JP2014036141A - 吸着定盤 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 吸着定盤1は、保持面1Aに設定される吸着部に極薄のシート状のワークが吸引吸着される。本発明では、このような吸着定盤であって、吸着溝10、複数の下穴20および複数の連通溝30を有する。吸着溝10は、保持面1Aにおける吸着部に形成され、複数の縦溝11および複数の横溝12によって格子状に形成される。複数の下穴20は、保持面1Aと反対側の面1Bにおける吸着部に対応する領域の適所であって、吸着溝10の直下に形成される。複数の連通溝30は、吸着溝10と略同一の溝幅で吸着溝10に沿って形成され、複数の下穴20の各々の上端に接続され、下孔と吸着溝とを連通させる。
【選択図】図4
Description
1A…保持面
2…ブッシュ
10…吸着溝
11…縦溝
12…横溝
20…下穴
30…連通溝
101…吸着定盤
101A…保持面
102…ブッシュ
110…吸着溝
110A…保持面
111…縦溝
112…横溝
120…下穴
130…連通孔
Claims (3)
- 保持面に設定される吸着部に極薄のシート状のワークが吸引吸着される吸着定盤であって、
前記保持面における前記吸着部に形成され、複数の縦溝および複数の横溝によって格子状に形成される吸着溝と、
前記保持面と反対側の面における前記吸着部に対応する領域の適所であって、前記吸着溝の直下に形成される複数の下穴と、
前記吸着溝と略同一の溝幅で該吸着溝に沿って形成され、前記複数の下穴の各々の上端に接続され、当該下穴と前記吸着溝とを連通させる複数の連通溝と、
を有する吸着定盤。 - 前記連通溝が前記縦溝もしくは前記横溝にのみ沿って形成される、請求項1に記載の吸着定盤。
- 前記連通溝が前記縦溝と前記横溝との交点以外の部分に形成される、請求項2に記載の吸着定盤。
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