JP4447654B2 - スクライブ装置及びスクライブ方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス、半導体などの脆性材料からなる薄板状のワークにスクライブ線を刻むスクライブ装置及び方法に関する。

脆性材料からなる薄板状のワークを分断する際には、ワークの表面にはあらかじめスクライブ線が刻み付けられる。スクライブ線を形成後、スクライブ線に沿ってワークを曲げると、スクライブ線のクラックがワークの裏面まで到達し、ワークが分断される。

ワークにスクライブ線を刻むスクライブ方法としては、スクライブヘッドに算盤玉状の回転可能なカッターホイールを設け、カッターホイールをワークに押し付けた状態で、カッターホイールがワークの表面上を転がるようにスクライブヘッドを移動させる方法や、カッターホイールの替わりにポイントダイヤと呼ばれる先端が尖った工具をワークに押し付けてスクライブ線を刻む方法がある。深い垂直クラックを形成するために、カッターホイールやポイントダイヤなどのカッタに振動が付与される場合もある。

図１０に示されるように、従来のスクライブ装置においては、ワークＷにスクライブ線を刻むとき、ワークＷのスクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分を挟んだ両側がテーブル６１に固定されていた。そして、カッタをスクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分に沿って相対的に移動させることで、ワークＷの表面に垂直クラックを刻んでいた（例えば特許文献１参照）。スクライブ線Ｌを挟んだ両側をテーブル６１に固定することで、ワークを安定して支持することができる。

特開平９−３１５８３２号公報

しかし、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分の両側がテーブルに固定されると、スクライブ時に発生している垂直クラックを成長させようとする方向の力(1)のベクトル（ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力）を抑え込む力(2)が働く。このため、垂直クラックが成長しにくくなり、余剰な力が水平クラックを成長させてしまう。

そこで本発明は、ワークの表面のダメージを少なく、かつ深い浸透を得ることができるスクライブ装置及び方法を提供することを目的とする。

以下、本発明について説明する。上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部が固定され、前記ワークの他方の側を空中に浮いた状態にするテーブルと、空中に浮いた状態にある前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む相対移動機構と、を備えるスクライブ装置である。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のスクライブ装置において、前記ワークに前記カッタが当接するとき、前記カッタが当接する側の前記ワークの表面に引張り応力が発生するように、前記カッタが前記ワークを押し曲げることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のスクライブ装置において、前記ワークを撓ませ、前記ワークの前記他方の側を前記テーブルから浮かせるワーク曲げ手段を備えることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のスクライブ装置において、前記ワーク曲げ手段は、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って設けられ、前記ワークと前記テーブルとの間に介在されるシートからなり、前記ワークの前記一方の側を前記テーブルに固定することによって、前記シートを支点にして前記ワークを撓ませることを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のスクライブ装置において、前記ワーク曲げ手段は、前記テーブルに設けられる複数の空気通過孔からなり、前記ワークの前記一方の側に対応する複数の空気通過孔が前記ワークの一方の側を前記テーブルに真空吸着すると共に、前記ワークの前記他方の側に対応する複数の空気通過孔が前記ワークの前記他方の側に向かって空気を吹き付けることによって、前記ワークを撓ませることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のスクライブ装置において、前記複数の空気通過孔は、前記ワークを真空吸着する機能と、前記ワークに向かって空気を吹き付ける機能とを切り替え可能に有し、 前記ワークを真空吸着する系統の複数の空気流通孔の組み合わせと、前記ワークに向かって空気を吹き付ける系統の複数の空気流通孔の組み合わせを変化させることができることを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項１又は２に記載のスクライブ装置において、前記ワークの前記他方の側が前記テーブルからはみ出た状態で、前記ワークの前記一方の側の少なくとも一部が前記テーブルに固定されることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部が固定され、他方の側が接触するが固定されることのないテーブルと、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む相対移動機構と、を備えるスクライブ装置である。

請求項９に記載の発明は、請求項１ないし８のいずれかに記載のスクライブ装置において、前記スクライブ線は、閉曲線であり、前記テーブルには、前記ワークの前記一方の側である、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分の内側の少なくとも一部が固定され、前記ワークの前記他方の側である、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分の外側が固定されないことを特徴とする。

請求項１０に記載の発明は、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部をテーブルに固定し、前記ワークの他方の側が空中に浮いた状態になるように、前記ワークを前記テーブルにセットする工程と、空中に浮いた状態にある前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む工程と、を備えるスクライブ方法である。

請求項１１に記載の発明は、ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部をテーブルに固定し、他方の側を前記テーブルに接触させるが前記テーブルに固定することのないように、前記ワークを前記テーブルにセットする工程と、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む工程と、を備えるスクライブ方法である。

請求項１に記載の発明によれば、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル（ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力）を抑え込む力が、ワークの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。また、テーブル上でワークをスクライブする方式では、テーブルの平坦度、ワークの厚みの変化等の外的な要因から余剰な力が発生した場合、その力が直接ワークに影響を及ぼし、ワークにダメージを与えるおそれがある。ワークを空中に浮かすことにより、その余剰な力をワークの撓み変形によって逃がすことができ、スクライブ後のワークの品質悪化を防止することができる。

請求項２に記載の発明によれば、ワークの表面に発生した引張り応力が垂直クラックをさらに成長させる。

請求項３に記載の発明によれば、ワークの他方の側をテーブルから空中に浮かせることができる。

請求項４に記載の発明によれば、テーブル上に設けられるシートを支点としてワークを撓ませることができる。

請求項５に記載の発明によれば、テーブルに設けられる空気通過孔からワークの他方の側に向かって空気を吹き付けることで、ワークを撓ませることができる。

請求項６に記載の発明によれば、ワークを吸着する系統の空気流通孔の組み合わせと、ワークに向かって空気を吹き付ける系統の空気流通孔の組み合わせを変化させることによって、一つのテーブルで複数本のスクライブ線を形成することができる。

請求項７に記載の発明によれば、ワークの他方の側を空中に浮かせることができる。

請求項８に記載の発明によれば、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル（ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力）を抑え込む力が、ワークの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。

ワークに閉曲線のスクライブ線を刻んでワークを分断する場合、安定した断面形状を得るためにはスクライブ時に垂直クラックを深く浸透させることが必須条件になる。請求項９に記載の発明によれば、閉曲線のスクライブ線に沿って垂直クラックを深く浸透させることができる。

請求項１０に記載の発明によれば、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル（ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力）を抑え込む力が、ワークの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。また、テーブル上でスクライブする方式では、テーブルの平坦度、ワークの厚みの変化等の外的な要因から余剰な力が発生した場合、その力が直接ワークに影響を及ぼし、ワークにダメージを与えるおそれがある。ワークを空中に浮かすことにより、その余剰な力をワークの撓み変形によって逃がすことができ、スクライブ後のワークの品質悪化を防止することができる。

請求項１１に記載の発明によれば、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル（ワークの表面内でスクライブ線と直交する方向の力）を抑え込む力が、ワークの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。

本発明の第一の実施形態のスクライブ装置の斜視図 テーブル上に吸着されるワークの平面図 テーブル上に吸着されるワークの断面図（図中（Ａ）は吸着固定時を示し、図中（Ｂ）は荷重付加時を示す） 本発明の第一の実施形態のスクライブ装置のテーブルの他の例を示す断面図 本発明の第一の実施形態のスクライブ装置のテーブルのさらに他の例を示す平面図 本発明の第一の実施形態のスクライブ装置のテーブルのさらに他の例を示す断面図 本発明の第二の実施形態のスクライブ装置のテーブルの断面図 本発明の第二の実施形態のスクライブ装置のテーブルの他の例を示す断面図 本発明の第二の実施形態のスクライブ装置のテーブルのさらに他の例を示す断面図 従来のスクライブ装置のテーブルを示す断面図

符号の説明

１…テーブル
３…Ｙ軸移動機構（相対移動機構）
６…Ｘ軸移動機構（相対移動機構）
８…スクライブヘッド
１０…カッタ
１１…シート
１２…支点
２１…テーブル
２２…テーブル
２４…テーブル
３１…テーブル
３２…空気通過孔
４１…テーブル
４２ａ〜４２ｇ…空気流通孔
Ｌ…スクライブ線
Ｗ…ワーク

以下添付図面に基づいて、本発明の第一の実施形態におけるスクライブ装置を説明する。図１はスクライブ装置の斜視図を示す。ガラス、半導体などの脆性材料からなる薄板状のワークはスクライブ装置のテーブル１上に載置される。平坦なテーブル１上には複数の吸着孔が開けられていて、テーブル１上に載せられたワークＷを吸着する。テーブル１は基礎フレーム２上に設けられた移動機構であるＹ軸移動機構３によって水平面内のＹ方向に移動される。Ｙ軸移動機構３のステージ３ａ上にはアライメント（位置決め）用のθ軸回転機構４が設けられる。このθ軸回転機構４上にテーブル１が取り付けられる。

基礎フレーム２上にはコラム５が設けられる。コラム５はスクライブヘッド８の移動方向であるＸ軸方向に伸びる。移動機構であるＸ軸移動機構６は、スクライブヘッド８を水平面内のＸ軸方向に移動させる。スクライブヘッド８は、Ｘ軸移動機構６のステージに取り付けられる。スクライブヘッド８はＺ軸移動機構によって上下方向に移動される。スクライブヘッド８には、水平面内で３６０度回転する回転ベアリング９を介してカッタ１０が取り付けられる。カッタ１０は、算盤玉状で垂直面内で回転可能なカッターホイールか、又は先端にダイヤモンドを埋め込んだポイントダイヤである。

スクライブを開始するにあたって、テーブル１上にワークＷを載せ、θ軸回転機構４によってワークＷのθ軸の位置決めをし、Ｘ軸移動機構６及びＹ軸移動機構３によってワークＷのＸ，Ｙ座標の位置決めをする。ワークＷの位置決めが終了したら、Ｚ軸移動機構によってスクライブヘッド８のカッタ１０を下降させ、カッタ１０をワークＷの表面に当接させる。カッタ１０に荷重を付与し、所定の切込み量が得られたら、Ｘ軸移動機構６によってスクライブヘッド８をＸ方向に移動させ、これと同時にＹ軸移動機構３によってテーブル１をＹ方向へ移動させると、ワークＷの表面に水平面内で任意のスクライブ線Ｌを刻むことが可能になる。この実施形態では、ワークＷの表面に四角形の角が円弧状に形成された閉曲線のスクライブ線Ｌが形成される。

図２はテーブル１上に吸着されるワークＷの平面図を示し、図３はテーブル１上に吸着されるワークＷの断面図を示す。ワークＷをテーブル１に吸着するのに先立って、テーブル１とワークＷとの間にはシート１１が介在される。シート１１は、ワークＷのスクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分に沿って四角形の枠状に形成される。そして、ワークＷのスクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側（枠状のシート１１の内側）を、真空吸着によってテーブル１に接触・固定する。すると図３（Ａ）に示されるように、シート１１の内周縁がワークＷの撓み変形の支点１２になってワークＷが撓み、ワークＷのスクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分を挟んだ他方の側（枠状のシート１１の外側）の全体がテーブル１から空中に浮いた片持ち状態になる。スクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分は支点１２からシート１１の外側に配置され、スクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分の直下には中空が存在する。ワークＷをテーブル１に固定した状態では、ワークＷの空中に浮いた部分には曲げモーメントや荷重がかけられていない。

空中に浮いた状態にあるワークＷにカッタ１０を当接させて、カッタ１０に荷重を付加すると、図３（Ｂ）に示されるように、カッタ１０が当接する側のワークＷの表面に引張り応力が発生するように（言い換えれば、ワークＷが上に凸の曲面になるように）、カッタ１０がワークＷを押し曲げる。このとき、ワークＷの空中に浮いた部分にはカッタ１０からの荷重のみが付与される。

この状態で、Ｘ軸移動機構６及びＹ軸移動機構３が、スクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分に沿ってカッタ１０をワークＷに対して相対的に移動させると、ワークＷにスクライブ線Ｌが刻まれる。ワークＷの他方の側には、垂直クラックを成長させるために必要な力を抑え込む力が働かないので、垂直クラックが成長し易くなる。さらに、ガラスの表面に発生した引張り応力は、発生した垂直クラックが成長するように作用するので、垂直クラックをワークＷの奥までさらに成長させることが可能になる。

カッタ１０はシートの上方にあるワークＷにスクライブ線Ｌを刻む。カッタ１０をワークＷに押し付けるとき、シート１１が撓んだワークＷの受けになるので、スクライブ線Ｌを安定させることができる。

スクライブ線Ｌを形成した後、ワークＷはスクライブ線Ｌに沿ってブレイクされる。このブレイク工程においては、ワークＷをスクライブ線Ｌに沿って折り曲げ、ワークＷの表面の垂直クラックをワークＷの裏面まで到達させて、ワークＷを分断する。閉曲線のスクライブ線Ｌに沿ってワークＷを分断する場合、マザーガラスから閉曲線の型を抜くような分断になる。ワークＷの分断を容易にするために、スクライブ工程において、マザーガラスの端部からスクライブ線Ｌまで到達する捨線を形成してもよい。ワークＷをスクライブ線Ｌ及び捨線に沿って複数回に分断することで、ワークＷの分断が容易になる。

板状の脆性材料を直線以外の軌跡（異形）で分断（ブレイク）する際、安定した断面形状を得るためには、スクライブ時に垂直クラックを深く浸透させることが必須条件になる。例えばガラスを円弧形状に分断しようとした際に、もし垂直クラックを深く浸透させることができないならば、分断によって成長する垂直クラックが直進しようとするので、円弧形状のスクライブ線Ｌに追従しなくなる。そのため、スクライブ線Ｌが形成されるワークＷの表面とは反対側のワークＷの裏面のガラス形状が円弧形状とならなくなる。また、スクライブ時の垂直クラックが浅く、分断時に大きな曲げ力を必要とするならば、分断時にガラス同士が擦れ、製品部分に大きなダメージを与えてしまう。

垂直クラックを高浸透させるために、従来は特殊な工具や振動を加える等の方法を用いるしかなく、ノーマルホイールだけでは、垂直クラックを深く浸透させることは困難であった。しかし、ワークＷとテーブル１との間にシート１１を挟むことによって、ノーマルホイールでも垂直クラックの深いスクライブ線Ｌを容易に得ることが可能となる。閉曲線にスクライブした場合でも、垂直クラックの深いスクライブ線Ｌを得ることが可能になるので、製品へのダメージを極力少なくした分断が可能になる。

図４は、テーブル１の他の例を示す。この例では、テーブル３１に複数の空気通過孔３２が設けられている。スクライブ線Ｌを挟んだワークＷの一方の側の少なくとも一部に配置される複数の空気通過孔は、ワークＷの一方の側を真空吸着し、ワークＷの一方の側をテーブル３１に固定する。ワークＷの他方の側に配置される複数の空気通過孔３２は、ワークＷの他方の側に向かって空気を吹き付けることで、ワークＷの他方の側を撓ませ、ワークＷの他方の側を空中に浮かせている。このように、真空吸着と正圧空気噴出とを組み合わせることで、シート１１を使用しなくてもワークＷを撓ませることができる。この例では、カッタ１０がワークＷに当接する位置において、ワークＷをテーブル３１から浮かせるため、ワークＷがテーブル３１から浮き上がる位置３３は、カッタ１０がワークＷに当接する位置よりも吸着固定側（図中左側）に配置される。浮き上がる位置３３とカッタ１０がワークＷに当接する位置との間に配置される空気通過孔３２は、ワークＷに向かって空気を吹き付ける。

図５は、テーブル１のさらに他の例を示す。この例では、複数の空気流通孔４２ａ〜４２ｇは、ワークＷを真空吸着する機能と、ワークＷに向かって空気を吹き付ける機能とを切り替え可能に有する。縦一列に配列された複数の空気流通孔４２ａ〜４２ｇは一つの系統としてまとめられていて、一つの系統の空気流通孔４２ａ〜４２ｇは、横方向に複数列設けられている。真空吸着する系統の列数と、空気を吹き付ける系統の列数は、ワークＷのスクライブ線Ｌの位置に合わせて変化する。ワークＷを真空吸着する系統の複数の空気流通孔４２ａ〜４２ｇの組み合わせと、ワークＷに向かって空気を吹き付ける系統の複数の空気流通孔４２ａ〜４２ｇの組み合わせを変化させることで、ワークＷの一方の側を吸着し、他方の側に空気を吹き付ける状態を複数本のスクライブ線Ｌに対して作り上げることができる。すなわち、一つのテーブル４１で複数本のスクライブ線Ｌを形成することができる。さらに、真空吸着と正圧空気噴出を組み合わせることによって自在にガラスの凸形状を得ることが可能になる。

図６はテーブル１のさらに他の例を示す。この例では、ワークＷをテーブル５１上で撓ませるのではなく、ワークＷをテーブル５１からはみ出させることで、ワークＷを空中に浮いた状態にする。すなわち、スクライブ線Ｌを挟んだワークＷの他方の側がテーブル５１からはみ出た状態で、ワークＷの一方の側の少なくとも一部がテーブル５１に固定される。ワークＷはテーブル５１に片持ち支持されていて、カッタ１０がワークＷに当接する位置は空中に浮いている。ワークＷにカッタ１０が当接するとき、カッタ１０が当接する側のワークＷの表面に引張り応力が発生するように、カッタ１０がワークＷを押し曲げる。

図７は、本発明の第二の実施形態のスクライブ装置のテーブルを示す。この実施形態では、ワークＷの全体（スクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分を挟んだ両方の側）が平坦なテーブル２１の上面に載せられ、ワークＷの全体がテーブル２１の上面に接触する。そして、スクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分を挟んだワークＷの一方の側のみがテーブル２１に固定され、他方の側の全体がテーブル２１に固定されていない。この例のテーブル２１においても、垂直クラックを成長させるために必要な力のベクトル（ワークＷの表面内でスクライブ線Ｌと直交する方向の力）を抑え込む力が、ワークＷの他方の側の固定を解除することで働かなくなる。そのため、垂直クラックが成長し易くなり、水平クラックの成長も抑えることが可能になる。ただし、テーブル２１上でワークＷをスクライブする方式であるので、テーブル２１の平坦度、ワークＷの厚みの変化等の外的な要因から余剰な力が発生した場合、その力が直接ワークＷに影響を及ぼし、ワークＷにダメージを与えるおそれがある。

図８及び図９は、第二の実施形態のスクライブ装置のテーブル２１の他の例を示す。図８に示されるように、テーブル２２のスクライブ線Ｌが刻まれる予定の部分の下方には、溝２３が形成されてもよい。また、図９に示されるように、ワークＷの他方の側の一部がテーブル２４からはみ出していてもよい。

なお、本発明は上記実施形態に限られず、本発明の要旨を変更しない範囲で様々に変更できる。例えば、スクライブ線は閉曲線に限られることなく、直線状に形成されてもよい。

ワークに対するカッタの移動は相対的なものであり、カッタ又はワークのいずれか一方が固定され、他方のみが移動してもよい。

上記実施形態ではワークの上側からカッタを当接させているが、ワークの下側からカッタを当接させてもよい。

上記実施形態では、ワークを撓ませるのにシートを使用しているが、ワークを撓ませることができれば手段は問わない。例えば、シートによる突き上げの替わりに圧電アクチュエータを用いてもよい。

本明細書は、２００７年３月３０日出願の特願２００７−０９５０４７に基づく。この内容はすべてここに含めておく。

Claims (11)

1. ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部が固定され、前記ワークの他方の側を空中に浮いた状態にするテーブルと、
   空中に浮いた状態にある前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む相対移動機構と、を備えるスクライブ装置。
2. 前記ワークに前記カッタが当接するとき、前記カッタが当接する側の前記ワークの表面に引張り応力が発生するように、前記カッタが前記ワークを押し曲げることを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
3. 前記ワークを撓ませ、前記ワークの前記他方の側を前記テーブルから浮かせるワーク曲げ手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクライブ装置。
4. 前記ワーク曲げ手段は、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って設けられ、前記ワークと前記テーブルとの間に介在されるシートからなり、
   前記ワークの前記一方の側を前記テーブルに固定することによって、前記シートを支点にして前記ワークを撓ませることを特徴とする請求項３に記載のスクライブ装置。
5. 前記ワーク曲げ手段は、前記テーブルに設けられる複数の空気通過孔からなり、
   前記ワークの前記一方の側に対応する複数の空気通過孔が前記ワークの一方の側を前記テーブルに真空吸着すると共に、前記ワークの前記他方の側に対応する複数の空気通過孔が前記ワークの前記他方の側に向かって空気を吹き付けることによって、前記ワークを撓ませることを特徴とする請求項４に記載のスクライブ装置。
6. 前記複数の空気通過孔は、前記ワークを真空吸着する機能と、前記ワークに向かって空気を吹き付ける機能とを切り替え可能に有し、
   前記ワークを真空吸着する系統の複数の空気流通孔の組み合わせと、前記ワークに向かって空気を吹き付ける系統の複数の空気流通孔の組み合わせを変化させることができることを特徴とする請求項５に記載のスクライブ装置。
7. 前記ワークの前記他方の側が前記テーブルからはみ出た状態で、前記ワークの前記一方の側の少なくとも一部が前記テーブルに固定されることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクライブ装置。
8. ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部が固定され、他方の側が接触するが固定されることのないテーブルと、
   前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む相対移動機構と、を備えるスクライブ装置。
9. 前記スクライブ線は、閉曲線であり、
   前記テーブルには、前記ワークの前記一方の側である、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分の内側の少なくとも一部が固定され、前記ワークの前記他方の側である、前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分の外側が固定されないことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のスクライブ装置。
10. ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部をテーブルに固定し、前記ワークの他方の側が空中に浮いた状態になるように、前記ワークを前記テーブルにセットする工程と、
    空中に浮いた状態にある前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む工程と、を備えるスクライブ方法。
11. ワークのスクライブ線が刻まれる予定の部分を挟んだ一方の側の少なくも一部をテーブルに固定し、他方の側を前記テーブルに接触させるが前記テーブルに固定することのないように、前記ワークを前記テーブルにセットする工程と、
    前記ワークの前記スクライブ線が刻まれる予定の部分にカッタを当接し、前記スクライブ線が刻まれる予定の部分に沿って前記カッタを前記ワークに対して相対的に移動して、前記ワークにスクライブ線を刻む工程と、を備えるスクライブ方法。

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