KR20100012864A - 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 작업물의 표면의 손상을 적게, 또한 깊은 침투를 얻을 수 있는 스크라이브 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 스크라이브 장치는, 작업물(W)의 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부가 고정되고, 작업물(W)의 다른 쪽의 측을 공중에 띄운 외팔보 상태로 하는 테이블(1)과, 공중에 뜬 상태에 있는 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분에 커터(10)를 접촉하고, 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 커터(10)를 작업물(W)에 대해 상대적으로 이동하여, 작업물(W)에 스크라이브 선(L)을 새기는 상대 이동 기구(3, 6)를 구비한다. 수직 크랙을 성장시키기 위해 필요한 힘의 벡터[작업물(W)의 표면 내에서 스크라이브 선과 직교하는 방향의 힘]를 억제하는 힘이, 작업물(W)의 다른 쪽의 측의 고정을 해제함으로써 작용하지 않게 된다. 그로 인해, 수직 크랙이 성장하기 쉬워지고, 수평 크랙의 성장도 억제하는 것이 가능해진다.

스크라이브 장치, 작업물, 커터, 상대 이동 기구, 스크라이브 선

Description

스크라이브 장치 및 스크라이브 방법 {SCRIBING DEVICE AND SCRIBING METHOD}

본 발명은, 글래스, 반도체 등의 취성 재료로 이루어지는 박판 형상의 작업물에 스크라이브 선을 새기는 스크라이브 장치 및 방법에 관한 것이다.

취성 재료로 이루어지는 박판 형상의 작업물을 분단할 때에는, 작업물의 표면에는 미리 스크라이브 선이 새겨 넣어진다. 스크라이브 선을 형성 후, 스크라이브 선을 따라 작업물을 구부리면, 스크라이브 선의 크랙이 작업물의 이면까지 도달하여 작업물이 분단된다.

작업물에 스크라이브 선을 새기는 스크라이브 방법으로서는, 스크라이브 헤드에 주판알 형상의 회전 가능한 커터 휠을 설치하고, 커터 휠을 작업물에 압박한 상태에서, 커터 휠이 작업물의 표면 상을 구르도록 스크라이브 헤드를 이동시키는 방법이나, 커터 휠 대신에 포인트 다이아몬드라 불리우는 선단부가 뾰족한 공구를 작업물에 압박하여 스크라이브 선을 새기는 방법이 있다. 깊은 수직 크랙을 형성하기 위해, 커터 휠이나 포인트 다이아몬드 등의 커터에 진동이 부여되는 경우도 있다.

도 10에 도시되는 바와 같이, 종래의 스크라이브 장치에 있어서는, 작업 물(W)에 스크라이브 선을 새길 때, 작업물(W)의 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 양측이 테이블(61)에 고정되어 있었다. 그리고 커터를 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 따라 상대적으로 이동시킴으로써, 작업물(W)의 표면에 수직 크랙을 새기고 있었다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 스크라이브 선(L)을 사이에 둔 양측을 테이블(61)에 고정함으로써, 작업물을 안정적으로 지지할 수 있다.

특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 평9-315832호 공보

그러나 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분의 양측이 테이블에 고정되면, 스크라이브시에 발생되어 있는 수직 크랙을 성장시키려고 하는 방향의 힘 (1)의 벡터(작업물의 표면 내에서 스크라이브 선과 직교하는 방향의 힘)를 억제하는 힘 (2)가 작용한다. 이로 인해, 수직 크랙이 성장하기 어려워지고, 잉여의 힘이 수평 크랙을 성장시켜 버린다.

따라서 본 발명은, 작업물의 표면의 손상을 적게, 또한 깊은 침투를 얻을 수 있는 스크라이브 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이하, 본 발명에 대해 설명한다. 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명은, 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부가 고정되고, 상기 작업물의 다른 쪽 측을 공중에 뜬 상태로 하는 테이블과, 공중에 뜬 상태에 있는 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분에 커터를 접촉하고, 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 상기 커터를 상기 작업물에 대해 상대적으로 이동하여, 상기 작업물에 스크라이브 선을 새기는 상대 이동 기구를 구비하는 스크라이브 장치이다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 작업물에 상기 커터가 접촉할 때, 상기 커터가 접촉하는 측의 상기 작업물의 표면에 인장 응력이 발생하도록 상기 커터가 상기 작업물을 눌러 구부리는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 작업물을 휘게 하여, 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측을 상기 테이블로부터 띄우는 작업물 굽힘 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 3에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 작업물 굽힘 수단은, 상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 설치되고, 상기 작업물과 상기 테이블의 사이에 개재되는 시트로 이루어지고, 상기 작업물의 상기 한쪽 측을 상기 테이블에 고정함으로써 상기 시트를 지지점으로 하여 상기 작업물을 휘게 하는 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 작업물 굽힘 수단은, 상기 테이블에 형성되는 복수의 공기 통과 구멍으로 이루어지고, 상기 작업물의 상기 한쪽 측에 대응하는 복수의 공기 통과 구멍이 상기 작업물의 한쪽 측을 상기 테이블에 진공 흡착하는 동시에, 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측에 대응하는 복수의 공기 통과 구멍이 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측을 향해 공기를 뿜어냄으로써 상기 작업물을 휘게 하는 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 복수의 공기 통과 구멍은 상기 작업물을 진공 흡착하는 기능과, 상기 작업물을 향해 공기를 뿜어내는 기능을 절환 가능하게 갖고, 상기 작업물을 진공 흡착하는 계통의 복수의 공기 유통 구멍의 조합과, 상기 작업물을 향해 공기를 뿜어내는 계통의 복수의 공기 유통 구멍의 조합을 변화시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측이 상기 테이블로부터 비어져 나온 상태에서, 상기 작업물의 상기 한쪽 측의 적어도 일부가 상기 테이블에 고정되는 것을 특징으로 한다.

청구항 8에 기재된 발명은, 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부가 고정되고, 다른 쪽 측이 접촉하지만 고정되는 일이 없는 테이블과, 상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분에 커터를 접촉하고, 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 상기 커터를 상기 작업물에 대해 상대적으로 이동하여, 상기 작업물에 스크라이브 선을 새기는 상대 이동 기구를 구비하는 스크라이브 장치이다.

청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 스크라이브 선은 폐곡선이며, 상기 테이블에는 상기 작업물의 상기 한쪽 측인, 상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분의 내측의 적어도 일부가 고정되고, 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측인, 상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분의 외측이 고정되지 않는 것을 특징으로 한다.

청구항 10에 기재된 발명은, 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부를 테이블에 고정하고, 상기 작업물의 다른 쪽 측이 공중에 뜬 상태로 되도록 상기 작업물을 상기 테이블에 세트하는 공정과, 공중에 뜬 상태에 있는 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분에 커터를 접촉하고, 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 상기 커터를 상기 작업물에 대해 상대적으로 이동하여, 상기 작업물에 스크라이브 선을 새기는 공정을 구비하는 스크라이브 방법이다.

청구항 11에 기재된 발명은, 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부를 테이블에 고정하고, 다른 쪽 측을 상기 테이블에 접촉시키지만 상기 테이블에 고정하는 일이 없도록 상기 작업물을 상기 테이블에 세트하는 공정과, 상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분에 커터를 접촉하고, 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 상기 커터를 상기 작업물에 대해 상대적으로 이동하여, 상기 작업물에 스크라이브 선을 새기는 공정을 구비하는 스크라이브 방법이다.

청구항 1에 기재된 발명에 따르면, 수직 크랙을 성장시키기 위해 필요한 힘의 벡터(작업물의 표면 내에서 스크라이브 선과 직교하는 방향의 힘)를 억제하는 힘이, 작업물의 다른 쪽 측의 고정을 해제함으로써 작용하지 않게 된다. 그로 인해, 수직 크랙이 성장하기 쉬워지고, 수평 크랙의 성장도 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 테이블 상에서 작업물을 스크라이브하는 방식에서는, 테이블의 평탄도, 작업물의 두께의 변화 등의 외적인 요인으로부터 잉여의 힘이 발생한 경우, 그 힘이 직접 작업물에 영향을 미쳐, 작업물에 손상을 부여할 우려가 있다. 작업물을 공중에 띄움으로써, 그 잉여의 힘을 작업물의 휨 변형에 의해 릴리프할 수 있어, 스크라이브 후의 작업물의 품질 악화를 방지할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명에 따르면, 작업물의 표면에 발생한 인장 응력이 수직 크랙을 더욱 성장시킨다.

청구항 3에 기재된 발명에 따르면, 작업물의 다른 쪽 측을 테이블로부터 공중에 띄울 수 있다.

청구항 4에 기재된 발명에 따르면, 테이블 상에 설치되는 시트를 지지점으로 하여 작업물을 휘게 할 수 있다.

청구항 5에 기재된 발명에 따르면, 테이블에 형성되는 공기 통과 구멍으로부터 작업물의 다른 쪽 측을 향해 공기를 뿜어냄으로써, 작업물을 휘게 할 수 있다.

청구항 6에 기재된 발명에 따르면, 작업물을 흡착하는 계통의 공기 유통 구멍의 조합과, 작업물을 향해 공기를 뿜어내는 계통의 공기 유통 구멍의 조합을 변화시킴으로써, 하나의 테이블에서 복수개의 스크라이브 선을 형성할 수 있다.

청구항 7에 기재된 발명에 따르면, 작업물의 다른 쪽 측을 공중에 띄울 수 있다.

청구항 8에 기재된 발명에 따르면, 수직 크랙을 성장시키기 위해 필요한 힘의 벡터(작업물의 표면 내에서 스크라이브 선과 직교하는 방향의 힘)를 억제하는 힘이, 작업물의 다른 쪽 측의 고정을 해제함으로써 작용하지 않게 된다. 그로 인해, 수직 크랙이 성장하기 쉬워지고, 수평 크랙의 성장도 억제하는 것이 가능해진다.

작업물에 폐곡선의 스크라이브 선을 새겨 작업물을 분단하는 경우, 안정된 단면 형상을 얻기 위해서는 스크라이브시에 수직 크랙을 깊게 침투시키는 것이 필요 조건이 된다. 청구항 9에 기재된 발명에 따르면, 폐곡선의 스크라이브 선을 따라 수직 크랙을 깊게 침투시킬 수 있다.

청구항 10에 기재된 발명에 따르면, 수직 크랙을 성장시키기 위해 필요한 힘의 벡터(작업물의 표면 내에서 스크라이브 선과 직교하는 방향의 힘)를 억제하는 힘이, 작업물의 다른 쪽 측의 고정을 해제함으로써 작용하지 않게 된다. 그로 인해, 수직 크랙이 성장하기 쉬워지고, 수평 크랙의 성장도 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 테이블 상에서 스크라이브하는 방식에서는, 테이블의 평탄도, 작업물의 두께의 변화 등의 외적인 요인으로부터 잉여의 힘이 발생한 경우, 그 힘이 직접 작업물에 영향을 미쳐, 작업물에 손상을 부여할 우려가 있다. 작업물을 공중에 띄움으로써, 그 잉여의 힘을 작업물의 휨 변형에 의해 릴리프시킬 수 있어, 스크라이브 후의 작업물의 품질 악화를 방지할 수 있다.

청구항 11에 기재된 발명에 따르면, 수직 크랙을 성장시키기 위해 필요한 힘의 벡터(작업물의 표면 내에서 스크라이브 선과 직교하는 방향의 힘)를 억제하는 힘이, 작업물의 다른 쪽 측의 고정을 해제함으로써 작용하지 않게 된다. 그로 인해, 수직 크랙이 성장하기 쉬워지고, 수평 크랙의 성장도 억제하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 스크라이브 장치의 사시도이다.

도 2는 테이블 상에 흡착되는 작업물의 평면도이다.

도 3은 테이블 상에 흡착되는 작업물의 단면도이다[도 3의 (A)는 흡착 고정시를 도시하고, 도 3의 (B)는 하중 부가시를 도시함].

도 4는 본 발명의 제1 실시 형태의 스크라이브 장치의 테이블의 다른 예를 도시하는 단면도이다.

도 5는 본 발명의 제1 실시 형태의 스크라이브 장치의 테이블의 또 다른 예를 도시하는 평면도이다.

도 6은 본 발명의 제1 실시 형태의 스크라이브 장치의 테이블의 또 다른 예를 도시하는 단면도이다.

도 7은 본 발명의 제2 실시 형태의 스크라이브 장치의 테이블의 단면도이다.

도 8은 본 발명의 제2 실시 형태의 스크라이브 장치의 테이블의 다른 예를 도시하는 단면도이다.

도 9는 본 발명의 제2 실시 형태의 스크라이브 장치의 테이블의 또 다른 예를 도시하는 단면도이다.

도 10은 종래의 스크라이브 장치의 테이블을 도시하는 단면도이다.

[부호의 설명]

1 : 테이블

3 : Y축 이동 기구(상대 이동 기구)

6 : X축 이동 기구(상대 이동 기구)

8 : 스크라이브 헤드

10 : 커터

11 : 시트

12 : 지지점

21, 22, 24, 31, 41 : 테이블

32 : 공기 통과 구멍

42a 내지 42g : 공기 유통 구멍

L : 스크라이브 선

W : 작업물

이하 첨부 도면에 기초하여, 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치를 설명한다. 도 1은 스크라이브 장치의 사시도를 도시한다. 글래스, 반도체 등의 취성 재료로 이루어지는 박판 형상의 작업물은 스크라이브 장치의 테이블(1) 상에 적재된다. 평탄한 테이블(1) 상에는 복수의 흡착 구멍이 개방되어 있어, 테이블(1) 상에 적재된 작업물(W)을 흡착한다. 테이블(1)은 기초 프레임(2) 상에 설치된 이동 기구인 Y축 이동 기구(3)에 의해 수평면 내의 Y 방향으로 이동된다. Y축 이동 기구(3)의 스테이지(3a) 상에는 얼라인먼트(위치 결정)용의 θ축 회전 기구(4)가 설치된다. 이 θ축 회전 기구(4) 상에 테이블(1)이 장착된다.

기초 프레임(2) 상에는 컬럼(5)이 설치된다. 컬럼(5)은 스크라이브 헤드(8) 의 이동 방향인 X축 방향으로 신장된다. 이동 기구인 X축 이동 기구(6)는, 스크라이브 헤드(8)를 수평면 내의 X축 방향으로 이동시킨다. 스크라이브 헤드(8)는 X축 이동 기구(6)의 스테이지에 장착된다. 스크라이브 헤드(8)는 Z축 이동 기구에 의해 상하 방향으로 이동된다. 스크라이브 헤드(8)에는 수평면 내에서 360도 회전하는 회전 베어링(9)을 통해 커터(10)가 장착된다. 커터(10)는 주판알 형상으로 수직면 내에서 회전 가능한 커터 휠이나, 또는 선단부에 다이아몬드를 매립한 포인트 다이아몬드이다.

스크라이브를 개시하는 데 있어서, 테이블(1) 상에 작업물(W)을 얹고, θ축 회전 기구(4)에 의해 작업물(W)의 θ축의 위치 결정을 하고, X축 이동 기구(6) 및 Y축 이동 기구(3)에 의해 작업물(W)의 X, Y 좌표의 위치 결정을 한다. 작업물(W)의 위치 결정이 종료되면, Z축 이동 기구에 의해 스크라이브 헤드(8)의 커터(10)를 하강시켜, 커터(10)를 작업물(W)의 표면에 접촉시킨다. 커터(10)에 하중을 부여하고, 소정의 절입량이 얻어지면, X축 이동 기구(6)에 의해 스크라이브 헤드(8)를 X 방향으로 이동시키고, 이와 동시에 Y축 이동 기구(3)에 의해 테이블(1)을 Y 방향으로 이동시키면, 작업물(W)의 표면에 수평면 내에서 임의의 스크라이브 선(L)을 새기는 것이 가능해진다. 본 실시 형태에서는, 작업물(W)의 표면에 사각형의 코너가 원호 형상으로 형성된 폐곡선의 스크라이브 선(L)이 형성된다.

도 2는 테이블(1) 상에 흡착되는 작업물(W)의 평면도를 도시하고, 도 3은 테이블(1) 상에 흡착되는 작업물(W)의 단면도를 도시한다. 작업물(W)을 테이블(1)에 흡착하는 데 앞서, 테이블(1)과 작업물(W)의 사이에는 시트(11)가 개재된다. 시 트(11)는 작업물(W)의 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 따라 사각형의 프레임 형상으로 형성된다. 그리고 작업물(W)의 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측[프레임 형상의 시트(11)의 내측]을, 진공 흡착에 의해 테이블(1)에 접촉·고정한다. 그러면, 도 3의 (A)에 도시되는 바와 같이, 시트(11)의 내주연이 작업물(W)의 휨 변형의 지지점(12)이 되어 작업물(W)이 휘고, 작업물(W)의 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 다른 쪽 측[프레임 형상의 시트(11)의 외측]의 전체가 테이블(1)로부터 공중에 뜬 외팔보 상태가 된다. 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분은 지지점(12)으로부터 시트(11)의 외측에 배치되고, 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분의 바로 아래에는 중공이 존재한다. 작업물(W)을 테이블(1)에 고정한 상태에서는, 작업물(W)의 공중에 뜬 부분에는 굽힘 모멘트나 하중이 걸려 있지 않다.

공중에 뜬 상태에 있는 작업물(W)에 커터(10)를 접촉시켜, 커터(10)에 하중을 부가하면, 도 3의 (B)에 도시되는 바와 같이, 커터(10)가 접촉하는 측의 작업물(W)의 표면에 인장 응력이 발생하도록[환언하면, 작업물(W)이 위로 볼록한 곡면이 되도록], 커터(10)가 작업물(W)을 눌러 구부린다. 이때, 작업물(W)의 공중에 뜬 부분에는 커터(10)로부터의 하중만이 부여된다.

이 상태에서, X축 이동 기구(6) 및 Y축 이동 기구(3)가, 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 따라 커터(10)를 작업물(W)에 대해 상대적으로 이동시키면, 작업물(W)에 스크라이브 선(L)이 새겨진다. 작업물(W)의 다른 쪽 측에는, 수직 크랙을 성장시키기 위해 필요한 힘을 억제하는 힘이 작용하지 않으므로, 수직 크랙이 성장하기 쉬워진다. 또한, 글래스의 표면에 발생한 인장 응력은, 발생한 수직 크랙이 성장하도록 작용하므로, 수직 크랙을 작업물(W)의 안쪽까지 더욱 성장시키는 것이 가능해진다.

커터(10)는 시트의 상방에 있는 작업물(W)에 스크라이브 선(L)을 새긴다. 커터(10)를 작업물(W)에 압박할 때, 시트(11)가 휜 작업물(W)의 받침이 되므로, 스크라이브 선(L)을 안정시킬 수 있다.

스크라이브 선(L)을 형성한 후, 작업물(W)은 스크라이브 선(L)을 따라 브레이크된다. 이 브레이크 공정에 있어서는, 작업물(W)을 스크라이브 선(L)을 따라 절곡하고, 작업물(W)의 표면의 수직 크랙을 작업물(W)의 이면까지 도달시켜 작업물(W)을 분단한다. 폐곡선의 스크라이브 선(L)을 따라 작업물(W)을 분단하는 경우, 머더 글래스로부터 폐곡선의 형(型)을 빼는 분단이 된다. 작업물(W)의 분단을 용이하게 하기 위해, 스크라이브 공정에 있어서, 머더 글래스의 단부로부터 스크라이브 선(L)까지 도달하는 사선(捨線)을 형성해도 좋다. 작업물(W)을 스크라이브 선(L) 및 사선을 따라 복수회로 분단함으로써, 작업물(W)의 분단이 용이해진다.

판상의 취성 재료를 직선 이외의 궤적[이형(異形)]으로 분단(브레이크)할 때, 안정된 단면 형상을 얻기 위해서는, 스크라이브시에 수직 크랙을 깊게 침투시키는 것이 필수 조건이 된다. 예를 들어, 글래스를 원호 형상으로 분단하려고 하였을 때에, 만일 수직 크랙을 깊게 침투시킬 수 없으면, 분단에 의해 성장하는 수직 크랙이 직진하려고 하므로, 원호 형상의 스크라이브 선(L)에 추종하지 않게 된다. 그로 인해, 스크라이브 선(L)이 형성되는 작업물(W)의 표면과는 반대측의 작 업물(W)의 이면의 글래스 형상이 원호 형상으로 되지 않게 된다. 또한, 스크라이브시의 수직 크랙이 얕아, 분단시에 큰 굽힘력을 필요로 하면, 분단시에 글래스끼리가 문질러져, 제품 부분에 큰 손상을 부여해 버린다.

수직 크랙을 고침투시키기 위해, 종래는 특수한 공구나 진동을 가하는 등의 방법을 이용할 수밖에 없고, 노멀 휠만으로는 수직 크랙을 깊게 침투시키는 것은 곤란했다. 그러나 작업물(W)과 테이블(1)의 사이에 시트(11)를 끼움으로써, 노멀 휠이라도 수직 크랙이 깊은 스크라이브 선(L)을 용이하게 얻는 것이 가능해진다. 폐곡선으로 스크라이브한 경우라도, 수직 크랙이 깊은 스크라이브 선(L)을 얻는 것이 가능해지므로, 제품에의 손상을 가능한 한 적게 한 분단이 가능해진다.

도 4는 테이블(1)의 다른 예를 도시한다. 본 예에서는, 테이블(31)에 복수의 공기 통과 구멍(32)이 형성되어 있다. 스크라이브 선(L)을 사이에 둔 작업물(W)의 한쪽 측의 적어도 일부에 배치되는 복수의 공기 통과 구멍은, 작업물(W)의 한쪽 측을 진공 흡착하여, 작업물(W)의 한쪽 측을 테이블(31)에 고정한다. 작업물(W)의 다른 쪽 측에 배치되는 복수의 공기 통과 구멍(32)은, 작업물(W)의 다른 쪽 측을 향해 공기를 뿜어냄으로써, 작업물(W)의 다른 쪽 측을 휘게 하여, 작업물(W)의 다른 쪽 측을 공중에 띄우고 있다. 이와 같이, 진공 흡착과 정압(正壓) 공기 분출을 조합함으로써, 시트(11)를 사용하지 않고도 작업물(W)을 휘게 할 수 있다. 본 예에서는, 커터(10)가 작업물(W)에 접촉하는 위치에 있어서, 작업물(W)을 테이블(31)로부터 띄우기 때문에, 작업물(W)이 테이블(31)로부터 떠오르는 위치(33)는, 커터(10)가 작업물(W)에 접촉하는 위치보다도 흡착 고정측(도면 중 좌 측)에 배치된다. 떠오르는 위치(33)와 커터(10)가 작업물(W)에 접촉하는 위치의 사이에 배치되는 공기 통과 구멍(32)은, 작업물(W)을 향해 공기를 내뿜는다.

도 5는, 테이블(1)의 또 다른 예를 도시한다. 본 예에서는, 복수의 공기 유통 구멍(42a 내지 42g)은, 작업물(W)을 진공 흡착하는 기능과, 작업물(W)을 향해 공기를 분사하는 기능을 절환 가능하게 갖는다. 세로 1열로 배열된 복수의 공기 유통 구멍(42a 내지 42g)은 하나의 계통으로서 통합되어 있고, 하나의 계통의 공기 유통 구멍(42a 내지 42g)은, 횡방향으로 복수열 형성되어 있다. 진공 흡착하는 계통의 열수와, 공기를 뿜어내는 계통의 열수는, 작업물(W)의 스크라이브 선(L)의 위치에 맞추어 변화된다. 작업물(W)을 진공 흡착하는 계통의 복수의 공기 유통 구멍(42a 내지 42g)의 조합과, 작업물(W)을 향해 공기를 뿜어내는 계통의 복수의 공기 유통 구멍(42a 내지 42g)의 조합을 변화시킴으로써 작업물(W)의 한쪽 측을 흡착하고, 다른 쪽 측으로 공기를 뿜어내는 상태를 복수개의 스크라이브 선(L)에 대해 만들어낼 수 있다. 즉, 하나의 테이블(41)에서 복수개의 스크라이브 선(L)을 형성할 수 있다. 또한, 진공 흡착과 정압 공기 분출을 조합함으로써 자유롭게 글래스의 볼록 형상을 얻는 것이 가능해진다.

도 6은 테이블(1)의 또 다른 예를 도시한다. 본 예에서는, 작업물(W)을 테이블(51) 상에서 휘게 하는 것이 아니라, 작업물(W)을 테이블(51)로부터 비어져 나오게 함으로써 작업물(W)을 공중에 뜬 상태로 한다. 즉, 스크라이브 선(L)을 사이에 둔 작업물(W)의 다른 쪽 측이 테이블(51)로부터 비어져 나온 상태에서, 작업물(W)의 한쪽 측의 적어도 일부가 테이블(51)에 고정된다. 작업물(W)은 테이 블(51)에 외팔보 지지되어 있고, 커터(10)가 작업물(W)에 접촉하는 위치는 공중에 떠 있다. 작업물(W)에 커터(10)가 접촉할 때, 커터(10)가 접촉하는 측의 작업물(W)의 표면에 인장 응력이 발생하도록 커터(10)가 작업물(W)을 눌러 구부린다.

도 7은 본 발명의 제2 실시 형태의 스크라이브 장치의 테이블을 도시한다. 본 실시 형태에서는, 작업물(W)의 전체[스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 양쪽 측]가 평탄한 테이블(21)의 상면에 얹어져, 작업물(W)의 전체가 테이블(21)의 상면에 접촉한다. 그리고 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 작업물(W)의 한쪽 측만이 테이블(21)에 고정되고, 다른 쪽 측의 전체가 테이블(21)에 고정되어 있지 않다. 본 예의 테이블(21)에 있어서도, 수직 크랙을 성장시키기 위해 필요한 힘의 벡터[작업물(W)의 표면 내에서 스크라이브 선(L)과 직교하는 방향의 힘]를 억제하는 힘이, 작업물(W)의 다른 쪽 측의 고정을 해제함으로써 작용하지 않게 된다. 그로 인해, 수직 크랙이 성장하기 쉬워지고, 수평 크랙의 성장도 억제하는 것이 가능해진다. 단, 테이블(21) 상에서 작업물(W)을 스크라이브하는 방식이므로, 테이블(21)의 평탄도, 작업물(W)의 두께의 변화 등의 외적인 요인으로부터 잉여의 힘이 발생한 경우, 그 힘이 직접 작업물(W)에 영향을 미쳐, 작업물(W)에 손상을 부여할 우려가 있다.

도 8 및 도 9는, 제2 실시 형태의 스크라이브 장치의 테이블(21)의 다른 예를 도시한다. 도 8에 도시되는 바와 같이, 테이블(22)의 스크라이브 선(L)이 새겨질 예정인 부분의 하방에는, 홈(23)이 형성되어도 좋다. 또한, 도 9에 도시되는 바와 같이, 작업물(W)의 다른 쪽 측의 일부가 테이블(24)로부터 비어져 나와 있어 도 좋다.

또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양하게 변경할 수 있다. 예를 들어, 스크라이브 선은 폐곡선에 한정되는 일 없이, 직선 형상으로 형성되어도 좋다.

작업물에 대한 커터의 이동은 상대적인 것이며, 커터 또는 작업물 중 어느 한쪽이 고정되고, 다른 쪽만이 이동해도 좋다.

상기 실시 형태에서는 작업물의 상측으로부터 커터를 접촉시키고 있지만, 작업물의 하측으로부터 커터를 접촉시켜도 좋다.

상기 실시 형태에서는, 작업물을 휘게 하는 데 시트를 사용하고 있지만, 작업물을 휘게 할 수 있으면 수단은 상관없다. 예를 들어, 시트에 의한 밀어 올림 대신에 압전 액추에이터를 이용해도 좋다.

본 명세서는, 2007년 3월 30일 출원된 일본 특허 출원 제2007-095047호에 기초한다. 이 내용은 모두 본원에 포함해 둔다.

Claims (11)

1. 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부가 고정되고, 상기 작업물의 다른 쪽의 측을 공중에 뜬 상태로 하는 테이블과,

   공중에 뜬 상태에 있는 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분에 커터를 접촉하고, 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 상기 커터를 상기 작업물에 대해 상대적으로 이동하여, 상기 작업물에 스크라이브 선을 새기는 상대 이동 기구를 구비하는, 스크라이브 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 작업물에 상기 커터가 접촉할 때, 상기 커터가 접촉하는 측의 상기 작업물의 표면에 인장 응력이 발생하도록 상기 커터가 상기 작업물을 눌러 구부리는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 작업물을 휘게 하여, 상기 작업물의 상기 다른 쪽의 측을 상기 테이블로부터 띄우는 작업물 굽힘 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 작업물 굽힘 수단은, 상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 설치되고, 상기 작업물과 상기 테이블의 사이에 개재되는 시트로 이루어지고,

   상기 작업물의 상기 한쪽 측을 상기 테이블에 고정함으로써, 상기 시트를 지지점으로 하여 상기 작업물을 휘게 하는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 작업물 굽힘 수단은, 상기 테이블에 형성되는 복수의 공기 통과 구멍으로 이루어지고,

   상기 작업물의 상기 한쪽 측에 대응하는 복수의 공기 통과 구멍이 상기 작업물의 한쪽 측을 상기 테이블에 진공 흡착하는 동시에, 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측에 대응하는 복수의 공기 통과 구멍이 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측을 향해 공기를 뿜어냄으로써, 상기 작업물을 휘게 하는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 복수의 공기 통과 구멍은, 상기 작업물을 진공 흡착하는 기능과, 상기 작업물을 향해 공기를 뿜어내는 기능을 절환 가능하게 갖고,

   상기 작업물을 진공 흡착하는 계통의 복수의 공기 유통 구멍의 조합과, 상기 작업물을 향해 공기를 뿜어내는 계통의 복수의 공기 유통 구멍의 조합을 변화시킬 수 있는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측이 상기 테이블로부터 비어져 나온 상태에서, 상기 작업물의 상기 한쪽 측의 적어도 일부가 상기 테이블에 고정되는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
8. 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부가 고정되고, 다른 쪽 측이 접촉하지만 고정되는 일이 없는 테이블과,

   상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분에 커터를 접촉하고, 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 상기 커터를 상기 작업물에 대해 상대적으로 이동하여, 상기 작업물에 스크라이브 선을 새기는 상대 이동 기구를 구비하는, 스크라이브 장치.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스크라이브 선은 폐곡선이고,

   상기 테이블에는, 상기 작업물의 상기 한쪽 측인, 상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분의 내측의 적어도 일부가 고정되고, 상기 작업물의 상기 다른 쪽 측인, 상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분의 외측이 고정되지 않는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
10. 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부를 테이블에 고정하고, 상기 작업물의 다른 쪽 측이 공중에 뜬 상태가 되도록 상기 작업물을 상기 테이블에 세트하는 공정과,

    공중에 뜬 상태에 있는 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분에 커터를 접촉하고, 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 상기 커터를 상기 작업물에 대해 상대적으로 이동하여, 상기 작업물에 스크라이브 선을 새기는 공정을 구비하는, 스크라이브 방법.
11. 작업물의 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 사이에 둔 한쪽 측의 적어도 일부를 테이블에 고정하고, 다른 쪽 측을 상기 테이블에 접촉시키지만 상기 테이블에 고정하는 일이 없도록 상기 작업물을 상기 테이블에 세트하는 공정과,

    상기 작업물의 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분에 커터를 접촉하고, 상기 스크라이브 선이 새겨질 예정인 부분을 따라 상기 커터를 상기 작업물에 대해 상대적으로 이동하여, 상기 작업물에 스크라이브 선을 새기는 공정을 구비하는, 스크라이브 방법.

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