KR20140027876A

KR20140027876A - 표면 처리 장치

Info

Publication number: KR20140027876A
Application number: KR1020130090624A
Authority: KR
Inventors: 테루유키 호타; 히사미츠 야마모토; 마사유키 우츠미; 타카히로 이시자키
Original assignee: 우에무라 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2012-08-27
Filing date: 2013-07-31
Publication date: 2014-03-07
Also published as: TW201408820A; CN103628049B; US20140053774A1; KR102021395B1; CN103628049A; TWI592520B; JP2014043613A; US9120113B2; JP5986848B2

Abstract

표면 처리 장치의 간소화, 소형화 및 도금 품질의 향상, 도금액량의 소량화를 도모하기 위하여, 베스부(100)는 판형상 워크(10)를 따라 이동하여 낙하한 처리액(Q)을 받기 위한 액 받이부(2)와; 판형상 워크(10)에 적용하고자 하는 처리액(Q)을 체류시키기 위한 액 체류부(4)와; 액 체류부(4)로부터 흘러 넘쳐 낙하한 처리액(Q)을 판형상 워크(10)를 향하여 유출시키기 위한 액 유출부(6);를 구비한다. 액 유출부(6)는 액 체류부(4)의 측벽(4a)(또는 액 받이부(2)의 측벽(2a))과의 연결부(5)으로부터 선단(6a)을 돌출시켜서 구성된다.

Description

표면 처리 장치{Apparatus for surface treatment}

본 발명은 프린트 기판 등의 판형상 워크에 무전해 도금을 실시하는 표면 처리 장치에 관한 것이다.

종래는 도 16에 나타낸 바와 같이, 래크에 수용된 복수의 워크(10)를, 베스 내에 저장한 처리액(Q) 중에 침지시켜 무전해 도금 처리를 실시하고 있었다(특허 문헌 1). 여기서, 무전해 도금이란, 통전을 실시하는 전기 도금과는 달리, 비처리물을 도금액에 침지시키는 것만으로 도금하는 것이 가능한 도금 방법이다. 무전해 도금에 의해, 부도체(예를 들면, 플라스틱, 세라믹 등의 절연물)에 대하여도, 도금하는 것이 가능하다.

또한, 도 17에 나타낸, 판형상 워크(10)에 근접하여 배치한 측벽(W1, W2)을 구비한 베스(V) 내에 있어서, 판형상 워크(10)가 측벽(W1, W2)에 접촉하는 것을 방지하기 위하여 상하 방향의 처리액(Q)의 흐름을 만들어 판형상 워크(10)를 요동시키는 전해 도금 장치(특허 문헌 2)나, 판형상 워크(10)가 하강할 때에 처리액(Q) 중에 원활히 끌어 들이기 위하여, 베스(V)의 상측으로부터 처리액(Q)을 테이퍼형상의 개구로부터 하측으로 흘려 넣는 전해 도금 장치(특허 문헌 3, 4)도 존재했다.

그 밖에도, 워크를 반송하기 위한 가이드 레일 상에 돌기를 형성해 두고, 반송 시에 이 돌기를 타넘게 함으로써, 워크에 충격을 주어 탈수를 실시하는 기술도 존재한다(특허 문헌 5의 도 6).

특허 문헌 1: 일본 특허공개 2011-32538호 공보 특허 문헌 2: 일본 실용신안 등록 제3115047호 공보 특허 문헌 3: 일본 특허공개 2006-118019호 공보 특허 문헌 4: 일본 특허공개 2004-339590호 공보 특허 문헌 5: 일본 특허공개 2010-189736호 공보

그러나, 도 16에 나타낸 특허 문헌 1의 기술에서는 래크를 침지시키기 위한 승강 기구가 필요하기 때문에, 무전해 도금용의 설비가 복잡화, 대형화된다는 문제나, 베스 내에 축적된 무전해 도금 처리액(Q) 중에 침지시킬 필요가 있기 때문에, 많은 처리액량이 필요하게 된다는 문제가 있다.

또한, 특허 문헌 2~4의 기술을 무전해 도금에 사용한 경우, 처리액(Q)이 베스(V) 내의 측면(W1, W2)을 따라 이동하게 되어, 소망하는 도금 품질을 얻을 수 없을 우려가 있다. 또한, 다량의 도금액이 필요하게 된다고 하는 문제도 있다.

또한, 특허 문헌 5의 기술에서는, 반송 시에 단차를 통과했을 때에 피처리물에 일시적으로 충격을 줄 뿐이며, 확실하게 물기 제거를 행할 수 없다.

따라서 본 발명의 목적은 상기한 문제를 해소할 수 있는 베스부 및 그를 갖는 표면 처리 장치를 제공하는 데 있다.

(1) 본 발명의 표면 처리 장치는

피처리물을 반송하는 반송용 행거와;

내부에 있어서, 상기 반송용 행거에 의해 반송된 상기 피처리물에 처리액을 부착시키기 위한 베스부와;

상기 반송용 행거를, 상기 베스부 내에 반송하는 반송 기구;

를 구비한 표면 처리 장치이며,

상기 베스부가,

상기 피처리물에 적용된 처리액을 받기 위한 액 받이부와,

상기 액 받이부보다 상측에 설치되고, 상기 피처리물에 적용하고자 하는 상기 처리액을 체류시키기 위한 액 체류부와, 상기 액 체류부로부터 흘러 넘쳐서 낙하한 상기 처리액을 피처리물을 향하여 유출시키기 위한 액 유출부로서, 선단이 상기 액 체류부 또는 상기 액 받이부와의 연결부로부터 돌출하도록 구성된 액 유출부를 구비한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 돌출부를 사용하여 판형상 워크에 적당량의 처리액을 적용하여, 무전해 도금을 하는 것이 가능해지고, 도금 품질의 향상 및 처리액량의 소량화를 도모할 수 있다.

(2) 본 발명의 표면 처리 장치는

상기 반송용 행거를 대략 수평 방향으로 반송하기 위한 가이드 레일을 구비하고 있으며,

상기 반송용 행거가, 상기 가이드 레일에 형성된 충격 발생부의 위를 소정 회수만큼 왕복 이동하도록 제어부에 의해 제어되는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 판형상 워크에 충격을 주어, 부착되는 기포를 제거할 수 있다.

(3) 본 발명의 표면 처리 장치는

상기 반송용 행거가, 상기 가이드 레일에 형성된 복수의 충격 발생부의 위를 이동하도록 제어부에 의해 제어되는 것을 특징으로 한다.

(4) 본 발명의 표면 처리 장치는

상기 반송용 행거를 대략 수평 방향으로 반송하기 위한 가이드 레일을 복수개 구비하고 있으며,

상기 반송용 행거를, 상기 복수의 가이드 레일에 걸쳐서 부착된 지지 부재에 고정한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 판형상 워크의 진동을 저감하고, 또한, 반송 기구를 지지하는 구조체(프레임 등)의 왜곡을 저감할 수 있다.

(5) 본 발명의 표면 처리 장치는

상기 표면 처리 장치를, 상기 반송 방향에 대하여 수직 방향으로 인접하여 복수열 배치하고,

인접하는 표면 처리 장치의 사이에서 가이드 레일을 공용한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 표면 처리 장치의 컴팩트화를 도모하면서, 생산성을 높일 수 있다.

(6) 본 발명의 표면 처리 장치는

상기 액 받이부와 상기 액 체류부를 순환 펌프를 통하여 연통시킨 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 표면 처리 장치 전체에서 사용되는 처리액의 총량을 줄일 수 있다.

(7) 본 발명의 표면 처리 장치는

상기 액 받이부의 측벽에, 연직 방향으로 연신되는 노치로서, 상기 반송용 행거가 이동했을 때에, 상기 피처리물이 통과하는 노치가 형성되어 있으며,

상기 액 받이부에 축적된 처리액의 액면이, 상기 노치의 하단보다 아래에 위치하도록, 상기 액 체류부에 처리액이 공급되는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 액 받이부(2)에 축적된 처리액(Q)이, 액 받이부의 노치로부터 흘러 넘치는 것을 방지할 수 있다.

(8) 본 발명의 베스부는

처리액을 체류시키기 위한 액체류부와,

상기 액 체류부로부터 흘러 넘쳐 낙하한 상기 처리액을 피처리물을 향해 유출시키기 위한 액 유출부로서, 선단이 상기 액 체류부와의 연결부로부터 돌출하도록 구성된 액 유출부를 구비한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 판형상 워크에 적당량의 처리액을 적용하여 무전해 도금을 하는 것이 가능해지기 때문에, 도금 품질의 향상을 도모할 수 있다.

(9) 본 발명의 베스부는

상기 베스부가, 상기 피처리물에 적용된 처리액을 받기 위한 액 받이부를 구비하고 있으며,

상기 액 받이부의 측벽에, 연직 방향으로 연신되는 노치로서, 상기 반송용 행거가 이동했을 때에, 상기 피처리물이 통과하는 노치가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 반송용 행거를 수평 방향으로 이동시키는 것만으로, 일련의 무전해 도금 처리를 실시하는 것이 가능해지고, 승강 기구가 불필요해지는 등에 의해, 장치의 구조를 간소화, 소형화할 수 있다.

(10) 본 발명의 베스부는

상기 액 유출부의 양단으로부터 간격을 두어, 상기 노치가 형성된 상기 액 받이부의 측벽을 형성한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 슬릿으로부터 처리액이 새는 것을 방지할 수 있다.

(11) 본 발명의 베스부는

상기 액 유출부의 선단이, 상기 액 받이부 또는 상기 액 체류부와의 연결부로부터 대략 수평 방향을 향하여, 또는 수평 방향보다 하향으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 액 체류부로부터 흘러 넘친 처리액을, 돌출부의 선단으로부터 판형상 워크를 향하여 유출시킬 수 있다.

(12) 본 발명의 베스부는

상기 액 유출부의 상면에, 상기 피처리물를 향하는 방향으로 연신되는 홈을 성형한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 액 체류부로부터 흘러 넘친 처리액이, 표면 장력에 의해 돌출부의 중심 부근에 모이는 것을 방지하여, 판형상 워크에 대하여 균일한 처리액량을 적용하기 위함이다.

(13) 본 발명의 베스부는

상기 액 유출부의 선단 부근에 있어서의 처리액의 유량이, 중앙 부근보다 양단부 부근의 쪽이 커지도록, 상기 홈을 성형한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 판형상 워크에 적용된 처리액이, 판형상 워크를 따라 이동하는 동안에, 표면 장력에 의해 중심 부근에 모이는 것을 고려하여, 판형상 워크에 대하여 균일한 처리액량을 부여할 수 있다.

(14) 본 발명의 베스부는

상기 액 체류부 및 상기 액 유출부로 구성되는 액 낙하 기구를, 상기 베스부 내에 복수단 배치한 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 복수단의 위치에 형성된 돌출부로부터, 판형상 워크에 대하여 소망하는 처리액량을 부여할 수 있다.

(15) 본 발명의 베스부는

처리액을 체류시키기 위한 액 체류부와;

상기 액 체류부로부터 흘러 넘친 처리액을 낙하시키도록 구성한 액 낙하 부재와;

피처리물에 적용된 처리액을 받기 위한 액 받이부;를 구비한, 베스부이며,

상기 액 받이부의 측벽에 형성되는 연직 방향으로 연신되는 노치로서, 상기 반송용 행거가 이동했을 때에, 상기 피처리물이 통과하는 노치가 상기 액 받이부에 형성되어 있으며,

상기 액 낙하 부재의 양단으로부터 간격을 두어, 상기 노치가 형성된 상기 액 받이부의 측벽을 형성한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 표면 처리 장치의 간소화, 소형화 및 도금 품질의 향상, 도금액량의 소량화를 도모할 수 있다.

도 1은 표면 처리 장치(300)를 상측에서 본 배치도이다.
도 2는 표면 처리 장치(300)를 α방향에서 본 측면도이다.
도 3은 표면 처리 장치(300)의 일부인 무전해 구리 도금 베스(200)의 β-β 단면도이다.
도 4는 무전해 구리 도금 베스(200)을 상측에서 본 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 무전해 구리 도금 베스(200) 등에 사용되는 베스부(100)의 사시도이다.
도 6A는 액 유출부(6)의 단면 형상을 나타낸 도면, 도 6B는 액 유출부(6)의 선단(6a)으로부터 유출시킨 처리액(Q) 상태를 나타낸 단면도이다.
도 7A는 반송 기구(18)의 이동 동작을 제어하기 위한 접속 관계를 나타낸 도면이다.
도 7B는 제3 수세 베스(312)에서 무전해 구리 도금 베스(200) 사이에 있어서의 가이드 레일 (14)의 단면을 나타낸 도면이다.
도 8은 2단의 액 유출 기구(상단 액 유출 기구(3a), 하단 액 유출 기구(3b))를 형성한 무전해 구리 도금 베스(200’)를 나타낸 도면이다.
도 9A는 무전해 구리 도금 베스(200’)의 상단의 액 유출부(6’)의 단면 형상을 나타낸 도면이며, 도 9B는 하단의 액 유출부(6”)의 단면 형상을 나타낸 도면이다.
도 10은 다른 실시형태에 있어서의 표면 처리 장치(인접하여 복수열 배치)의 구성을 나타낸 도면이다.
도 11은 다른 실시형태에 있어서의 홈(7’, 7”)의 단면 형상을 나타낸 도면이다.
도 12는 다른 실시형태에 있어서의 액 유출부(6)의 구성을 나타낸 도면이다.
도 13은 다른 실시형태에 있어서의 베스부의 사시도이다.
도 14는 다른 실시형태에 있어서의 반송용 행거(16’)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 15는 다른 실시형태에 있어서의 반송 보조 장치를 나타낸 도면이다.
도 16은 종래 기술에 있어서의 무전해 도금 처리 방법을 나타낸 도면이다.
도 17은 종래 기술에 있어서의 처리 베스(V)의 구조를 나타낸 도면이다.
도 18은 다른 실시형태의 표면 처리 장치(300’)를 상측에서 본 배치도이다.
도 19는 다른 실시형태의 무전해 구리 도금 베스(200)의 β-β 단면도(도 1)이다.
도 20은 다른 실시형태의 무전해 구리 도금 베스(200)를 상측에서 본 상태를 나타낸 도면이다.

1. 표면 처리 장치(300)의 구성

먼저, 도 1 및 도 2를 사용하여, 본 발명의 표면 처리 장치(300)의 구성에 대하여 설명한다. 또한, 도 1은 표면 처리 장치(300)를 상측에서 본 배치도이다. 도 2는 도 1에 나타낸 표면 처리 장치(300)를 α방향에서 본 측면도이다. 또한, 도 1에서는 도 2에 나타낸 반송용 행거(16) 및 반송 기구(18)는 생략하고 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 표면 처리 장치(300)에는 피처리물인 판형상 워크(10)(도 2)의 반송 방향 X를 따라서, 로드부(302), 제1 수세 베스(304), 디스미어(desmear) 베스(306), 제2 수세 베스(308), 전처리 베스(310), 제3 수세 베스 (312), 무전해 구리 도금 베스(200), 수세 베스(314), 언로드부(316)가 순서대로 설치되고 있으며, 그 순서로, 무전해 구리 도금에 필요한 각 공정이 실시된다. 각 베스에는 도 2에 나타낸 반송용 행거(16)의 통로를 형성하는 노치(8)(도 1)가 형성되어 있다. 또한, 각 공정의 상세에 대해서는 후술한다.

표면 처리 장치(300)는 도 2에 나타낸 클램프(15)에 의해 판형상 워크(10)를 파지하여 반송하는 반송용 행거(16)와, 반송용 행거(16)를 반송하는 반송 기구(18)를 더 구비하고 있다. 또한, 도 2는 판형상 워크(10)가 로드부(302)에 의해 반송용 행거(16)에 부착된 상태를 나타내고 있다.

로드부(302)에 의해 판형상 워크(10)이 부착된 후, 반송 기구(18)는 수평 방향 X로의 이동을 시작하고, 그에 따라서, 판형상 워크(10)가 각 베스 내(무전해 구리 도금 베스(200) 등)를 통과한다. 그 후, 반송 기구(18)는 최종적으로, 언로드부(316)에 있어서 정지하고, 도금 처리가 실시된 판형상 워크(10)가 반송용 행거(16)로부터 분리되게 된다.

도 3은 표면 처리 장치(300)의 일부를 구성하는 무전해 구리 도금 베스(200)(도 1)의 β-β 단면도이다. 도 4는 도 3에 나타낸 무전해 구리 도금 베스(200)를 상측에서 본 상태를 나타낸 도면이다. 또한, 도 3 및 도 4는 반송용 행거(16) 및 반송 기구(18)가 무전해 구리 도금 베스(200)(도 1 및 도 2) 내까지 도달했을 때의 상태를 나타내고 있다.

도 3에 나타낸 무전해 구리 도금 베스(200)는 프레임(56) 위에 탑재된 베스부(100)와, 베스부(100) 내의 처리액(Q)(무전해 구리 도금액)을 순환시키기 위한 순환 펌프(50)를 구비하고 있다.

베스부(100)는 판형상 워크(10)를 따라 이동하여 낙하한 처리액(Q)을 받기 위한 액 받이부(2)와, 판형상 워크(10)에 적용하고자 하는 처리액(Q)을 체류시키기 위한 액 체류부(4)와, 액 체류부(4)로부터 흘러 넘쳐 낙하한 처리액(Q)을 판형상 워크(10)를 향하여 유출시키기 위한 액 유출부(6)를 구비하고 있다. 액 유출부(6)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 액 체류부(4)의 측벽(4a)(또는 액 받이부(2)의 측벽(2a))과의 연결부(5)로부터 선단(6a)을 돌출시켜서 구성되어 있다. 이 베스부(100)의 내부에 있어서, 반송용 행거(16)에 의해 파지된 판형상 워크(10)에, 처리액(Q)(무전해 구리 도금액)이 적용된다.

이와 같이, 도 3에 저장한 처리액(Q) 중에 판형상 워크(10)를 침지시키지 않고, 순환시킨 처리액(Q)을 판형상 워크(10)를 따라 이동하게 하는 방식을 채용함으로써, 표면 처리 장치(300) 전체에서 사용되는 처리액(Q)의 총량을 줄일 수 있다.

반송 기구(18)는 가이드 레일(12, 14), 지지 부재(20) 및 반송 롤러(22, 24)로 구성된다.

도 3에 나타낸 지지 부재(20)의 바닥부에는 반송 기구(18)가 가이드 레일(12, 14) 위를 이동하기 위한 반송 롤러(22, 24)가 부착되어 있다. 반송 롤러(22, 24)는 모터(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 또한, 가이드 레일(12, 14)은 각각 프레임(52, 54) 위에 고정되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 반송용 행거(16)는 2개의 가이드 레일(12, 14)에 걸쳐서 현가(懸架)하도록 부착된 지지 부재(20)의 하측에 고정되어 있다. 이에 따라, 판형상 워크(10)의 진동을 저감하고, 반송 기구(18)를 지지하는 구조체(가이드 레일(12, 14), 프레임(52, 54) 등)의 왜곡을 저감할 수 있다.

또한, 도 4에 나타낸 가이드 레일(12, 14) 위의 소정 위치에는 복수개의 자석(21)이 매립되어 있다. 반송 기구(18)는 가이드 레일(12, 14) 위의 자석(21)을 검지하기 위한 자기 센서(19)를 구비한다. 자기 센서(19)는 지지 부재(20의 하측(가이드 레일(14)측의 1부위)에 설치되어 있다.

이에 따라, 무전해 구리 도금 베스(200) 내로 이동한 반송용 행거(16)를, 소정 위치(예를 들면, 도 4에 나타낸 무전해 구리 도금 베스(200)의 중앙 위치)에 정지시킬 수 있다.

각 베스에 설치되는 순환 펌프(50)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 액 받이부(2)의 바닥부에 접속되고, 점선 화살표로 나타낸 바와 같이, 액 받이부(2)와 액 체류부(4)는 순환 펌프(50)를 통하여 연통되어 있다. 이에 따라, 액 받이부(2)의 바닥부에 축적된 처리액(Q)이, 순환 펌프(50)에 의해, 다시 액 체류부(4)에 공급된다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 액 유출부(6)의 양단으로부터 간격을 두어, 판형상 워크(10) 및 반송용 행거(16)의 개구를 형성하는 노치(8)를 갖는 액 받이부(2)의 측벽(2b)이 형성되어 있다. 슬릿(8)으로부터 처리액(Q)이 새는 것을 방지하기 위함이다.

[베스부(100)의 구조]

도 5에, 베스부(100)의 사시도를 나타낸다. 또한, 베스부(100)는 도 1에 나타낸 무전해 구리 도금 베스(200) 이외의 각 베스에도 사용된다. 각 베스의 구조는 동일하고, 사용되는 처리액(도금액, 디스미어액, 세정수 등)의 종류만이 상이한 점이 다르다.

베스부(100)는 상술한 바와 같이, 액 받이부(2)와, 액 체류부(4)와, 액 유출부(6)에 의해 구성되어 있으며, 이것들은 PVC(폴리염화비닐) 등의 소재를 가공, 접착 등을 하여 조립함으로써, 일체의 부재로서 성형할 수 있다.

액 받이부(2)는 피처리물인 판형상 워크(10)(도 5에 점선으로 나타낸다)에 적용된 처리액을 하측에서 받기 위하여 그릇형상의 부재로 구성된다. 액 받이부(2)의 측벽(2a)(액 체류부(4)의 측벽(4a)과 동일면)은 연결부(5)에 의해 액 유출부(6)에 연결되어 있다.

액 체류부(4)는 판형상 워크(10)에 적용하고자 하는 처리액(Q)을 체류시키기 위하여 그릇형상의 부재로 구성되어 있으며, 액 받이부(2)보다 상측에 설치되어 있다. 처리액(Q)을 체류시키기 위하여, 액 체류부(4)는 공급받은 처리액(Q)을 체류시키기 위한 공간을 내부에 가지고 있으며, 그 상부에는 개구(4a)가 형성되어 있다.

처리액(Q)이 계속하여 공급되고, 공급된 처리액(Q)의 액면이 액 체류부(4)의 개구(4a)를 넘으면 오버플로우 상태가 되어, 긴 가장자리(4b)로부터 액 유출부(6)의 쪽으로 처리액(Q)이 흘러 넘치게 된다. 또한, 양 사이드의 짧은 가장자리(4b)로부터 흘러 넘친 처리액(Q)은 액 받이부(2)에 떨어진 후, 순환 펌프(50)에 의해 다시 액 체류부(4)에 공급되게 된다.

액 유출부(6)는 액 체류부(4)로부터 흘러 넘친 처리액(Q)이 판형상 워크(10)를 향하여 낙하하도록, 단부를 액 체류부(4)의 긴 가장자리(4b)에 연결한 판형상의 부재에 의해 구성되어 있다. 또한, 액 유출부(6)의 선단(6a)은 도 3에 나타낸 바와 같이, 액 체류부(4)의 측벽(4a)(또는 액 받이부(2)의 측벽(2a))과의 연결부(5)로부터 판형상 워크(10)를 향하여 돌출되어 있다. 이 때문에, 처리액(Q)이, 액 받이부(2)의 측벽(2a)을 따라 이동하는 것을 방지할 수 있다.

게다가, 처리액(Q)을, 액 유출부(6)의 선단(6a)으로부터 기세 좋게 유출시키기 위하여, 액 유출부(6) 및 액 유출부(6)의 선단(6a)은 액 받이부(2)의 측벽(2a)으로부터 수평 방향보다 하향으로 경사지게 형성되어 있다.

도 6A에, 액 유출부(6)의 단면 형상을 나타낸다. 도 6A에 나타낸 바와 같이, 액 유출부(6)의 상면에는 판형상 워크(10)(도 5에 점선으로 나타낸다)를 향하는 방향으로 평행하게 연장되는 다수의 홈(7)이, 소정 간격으로 성형되어 있다. 액 유출부(6)에 홈(7)을 형성한 것은 액 체류부(4)로부터 흘러 넘친 처리액(Q)이, 표면 장력에 의해 액 유출부(6)의 중심 부근에 모일 우려가 있어, 이것을 방지하기 위함이다. 예를 들면, 홈(7)의 깊이를 1mm, 폭 길이를 2mm, 배치 간격을 2mm 정도로 설정할 수 있다.

이상과 같은 구성에 의해, 액 체류부(4)를 오버플로우 상태로 하여, 액 체류부(4)의 긴 가장자리(4b)로부터 흘러 넘치게 한 처리액(Q)을, 도 6B에 나타낸 바와 같이, 액 유출부(6)를 따라 이동하여 판형상 워크(10)를 향하여 낙하시키고, 게다가 처리액(Q)을 액 유출부(6)의 선단(6a)로부터 기세 좋게 유출시켜서 판형상 워크(10)의 양면(표면 및 이면)에 직접 적용할 수 있다. 이에 따라, 예를 들면, 무전해 구리 도금 베스(200) 내에서 실시되는 무전해 도금 처리의 품질 향상, 사용하는 처리액의 소량화를 도모할 수 있다.

판형상 워크(10)의 어느 위치에 처리액(Q)이 적용되는지는 도 6B에 나타낸 액 유출부(6)의 선단(6a)으로부터 판형상 워크(10)까지의 거리 D나, 액 유출부(6)의 각도(수평 방향에 대한 유출 각도) θ, 액 체류부(4)의 개구(4a)(긴 가장자리(4b))와 액 유출부(6)의 선단(6a)과의 높낮이 차이 h 등의 조건에 따라서 달라진다. 즉, 거리 D가 너무 크거나 유출 각도 θ가 너무 크거나 높낮이 차이 h가 너무 작으면, 처리액(Q)이 판형상 워크(10)에 적용되지 않을(도달하지 않을) 가능성이 있다(도 6B의 흐름(b)).

한편, 판형상 워크(10)와 액 유출부(6)의 선단(6a)의 거리 D가 너무 작으면, 반송시에 판형상 워크(10)가 액 유출부(6)에 접촉되거나 처리액(Q)이 판형상 워크(10)와 액 유출부(6) 사이에 머무를 가능성이 있다. 또한, 유출 각도 θ가 너무 작거나 높낮이 차이 h가 너무 크면, 판형상 워크(10)에 적용되는 충격으로 거품이 발생하는 등의 문제가 생길 가능성이 있다. 이 때문에, 도 6B의 흐름 (a)에 나타낸 바와 같이, 처리액(Q)이 소망한 위치에, 소망한 기세로 적용되도록, 판형상 워크(10)까지의 거리 D, 유출 각도 θ, 높낮이 차이 h를 설계한다. 예를 들면, 액 유출부(6)의 각도(수평 방향에 대한 유출 각도) θ는 수평 방향에 대하여 하측에 30°~60°로 설계하는 것이 더욱 바람직하고, 수평 방향에 대하여 하측에 45°로 하는 것이 최적이다.

또한, 도 5에 나타낸 액 받이부(2)의 측벽(2b)에는 연직 방향으로 연신되는 노치인 슬릿(8)이 성형되어 있다. 이에 따라, 반송용 행거(8)가 반송되었을 때에, 판형상 워크(10)가 슬릿(8)을 통과할 수 있다. 또한, 슬릿(8)의 하단(8a)을 너무 낮게 하면, 액 받이부(2)에 축적된 처리액(Q)이 흘러 넘쳐, 외부에 유출될 우려가 있다.

이 때문에, 액 받이부(2)에 축적된 처리액(Q)의 액면 H(도 3)이, 항상 슬릿(8)의 하단(8a)보다 아래에 위치하도록, 처리액(Q)의 공급량을 조정할 필요가 있다. 이 실시형태에서는, 액 받이부(2)에 축적된 처리액(Q)의 액면 H(도 3)이 슬릿(8)의 하단(8a)보다 아래에 위치하도록, 사용하는 처리액(Q)의 총량을 결정하고, 아울러, 순환 펌프(50)를 통하여 액 받이부(2)와 액 체류부(4)를 연통시킴으로써, 이러한 문제를 해소하고 있다.

2. 표면 처리 장치(300)에 있어서의 각 공정의 내용

도 7 등을 사용하여, 표면 처리 장치(300)에 있어서 실시되는 각 공정의 내용에 대하여 설명한다. 또한, 이 실시형태에서는 표면 처리 장치(300)의 각 베스 내에서 사용되는 처리액(Q)은 각 베스의 순환 펌프(50)에 의해 상시 순환되고 있는 것으로 한다.

도 7A는 반송 기구(18)의 동작을 제어하는 제어부의 접속 관계를 나타낸 도면이다.

도 7A에 나타낸 바와 같이, 자기 센서(19)(도 4)는 PLC(30)에 접속되어 있으며, 가이드 레일(14) 위에 배치된 자석의 상부에 도달했음을 검지한다. 자기 센서(19)가 검지한 신호는 PLC(30)에 부여된다. 신호를 받은 PLC(30)는 모터(28)를 온/오프하여, 반송 롤러(22, 24)의 동작(전진, 후퇴, 정지 등)을 제어한다.

먼저, 도 1에 나타낸 로드부(302)에 있어서, 작업자 또는 부착 장치(도시하지 않음)에 의해, 도금 처리의 대상인 판형상 워크(10)가 반송용 행거(16)에 부착된다(도 2에 나타낸 상태).

그 후, 작업자가 반송 스위치(도시하지 않음)를 누르면, 반송용 행거(16)는 가이드 레일(12, 14)을 따라서, 제1 수세 베스(304) 내로 이동한다. 즉, PLC(30)가, 모터(28)를 온(ON)하여 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다.

다음으로, 제1 수세 베스(304)에서는, 판형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 적용함으로써, 수세 처리가 행해진다. 반송용 행거(16)는 제1 수세 베스(304)에서 소정 시간만큼 정지하고, 그 후, 디스미어 베스(306) 내로 이동한다.

예를 들면, PLC(30)는 자기 센서(19)로부터 제1 수세 베스(304)의 중앙에 도달했음을 나타내는 신호를 받고 나서, 모터(28)를 1분간만 정지시킨다. 그 후, 모터(28)를 온(ON) 하여 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다. 또한, 제2 수세 베스(308), 제3 수세 베스(312), 제4 수세 베스(314)에서도 마찬가지의 제어가 실시된다.

디스미어 베스(306)에서, 반송용 행거(16)는 소정 시간(예를 들면, 5분간)만 정지하고, 판형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 디스미어 처리액(팽윤액, 레진 에칭액, 중화액 등)이 적용된다. 디스미어 처리란, 판형상 워크(10)에 구멍을 형성할 때 등에 남은 가공시의 스미어(수지)를 제거하는 처리이다.

예를 들면, PLC(30)는 자기 센서(19)로부터 디스미어 베스(306)의 중앙에 도달했음을 나타내는 신호를 받고 나서, 모터(28)를 5분간만 정지시킨다. 그 후, 모터 (28)를 온(ON)하여 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다. 이하의 전처리 베스(310)에서도 마찬가지의 제어가 실시된다.

다음으로, 제2 수세 베스(308)에서는, 판형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 적용함으로써, 수세 처리가 실시된다. 반송용 행거(16)는 제2 수세 베스(308)에서 소정 시간(예를 들면, 1분간)만 정지하고, 그 후, 전처리 베스(310) 내로 이동한다.

전처리 베스(310)에서, 반송용 행거(16)는 소정 시간(예를 들면, 5분간)만 정지하고, 판형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 전처리액이 적용된다.

다음으로, 제3 수세 베스(312)에서는 판형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 적용함으로써, 수세 처리가 실시된다. 반송용 행거(16)는 제3 수세 베스(312)에서 소정 시간(예를 들면, 1분간)만 정지한다.

그 후, 무전해 구리 도금 베스(200)(도 3, 도 4) 내로 이동할 때까지, 이하에 나타낸 왕복 이동을 소정 회수만 실시한다. 판형상 워크(10)에 관통구멍 등의 구멍이 형성되어 있는 경우, 거기에 공기(기포)가 쌓여 처리액(Q)이 판형상 워크(10)에 부착되지 않을 우려가 있기 때문에, 무전해 구리 도금 처리를 실시하기 전에, 공기(기포)를 확실히 제거할 필요가 있기 때문이다.

도 7B에, 제3 수세 베스(312)와 무전해 구리 도금 베스(200)(도 1) 사이에 있어서의 가이드 레일(14)의 단면도를 나타낸다. 도 7B 및 도 1에 나타낸 바와 같이, 가이드 레일(14)에는 충격 발생부인 볼록부(26)가 1개 형성되어 있다. 반송 롤러(24)가, 이 볼록부(26)를 타 넘은 충격에 의해, 처리액(Q)의 물기 제거를 할 수 있다.

예를 들면, PLC(30)는 자기 센서(19)로부터 도 7B에 나타낸 자석(21)이 중앙에 도달했다는 것(즉, 반송 롤러(24)가 볼록부(26)를 타 넘은 것)을 나타낸 신호를 받고 나서, 반송 롤러(22, 24)를 소정 거리만큼 후퇴 구동시키도록 모터(28)를 제어한다(도 7B에 나타낸 Y1방향). 그 후, 다시 자석(21)을 검지할 때까지 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다(도 7B에 나타낸 Y2 방향). 상기 전후 이동을 소정 회수(예를 들면, 3회 왕복)만큼 반복한 후, 무전해 구리 도금 베스(200) 내의 중앙 위치(도 4)에 정지한다.

무전해 구리 도금 베스(200)에서, 반송용 행거(16)는 소정 시간만 정지하고, 판형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 무전해 구리 도금액이 도포된다.

예를 들면, PLC(30)는 자기 센서(19)로부터 무전해 구리 도금 베스(200)의 중앙에 도달했음을 나타낸 신호를 받고 나서, 모터(28)를 5분간만 정지시킨다. 그 후, 모터(28)를 온(ON) 하여 반송 롤러(22, 24)를 전진 구동시킨다.

다음으로, 제4 수세 베스(314)에서는 판형상 워크(10)에 표리 양면으로부터 물을 적용함으로써, 수세 처리가 실시된다. 반송용 행거(16)는 제4 수세 베스(314)에서 소정 시간(예를 들면, 1분간)만 정지하고, 그 후, 언로드부(316)에 이동한다.

마지막으로, 언로드부(316)에 이동한 반송용 행거(16)를 정지시킨다. 예를 들면, PLC(30)는 자기 센서(19)로부터 언로드부(316)에 도달했음을 나타내는 신호를 받고 나서, 모터(28)를 정지시킨다. 그 후, 작업자 등에 의해, 판형상 워크(10)가 반송용 행거로부터 분리된다. 이에 따라, 무전해 도금 처리의 일련의 공정이 종료된다.

3. 2단식의 액 유출 기구(액 체류부(4) 및 액 유출부(6))

또한, 상기 실시형태에서는, 베스부(100) 내에, 액 체류부(4) 및 액 유출부(6)로 구성되는 액 유출 기구(도 3)를 1개만 설치했지만, 액 유출 기구를 복수단 설치하도록 해도 무방하다. 도 8에, 2단의 액 유출 기구(상단 액 유출 기구(3a), 하단 액 유출 기구 (3b))를 연직 방향으로 설치한 무전해 구리 도금 베스(200’)의 예를 나타낸다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 상단의 액 유출 기구(3a)에 의해, 판형상 워크(10)의 상측에 처리액(Q1)을 적용하면서, 하단의 액 유출 기구(3b)에 의해, 하측의 위치에 처리액(Q2)을 적용할 수 있다.

도 9A는 무전해 구리 도금 베스(200’)의 상단의 액 유출부(6’)의 단면도이며, 도 9B는 하단의 액 유출부(6”)의 단면도이다.

상단의 액 유출부(6’)에는 도 6A에 나타낸 액 유출부(6)와 마찬가지로, 다수의 홈(7)이, 소정간격으로 전체적으로 성형되어 있다. 한편, 하단의 액 유출부(6”)에는 중앙 부근 이외의 부분에만 홈(7)을 형성하고 있다.

이것은 상단의 액 유출부(6’)로부터 유출되어 판형상 워크(10)에 적용된 처리액이, 판형상 워크(10)를 따라 이동하여 하측으로 이동하는 동안에, 표면 장력에 의해 판형상 워크(10)의 중심 부근에 모일 우려가 있는 것을 고려했기 때문이다. 즉, 판형상 워크(10)를 따라 이동하여 하측으로 이동하는 동안에 처리액(Q)이 얇아진 양단 부근(중심 부근 이외의 부분)에 하단의 액 유출부(6”)로부터 유출된 처리액(Q)을 많이 적용함으로써, 도금 품질의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 도 8에 나타낸 무전해 구리 도금 베스(200’)에서는, 1개의 순환 펌프(50’)에 의해, 상단의 액 체류부(4’) 및 하단의 액 체류부(4”)에 처리액(Q)을 공급하는 구성으로 했지만, 상단의 액 체류부(4’) 및 하단의 액 체류부(4”) 각각에 처리액(Q)을 공급하는 별개의 순환 펌프를 액 받이부(2)에 접속하여 설치해도 무방하다. 이에 따라, 예를 들면, 상단에 공급하는 처리액(Q1)의 양을 많게 하고, 하단에 공급하는 처리액(Q2)의 양을 줄이는 등, 공급하는 처리액(Q1, Q2)의 양을 상황에 따라 변화시킬 수 있다.

4. 기타 실시형태

또한, 상기 실시형태에서는 복수의 베스(도 1에 나타낸 제1 수세 베스(304), 디스미어 베스(306), 전처리 베스(310), 무전해 구리 도금 베스(200) 등)를 표면 처리 장치(300)가 구비하는 구성으로 했지만, 표면 처리 장치(300)가 적어도 하나의 베스를 구비하는 구성으로 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 표면 처리 장치(300)를 반송 방향 X에 1열로 배치했지만, 도 10에 나타낸 바와 같이, 표면 처리 장치(300’, 300”)를 인접하여 복수열 배치해도 무방하다. 또한, 도 10에 나타낸 바와 같이, 이들 인접하는 표면 처리 장치(300’, 300”)의 사이에서 가이드 레일(14’)을 공용해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 표면 처리 장치(300)를 구성하는 복수의 베스를 직선 상에 배치했지만, 트라바서 등의 이동 기구를 설치하여, 복수의 베스를 ㄷ자형, ㅁ자형 또는 L자형 등으로 나란히 배치해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 액 받이부(2), 액 체류부(4), 액 유출부(6)를 일체의 부재로서 구성했지만(도 5), 이것들을 분리하여 구성해도 무방하다. 예를 들면, 도 19에 나타낸 바와 같이, 액 받이부(2)를, 액 체류부(4) 및 액 유출부(6)(액유출 기구)로부터 분리하여 구성해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 액 유출부(6)의 상면 전체에 홈(7)을 형성했지만(도 6A), 액 유출부(6)의 중앙 부근 이외(즉, 양단부 부근)에만 홈(7)을 형성해도 무방하다(도 9B를 참조). 그렇다면, 액 유출부(6)의 선단(6a) 부근(도 6B)에 있어서의 처리액(Q)의 유량이 균일하게 되지 않고, 중앙 부근보다 양단부 부근의 쪽이 커진다. 그 결과, 처리액(Q)이 따라 이동한 판형상 워크(10)의 하측 위치에 있어서, 처리액의 균일화를 도모할 수 있다. 판형상 워크(10)을 타고 이동하여 하측으로 이동하는 동안에, 판형상 워크(10) 위의 처리액(Q)이 표면 장력에 의해 중심 부근에 모이기 때문이다.

또한, 상기 실시형태에서는, 액 유출부(6)의 상면에 직사각형의 홈(7)을 형성했지만(도 6A), 도 11A에 나타낸 둥근 형의 홈을 형성하거나, 도 11B에 나타낸 삼각형의 홈을 형성하는 등, 다른 형상의 홈을 형성해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 액 유출부(6)의 선단(6a)을, 액 받이부(2)의 측벽(2a)으로부터 판형상 워크(10)를 향하여 수평 방향보다 하향으로 경사지게 형성하도록 했지만(도 6B), 도 12A에 나타낸 바와 같이, 액 유출부(6)를, 연결부(5)로부터 대략 수평 방향(수평 방향보다 조금 상향을 포함)을 향하여 형성하도록 해도 무방하다.

액 유출부(6)를 수평 방향을 향하게 해도, 도 12A에 나타낸 바와 같이, 액 체류부(4)로부터 낙하한 것에 따른 관성력이 충분히 크면, 액 유출부(6)의 선단(6a)으로부터 기세 좋게 처리액(Q)을 유출시킬 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는, 액 체류부(4)의 긴 가장자리(4b)를 접합부(5)로부터 떨어진 위치에 형성했지만(도 6B), 도 12B에 나타낸 바와 같이, 액 체류부(4)의 긴 가장자리(4b)를, 접합부(5)와 동일 위치에 형성하여 구성해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 액 받이부(2)의 측벽(2a)과 액 체류부(4)의 측벽(4a)을 동일 면으로 했지만, 도 12C에 나타낸 바와 같이, 액 체류부(4)의 측벽(4a)을 액 받이부(2)의 측벽(2a)과 분리하여 구성해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 액 유출부(6)의 폭 길이를, 판형상 워크(10)의 가로폭과 동일한 정도로 설계했지만, 도 13에 나타낸 바와 같이, 복수의 판형상 워크(10)에 대하여 동시에, 베스부(100) 내에 있어서 처리액(Q)을 적용할 수 있도록, 액 유출부(6)의 폭 길이를 설계해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 슬릿(8)으로부터의 처리액(Q)의 누출 방지를 위하여, 액 받이부(2)의 측벽(2b)을 액 유출부(6)의 양단으로부터 간격을 두어 형성하도록 했지만(도 4), 액 받이부(2)의 측벽(2b)을 액 유출부(6)의 양단에 근접시켜 형성하도록 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 액 체류부(4)의 측벽(4a)(또는 액 받이부(2)의 측벽(2a))과의 연결부(5)로부터, 판형상 워크(10)를 향해 액 유출부(6)의 선단(6a)을 돌출시키는 구성으로 함과 아울러, 액 받이부(2)의 측벽(2b)을 액 유출부(6)의 양단으로부터 간격을 두어 형성하도록 했다(도 4). 그러나, 도 20에 나타낸 바와 같이, 액 체류부(4)의 측벽(4a)(또는 액 받이부(2)의 측벽(2a))과의 연결부(5)로부터 판형상 워크(10)를 향하여 액 유출부(6)의 선단(6a)을 돌출시키지 않는 구성(액 낙하 부재(6’))으로 하고, 액 받이부(2)의 측벽(2b)을 액 낙하 부재(6’)의 양단으로부터 간격을 두어 형성하도록 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 한쪽의 가이드 레일(14)에만 볼록부(26)(도 7B)를 형성하는 것으로 했지만, 양측의 가이드 레일(12, 14)에 볼록부(26)를 형성하도록 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는 가이드 레일(14)에 볼록부(26)(도 7B)를 형성하여 충격을 발생시키는 것으로 했지만, 그 밖의 구조(예를 들면, 오목부를 형성하는 등)에 의해 충격을 발생시키도록 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 가이드 레일(14)에 1개의 볼록부(26)(도 7B)를 형성하는 것으로 했지만, 도 18에 나타낸 바와 같이, 가이드 레일(14)에 복수의 볼록부(26’)를 형성하도록 해도 무방하다. 또한, 제3 수세 베스(312)와 무전해 구리 도금 베스(200)(도 1)의 사이에 볼록부(26)(도 7B)를 형성하는 것으로 했지만, 다른 위치에 볼록부(26)를 형성해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 반송 롤러(24)가 볼록부(26)(도 7B) 위를 왕복 동작하도록 제어했지만, 왕복 동작하지 않고, 단지 볼록부(26) 위를 통과하도록 제어해도 무방하다. 예를 들면, 반송 롤러(24)(도 7B)가 가이드 레일(14)에 형성된 복수의 볼록부(26) 위를 일직선으로 이동하도록 제어해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 반송 롤러(24)가 볼록부(26) 위를 3왕복하도록 제어하는 것으로 했지만, 일정한 조건을 만족할(예를 들면, 스미어나 기포가 판형상 워크(10)로부터 확실히 제거된 것을, 카메라 촬영하여 화상 인식하는 등에 의해 검지할) 때까지 왕복 동작시키도록 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 순환 펌프(50)를 상시 작동시켜서, 액 유출부(6)로부터 처리액(Q)을 항상 흘리게 한 상태로, 판형상 워크(10)를 베스부(100) 내에 반송하거나, 또는 베스부(100) 밖으로 반출하도록 했지만, 예를 들면, 판형상 워크(10)의 정지 중에는 순환 펌프(50)의 전원을 온(ON)하여 액 유출부(6)로부터 처리액(Q)을 흘리고, 판형상 워크(10)의 이동 중에는 순환 펌프(50)의 전원을 오프(OFF)하여 액 유출부(6)로부터 처리액(Q)을 흘리지 않도록 제어해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 베스부(100)의 소재로서 PVC를 사용했지만, 그 밖의 소재(예를 들면, PP, FRP, PPS 수지, PTFE, 스텐레스 등)를 사용하도록 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 표면 처리 장치(300)에 의해, 판형상 워크(10)에 무전해 구리 도금을 실시하는 것으로 했지만, 판형상 워크(10)에 그 밖의 무전해 도금(예를 들면, 무전해 니켈 도금, 무전해 주석 도금, 무전해 금 도금 등)을 실시하도록 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 판형상 워크(10)의 상단만을 반송용 행거(16)에 의해 파지하도록 했지만(도 2), 판형상 워크(10)의 하부에 웨이트를 부착하거나, 도 14에 나타낸 바와 같이 프레임(17)을 구비한 반송용 행거(16’)에 의해 판형상 워크(10)의 상단 클램프(15’) 및 하단 클램프(15”)에 의해 파지하여 반송하도록 해도 무방하다. 또한, 도 15에 나타낸 바와 같이, 판형상 워크(10)의 움직임을 제한하는 회전 롤러 수직 배열 부재(70, 72)를 베스부(100) 내의 슬릿(8) 부근에 보조적으로 배치하여, 반송 시에 있어서의 판형상 워크(10)의 흔들림을 방지하면서 반송해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 반송 기구(18)의 반송 롤러(22, 24)를 모터로 구동함으로써 반송용 행거(16)를 반송하는 것으로 했지만, 푸셔, 체인, 리니어 모터식의 반송 기구 등의 구동 방법을 사용하여 반송용 행거(16)를 반송해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 판형상 워크(10)의 표리 양면에 처리액(Q)을 적용하는 것으로 했지만(도 6B), 판형상 워크(10)의 한쪽에만 처리액(Q)을 적용하도록 해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 자기 센서를 사용하여 가이드 레일(12, 14) 위의 소정 위치를 검지하는 것으로 했지만, 그 밖의 센서(바코드 리더 등)를 사용하여 소정 위치를 검지해도 무방하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 피처리물을 직사각형의 판형상 워크(10)로 했지만, 피처리물을 그 밖의 형상(예를 들면, 봉형상, 입방체 등)으로 해도 무방하다.

2 : 액 받이부
4 : 액 체류부
6 : 액 유출부
10 : 편형상 위크
100 : 베스부
200 : 무전해 구리 도금 베스
300 : 표면 처리 장치
302 : 로드부
304 : 제1 수세 베스
306 : 디스미어 베스
308 : 제2 수세 베스
310 : 전처리 베스
312 : 제3 수세 베스
314: 제4 수세 베스
316: 언로드부

Claims

피처리물을 반송하는 반송용 행거와;
내부에 있어서, 상기 반송용 행거에 의해 반송된 상기 피처리물에 처리액을 부착시키기 위한 베스부와;
상기 반송용 행거를, 상기 베스부 내에 반송하는 반송 기구;를 구비한 표면 처리 장치이며,
상기 베스부가, 상기 피처리물에 적용된 처리액을 받기 위한 액 받이부와,
상기 액 받이부보다 상측에 형성되고, 상기 피처리물에 적용하고자 하는 상기 처리액을 체류시키기 위한 액 체류부와, 상기 액 체류부로부터 흘러 넘쳐 낙하한 상기 처리액을 피처리물을 향하여 유출시키기 위한 액 유출부로서, 선단이 상기 액 체류부 또는 상기 액 받이부와의 연결부로부터 돌출하도록 구성된 액 유출부를 구비한 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 반송용 행거를 대략 수평 방향으로 반송하기 위한 가이드 레일을 더 구비하고 있으며,
상기 반송용 행거가, 상기 가이드 레일에 형성된 충격 발생부 위를 소정 회수만큼 왕복 이동하도록 제어부에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 반송용 행거를 대략 수평 방향으로 반송하기 위한 가이드 레일을 더 구비하고 있으며,
상기 반송용 행거가, 상기 가이드 레일에 형성된 복수의 충격 발생부 위를 이동하도록 제어부에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 반송용 행거를 대략 수평 방향으로 반송하기 위한 가이드 레일을 복수개 구비하고 있으며,
상기 반송용 행거를, 상기 복수개의 가이드 레일에 걸쳐서 부착된 지지 부재에 고정한 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 표면 처리 장치를, 상기 반송 방향에 대하여 수직 방향으로 인접하여 복수열 배치하고,
인접하는 표면 처리 장치 사이에서 가이드 레일을 공용한 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 액 받이부와 상기 액 체류부를 순환 펌프를 통하여 연통시킨 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 액 받이부의 측벽에, 연직 방향으로 연신되는 노치로서, 상기 반송용 행거가 이동했을 때에, 상기 피처리물이 통과하는 노치가 형성되어 있으며,
상기 액 받이부에 축적된 처리액의 액면이, 상기 노치의 하단보다 아래에 위치하도록, 상기 액 체류부에 처리액이 공급되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
처리액을 체류시키기 위한 액체류부와,
상기 액 체류부로부터 흘러 넘쳐 낙하한 상기 처리액을 피처리물을 향하여 유출시키기 위한 액 유출부로서, 선단이 상기 액 체류부와의 연결부로부터 돌출하도록 구성된 액 유출부를 구비한 것을 특징으로 하는 베스부.
제8항에 있어서,
상기 베스부가, 상기 피처리물에 적용된 처리액을 받기 위한 액 받이부를 더 구비하고 있으며,
상기 액 받이부의 측벽에, 연직 방향으로 연신되는 노치로서, 상기 반송용 행거가 이동했을 때에, 상기 피처리물이 통과하는 노치가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 베스부.
제9항에 있어서,
상기 액 유출부의 양단으로부터 간격을 두어, 상기 노치가 형성된 상기 액 받이부의 측벽을 형성한 것을 특징으로 하는 베스부.
제8항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 액 유출부의 선단이, 상기 액 받이부 또는 상기 액 체류부와의 연결부로부터 대략 수평 방향을 향하여, 또는 수평 방향보다 하향으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 베스부.
제8항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 액 유출부의 상면에, 상기 피처리물을 향하는 방향으로 연신되는 홈을 성형한 것을 특징으로 하는 베스부.
제12항에 있어서,
상기 액 유출부의 선단 부근에 있어서의 처리액의 유량이, 중앙 부근보다 양 단부 부근의 쪽이 커지도록, 상기 홈을 성형한 것을 특징으로 하는 베스부.
제8항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 액 체류부 및 상기 액 유출부로 구성되는 액 낙하 기구를, 상기 베스부 내에 복수단 배치한 것을 특징으로 하는 베스부.
처리액을 체류 시키기 위한 액 체류부와;
상기 액 체류부로부터 흘러 넘친 처리액을 낙하시키도록 구성한 낙하 부재와;
피처리물에 적용된 처리액을 받기 위한 액 받이부;를 구비한, 베스부이며,
상기 액 받이부의 측벽에 형성되는 연직 방향으로 연신되는 노치로서, 상기 반송용 행거가 이동했을 때에, 상기 피처리물이 통과하는 노치가 상기 액 받이부에 형성되어 있으며,
상기 낙하 부재의 양단으로부터 간격을 두어, 상기 노치가 형성된 상기 액 받이부의 측벽을 형성한 것을 특징으로 하는 베스부.