KR20140020740A

KR20140020740A - 흡착정반

Info

Publication number: KR20140020740A
Application number: KR1020130082759A
Authority: KR
Inventors: 마사아키 다나베
Original assignee: 다즈모 가부시키가이샤
Priority date: 2012-08-09
Filing date: 2013-07-15
Publication date: 2014-02-19
Also published as: JP2014036141A; KR101488227B1; TW201406470A; TWI504447B; CN103567914B; JP6057599B2; CN103567914A

Abstract

(과제) 극박의 시트모양의 워크를, 그 표면에 요철을 생기게 하지 않고 하나의 면으로 흡인한다.
(해결수단) 흡착정반(1)은, 지지면(1A)에 설정되는 흡착부에 극박의 시트모양의 워크가 흡인흡착된다. 본 발명에서는, 이러한 흡착정반으로서, 흡착홈(10), 복수의 하혈(20) 및 복수의 연통홈(30)을 구비한다. 흡착홈(10)은, 지지면(1A)에 있어서 흡착부에 형성되고, 복수의 세로홈(11) 및 복수의 가로홈(12)에 의하여 격자모양으로 형성된다. 복수의 하혈(20)은, 지지면(1A)과 반대측의 면(1B)에 있어서 흡착부에 대응하는 영역의 적당한 장소로서, 흡착홈(10)의 바로 아래에 형성된다. 복수의 연통홈(30)은, 흡착홈(10)과 대략 동일한 홈폭으로 흡착홈(10)을 따라 형성되고, 복수의 하혈(20)의 각각의 상단에 접속되어, 하혈과 흡착홈을 통하게 한다.

Description

흡착정반{ADSORPTION SURFACE PLATE}

본 발명은, 워크(work)를 흡착하는 흡착정반(吸着定盤)에 관한 것으로서, 특히, 두께가 100μm 단위의 박판 글라스(薄板 glass)나 필름 등의 극박(極薄)의 시트모양의 워크의 흡착에 적합한 흡착정반에 관한 것이다.

종래부터 처리대상이 되는 워크를 흡착정반에 흡착하여 소정의 처리를 실시하는 워크 처리장치가 알려져 있다(예를 들면 특허문헌1 참조). 워크의 구체적인 예로서는 반도체 기판, 액정표시장치용 글라스 기판, 포토마스크용 글라스 기판, 광디스크용 기판 등의 낱장모양의 사각형의 워크를 들 수 있다.

도6은, 종래의 흡착정반을 나타내는 평면도이다. 도6에 나타나 있는 바와 같이, 흡착정반(101)은 상면(上面)이 워크(도면에 나타내지 않는다)의 지지면(101A)이 되고 있고, 당해 지지면(101A)의 중앙부에 워크를 흡착하기 위한 사각형의 흡착부(吸着部)가 설정된다. 흡착부는 흡착홈(110)을 구비한다. 흡착홈(110)은, 복수의 세로홈(111) 및 복수의 가로홈(112)에 의하여 격자모양(格子模樣)으로 형성된다. 이러한 흡착홈(110)은, 다이아몬드 커터를 사용한 절삭가공(切削加工) 등에 의하여 용이하게 형성할 수 있다.

도7은, 도6에 있어서 쇄선으로 둘러싸인 VII부분의 확대도이다. 도7에 나타나 있는 바와 같이, 흡착정반(101)의 지지면(101A)과 반대측의 면(하면)(101B)으로부터 흡착부에 대응하는 영역의 적당한 장소에는, 흡착홈(110)의 바로 아래에 복수의 원형(圓形)의 하혈(下穴)(12O)이 드릴가공으로 형성된다.

도8은, 도6에 있어서 화살표 방향에서 본 VIII-VIII 선 단면도이다. 각 하혈(120)은, 흡착정반(101)의 하면으로부터 흡착정반(101)을 관통하지 않는 정도의 깊이(도8의 부호 Dl 참조)로 형성된다. 하혈(120)의 하부에는, 진공펌프(도면에 나타내지 않는다)를 접속하기 위한 부시(bush)(102)가 기밀(氣密)하게 장착된다.

그리고 흡착부에 있어서 복수의 하혈(120)이 가공된 각 위치에, 흡착정반(101)의 상면으로부터 하혈(120)로 관통하는 연통공(連通孔)(130)이 드릴가공으로 형성된다. 연통공(130)에 의하여 각 하혈(120)과 흡착홈(110)이 통하게 된다.

연통공(130)은, 지지면(101A)에 미리 형성된 흡착홈(110)의 위로부터 드릴가공을 함으로써 형성된다. 이 때문에 연통공(130)의 구멍의 지름은, 1㎜φ나 0.8mmφ 정도가 한계이다. 흡착홈(110)의 홈폭(groove幅)은 보통 이것보다도 작은 치수이다. 특히, 두께가 100μm 단위의 얇은 글라스나 필름 등의 극박의 시트모양의 워크의 흡착에 특화된 흡착정반에서는, 흡착부에 워크의 접촉면적을 확보하는 관점으로부터, 흡착홈(110)의 홈폭이 0.2㎜ 정도인 것도 드물지 않고, 연통공(130)의 구멍의 지름은 흡착홈(110)의 홈폭의 4∼5배 정도로도 되어버린다. 즉, 연통공(130)의 부분에서 흡착홈(110)의 홈폭이 국소적으로 커지게 된다.

이러한 흡착정반(1Ol)의 흡착부에, 상기의 극박의 시트모양의 워크를 흡착시키면 워크의 표면은 연통공(130)의 부분이 스폿적(spot的)으로 패인 것 같이 변형되어서 흡착된다.

흡착정반은, 그 지지면에 지지되는 워크의 표면에 소정의 처리를 실시하는 장치에 구비된다. 이러한 처리장치의 일례로서, 도포장치(塗布裝置)가 있다. 도포장치는, 흡착정반의 지지면에 평행하게 주행하는 슬릿 노즐(slit nozzle)을 구비하여, 이 슬릿 노즐로부터 워크의 표면에 도포액(coating液)을 토출시켜서 일정한 막두께로 도포하는 것이다.

일본국 공개특허 특개 2005-85881호 공보

도포장치에 의하여 도포가능한 도포막(塗布膜)의 막두께는, 젖은 상태에서 1∼1.5μm 정도까지 박막화(薄膜化)가 진행되고 있다. 따라서 워크의 표면에 깊이 수μm이라도 스폿적으로 몇 개라도 함몰이 생기면, 그 함몰에 도포액이 쌓여, 도포막이 건조되었을 때에 그 부분만 두껍게 되어, 막두께가 불균일하게 되는 문제가 있었다.

본 발명은, 상기 과제에 비추어 보아서 이루어진 것으로서, 극박의 시트모양의 워크를, 그 표면에 요철을 생기게 하지 않고 하나의 면으로 흡인흡착하는 것을 가능하게 하는 흡착정반을 제공하는 것을 목적으로 한다.

흡착정반은, 지지면에 설정되는 흡착부에 극박의 시트모양의 워크가 흡인흡착된다. 본 발명에서는, 이러한 흡착정반으로서, 흡착홈, 복수의 하혈 및 복수의 연통홈을 구비한다. 흡착홈은, 지지면에 있어서 흡착부에 형성되고, 복수의 세로홈 및 복수의 가로홈에 의하여 격자모양으로 형성된다. 복수의 하혈은, 지지면과 반대측의 면에 있어서의 흡착부에 대응하는 영역의 장소로서, 흡착홈의 바로 아래에 형성된다. 여기에서 대응하는 영역의 장소란, 물리적으로 대응하는 영역의 정확한 장소뿐만 아니라 대응하는 영역의 적당한 장소를 포함하는 의미이다. 복수의 연통홈은, 흡착홈과 동일한 홈폭으로 흡착홈을 따라 형성되고, 복수의 하혈의 각각의 상단(上端)에 접속되어, 하혈과 흡착홈을 통하게 한다. 여기에서 동일한 홈폭이란, 물리적으로 정확하게 동일한 홈폭뿐만 아니라 대략 동일한 홈폭를 포함하는 의미이다.

이 구성에 의하면, 흡착정반의 지지면내에 설정되는 흡착부에 흡착홈의 홈폭보다 커지게 되는 개구(開口)가 발생하지 않는다.

본 발명에 의하면, 극박의 시트모양의 워크를, 그 표면에 요철을 생기게 하지 않고 하나의 면으로 흡착할 수 있다. 본 발명의 흡착정반을 도포장치에 채용함으로써 극박의 시트모양의 워크의 표면에 균일한 막두께로 도포액을 도포할 수 있다.

도1 본 발명의 1실시형태에 있어서 흡착정반을 나타내는 평면도이다.
도2 도1에 있어서 일점쇄선으로 둘러싸인 II부의 확대도이다.
도3 도1에 있어서 화살표 방향에서 본 III-III 선 단면도이다.
도4 도1에 있어서 일점쇄선으로 둘러싸인 IV부의 확대도이다.
도5 도1에 있어서 화살표 방향에서 본 V-V의 선 단면도이다.
도6 종래의 흡착정반을 나타내는 평면도이다.
도7 도6에 있어서 일점쇄선으로 둘러싸인 VII부의 확대도이다.
도8 도6에 있어서 화살표 방향에서 본 VIII-VIII 선 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도1은, 본 발명의 실시형태에 관한 흡착정반을 나타내는 평면도이다. 도1에 나타나 있는 바와 같이, 흡착정반(1)은 상면이 워크(도면에 나타내지 않는다)의 지지면(1A)이 되어 있고, 당해 지지면(1A)의 중앙부에 워크를 흡착하기 위한 사각형의 흡착부가 설정된다.

흡착부는 흡착홈(10)을 구비한다. 도2는, 도1에 있어서 쇄선으로 둘러싸인 II부분의 확대도이다. 도3은, 도1에 있어서 화살표 방향에서 본 III-III 선 단면도이다. 도2, 도3에 나타나 있는 바와 같이, 흡착홈(10)은, 복수의 세로홈(11) 및 복수의 가로홈(12)에 의하여 격자모양으로 형성된다. 또, 흡착부를 복수의 블록으로 분할하여, 블록 단위로 세로홈(11)과 가로홈(12)을 형성하고, 흡착부 전체로서 도1과 같은 격자모양을 나타나게 하여도 상관없다. 이러한 흡착홈(10)은, 다이아몬드 커터를 사용한 절삭가공에 의하여 용이하게 형성시킬 수 있다.

도4는, 도1에 있어서 쇄선으로 둘러싸인 IV부분의 확대도이다. 도4에 나타나 있는 바와 같이, 흡착정반(1)의 지지면(1A)과 반대측의 면(하면)(1B)으로부터 흡착부에 대응하는 영역의 적당한 장소(본 실시형태에서는 12곳)에는, 흡착홈(10)(본 실시형태에서는 가로홈(12))의 바로 아래에 복수의 원형의 하혈(20)이 드릴가공으로 형성된다.

도5는, 도1에 있어서 화살표 방향에서 본 V-V 선 단면도이다. 각 하혈(20)은, 흡착정반(1)의 하면으로부터 흡착정반(1)을 관통하지 않을 정도의 깊이(도5의 부호 D1 참조)에서 형성된다. 하혈(20)의 하부에는, 진공펌프(도면에 나타내지 않는다)를 접속하기 위한 부시(2)가 기밀하게 장착된다.

그리고 흡착부에 있어서 복수의 하혈(20)이 가공된 각 위치에, 흡착정반(1)의 상면으로부터 하혈(20)로 관통하는 연통홈(30)이 형성된다. 연통홈(30)에 의하여 하혈(20)과 흡착홈(10)이 통하게 된다.

도4, 도5에 나타나 있는 바와 같이, 연통홈(30)은 가로홈(12)과 대략 동일한 홈폭으로 가로홈(12)을 따라 형성된다. 연통홈(30)은, 가로홈(12)과 하혈(20)의 상단과 접속하고 있다. 연통홈(30)에 의하여 각 하혈(20)과 흡착홈(10)이 통하게 된다. 또, 연통홈(30)의 홈폭은, 가공정밀도 등에 의하여 가로홈(12)의 홈폭보다 약간 커지게 되는 경우도 있기 때문에 엄밀하게 동일한 것이 요구되는 것은 아니다.

이러한 연통홈(30)은, 다이아몬드 커터를 사용한 흡착홈(10)(본 실시형태에서는 가로홈(12))의 형성공정에서, 다이아몬드 커터의 절삭깊이를 조정함으로써 형성할 수 있다. 즉 흡착홈(10)의 형성공정에서, 연통홈(30)을 동시에 만드는 것이 가능하기 때문에, 종래의 연통공(130)(도7 참조)과 같이 별도의 드릴가공의 공정이 불필요하게 되어, 흡착정반의 제조효율의 향상이 도모된다.

본 실시형태에서는, 가로홈(12)의 바로 아래로서 세로홈(11)과 가로홈(12)의 교점 이외의 부분에 하혈(20)이 형성되어 있지만, 하혈(20)은 세로홈(11)의 바로 아래에 형성해도 좋고, 세로홈(11)과 가로홈(12)의 교점의 바로 아래에 하혈(20)을 형성하여도 좋다. 또 세로홈(11)과 가로홈(12)의 교점의 바로 아래에 하혈(20)을 형성한 경우에는, 당해 교점에서 십자(十字)로 교차하도록 세로홈(11)과 가로홈(12)의 양방으로 연통홈(30)을 형성해도 좋다.

본 발명에 의하면, 흡착정반(1)의 지지면(1A)내에 설정되는 흡착부에 흡착홈(10)의 홈폭보다 커지게 되는 개구가 발생하지 않는다. 이에 따라서 극박의 시트모양의 워크를, 그 표면에 요철을 생기게 하지 않고 하나의 면으로 흡착할 수 있다. 본 발명의 흡착정반을 도포장치에 채용함으로써 극박의 시트모양의 워크의 표면에 균일한 막두께로 도포액을 도포할 수 있다.

상기 실시형태의 설명은, 모든 면에서 예시로서, 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기의 실시형태가 아니고 특허청구범위에 의하여 나타난다. 또한 본 발명의 범위에는, 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위내에서의 모든 변경이 포함된다.

1 : 흡착정반
1A : 지지면
2 : 부시
10 : 흡착홈
11 : 세로홈
12 : 가로홈
20 : 하혈
30 : 연통홈
101 : 흡착정반
101A : 지지면
102 : 부시
110 : 흡착홈
110A : 지지면
111 : 세로홈
112 : 가로홈
120 : 하혈
130 : 연통공

Claims

지지면(支持面)에 설정되는 흡착부(吸着部)에 극박(極薄)의 시트모양의 워크(work)가 흡인흡착되는 흡착정반(吸着定盤)으로서,
상기 지지면에 있어서 상기 흡착부에 형성되고, 복수의 세로홈 및 복수의 가로홈에 의하여 격자모양으로 형성되는 흡착홈과,
상기 지지면과 반대측의 면에 있어서 상기 흡착부에 대응하는 영역의 장소로서 상기 흡착홈의 바로 아래에 형성되는 복수의 하혈(下穴)과,
상기 흡착홈과 동일한 홈폭으로 상기 흡착홈을 따라 형성되고, 상기 복수의 하혈의 각각의 상단에 접속되어, 상기 하혈과 상기 흡착홈을 통하게 하는 복수의 연통홈을
구비하는 흡착정반.
제1항에 있어서,
상기 연통홈이 상기 세로홈 혹은 상기 가로홈에만 따라 형성되는 흡착정반.
제2항에 있어서,
상기 연통홈이 상기 세로홈과 상기 가로홈의 교점 이외의 부분에 형성되는 흡착정반.