KR101212002B1 - 접합 기판의 스크라이브 방법 - Google Patents

접합 기판의 스크라이브 방법 Download PDF

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KR101212002B1
KR101212002B1 KR1020110073461A KR20110073461A KR101212002B1 KR 101212002 B1 KR101212002 B1 KR 101212002B1 KR 1020110073461 A KR1020110073461 A KR 1020110073461A KR 20110073461 A KR20110073461 A KR 20110073461A KR 101212002 B1 KR101212002 B1 KR 101212002B1
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키요시 다카마츠
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 교점 건너뜀의 발생을 확실히 방지할 수 있고, 접합 기판으로서 필요한 단면(端面) 강도를 얻을 수 있는 분단 방법을 제공한다.
(해결 수단) 원주 능선을 따라서 절결과 돌기가 교대로 형성됨과 함께, 절결의 둘레 방향 길이가 돌기의 둘레 방향 길이보다도 짧고, 그리고, 절결의 피치가 제1 길이인 제1 커터 휠과, 절결의 피치가 상기 제1 길이보다도 짧은 제2 커터 휠의 2종류의 홈이 있는 커터 휠을 이용하여, 제1 기판의 제1 방향은 제1 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고, 제1 기판의 제2 방향은 제2 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고, 제2 기판의 제2 방향은 제1 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고, 제2 기판의 제1 방향은 제2 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하도록 하여, 단면 강도와 침투성의 밸런스를 잡는다.

Description

접합 기판의 스크라이브 방법{METHOD FOR SCRIBING LAMINATED SUBSTRATE}
본 발명은, 접합 기판을 분단(dividing)할 때에, 미리 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 커터 휠(스크라이빙 휠(scribing wheel)이라고도 함)을 이용하여, 접합 기판의 양면에 각각 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법에 관한 것이다.
도 5는, 액정 패널의 제조에 이용하는 접합 유리 기판의 단면도이다. 액정 패널 등의 제조 프로세스에서는, 2매의 얇은 유리 기판(G1, G2)(앞쪽의 제1 기판(G1)과 뒤쪽의 제2 기판(G2))이 접착재(11)로 접합된 대면적의 머더 기판(mother substrate;M)이 이용된다. 이러한 머더 기판(M)으로부터 제품을 제조하기 위해서는, 제품 단위가 되는 단위 기판(U)마다 분단하는 공정이 포함된다.
단위 기판(U)마다 분단하는 공정은, 일반적으로는 이하에 나타내는 순서로 행해진다. 우선, 도 6에 나타내는 바와 같이, 머더 기판(M)의 제1 기판(G1)의 표면에 대하여, 커터 휠로 X방향의 스크라이브 라인(S1)을 형성하고, 이어서, X방향과 교차하는 Y방향의 스크라이브 라인(S2)을 형성하는 크로스 스크라이브를 행한다. 이와 같이 하여 X-Y방향으로 교차한 복수개의 스크라이브 라인을 격자 형상으로 형성한 후에, 머더 기판(M)은 브레이크 장치로 보내지고, 제2 기판(G2)측으로부터 브레이크 바로 압압(pushing)하여, 제1 기판(G1)을 각 스크라이브 라인을 따라서 휘게 한다. 이에 따라, 제1 기판(G1)은 단위 기판(U)마다 브레이크된다. 이때, 제2 기판(G2)은 아직 분단되어 있지 않기 때문에, 브레이크된 제1 기판(G1)은 접착재(11)에 의해 제2 기판(G2)에 고착되어, 단위 기판(U)마다 분리되는 일은 없다.
계속해서, 제2 기판(G2)에 대하여, 도 7에 나타내는 바와 같이, 동일하게 X방향의 스크라이브 라인(S3)을 형성하고, 이어서 Y방향의 스크라이브 라인(S4)을 형성하는 크로스 스크라이브를 행하고, 그 후, 브레이크 장치로 보내져 제2 기판(G2)이 브레이크된다. 이때, 머더 기판(M)이 기판 단위 기판(U)마다 분리된다.
이와 같이, 접합 기판을 분단할 때에, 제1 기판(G1), 제2 기판(G2)의 각각에 대하여 크로스 스크라이브가 행해진다.
머더 기판(M)에 스크라이브 라인를 형성하기 위한 커터 휠로서, 도 8에 나타내는 바와 같은 매끄러운 날끝 능선부(2)를 갖는 커터 휠(1a)(노멀 커터 휠(1a)이라고 함)과, 도 9에 나타내는 바와 같은 날끝 능선부(2)에 절결(a cut-away;3)(홈)을 형성하여 기판에 대하여 미끄러지기 어렵게 함과 함께 침투성을 높이도록 한 커터 휠(1b)(홈이 있는 커터 휠(1b)이라고 함)이 이용되고 있다(특허문헌 1 참조).
전자의 노멀 커터 휠(1a)은, 날끝 능선부의 양측의 경사면을 형성하기 위해 날끝 능선부의 양측을 숫돌로 연삭한다. 경사면에는 연삭 조흔(條痕)의 요철이 형성되지만 미세하며, 통상, 날끝 능선부의 중심선 평균 거칠기(Ra)(JIS B 0601-1982)가 0.4㎛ 미만이다. 이와 같이 노멀 커터 휠(1a)의 날끝은, 매우 매끄러운 능선면이 형성되어 있다.
후자의 홈이 있는 커터 휠(1b)에는, 구체적으로는 미츠보시다이야몬도코교 가부시키가이샤 제조의 「APIO(등록상표)」 커터 휠이 있다. 이 홈이 있는 커터 휠은, 절결(홈)의 둘레 방향 길이가 돌기 부분의 둘레 방향 길이(2개의 인접하는 절결 사이의 능선 길이)보다 짧게 되어 있는 것이 특징이다. 예를 들면 휠 외경(外徑)이 3㎜의 「APIO」에서는, 절결의 깊이는 1㎛ 정도이고, 절결의 둘레 방향 길이는 4～14㎛ 정도(따라서 돌기 부분의 둘레 방향 길이는 14㎛ 이상)이다.
또한, 홈이 있는 커터 휠의 종류로서는, 상기한 「APIO」 커터 휠 이외에, 이보다도 더욱 고침투성을 갖는 스크라이브를 행하는 것을 목적으로 하여, 날끝 능선부의 절결의 둘레 방향 길이를 돌기 부분의 둘레 방향 길이보다도 길게 한 홈이 있는 커터 휠(예를 들면 미츠보시다이야몬도코교 가부시키가이샤 제조의 「Panett(등록상표)」 커터 휠도 있다. 절결의 둘레 방향 길이가 돌기 부분의 둘레 방향 길이보다 긴 타입의 홈이 있는 커터 휠은, 돌기가 기판에 부여하는 타점 충격이 커져, 기판에 깊은 수직 크랙을 형성할 수 있다. 이 타입은, 주로, 브레이크 공정을 행하는 일 없이 스크라이브 공정만으로 분단할 때에 이용되는 고침투성 커터 휠이기 때문에, 브레이크 공정을 수반하는 분단 방법에서는 이용되지 않는다.
따라서, 스크라이브 공정 후에 브레이크 공정을 수반하는 분단 방법에 의해 접합 기판을 분단할 때에는, 노멀 커터 휠(1a)(이후 N형 휠(1a)로 약기함), 절결의 둘레 방향 길이가 돌기 부분의 둘레 방향 길이보다도 짧게 되어 있는 「APIO」 커터 휠(이후 A형 휠(1b)로 약기함) 중 어느 것이 이용되고 있다.
국제공개번호 WO 2007/004700 공보
여기에서, N형 휠(1a)과 A형 휠(1b)에 의한 스크라이브 가공의 특징에 대해서 설명한다. N형 휠(1a)은, 날끝 능선이 매끄럽게 마무리되어 있는 점에서, 기판에 형성되는 스크라이브 라인의 홈면은, A형 휠(1b)로 형성되는 것보다도 훨씬 흠집이 없고 단면(端面) 강도가 강한 우수한 스크라이브 가공이 가능하다. 그 한편으로, 형성되는 스크라이브 라인의 침투성(잘린 홈의 깊이), 스크라이브 라인 형성 후의 분리성에 대해서는 A형 휠(1b)보다도 뒤떨어진다. 그 때문에, 서로 직교하는 X방향과 Y방향으로 크로스 스크라이브를 행하는 경우에는, 교점 부분에 스크라이브 라인이 형성할 수 없게 되는 「교점 건너뜀」 현상이 발생하는 경우가 생겼다. 「교점 건너뜀」이 발생한 기판은, 예정된 스크라이브 라인을 따른 분단이 곤란해져 불량품이 되어 버린다. 또한, 교점 건너뜀이 발생하지 않는 경우라도, 분리성이 충분하지 않기 때문에, 브레이크시에 과대한 하중을 가하여 분단하는 것이 필요해지는 경우가 발생하여, 기판이 파손되는 원인이 되는 경우가 있었다.
이에 대하여, A형 휠(1b)은 날끝 능선에 절결이 형성되어 있기 때문에, N형 휠(1a)보다도 스크라이브 라인의 침투성이 우수하고, 형성되는 잘린 홈의 깊이는 N형 휠(1a)보다도 깊어져, 기판에 대한 걸리기 쉬움(미끄러지기 어려움)이 개선됨과 함께, 크로스 스크라이브시의 교점 부분에 「교점 건너뜀」이 발생하기 어려운 스크라이브 가공을 행할 수 있다. 한편, 기판에 형성되는 스크라이브 라인의 홈면에는, A형 휠(1b)의 절결의 모서리가 닿는 부분에 작은 흠집이 발생해 버리기 때문에, N형 휠(1a)에 의한 스크라이브 라인에 비하여 분단면의 단면 강도가 뒤떨어지게 된다. 액정 패널의 제조 공정의 경우는, 기판 간에 액정이 봉입(封入)되어 있기 때문에, 단면 강도의 저하는 치명적으로 된다.
이상의 점에서, 기판에 크로스 스크라이브를 행할 경우에, 교점 건너뜀과 단면 강도의 2개의 관점에서 최적인 커터 휠을 선택하여 가공할 필요가 있지만, N형 휠(1a)을 이용하는 경우와 A형 휠(1b)을 이용하는 경우에서는, 각각 일장일단이 있다.
그래서, 본 발명은, 크로스 스크라이브에서의 교점 건너뜀의 발생을 확실히 방지할 수 있고, 게다가 접합 기판의 분단면에 충분한 단면 강도를 얻을 수 있는 스크라이브 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 접합 기판의 분단시에, 각 분단면의 단면 강도의 밸런스를 유지함으로써, 일정 이상의 단면 강도를 유지하여, 단면 강도가 약한 분단면이 형성되는 것을 피하도록 하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명에 따른 접합 기판의 스크라이브 방법은, 제1 기판과 제2 기판이 접합된 접합 기판을, 서로 교차하는 제1 방향과 제2 방향을 따라서 분단할 때에, 미리 제1 기판과 제2 기판의 각각에, 제1 방향과 제2 방향으로 스크라이브 라인을 형성하는 접합 기판의 스크라이브 방법으로서, 원주 능선을 따라서 절결과 돌기가 교대로 형성됨과 함께, 절결의 둘레 방향 길이가 돌기의 둘레 방향 길이보다도 짧고, 그리고, 절결의 피치가 제1 길이인 제1 커터 휠과, 원주 능선을 따라서 절결과 돌기가 교대로 형성됨과 함께, 절결의 둘레 방향 길이가 돌기의 둘레 방향 길이보다도 짧고, 그리고, 절결의 피치가 상기 제1 길이보다도 짧은 제2 커터 휠의 2종류의 홈이 있는 커터 휠을 이용하여, 제1 기판의 제1 방향은 제1 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고, 제1 기판의 제2 방향은 제2 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고, 제2 기판의 제2 방향은 제1 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고, 제2 기판의 제1 방향은 제2 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하도록 하고 있다.
본 발명의 스크라이브 방법에 의하면, 원주 능선을 따라서 절결과 돌기가 교대로 형성됨과 함께, 절결의 둘레 방향 길이가 돌기의 둘레 방향 길이보다도 짧은 2종류의 커터 휠을 이용한다. 이에 따라, 미끄러지기 어렵고, 분리성이 우수한 스크라이브 가공이 가능해진다. 2종류 중, 제1 커터 휠로 형성되는 스크라이브 라인은, 제2 커터 휠로 형성되는 스크라이브 라인에 비하여, 절결의 피치가 길기 때문에, 제1 커터 휠은 침투성보다도 단면 강도를 우선하는 가공을 행할 수 있다. 반대로 제2 커터 휠은 단면 강도보다도 침투성을 우선하는 가공을 행할 수 있다. 본 발명에 의하면, 제1 방향으로 형성되는 스크라이브 라인은, 제1 기판과 제2 기판 중 한쪽이 제1 커터 휠에 의해 형성되고, 다른 한쪽이 제2 커터 휠에 의해 형성된다. 또한, 제2 방향으로 형성되는 스크라이브 라인에 대해서도 제1 기판과 제2 기판 중 한쪽이 제1 커터 휠에 의해 형성되고, 다른 한쪽이 제2 커터 휠에 의해 형성된다. 따라서, 제1 방향과 제2 방향 중 어느 것에 대해서도, 제1 커터 휠과 제2 커터 휠에 의한 스크라이브 라인이 1개씩 형성된 상태에서 분단되고, 제1 방향 및 제2 방향 중 어느 것에 대해서도, 반드시 한쪽의 기판은 단면 강도가 강한 제1 커터 휠에 의한 가공이 행해지게 된다. 즉, 제1 방향과 제2 방향은, 침투성 및 단면 강도가 평균화되어 밸런스가 잡힌 스크라이브가 행해지게 된다. 그리고, 단면 강도가 약한 스크라이브 라인만이 형성된 분단면은 없어지기 때문에, 단면 강도가 확보된다.
여기에서, 제1 커터 휠과 제2 커터 휠은 휠 지름이 동일하며, 제1 커터 휠의 절결수가 제2 커터 휠의 절결수보다도 작게 하는 것이 바람직하다.
일반적으로, 휠 지름은 스크라이브하는 기판의 판두께가 두꺼워질수록 절단시의 압압 하중을 높일 필요가 있고, 그 때문에 휠 지름은 스크라이브하는 기판의 판두께에 의거하여 결정되지만, 제1 기판의 스크라이브에 이용되는 것은 제1 커터 휠과 제2 커터 휠의 양쪽이며, 마찬가지로 제2 기판의 스크라이브에 이용되는 것은 제1 커터 휠과 제2 커터 휠의 양쪽이기 때문에, 2종류의 휠은 같은 지름으로 하는 것이 바람직하다. 그 경우는, 절결의 피치와의 관계로부터, 당연히, 제1 커터 휠의 절결수가 제2 커터 휠의 절결수보다도 작아진다.
또한, 제1 커터 휠과 제2 커터 휠의 절결수의 비가 1/10～1/100인 것이 바람직하다.
절결수의 비를, 한 자리 이상 변화시킴으로써, 홈이 있는 커터 휠이라도, 단면 강도나 침투성을 크게 변화시키는 것이 가능하여, 본 발명의 특징을 부각시킬 수 있다. 단, 너무 절결수의 비를 지나치게 크게 하면, 한쪽은 방대한 절결수가 되어 휠의 제조가 곤란해지기 때문에, 실용상은 1/10～1/100 정도가 바람직하다.
구체적으로는 제1 커터 휠의 절결수가 5개～50개의 범위, 제2 커터 휠의 절결수가 50개～500개의 범위에서, 상기 비율이 되도록 선택하는 것이 바람직하다.
또한, 휠 지름이 2㎜～3㎜이고, 절결의 둘레 방향 길이가 4㎛～14㎛이도록 하는 것이 바람직하다.
도 1은 본 발명의 스크라이브 방법을 실시할 때에 이용하는 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 정면도이다.
도 2는 본 발명의 스크라이브 방법의 가공 순서를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2에 이어서 본 발명의 스크라이브 방법의 가공 순서를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 의한 스크라이브 방법을 이용하여 분단한 단위 기판의 단면 강도의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 5는 액정 패널의 제조에 이용하는 접합 유리 기판의 단면도이다.
도 6은 종래의 접합 기판의 가공 순서를 나타내는 도면이다.
도 7은 종래의 접합 기판의 가공 순서를 나타내는 도면이다.
도 8은 노멀 커터 휠의 형상을 나타내는 도면이다.
도 9는 홈이 있는 커터 휠의 형상을 나타내는 도면이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
본 발명에 따른 스크라이브 방법의 상세를, 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 이하에서 설명하는 실시 형태에서는, 후술하는 바와 같이, 제1 기판을 스크라이브한 후에, 이어서 제2 기판을 스크라이브하는 것이 아니라, 먼저 제1 기판을 브레이크 장치로 이동하여 브레이크하고, 그 후에 재차 제2 기판을 스크라이브하는 것으로 한다. 브레이크 처리에서는, 예를 들면 브레이크 바를 눌러대는 타입의 브레이크 장치를 이용하지만, 본 발명의 실시에 있어서는 브레이크의 자유도가 커, 브레이크 장치나 브레이크 방법은 이에 한정되지 않는다. 또한, 브레이크 처리는, 제1 기판과 제2 기판에 대한 스크라이브를 먼저 행한 후에 행하도록 해도 좋다.
도 1은, 본 발명의 스크라이브 방법을 실시할 때에 이용하는 스크라이브 장치의 일 실시 형태를 나타내는 개략적인 정면도이다.
스크라이브 가공을 행하는 대상의 머더 기판(M)은, 2매의 유리 기판이 접합되어 있고, 액정 패널이 되는 단위 구조체가 XY방향으로 늘어서도록 패터닝되어 있으며, 머더 기판(M)을 단위 구조체마다 분단함으로써 제품이 얻어지도록 되어 있다.
스크라이브 장치(SC)는, 머더 기판(M)을 수평으로 올려놓은 상태에서 회전 가능한 테이블(4)과, 이 테이블(4)을 일방향(도 1의 지면(紙面)에 수직 방향)으로 이동 가능하게 지지하는 레일(5)과, 테이블(4)의 상방에서 레일(5)과 직교하는 방향(도 1의 좌우 방향)으로 가교된 가이드 바(6)와, 이 가이드 바(6)를 따라서 이동 가능하게 설치된 2기의 스크라이브 헤드(7a, 7b)와, 스크라이브 헤드(7a, 7b)의 하단에 승강 가능하게 장착된 커터 홀더(8a, 8b)를 구비하고 있다.
그리고 커터 홀더(8a)에 홈이 있는 제1 커터 휠(12)이 부착되고, 커터 홀더(8b)에 홈이 있는 제2 커터 휠(13)이 부착된다.
제1 커터 휠(12)과 제2 커터 휠(13)은, 함께 「APIO」 타입, 즉 날끝 능선에 있는 홈의 둘레 방향 길이를 돌기의 둘레 방향 길이보다도 짧게 한 홈이 있는 커터 휠이다. 휠 지름은 동일하게 되어 있지만, 제1 커터 휠(12)의 절결수는 제2 커터 휠(13)보다도 적게 되어 있고, 따라서 날끝 능선의 절결의 피치는 제1 커터 휠(12)이 제2 커터 휠(13)보다도 길게 되어 있다.
구체적으로는, 예를 들면, 휠 지름은 모두 3㎜, 절결의 깊이가 1㎛로 되어 있으며, 제1 커터 휠의 절결의 둘레 방향 길이 4㎛～14㎛, 절결수 5(따라서 절결의 피치 1884㎛(3㎜×π/5))로 하고, 제2 커터 휠의 절결의 둘레 방향 길이 4㎛～14㎛, 절결수 300(따라서 절결의 피치 31㎛(3㎜×π/300))으로 하고 있다.
이 경우의 절결수의 비는 1/60(즉 5개/300개)로 되어 있다.
다음으로, 스크라이브 장치(SC)에 의한 동작에 대해서 설명한다. 도 2, 도 3은 본 발명의 스크라이브 방법에 의한 가공 순서를 나타내는 도면이다.
테이블(4) 상에, 제1 기판(G1)측을 위로 하여, X방향(제1 방향)이 레일(5)의 방향에 일치하도록 머더 기판(M)을 올려놓는다. 그리고, 제1 커터 휠(12)을 이용하여 X방향의 스크라이브 라인(S1)을 순차 형성한다(도 2(a)).
계속해서, 테이블(4)을 90도 회전하여, Y방향(제2 방향)이 레일(5)의 방향에 일치하도록 한 후에, 제2 커터 휠(13)을 이용하여 Y방향의 스크라이브 라인(S2)을 순차 형성한다. 이때 스크라이브 라인(S1)과의 교차 부분에서 크로스 스크라이브가 행해지게 되지만, 침투성이 높아지는 제2 커터 휠(13)을 이용하고 있기 때문에, 교점 건너뜀은 발생하지 않는다(도 2(b)).
계속해서, 머더 기판(M)을 브레이크 장치로 이동한다. 머더 기판(M)을 반전 하여 제2 기판(G2)이 위로 되게 하고, 조금 전 형성한 스크라이브 라인(S1, S2)의 뒤쪽을 따라서 브레이크 바를 제2 기판(G2)측으로부터 맞닿도록 하여 기판을 휘게 함으로써 제1 기판(G1)을 브레이크 한다(도 2(c)). 이때 제1 기판(G1)은 단위 기판마다 브레이크되지만, 각 단위 기판은 제2 기판(G2)에 접착되어 있기 때문에 각각으로 분리되는 일은 없다.
계속해서, 재차 머더 기판(M)을 스크라이브 장치로 이동하여, 제2 기판(G2)을 위로 하고, Y방향(제2 방향)이 레일(5)의 방향에 일치하도록 올려놓는다. 그리고, 제1 커터 휠(12)을 이용하여 Y방향의 스크라이브 라인(S3)을 순차 형성한다(도 3(a)).
계속해서, 테이블(4)을 90도 회전하여, X방향(제1 방향)이 레일(5)의 방향에 일치하도록 한 후에, 제2 커터 휠(13)을 이용하여 X방향의 스크라이브 라인(S4)을 순차 형성한다. 이때 스크라이브 라인(S3)과의 교차 부분에서 크로스 스크라이브가 행해지게 되지만, 침투성이 높아지는 제2 커터 휠(13)을 이용하고 있기 때문에, 교점 건너뜀은 발생하지 않는다(도 3(b)).
계속해서, 재차 머더 기판(M)을 브레이크 장치로 이동한다. 머더 기판(M)을 반전하여 제1 기판(G1)이 위로 되게 하고, 조금 전 형성한 스크라이브 라인(S3, S4)의 뒤쪽을 따라서 스크라이브 바를 제1 기판(G1)측으로부터 맞닿도록 하여 기판을 휘게 함으로써 제2 기판(G2)을 브레이크한다(도 3(c)). 이때 제1 기판(G1)과 제2 기판(G2)은 접합된 상태에서 단위 기판마다 각각으로 분리된다.
도 4는, 전술한 순서로 분단된 단위 기판의 단면 강도의 상태를 나타내는 모식도(schematic view)이다. 분단면은, 제1 기판(G1)과 제2 기판(G2) 중 어느 한쪽이 제1 커터 휠(12), 다른 한쪽이 제2 커터 휠(13)로 스크라이브되어 있기 때문에, 한쪽의 기판의 단면 강도(E1)는 강하고, 다른 한쪽의 기판의 단면 강도(E2)는 그보다 약해져 있다. 접합 기판 전체로서의 단면 강도는 평균화됨과 함께, 단면 강도가 강한 측의 기판의 존재로 접합 기판으로서의 단면 강도를 확보할 수 있음과 함께, 교점 건너뜀이 발생하지 않도록 가공할 수 있게 되어 있다.
본 실시 형태에서는, 상하 기판에 형성하는 스크라이브 라인은 모두 동일 평면의 단면이 되도록 했지만, 단자 영역의 형성을 위해 단차면이 형성되는 단면의 경우라도 본 발명을 그대로 적용할 수 있다.
또한, 본 발명은 유리 기판 이외의 취성 재료 기판에 있어서도 이용할 수 있다.
본 발명의 스크라이브 방법은, 유리 기판 등의 접합 기판을 분단할 때에 이용할 수 있다.
M : 접합 기판
G1 : 제1 기판
G2 : 제2 기판
E1 : 강한 단면 강도
E2 : 약한 단면 강도
S1 : 제1 기판의 제1 방향(X방향)의 스크라이브 라인
S2 : 제1 기판의 제2 방향(Y방향)의 스크라이브 라인
S3 : 제2 기판의 제2 방향(Y방향)의 스크라이브 라인
S4 : 제2 기판의 제1 방향(X방향)의 스크라이브 라인
12 : 제1 커터 휠(홈이 있는 커터 휠)
13 : 제2 커터 휠(홈이 있는 커터 휠)

Claims (4)

  1. 제1 기판과 제2 기판이 접합된 접합 기판을, 서로 교차하는 제1 방향과 제2 방향을 따라서 분단할 때에, 미리 제1 기판과 제2 기판의 각각에, 제1 방향과 제2 방향으로 스크라이브 라인을 형성하는 접합 기판의 스크라이브 방법으로서,
    원주 능선을 따라서 절결과 돌기가 교대로 형성됨과 함께, 절결의 둘레 방향 길이가 돌기의 둘레 방향 길이보다도 짧고, 그리고, 절결의 피치가 제1 길이인 제1 커터 휠과,
    원주 능선을 따라서 절결과 돌기가 교대로 형성됨과 함께, 절결의 둘레 방향 길이가 돌기의 둘레 방향 길이보다도 짧고, 그리고, 절결의 피치가 상기 제1 길이보다도 짧은 제2 커터 휠의 2종류의 홈이 있는 커터 휠을 이용하여,
    제1 기판의 제1 방향은 제1 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고,
    제1 기판의 제2 방향은 제2 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고,
    제2 기판의 제2 방향은 제1 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하고,
    제2 기판의 제1 방향은 제2 커터 휠로 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 접합 기판의 스크라이브 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    제1 커터 휠과 제2 커터 휠은 휠 지름이 동일하며, 제1 커터 휠의 절결수가 제2 커터 휠의 절결수보다도 작은 접합 기판의 스크라이브 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    제1 커터 휠과 제2 커터 휠의 절결수의 비가 1/10～1/100인 접합 기판의 스크라이브 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    휠 지름이 2㎜～3㎜이고, 절결의 둘레 방향 길이가 4㎛～14㎛인 접합 기판의 스크라이브 방법.
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