인관(31)에 연통하고 휠 마운트(23)의 장착면(200)에 배치된 흡인구(201)에 접속되는 제2 흡인관(32)과, 흡인구(201)로부터의 흡인과 흡인의 차단을 전환하는 흡인 밸브(33)와 연삭 휠(22)을 휠 마운트(23)의 정해진 위치로 가이드하는 가이드부(37)를 구비하고 있기 때문에, 흡인 밸브(33)를 개방함으로써, 가이드부(37)에 의해 휠 마운트(23)의 장착면(200)에 연삭 휠(22)을 어긋나지 않게 가이드하여 흡인 유지시킬 수 있다. 따라서, 나사를 사용하지 않더라도 연삭 휠(22)의 착탈 작업을 용이하게 행할 수 있다.

Description

연삭 장치{GRINDING APPARATUS}

본 발명은, 착탈 가능한 연삭 휠을 구비한 연삭 장치에 관한 것이다.

반도체 디바이스 등이 형성된 판형 워크를 연삭하는 연삭 장치는, 판형 워크를 유지하는 유지 테이블을 구비하는 유지 수단과, 판형 워크에 연삭을 행하는 연삭 휠을 장착한 연삭 수단에 의해 적어도 구성되어 있다. 그리고, 연삭 휠에 의해 유지 테이블에 유지된 판형 워크가 정해진 두께로 박화될 때까지 연삭이 행해진다.

연삭 휠은, 회전축의 휠 마운트에 나사로 고정되어 사용되지만, 이 연삭 휠의 하부에 고착된 연삭 지석이 소모되면, 이 연삭 휠을 휠 마운트로부터 제거하고 새로운 연삭 휠과 교환할 필요가 있다.

연삭 휠의 교환 작업에서는, 휠 마운트에 체결된 나사를 풀어 사용한 연삭 휠을 휠 마운트에서 제거하고, 새로운 연삭 휠을 휠 마운트에 부착하여 나사를 조여 고정하고 있다. 이와 같이, 일련의 연삭 휠의 교환 작업에 있어서는, 나사를 풀거나 조이는 작업이 필요하게 되고 있고, 새로운 연삭 휠을 확실하게 휠 마운트에 고정하기 위해 복수의 나사를 사용하고 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2006-224201호 공보

그러나, 휠 마운트에 대한 연삭 휠의 착탈 작업에 있어서 복수의 나사를 사용하면, 연삭 휠의 착탈 작업이 번잡해진다고 하는 문제가 있다.

또, 복수의 나사로 휠 마운트에 연삭 휠을 장착한 경우, 연삭 휠이 장착되는 휠 마운트의 장착면과, 이 장착면에 접촉하는 연삭 휠의 피장착면이 밀착하여, 연삭 휠을 제거하는 것이 어려워지는 경우가 있다.

본 발명은, 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 휠 마운트에 대한 연삭 휠의 착탈 작업을 용이하게 행할 수 있도록 하는 것에 발명의 해결해야 할 과제가 있다.

본 발명은, 판형 워크를 유지하는 유지 테이블과, 상기 유지 테이블이 유지하는 판형 워크를 연삭하는 연삭 수단을 적어도 구비한 연삭 장치에 있어서, 상기 연삭 수단은, 연삭 지석이 환형으로 배열된 링 형상의 연삭 휠과, 상기 연삭 휠이 장착되는 장착면을 포함한 휠 마운트와, 상기 휠 마운트의 중심을 축으로 하여 상기 휠 마운트를 회전 가능하게 연결하는 회전축과, 상기 연삭 휠을 상기 휠 마운트에 장착하고 상기 휠 마운트로부터 이탈시키는 연삭 휠 착탈 수단에 의해 구성되고, 상기 연삭 휠 착탈 수단은, 상기 회전축의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 흡인관과, 상기 휠 마운트의 내부에 배치되고, 상기 제1 흡인관에 연통하여 상기 휠 마운트의 상기 장착면에 배치된 흡인구에 접속되는 제2 흡인관과, 상기 흡인구로부터의 흡인과 상기 흡인의 차단을 전환하는 흡인 밸브와, 상기 흡인 밸브의 작동에 의해 상기 연삭 휠을 상기 휠 마운트의 상기 장착면에 흡인 유지할 때, 상기 연삭 휠을 상기 휠 마운트의 정해진 위치로 가이드하는 가이드부를 구비한다.

상기 연삭 장치에는, 상기 휠 마운트에 장착한 상기 연삭 휠에 연삭수를 공급하는 연삭수 공급 수단을 구비하고 있고, 상기 연삭수 공급 수단은, 상기 제1 흡인관과 평행하게 회전축의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 공급관과, 상기 휠 마운트의 내부에 배치되고, 상기 제1 공급관에 연통하여 상기 장착면에 배치된 공급구에 접속되는 제2 공급관과, 상기 공급구로의 연삭수의 통수(通水)와 상기 통수의 차단을 전환하는 통수 밸브를 구비하고, 상기 통수 밸브가 작동함으로써 상기 연삭 휠로의 연삭수의 공급을 가능하게 하고, 상기 공급구는, 상기 흡인구의 주위를 둘러싸는 형상으로 형성되고, 상기 공급구에 공급되는 연삭수에 의해 상기 휠 마운트의 장착면과 상기 장착면에 장착된 상기 연삭 휠의 피장착면의 간극을 워터 시일하는 것이 바람직하다.

상기 연삭 장치에는, 상기 제1 흡인관에 유체를 공급하는 공급원을 접속하고, 흡인구로부터의 유체의 토출과 상기 토출의 차단을 전환하는 토출 밸브를 구비하고 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 연삭 장치에는, 흡인 밸브를 작동시켜 흡인구로부터의 흡인에 의해 흡인 유지한 연삭 휠의 유지를 홀딩하는 유지 홀딩 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 연삭 장치에 구비하는 연삭 휠 착탈 수단은, 회전축의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 흡인관과 제1 흡인관에 연통하고 휠 마운트의 장착면에 배치된 흡인구에 접속되는 제2 흡인관과, 흡인구로부터의 흡인과 흡인의 차단을 전환하는 흡인 밸브와, 연삭 휠을 휠 마운트의 정해진 위치로 가이드하는 가이드부를 구비하고 있기 때문에, 흡인 밸브를 개방함으로써 연삭 휠을 흡인하고, 가이드부에 의해 휠 마운트의 장착면에 연삭 휠을 어긋나지 않게 가이드하여 흡인 유지시킬 수 있다. 따라서, 나사를 사용하지 않더라도 연삭 휠의 착탈 작업을 용이하게 행할 수 있다.

상기 연삭 장치에는, 휠 마운트에 장착된 연삭 휠에 연삭수를 공급하는 연삭수 공급 수단을 구비하고, 연삭수 공급 수단은, 제1 흡인관과 평행하게 회전축의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 공급관과, 제1 공급관에 연통하고 공급구에 접속되는 제2 공급관과, 공급구로부터 연삭수의 통수와 차단을 전환하는 통수 밸브를 구비하고 있기 때문에, 판형 워크의 연삭중에는, 통수 밸브를 개방함으로써 공급구에 연삭수를 공급하여 휠 마운트의 장착면과 연삭 휠의 피장착면 사이에 형성되는 간극을 워터 시일하여 막을 수 있다. 따라서, 판형 워크의 연삭중에 발생하는 연삭 부스러기 등이 연삭 휠의 피장착면과 휠 마운트의 장착면 사이에 형성된 간극에 침입하는 것을 방지하고, 연삭 휠이 휠 마운트에 지나치게 밀착하지도 않아, 휠 마운트로부터 연삭 휠을 용이하게 제거하는 것이 가능해진다.

또, 상기 연삭 장치의 제1 흡인관에는, 제1 흡인관에 유체를 공급하는 공급원에 접속되고 흡인구로부터의 유체의 연삭 휠을 향한 토출과 토출의 차단을 전환하는 토출 밸브를 구비하고 있기 때문에, 연삭 휠을 휠 마운트로부터 제거할 때 토출 밸브를 개방함으로써, 흡인구로부터 연삭 휠의 피장착면을 향해서 유체를 토출시킬 수 있다. 따라서, 휠 마운트로부터 연삭 휠을 용이하게 제거하는 것이 가능해진다.

또한, 연삭 장치에 구비하는 휠 마운트의 하면에는, 연삭 휠의 흡인 유지를 홀딩하기 위한 복수의 유지 홀딩 수단이 구비되어 있기 때문에, 휠 마운트에 연삭 휠이 흡인 유지되어 장착된 상태를 홀딩할 수 있다. 따라서, 판형 워크의 연삭중에는, 휠 마운트로부터 연삭 휠이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 연삭 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 연삭 휠을 제거한 상태에서의 연삭 수단의 구성을 나타내는 저면도이다.
도 3은 도 2의 a-o-b선 단면도이다.
도 4는 연삭 휠을 나타내는 저면도이다.
도 5는 도 2의 o-c선 단면도이며, (a)는 가이드부가 홈에 수용되어 있는 상태, (b)는 가이드부의 하부가 위치 결정 홈에 삽입되어 있는 상태를 나타낸다.
도 6은 휠 마운트가 연삭 휠을 흡인 유지하면서, 연삭수를 연삭 휠에 공급하는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 7은 휠 마운트에 형성되는 워터 시일부를 나타내는 저면도이다.
도 8은 휠 마운트로부터 연삭 휠을 이탈시키는 상태를 나타내는 단면도이다.

도 1에 나타내는 연삭 장치(1)는, Y축 방향으로 연장되는 장치 베이스(2)와, 장치 베이스(2)의 Y축 방향 후방부측에 세워져 설치된 칼럼(3)에 의해 적어도 구성되어 있다. 장치 베이스(2)의 상면(2a)에는, Y축 방향으로 이동 가능한 이동 베이스(4)가 배치되어 있고, 이동 베이스(4)는, 피가공물을 흡인 유지하는 유지면(5a)을 갖는 유지 테이블(5)을 회전 가능하게 지지하고 있다. 그리고, 이동 베이스(4)가 주름상자(6)의 신축에 따라서 Y축 방향으로 이동함으로써, 유지 테이블(5)을 동일 방향으로 이동시킬 수 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 칼럼(3)의 측방에 있어서, 피가공물에 연삭을 하는 연삭 수단(20)이 연삭 이송 수단(10)에 의해 지지되어 있다. 연삭 이송 수단(10)은, Z축 방향으로 연장되는 볼나사(11)와, 볼나사(11)의 일단에 접속된 모터(12)와, 볼나사(11)와 평행하게 연장되는 한쌍의 가이드 레일(13)과, 내부에 구비한 너트가 볼나사(11)에 나사 결합하고 측부가 가이드 레일(13)에 슬라이딩 접촉하는 승강판(14)을 구비한다. 연삭 이송 수단(10)은, 모터(12)에 의해 구동되어 볼나사(11)가 회동하면, 한쌍의 가이드 레일(13)을 따라서 승강판(14)을 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 승강판(14)에 연결된 연삭 이송 수단(10)을 승강시킬 수 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 연삭 수단(20)은, 연삭 지석(21)을 환형으로 배열한 링 형상의 연삭 휠(22)과, 연삭 휠(22)을 장착시키는 휠 마운트(23)와, 휠 마운트(23)의 중심을 축으로 하여 휠 마운트(23)를 회전 가능하게 연결하는 회전축(24)과, 회전축(24)을 유지하는 홀더(25)와, 연삭 휠(22)을 휠 마운트(23)에 장착하고 휠 마운트(23)로부터 연삭 휠(22)을 이탈시키는 연삭 휠 착탈 수단(30)에 의해 구성되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 휠 마운트(23)의 하면측에는, 복수의 흡인구(201)가 둘레 방향으로 일정한 간격을 두고 형성되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 흡인구(201)는, 연삭 휠 착탈 수단(30)을 구성하는 제1 흡인관(31)에 제2 흡인관(32)을 통해 연통하고 있다. 제1 흡인관(31)은, 회전축(24)의 내부를 길이 방향으로 관통하고 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 회전축(24)의 내부에는, 제1 흡인관(31)과 평행하게 회전축(24)의 길이 방향으로 관통하여, 연삭수가 통과하는 길이 되는 제1 공급관(51)이 형성되어 있고, 제1 공급관(51)에는 휠 마운트(23)에 형성된 제2 공급관(52)에 연통하고 있다. 제2 공급관(52)은, 휠 마운트(23)의 내부에 있어서 회전축(24)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 배치되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 휠 마운트(23)의 외주측의 하면은, 연삭 휠(22)이 장착되는 장착면(200)으로 되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 제2 공급관(52)은, 장착면(200)의 흡인구(201)의 내주측에 있어서 개구되어 있고, 둘레 방향으로 일정한 간격을 두고 배치되어 있다. 한편, 도 3에 나타낸 바와 같이, 연삭 휠(22)의 상면은, 장착면(200)과 대면하는 피장착면(210)으로 되어 있고, 내측에 플랜지(22a)가 형성되어 있다.

연삭 휠 착탈 수단(30)에는, 흡인구(201)로부터의 흡인과 흡인의 차단을 전환하는 흡인 밸브(33)와, 흡인원(34)을 구비하고 있고, 흡인 밸브(33)가 로터리 조인트(7)를 통해 제1 흡인관(31)에 접속되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 흡인관(31)에는, 흡인구(201)로부터의 유체의 토출과 토출의 차단을 전환하는 토출 밸브(35)가, 로터리 조인트(7)를 통해 접속되어 있다. 이 토출 밸브(35)는, 흡인구(201)로의 유체의 공급원이 되는 공급원(36)에 접속되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 휠 마운트(23)의 장착면(200)에는 공급구(55)가 배치되고, 제2 공급관(52)이 공급구(55)에 접속되어 있다. 공급구(55)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 흡인구(201)의 주위를 둘러싸는 형상으로 형성되어 있고, 연삭 휠(22)의 내부에 형성되어 연삭수를 흘리는 유로(56)에 연통하고 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 연삭 휠(22)의 하면측에는, 개개의 연삭 지석(21)이 원환형으로 복수 고착되어 있고, 그 내측에 있어서 유로(56)가 개구되어 있다.

또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 공급관(52)에는, 연삭수의 통수와 통수의 차단을 전환하는 통수 밸브(53)가 로터리 조인트(7)를 통해 접속되어 있다. 통수 밸브(53)는 연삭수의 연삭수 공급원(54)에 접속되어 있다. 제1 공급관(51)과, 제2 공급관(52)과, 통수 밸브(53)와, 연삭수 공급원(54)으로 연삭수 공급 수단(50)이 구성되어 있다.

도 3에 나타내는 연삭 휠 착탈 수단(30)에는, 도 2에 나타내는 휠 마운트(23)의 정해진 위치에 연삭 휠(22)을 가이드하여 장착시키는 가이드부(37)를 휠 마운트(23)의 둘레 방향에 있어서 복수개 구비하고 있다. 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 가이드부(37)에는 직경 방향으로 직경이 확장된 직경 확장부(37a)가 형성되어 있다. 휠 마운트(23)의 내부에는 홈(8)이 형성되고, 홈(8)에 부착된 코일형의 스프링(38)에 가이드부(37)가 삽입 관통되어 있다. 스프링(38)의 상단부는 홈(8)의 내부에 고정되고, 스프링(38)의 하단부는 직경 확장부(37a)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있고, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 스프링(38)이 직경 확장부(37a)를 아래쪽으로 압출함으로써, 가이드부(37)의 하부를 연삭 휠(22)의 내부에 형성된 위치 결정 홈(9)의 내부에 삽입할 수 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 휠 마운트(23)의 하면에는, 복수의 유지 홀딩 수단(40)을 구비하고 있다. 유지 홀딩 수단(40)은, 핀(41)을 축으로 하여 수평 방향으로 회전하는 구성으로 되어 있고, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 유지 홀딩 수단(40)이 플랜지(22a)의 아래쪽에 위치한 상태에서는, 연삭 휠(22)이 휠 마운트(23)에 유지된 상태가 홀딩된다.

이하에서는, 연삭 장치(1)에 의해 피가공물을 연삭하는 동작예에 관해서 설명한다. 판형 워크(W)의 연삭에 앞서서, 연삭 휠 착탈 수단(30)은 휠 마운트(23)에 연삭 휠(22)을 장착하기 위해서, 도 6에 나타내는 흡인원(34)을 작동시키고 흡인 밸브(33)를 개방한다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 연삭 휠(22)의 피장착면(210)을 휠 마운트(23)의 장착면(200)에 대면시키고, 흡인구(201)에 작용하는 흡인력에 의해 휠 마운트(23)의 장착면(200)에 연삭 휠(22)을 흡인하여 끌어당긴다.

이 때, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 연삭 휠(22)의 피장착면(210)과 휠 마운트(23)의 장착면(200)을 근접시켰을 때에, 연삭 휠(22)의 위치 결정 홈(9)의 위쪽에 가이드부(37)를 위치시킨다. 이어서, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 가이드부(37)는, 스프링(38)이 가이드부(37)를 아래쪽으로 압출함으로써 가이드부(37)의 하부가 위치 결정 홈(9)에 삽입된다. 이와 같이 하여, 가이드부(37)가, 휠 마운트(23)에 대한 연삭 휠(22)의 위치 결정을 가이드한다. 이와 같이 하여, 휠 마운트(23)의 장착면(200)에 연삭 휠(22)의 피장착면(210)을 장착시킨다.

도 3에 나타내는 유지 홀딩 수단(40)은, 핀(41)을 축으로 하여 수평 방향으로 회전함으로써, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 연삭 휠(22)의 플랜지(22a)의 하측으로 이동하여, 연삭 휠(22)이 움직이지 않도록 플랜지(22a)를 고정한다.

다음으로, 도 1에 나타내는 판형 워크(W)를 유지 테이블(5)의 유지면(5a)에 배치하고, 유지 테이블(5)에 의해 판형 워크(W)를 흡인 유지시킨다. 이어서, 유지 테이블(5)은, 주름상자(6)의 신축에 따라서 Y축 방향으로 이동하여, 연삭 수단(20)의 아래쪽으로 이동한다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 연삭 수단(20)을 구성하는 회전축(24)은, 중심축(O)을 축으로 하여 연삭 휠(22)을 예컨대 화살표 A 방향으로 회전시키면서, 도 1에 나타낸 연삭 이송 수단(10)이 연삭 수단(20)을 정해진 이송 속도로 Z축 방향으로 하강시킨다. 그리고, 회전하는 연삭 지석(21)이 판형 워크(W)를 압박하면서 정해진 두께에 이를 때까지 연삭한다.

판형 워크(W)의 연삭중에는, 연삭수 공급 수단(50)에 의해 연삭 휠(22)을 향해서 연삭수를 공급한다. 구체적으로는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 연삭수 공급원(54)이 작동하고 통수 밸브(53)를 개방한다. 통수 밸브(53)를 개방하면, 제1 공급관(51) 및 제2 공급관(52)을 통해 공급구(55)에 연삭수(57)가 유입된다.

공급구(55)에 흐른 연삭수(57)는, 연삭 휠(22)의 피장착면(210)과 휠 마운트(23)의 장착면(200) 사이에 형성된 간극(60)을 워터 시일(물에 의한 시일)하여 막아, 워터 시일부(60a)를 형성한다. 이에 따라, 연삭 부스러기가 간극(60)에 침입하는 것을 막을 수 있다. 도 7에서 사선으로 나타낸 바와 같이, 워터 시일부(60a)는 원환형으로 형성된다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 간극(60)을 통과한 연삭수(57)는 유로(56)에 유입되어 연삭 지석(21)을 향해서 공급된다.

다음으로, 연삭 휠(22)의 교환시 등에, 연삭 휠 착탈 수단(30)에 의해 연삭 휠(22)을 휠 마운트(23)로부터 제거하기 위한 동작예에 관해 설명한다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 흡인 밸브(33)를 폐쇄하고 토출 밸브(35)를 개방한다. 이어서, 공급원(36)에 의해 유체(예컨대 에어)를 제1 흡인관(31) 및 제2 흡인관(32)에 공급한다. 그리고, 흡인구(201)로부터 연삭 휠(22)의 피장착면(210)을 향해서 에어를 토출시키고, 연삭 휠(22)을 휠 마운트(23)의 장착면(200)으로부터 이탈시킨다.

이상과 같이, 연삭 장치(1)에 구비된 연삭 휠 착탈 수단(30)은, 회전축(24)의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 흡인관(31)과 제1 흡인관(31)에 연통하고 휠 마운트(23)의 장착면(200)에 배치된 흡인구(201)에 접속되는 제2 흡인관(32)과, 흡인구(201)로부터의 흡인과 흡인의 차단을 전환하는 흡인 밸브(33)와, 연삭 휠(22)을 휠 마운트(23)의 정해진 위치로 가이드하는 가이드부(37)를 구비하고 있기 때문에, 흡인 밸브(33)를 개방함으로써, 흡인원(34)으로부터의 흡인력이 흡인구(201)에 있어서 작용하고 가이드부(37)에 의해 휠 마운트(23)의 장착면(200)에 연삭 휠(22)의 피장착면(210)을 어긋나지 않게 가이드하여 흡인 유지시킬 수 있다. 따라서, 나사를 사용하지 않더라도 연삭 휠(22)의 착탈 작업을 용이하게 행할 수 있다.

연삭 장치(1)에는, 휠 마운트(23)에 장착한 연삭 휠(22)에 연삭수를 공급하는 연삭수 공급 수단(50)을 구비하고, 연삭수 공급 수단(50)은, 제1 흡인관(31)과 평행하게 회전축(24)의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 공급관(51)과, 이것에 연통하고 공급구(55)에 접속되는 제2 공급관(52)과, 공급구로부터 연삭수(57)의 통수와 차단을 전환하는 통수 밸브(53)를 구비하고 있기 때문에, 판형 워크(W)의 연삭중에는, 통수 밸브(53)를 개방함으로써, 공급구(55)에 연삭수(57)을 공급하여 휠 마운트(23)의 장착면(200)과 연삭 휠(22)의 피장착면(210) 사이에 형성되는 간극(60)을 워터 시일하여 막을 수 있다. 이에 따라, 판형 워크(W)의 연삭 부스러기 등이 간극(60)에 침입하는 것을 막고, 연삭 휠(22)이 휠 마운트(23)에 지나치게 밀착하지 않기 때문에, 휠 마운트(23)로부터 연삭 휠(22)을 용이하게 제거하는 것이 가능해진다.

연삭 장치(1)의 제1 흡인관(31)에는, 공급원(36)에 접속되고 흡인구(201)로부터의 유체의 연삭 휠(22)을 향한 토출과 토출의 차단을 전환하는 토출 밸브(35)를 구비하고 있기 때문에, 휠 마운트(23)로부터 연삭 휠(22)을 제거할 때, 토출 밸브(35)를 개방함으로써, 흡인구(201)로부터 연삭 휠(22)을 향해서 유체를 토출시킬 수 있다. 따라서, 휠 마운트(23)로부터 연삭 휠(22)을 용이하게 제거할 수 있다.

또한, 휠 마운트(23)의 하면에는, 연삭 휠(22)의 흡인 유지를 홀딩하기 위한 복수의 유지 홀딩 수단(40)이 구비되어 있기 때문에, 판형 워크(W)의 연삭중에는, 유지 홀딩 수단(40)이 핀(41)을 축으로 하여 수평으로 회전하여 연삭 휠(22)의 플랜지(22a)를 고정하기 때문에, 휠 마운트(23)로부터 연삭 휠(22)이 낙하하는 것을 막을 수 있다.

1 : 연삭 장치 2 : 장치 베이스
2a : 상면 3 : 칼럼
4 : 이동 베이스 5 : 유지 테이블
5a : 유지면 6 : 주름상자
7 : 로터리 조인트 8 : 홈
9 : 위치 결정 홈 10 : 연삭 이송 수단
11 : 볼나사 12 : 모터
13 : 가이드 레일 14 : 승강판
20 : 연삭 수단 21 : 연삭 지석
22 : 연삭 휠 22a : 플랜지
23 : 휠 마운트 24 : 회전축
25 : 하우징 200 : 장착면
201 : 흡인구 210 : 피장착면
30 : 연삭 휠 착탈 수단 31 : 제1 흡인관
32 : 제2 흡인관 33 : 흡인 밸브
34 : 흡인원 35 : 토출 밸브
36 : 공급원 37 : 가이드부
37a : 직경 확장부 38 : 스프링
40 : 유지 홀딩 수단 41 : 핀
50 : 연삭수 공급 수단 51 : 제1 공급관
52 : 제2 공급관 53 : 통수 밸브
54 : 연삭수 공급원 55 : 공급구
56 : 유로 57 : 연삭수
60 : 간극

Claims (4)

1. 판형 워크를 유지하는 유지 테이블과, 상기 유지 테이블이 유지하는 판형 워크를 연삭하는 연삭 수단을 적어도 구비한 연삭 장치에 있어서,
   상기 연삭 수단은, 연삭 지석이 환형으로 배열된 링 형상의 연삭 휠과,
   상기 연삭 휠이 장착되는 장착면을 포함한 휠 마운트와,
   상기 휠 마운트의 중심을 축으로 하여 상기 휠 마운트를 회전 가능하게 연결하는 회전축과,
   상기 연삭 휠을 상기 휠 마운트에 장착하고 상기 휠 마운트로부터 상기 연삭 휠을 이탈시키는 연삭 휠 착탈 수단
   에 의해 구성되고,
   상기 연삭 휠 착탈 수단은, 상기 회전축의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 흡인관과,
   상기 휠 마운트의 내부에 배치되고, 상기 제1 흡인관에 연통하여 상기 휠 마운트의 상기 장착면에 배치된 흡인구에 접속되는 제2 흡인관과,
   상기 흡인구로부터의 흡인과 상기 흡인의 차단을 전환하는 흡인 밸브와,
   상기 흡인 밸브의 작동에 의해 상기 연삭 휠을 상기 휠 마운트의 상기 장착면에 흡인 유지할 때, 상기 연삭 휠을 상기 휠 마운트의 정해진 위치로 가이드하는 가이드부를 구비하는 연삭 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 휠 마운트에 장착한 상기 연삭 휠에 연삭수를 공급하는 연삭수 공급 수단을 구비하고,
   상기 연삭수 공급 수단은,
   상기 제1 흡인관과 평행하게 상기 회전축의 내부를 길이 방향으로 관통하는 제1 공급관과,
   상기 휠 마운트의 내부에 배치되고, 상기 제1 공급관에 연통하여 상기 장착면에 배치된 공급구에 접속되는 제2 공급관과,
   상기 공급구로의 연삭수의 통수(通水)와 상기 통수의 차단을 전환하는 통수 밸브
   를 구비하고,
   상기 통수 밸브가 작동함으로써 상기 연삭 휠로의 연삭수의 공급을 가능하게 하고,
   상기 공급구는, 상기 흡인구의 주위를 둘러싸는 형상으로 형성되고, 상기 공급구에 공급되는 연삭수에 의해 상기 휠 마운트의 장착면과 상기 장착면에 장착된 상기 연삭 휠의 피장착면의 간극을 워터 시일하는 것인 연삭 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 흡인관에 유체를 공급하는 공급원을 접속하고, 상기 흡인구로부터의 유체의 토출과 상기 토출의 차단을 전환하는 토출 밸브를 구비하는 연삭 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 흡인 밸브를 작동시켜 상기 흡인구로부터의 흡인에 의해 흡인 유지한 상기 연삭 휠의 유지를 홀딩하는 유지 홀딩 수단을 구비한 연삭 장치.

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