KR20130022586A - Apparatus for manufacturing divided mask frame assembly for big size of amoled multi cell tv and mobile panel using horizontal moving type gripper and anticline lighting device - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 title claims abstract description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 47
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 2
- JCLFHZLOKITRCE-UHFFFAOYSA-N 4-pentoxyphenol Chemical compound CCCCCOC1=CC=C(O)C=C1 JCLFHZLOKITRCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 1
- 238000009432 framing Methods 0.000 claims 1
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 5
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000009428 plumbing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
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- H—ELECTRICITY
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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Abstract
Description
본 발명은 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조장치에 관한 것으로, 자세하게는 대면적의 다면취 마스크 프레임 어셈블리를 제조하기 위해 양측면에 X 스커트만 있는 혹은 Y방향 스커트가 형성된 다수개의 분할 마스크를 순차적으로 파지하여 공급하는 수평 이동형 그리퍼와, 이 수평 이동형 그리퍼에 설치되어 폭이 큰 분할 마스크가 폭방향으로 주름이 생기지 않게 Y방향 스커트를 상부방향으로 파지후 인장하는 Y방향 그리퍼와, 분할마스크의 셀에 형성된 스트라이프와 마더글라스 패턴간의 위치결정도를 정밀하게 측정하여 위치결정도를 높이기 위한 배사조명 장치를 포함하여 고정세의 마스크 프레임 어세블리를 제조하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a split mask frame assembly manufacturing apparatus having a gripper device and an emission lighting device for producing a horizontal mask frame assembly for manufacturing a large-area TV or mobile AMOLED panel. A horizontal movable gripper that sequentially grips and supplies a plurality of divided masks having only X skirts or Y-direction skirts on both sides to manufacture an assembly, and a large divided mask installed on the horizontal movable gripper is wrinkled in the width direction. The gripper includes a Y-direction gripper which grips the Y-direction skirt in the upward direction and tensions it, and an illumination device for increasing the positioning by precisely measuring the positioning between the stripe and the mother pattern formed on the cells of the splitting mask. Three mask frame assemblies It relates to a tank device.
OLED(유기발광다이오드)는 반응속도가 박막트랜지스터액정표시장치(TFT LCD)보다 월등히 빠르다. 또 자체 발광으로 백라이트 없이 두께와 무게를 3분의 1이나 줄일 수 있으며 넓은 시야각과 저전력 소비 구조를 자랑하는 차세대 디스플레이이다.OLEDs (organic light emitting diodes) have a much faster reaction rate than thin film transistor liquid crystal displays (TFT LCDs). The self-illumination reduces thickness and weight by one third without backlight, and is a next-generation display with a wide viewing angle and low power consumption.
이러한 OLED는 AM방식(능동)과 PM방식(수동)으로 나뉜다. PMOLED는 AMOLED에 비해 제작단가가 낮고, 소비전력, 수명과 해상도에 한계가 있다. AMOLED는 각 화소마다 TFT와 커패시터가 있으며 소비전력, 수명, 해상도 측면 모두에서 우수하기 때문에, TFT의 제작으로 인해 제조비용이 높아진다는 단점을 딛고, 현재 각 분야의 활발한 개발과 양산 시도가 이어지고 있다. These OLEDs are divided into AM type (active) and PM type (passive). PMOLED has lower manufacturing cost than AMOLED and has limitations in power consumption, lifespan and resolution. Since AMOLED has TFT and capacitor in each pixel and is excellent in terms of power consumption, lifespan, and resolution, the manufacturing cost is increased due to the manufacture of TFT.
무엇보다 AMOLED의 강점은 무엇보다 화질 경쟁력이다. 최대 경쟁자인 LCD에 비해 색 재현율은 30% 포인트나 높고 명암비는 20배나 뛰어나다. LCD의 최대 약점인 동영상의 잔상현상도 AMOLED에서는 찾아볼 수 없다. 이는 LCD가 백라이트라는 간법광원을 액정, 컬러필터 등을 통과시키며 다소 복잡하게 화면을 연출하는 반면에 AMOLED는 유기물질이 자체 발광해 곧바로 자연색의 화면을 재현하기 때문이다.Most of all, AMOLED's strength is image quality competitiveness. Compared to LCD, the biggest competitor, the color reproduction rate is 30 percentage points higher and the contrast ratio is 20 times better. Afterimage of video, the biggest weakness of LCD, is not found in AMOLED. This is because LCD creates a complicated screen by passing a simple light source called backlight through liquid crystal and color filter, while AMOLED reproduces natural color screen by emitting organic material by itself.
더욱이 OLED는 LCD와 비교해 구조가 단순해 제조에 있어, 부품측면에서 매우 유리하다.
Moreover, OLED has a simple structure compared to LCD, which is very advantageous in terms of parts in manufacturing.
그러나 OLED는 재료 원가, 구동회로, 드라이버 IC 가격을 보면, OLED는 감가상각이 차지하는 비율이 전체 원가의 반에 이를 정도로 크다. 이는 OLED가 아직 소비자들에게 대중화되지 않아 대량생산에 의한 제조 단가 효과를 보기 어렵기 때문이다. 하지만 시간이 지나고 물량이 증가하면, 이 감가상각비가 줄어 가격적인 면에서 LCD와의 경쟁이 가능해 질 것으로 기대된다. 그 이유는 자체발광 방식으로 BLU와 컬러필터가 필요하지 않은 등 부품이 적고, 단순하기 때문에 충분히 단가를 낮출수 있기 때문이다. However, in terms of OLED material cost, driver circuit, and driver IC, OLED depreciation accounts for half of the total cost. This is because OLED is not yet popularized to consumers and it is difficult to see the cost effect of manufacturing by mass production. However, as time goes by, the depreciation costs will decrease and competition with LCDs will be possible. The reason for this is that since the components are small and simple, such as the BLU and the color filter are not required by the self-luminous method, the unit price can be lowered sufficiently.
따라서 가격경쟁력을 갖추기 위해서는 감가상각비를 줄이기 위한 각계의 노력이 필요하다.
Therefore, efforts to reduce depreciation costs are needed to secure price competitiveness.
그렇지만 대량생산을 위해서는 아직까지는 넘어야 할 기술적인 문제점들이 있다. 즉, 빛을 내는 유기물질이 제조환경에 매우 민감해 품질이 높은 양질의 디스플레이를 만들기가 여간 힘들지 않아 낮은 수율의 문제를 극복해야하는 과제가 있고, 향 후 대형화될수록 수율 확보는 더 어려워지는 시스템적인 문제들이 있다.
However, there are still technical problems to overcome for mass production. In other words, the organic material that emits light is very sensitive to the manufacturing environment, so it is not difficult to make a high-quality display of high quality. Therefore, there is a problem to overcome the problem of low yield. There is.
이하 원장방식 마스크프레임어셈블리를 이용 유기물 증착기에서 AMOLED를 제조하는 원리를 보인 예시도를 도시하고 있는 도 11을 참고하여 AMOLED(능동형 유기발광다이오드)를 이용한 종래 디스플레이패널의 제조방법을 살펴본다.Hereinafter, a manufacturing method of a conventional display panel using an AMOLED (active organic light emitting diode) will be described with reference to FIG. 11, which illustrates an example of a method of manufacturing AMOLED in an organic vapor deposition apparatus using a ledger mask frame assembly.
원장방식 AMOLED 디스플레이 패널의 기본 구조는 유리기판 위에 양전극인 ITO(Induim-Tin-Oxide)를 형성하고 그 상면에 R, G, B 유기물을 증착하고, 다시 그 위에 음전극을 형성후 양전극과 음전극을 통전시켜 발광토록 하는 간단한 구조를 가진다. The basic structure of the ledger-type AMOLED display panel is to form ITO (Induim-Tin-Oxide) as a positive electrode on a glass substrate, deposit R, G, and B organic materials on the upper surface, and then form a negative electrode on it, and then energize the positive electrode and the negative electrode. It has a simple structure to emit light.
이러한 기본 구성을 가진 AMOLED 디스플레이를 제조하기 위한 종래 마스크 스트레칭(Mask Stretching) 방식은 마스크(Mask)를 정해진 타겟(Target) 위치로 맞추는 방식으로 원장방식 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)의 스트라이프(Stripe) 위치 정도를 측정하여 보상하는 플로우(Flow)를 반복적으로 수행하여 메칭(Matching)하는 방식이다.The conventional mask stretching method for manufacturing an AMOLED display having such a basic configuration is a stripe of a ledger mask frame assembly by adjusting the mask to a predetermined target position. It is a method of matching by repeatedly performing a flow that compensates by measuring a position degree.
따라서 유기 증착기 내 유리기판 소자의 R.G,B 자리와 Mask의 Open 부위가 정확하게 매칭(Matching)되어 증착 소스(Source)에서 유기물을 증발(Evaporating)시키면서 유기물이 유리기판 소자 내 격벽 사이에 정확하게 증착할 수 있도록 유도해주는 마스크 프레임 어셈블리의 정밀도가 매우 중요하다.Therefore, the RG, B positions of the glass substrate elements in the organic evaporator and the open part of the mask are accurately matched, so that organic matters can be accurately deposited between the partition walls of the glass substrate elements while evaporating the organic substances from the deposition source. The precision of the mask frame assembly is very important.
이러한 마스크 프레임 어셈블리 중 원장 마스크(Mask)를 적용한 스트레칭(Stretching) 방식은 원장 마스크(Mask) 자체의 제작 오차, 마스크 결점에 따른 수율저하 및 소재업체에서 공급된 마스크 코일 사이즈(Mask Coil Size)등의 한계로 인해 현재 가능한 것은 4세대 하프(Half)급의 30" 원장 TV 수준이며, 최대화 사이즈(Size)는 42" 단면취 수준이 최고수준의 기술이다. 하지만 증착을 위한 소모품 구성이 고가여서 그 경제성에서 한계성을 지니고 있다.Among these mask frame assemblies, the stretching method applied with the ledger mask includes the manufacturing error of the ledger mask itself, yield reduction due to mask defects, and the mask coil size supplied by the material manufacturer. Due to the limitations, what is currently available is the fourth-generation half-class 30 "ledger TV, while the maximum size is 42" cutout level. However, the consumable composition for deposition is expensive and has limitations in its economy.
이런 이유로 종래의 양산된 AMOLED는 대부분 소형의 패널 크기만을 가진다. 즉, 하나의 원장으로 이루어진 마스크를 사용하여 마스크 프레임 어셈블리를 제조한 것으로 대면적의 AMOLED를 생산시 그 크기의 한계가 있다. 하나의 원장으로 된 마스크를 이용하여 대형화하기 어려운 이유는 마스크 원재료인 코일의 공급 크기가 대형화에 필요한 크기 사이즈로 생산되지 않고 있기 때문이다. 즉, 채산성의 문제로 코일 생산업체에서는 AMOLED 디스플레이 업체에서 필요로 하는 크기를 생산하지 않기 때문이다.
For this reason, conventional mass-produced AMOLEDs mostly have only small panel sizes. That is, a mask frame assembly is manufactured using a mask made of one ledger, and there is a limit in size when producing a large area AMOLED. The reason why it is difficult to enlarge the size using a mask made of one ledger is that the supply size of the coil, which is a mask raw material, is not produced in the size required for the enlargement. In other words, due to profitability, coil producers do not produce the size required by AMOLED display companies.
한편, 도 12는 종래 낙사조명을 이용한 위치 정렬 정도를 측정하는 예시도이다. 도시된 바와 같이 낙사조명을 위한 구성은 하부에 마스크 프레임 상부에 링플레쉬(도시생략)가 설치된 카메라를 위치시킨 후 하부방향으로 비추도록 구성된다. 이와 같이 낙사조명을 하게 되면 카메라는 분할마스크에 형성된 스프라이프 가공된 틈새 공간을 통해 Al 재질의 마더글라스 고정 지그 상부에 설치된 마더글라스 상의 패턴을 촬영하여 패턴의 위치가 분할마스크의 셀에 형성된 스트라이프 틈새를 통해 패턴이 균일한 간격으로 위치하고 있는지를 확인하게 된다. 만약 스트라이프 틈새를 통해 확인된 패턴의 위치가 정위치에 있는지 여부가 정밀하게 측정되지 않는다면 오정렬된 분할마스크가 프레임에 용접될 수 있고, 이 경우 유기소스를 증착하여 AMOLED 패널 제작시 불량품만 양산되게 된다.On the other hand, Figure 12 is an exemplary view for measuring the degree of position alignment using conventional fall lights. As shown, the configuration for the fall light is configured to shine downward in a lower direction after placing a camera having a ring flash (not shown) installed on the mask frame. When the fall lighting is performed, the camera photographs a pattern on the mother glass installed on the mother glass jig of the Al material through the spliced gap space formed in the split mask so that the position of the pattern is a stripe gap formed in the cell of the split mask. Check if the pattern is located at even intervals. If the location of the pattern identified through the stripe gap is not accurately measured, the misaligned split mask may be welded to the frame, and in this case, only defective parts are produced when AMOLED panels are manufactured by depositing organic sources. .
이러한 이유 때문에 정밀한 측정이 중요하지만 종래 낙사조명을 사용시는 분할마스크 표면거칠기 및 불균일한 에칭상태에 의한 난반사 등으로 인한 노이즈 등으로 조명의 휘도 균일성 저하문제가 있다. For this reason, precise measurement is important, but when using conventional fall lighting, there is a problem of deterioration in luminance uniformity of the light due to a split mask surface roughness and noise due to irregular reflection due to an uneven etching state.
또한 해상도 증대로 인한 스트라이프 폭이 줄어듦으로 인한 상부 낙사조명에 의한 그림자 때문에 스트라이프 경계부문의 확인 불가 문제 등등이 있어 낙사조명 방식만으로는 정확한 위치 정렬 확인 측정이 한계에 봉착하게 되었다. In addition, due to the shadow of the upper fallout light due to the decrease in the stripe width due to the increase in resolution, there is a problem that cannot be identified in the stripe boundary area, etc. The accuracy of the alignment alignment measurement is limited by the fallout light method alone.
이 때문에 설사 마더글라스 패턴의 위치가 스트라이프의 틈새 공간부에 제대로 정렬하여 있어도 측정이 불가능할 수도 있다는 문제점이 있다.
For this reason, even if the position of the mother glass pattern is properly aligned with the gap space of the stripe, there is a problem that the measurement may not be possible.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 분할 마스크를 이용하여 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작시 양측면에 Y방향 스커트가 형성된 분할 마스크를 준비후 이를 직접 그리퍼가 파지하여 순차적으로 용접위치까지 이동하도록 하고, 용접시 폭방향 길이가 커진 분할 마스크에 발생하는 주름을 방지할수 있도록 Y방향 스커트를 상부방향으로 파지후 인장하는 Y방향 그리퍼를 구비한 수평 이동형 그리퍼와, 이동된 분할마스크를 용접하기 전에 분할마스크의 셀에 형성된 스트라이프와 마더글라스 패턴간의 위치결정도를 높이도록 하는 배사조명 장치를 포함하여 구성함으로써 고정세의 분할 마스크 프레임 어세블리를 제조하는 장치를 제공하는데 있다.
An object of the present invention for solving the above problems is to prepare a split mask having a Y-direction skirt formed on both sides when manufacturing a large area TV or mobile AMOLED panel using a split mask, and then gripper directly grips and welds them sequentially. The horizontal movable gripper having a Y-direction gripper for holding the Y-direction skirt upward and tensioning to prevent movement of the split mask having a larger length in the width direction during welding. The present invention provides an apparatus for manufacturing a high-definition split mask frame assembly by including an illuminating device for increasing the degree of positioning between the stripe formed on the cells of the split mask and the mother pattern before welding.
또한 본 발명의 다른 목적은 마더글라스를 통한 배사조명을 가능케 하고 조명에 의한 분할마스크의 열화를 방지하기 위해 마더글라스 지그를 석영 재질로 한 분할 마스크 프레임 어세블리를 제조하는 장치를 제공하는데 있다.
In addition, another object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a split mask frame assembly made of a quartz jig made of a mother glass jig in order to enable the illumination through the mother glass and prevent degradation of the split mask by illumination.
또한 본 발명의 다른 목적은 배사조명을 설치하여 분할마스크의 셀에 형성된 스트라이프와 마더글라스 패턴간의 위치결정도를 측정시 조명 열화에 의한 위치결정도 오차를 줄이기 위해 조명을 에지타입 LED 백라이트로 구성한 분할 마스크 프레임 어세블리를 제조하는 장치를 제공하는데 있다.
In addition, another object of the present invention is to install the illumination lighting splitting mask consisting of the edge type LED backlight to reduce the positioning error due to illumination degradation when measuring the positioning between the stripe and the mother glass pattern formed in the cell of the splitting mask An apparatus for manufacturing a frame assembly is provided.
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은, 한쌍의 분할 마스크 이송용 리니어서보모터와;The present invention to achieve the object as described above and to perform the problem for eliminating the conventional defects, a pair of liner servo motor for the transfer of the divided mask;
상기 리니어서보모터에 각각 탑재되어 분할마스크를 파지후 인장력을 가하는 복수개의 분할마스크 그리퍼와, 상기 분할마스크 양측면에 형성된 Y방향스커트를 파지하고 인장하는 Y방향 그리퍼로 분할 마스크를 설정된 프레임 위치까지 수평이동시키는 수평 이동형 그리퍼와;A plurality of split mask grippers mounted on the liner servo motor respectively to hold a split mask and apply tensile force, and a Y-direction gripper to grip and stretch a Y-direction skirt formed on both sides of the split mask to move the split mask to a set frame position. A horizontal movable gripper;
고정 설치된 프레임 하부쪽으로 마더글라스와 마더글라스쪽으로 조명을 비추는 배사조명장치를 순차 로딩하는 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치와;A mother glass and a ship lighting up-down device for sequentially loading the mother glass and the ship lighting device illuminating the mother glass toward the lower part of the fixed frame;
상기 마스크 이송용 리니어서보모터 상부쪽에 설치되어 하부에 탑재된 비전 및 레이저 용접장치를 X,Y,Z 방향으로 이송하는 이송장치와;A transfer apparatus installed at an upper side of the liner servo motor for transferring the mask and transferring the vision and laser welding apparatus mounted in the lower portion in the X, Y, and Z directions;
상기 이송장치에 탑재된 낙사조명장치가 설치된 카메라, 레이저변위센서 및 레이저용접장치를 구비한 비전 및 레이저 용접장치;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 AMOLED Panel 제조공정 중 증착용 Mask Frmae Assumbly 공정에 있어 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치를 제공함으로써 달성된다.In the mask Frmae Assumbly process for deposition during the AMOLED Panel manufacturing process, characterized in that it comprises a; and a vision and laser welding device having a camera, a laser displacement sensor and a laser welding device is installed on the transport device installed It is achieved by providing a split mask frame assembly manufacturing apparatus having a gripper device and an emission lighting device for producing a horizontal mask frame assembly for manufacturing a large area TV or mobile OLED panel.
본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 수평 이동형 그리퍼는 리니어서보모터를 구성하는 가이드 레일 및 가이드 레일 상부에 설치된 가이드블록 상부에 복수개의 분할마스크 그리퍼 및 복수개의 분할마스크 그리퍼 양측단에 설치된 Y방향 그리퍼가 연동되어 이송되도록 구성할 수 있다.
According to an exemplary embodiment of the present invention, the horizontal movable gripper includes a guide rail constituting a liner servo motor and a plurality of split mask grippers and a plurality of split mask grippers in Y-direction grippers installed at both ends of the guide block provided on the top of the guide rail. It can be configured to be transported in conjunction.
본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 Y방향 그리퍼는 분할마스크에 형성된 Y방향 스커트를 지지하는 마스크 가이드롤러와; According to a preferred embodiment of the present invention, the Y-direction gripper includes: a mask guide roller supporting a Y-direction skirt formed on the division mask;
이 가이드롤러를 업다운시키는 롤러 승하강 유닛과; A roller elevating unit for up and down the guide rollers;
상기 Y방향 스커트를 파지하는 마스크 클램퍼와; A mask clamper for holding the Y-direction skirt;
마스크 클램퍼를 작동시키는 마스크 클램퍼 실린더와; A mask clamper cylinder for operating the mask clamper;
상기 마스크 클램퍼와 마스크 클램프 실린더를 탑재한 클램프블럭과; A clamp block on which the mask clamper and the mask clamp cylinder are mounted;
상기 클램프블럭을 전후진 하여 인장력을 가하는 인장실린더;를 포함하여 구성할 수 있다.
It may be configured to include; a tension cylinder for applying a tensile force by advancing the clamp block forward and backward.
본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 클램프블럭은 그 하부에 경사방향 전후진을 가이드하는 경사블록과;According to a preferred embodiment of the present invention, the clamp block includes: an inclined block guiding forward and backward directions in a lower portion thereof;
경사블록 하부에 결합된 가이드블록을 분할마스크 그리퍼의 전후진 방향에 따라 슬라이딩 시키는 가이드 레일이 설치될 수 있다.
A guide rail for sliding the guide block coupled to the lower portion of the inclined block according to the forward and backward directions of the split mask gripper may be installed.
본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 마더글라스는 그 하부에 석영 재질의 투명한 마더글라스 지그가 위치하여 지지토록 구성할 수 있다.
In a preferred embodiment of the present invention, the mother glass may be configured to support a transparent mother glass jig of quartz material beneath it.
본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 배사조명장치는 LED를 광원으로 한 LED 조명장치로 구성할 수 있다.
According to a preferred embodiment of the present invention, the emission lighting device may be configured as an LED lighting device using LED as a light source.
본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 LED 조명장치는 광원이 측방향에서 제공되는 에지형 LED 조명장치로 구성할 수 있다.
In a preferred embodiment of the present invention, the LED lighting device may be configured as an edge type LED lighting device in which the light source is provided in the lateral direction.
상기와 같은 본 발명은 분할 마스크를 이용하여 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작시 양측면에 Y방향 스커트가 형성된 분할 마스크를 준비후 이를 직접 수평 이동형 그리퍼가 파지하여 순차적으로 용접위치까지 이동하도록 하도록 함으로써 그리퍼 숫자를 줄이면서도 분할마스크의 사이즈 변경에 대응하여 항시 정확한 프레임 위치에 분할마스크를 공급하여 위치 시킬 수 있다는 장점과,As described above, the present invention prepares a split mask having Y-direction skirts formed on both sides when manufacturing a large area TV or mobile AMOLED panel using a split mask, and then directly grips the horizontal movable gripper to sequentially move to the welding position. By reducing the number of grippers, the division mask can be supplied at the correct frame position at all times in order to change the size of the division mask.
또한 수평 이동형 그리퍼에 설치된 Y방향 그리퍼가 폭방향 길이가 커진 분할 마스크에 발생하는 주름을 방지하도록 분할마스크에 형성한 Y방향 스커트를 임의의 각도로 상부방향쪽으로 파지하여 인장함으로써 주름을 방지하였다는 장점과,In addition, the Y-direction gripper installed in the horizontally movable gripper prevents wrinkles by holding the Y-direction skirt formed on the division mask upwards at an arbitrary angle and tensioning to prevent wrinkles occurring in the division mask having a larger width direction. and,
또한 분할마스크의 셀에 형성된 스트라이프와 마더글라스 패턴간의 위치결정도를 높이도록 하는 배사조명 장치를 포함하여 구성함으로써 고정세의 분할 마스크 프레임 어세블리 제조가 가능하다는 장점과,In addition, it is possible to manufacture a high-definition split mask frame assembly by including a lighting device to increase the degree of positioning between the stripe and the mother glass pattern formed in the cells of the split mask,
또한 배사조명을 설치하여 분할마스크의 셀에 형성된 스트라이프와 마더글라스 패턴간의 위치결정도를 측정시 석영재질로된 투명한 마더글라스 지그 및 에지타입 LED 백라이트를 사용함으로써 조명 열화에 의한 위치결정도 오차를 줄여 고정세의 대면적 AMOLED 패널을 제조할 수 있다는 장점을 가진 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명이다.
In addition, the transparent illumination jig made of quartz material and the edge type LED backlight are used to measure the positioning degree between stripe and mother glass pattern formed in the cell of the split mask by fixing the illumination by reducing the positioning error due to deterioration of lighting. It is a useful invention with the advantage of being able to manufacture three large-area AMOLED panels and is an invention that is expected to be greatly used in the industry.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 분할 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 평면 구성도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 분할 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 정면 구성도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 분할 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 측면 구성도이고,
도 4은 본 발명의 한 실시예에 따른 Y방향그리퍼가 장치된 수평이동형 그리퍼의 일부를 보인 확대 예시도이고,
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 배사조명을 이용한 위치 정렬 정도를 측정을 보인 예시도이고,
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 배사조명 장치가 구성된 프레임 장변 방향 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치를 보인 예시도이고,
도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 배사조명 장치가 구성된 프레임 단변 방향 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치를 보인 예시도이고,
도 8은 본 발명의 한 실시예에 따라 Y방향 그리퍼가 분할형 마스크의 Y스커트를 인장하는 작용을 보인 예시도이고,
도 9는 본 발명에 따른 Y방향그리퍼가 분할형 마스크의 Y스커트를 인장에 따른 주름 높이 개선을 보인 그래프이고,
도 10은 본 발명의 배사조명하에 촬영된 PPA(Pixel Position Accuracy) 측정 결과와 종래 방식 측정결과를 보인 예시도이고,
도 11은 종래 원장방식 마스크프레임어셈블리를 이용 유기물 증착기에서 AMOLED를 제조하는 원리를 보인 예시도이고,
도 12는 종래 낙사조명을 이용한 위치 정렬 정도를 측정하는 예시도이다. 1 is a schematic plan view showing a split mask frame assembly apparatus according to an embodiment of the present invention,
2 is a schematic front configuration view showing a split mask frame assembly apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a schematic side view showing a split mask frame assembly apparatus according to an embodiment of the present invention;
4 is an enlarged exemplary view showing a part of a horizontal gripper equipped with a Y-direction gripper according to an embodiment of the present invention;
Figure 5 is an exemplary view showing the measurement of the position alignment degree using the illuminating illumination according to an embodiment of the present invention,
FIG. 6 is an exemplary view illustrating a frame long side mother glass and an emission lighting up-down device configured with an emission lighting device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 7 is an exemplary view illustrating a frame short-side mother glass and an emission lighting up-down device in which an emission lighting device is configured according to an embodiment of the present invention;
8 is an exemplary view showing the action of the Y-direction gripper to tension the Y skirt of the split mask in accordance with an embodiment of the present invention,
9 is a graph showing the improvement in the pleat height of the Y-direction gripper according to the present invention according to the tension of the Y skirt of the split mask,
10 is an exemplary view showing a result of measuring a PPA (Pixel Position Accuracy) and a conventional method photographed under the illumination of the present invention.
11 is an exemplary view showing a principle of manufacturing AMOLED in an organic vapor deposition apparatus using a conventional ledger mask frame assembly,
12 is an exemplary view for measuring the degree of position alignment using conventional fall lights.
이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 분할 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 평면 구성도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 분할 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 정면 구성도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 분할 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 측면 구성도이고, 도 4은 본 발명의 한 실시예에 따른 Y방향그리퍼가 장치된 수평이동형 그리퍼의 일요부를 보인 확대 예시도이고, 도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 배사조명을 이용한 위치 정렬 정도를 측정을 보인 예시도이고, 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 배사조명 장치가 구성된 프레임 장변 방향 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치를 보인 예시도이고, 도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 배사조명 장치가 구성된 프레임 단변 방향 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치를 보인 예시도이다. 도면 중 생략된 부분은 확대 도면을 통해 설명한다.1 is a schematic plan view showing a split mask frame assembly apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic front view showing a split mask frame assembly apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a schematic side view showing a split mask frame assembly apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is an enlarged view showing the main portion of the horizontal gripper equipped with a Y-direction gripper according to an embodiment of the
도시된 바와 같이 본 발명의 분할 마스크 프레임 어셈블리 장치는, 상부에 탑재된 수평 이동형 그리퍼를 이송시키는 한쌍의 분할 마스크 이송용 리니어서보모터(1)와;As shown, the split mask frame assembly apparatus of the present invention includes a pair of split mask
마주보게 설치된 상기 분할 마스크 이송용 리니어서보모터 상부에 각각 탑재되어 분할마스크 로딩장치(6)로부터 인계받은 분할마스크(71)를 파지후 설정된 프레임 위치까지 수평이동후 인장력을 가하면서 위치를 정렬하는 복수개의 분할마스크 그리퍼(21)와, 복수개로 이루어진 분할마스크 그리퍼 양측단 쪽에 설치되어 분할마스크 양측면에 형성된 Y방향스커트를 파지하고 인장하는 Y방향 그리퍼(22)로 이루어진 수평 이동형 그리퍼(2)와;A plurality of aligning positions are mounted on the upper part of the liner servo motor for facing the split mask, which are installed to face each other. A horizontal movable gripper (2) composed of a split mask gripper (21) and a Y direction gripper (22) which is provided on both sides of a plurality of split mask grippers (22) and grips and stretches a Y direction skirt formed on both sides of the split mask;
프레임공급장치(미도시됨)를 통해 이송된 프레임(72)을 상부쪽에 고정시키고, 고정된 프레임 하부쪽으로 마더글라스(31)를 로딩하고, 마더글라스 하부쪽에 위치하여 조명을 비추는 배사조명장치(32)를 순차 로딩하는 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치(3)와;A fixed illumination frame (72) transferred through the frame supply device (not shown) on the upper side, loading the
상기 마스크 이송용 리니어서보모터 상부쪽에 설치되어 하부에 탑재된 비전 및 레이저 용접장치를 X,Y,Z 방향으로 이송하는 이송장치(4)와;A transfer device (4) installed at an upper side of the liner servo motor for transferring the mask and transferring the vision and laser welding devices mounted at the bottom in the X, Y, and Z directions;
상기 이송장치 하부에 탑재되어 분할마스크의 홀과 그 하부에 위치한 마더글라스 패턴간의 위치 정도를 측정하고 용접하는 낙사조명장치가 설치된 카메라(51), 레이저변위센서 및 레이저용접장치(52)를 구비한 비전 및 레이저 용접장치(5);를 포함하여 구성된다.
And a
상기 수평 이동형 그리퍼(2)는 리니어서보모터(1)를 구성하는 가이드 레일(11) 및 가이드 레일 상부에 설치된 가이드블록(12) 상부에 복수개의 분할마스크 그리퍼(21) 및 복수개의 분할마스크 그리퍼(21) 양측단에 설치된 Y방향 그리퍼(22)가 연동되어 이송되도록 구성된다. 그 외 미설명된 분할마스크 그리퍼를 작동시키는 실린더 및 가이드 레일상에서 전후진 시키는 모터등의 구성은 통상적인 장치이므로 구체적인 설명은 생략한다. 이러한 공지의 구성을 제외한 수평 이동형 그리퍼(2)에서 본 발명만의 특징은 종래처럼 상기한 분할마스크 그리퍼가 고정된 위치에서 분할마스크를 파지하여 인장하도록 구성된 것이 아니라 이러한 파지 및 인장작용을 하되, 그 설치위치가 리니어서버모터 상부에 탑재되어 프레임 기준 장변 또는 단변방향에 설치되어 이동하여 분할마스크를 이동시킨다는 점, 그리고 폭이 늘어난 분할마스크의 주름을 예방하기 위해 Y방향 스커트가 형성된 분할마스크를 준비후 이를 Y방향으로 파지하여 인장하는 Y방향 그리퍼를 구비하였다는 점이다.
The horizontal
이하 본 발명의 한실시예에 따른 Y방향 그리퍼의 구성을 구체적으로 살펴본다.Hereinafter, the configuration of the gripper in the Y direction according to an embodiment of the present invention will be described in detail.
상기 Y방향 그리퍼(22)는 분할마스크(71)의 길이방향 기준 양단의 양측방향에 형성된 Y방향 스커트(711)를 지지하는 마스크 가이드롤러(2201)와, 이 가이드롤러가 장치된 롤러 지지구(2202)를 업다운시키는 롤러 승하강 유닛(2203)과, 상기 롤러 업다운 유닛을 지지하도록 가이드블록(2204)에 설치된 지지체(2205)와, 상기 가이드롤러(2201)가 가이드하는 Y방향 스커트(711)를 파지하도록 일측이 힌지결합된 마스크 클램퍼(2206)와, 일측은 마스크 클램퍼 상부쪽에서 힌지결합되어 마스크 클램퍼를 작동시키고 타측은 클램프블럭과 힌지 결합된 마스크 클램퍼 실린더(2207)와, 상기 마스크 클램퍼와 마스크 클램프 실린더를 탑재한 클램프블럭(2208)과, 클램프블럭을 전후진 하여 인장력을 가하는 인장실린더(2209)와; 상기 클램프블럭의 경사방향 전후진을 가이드하는 경사블록(2210)과, 경사블록 하부에 결합된 가이드블록(2204)을 분할마스크 그리퍼의 전후진 방향에 따라 슬라이딩 시키는 가이드 레일(2211)로 이루어진다.The Y-
상기 승하강 유닛은 실린더 방식 또는 모터 방식중 어느 것을 사용해도 된다.
The lifting unit may use either a cylinder type or a motor type.
상기 배사조명장치(32)는 항시 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치(3)에 장치되는 것으로, 상부방향으로 빛을 조사하여 마더글라스(31)의 패턴 주변을 밝게 하여 낙사조명하의 카메라가 선명한 영상을 얻게 된다. 이때 마더글라스(31)를 지지하고 있는 마더글라스 지그(33)는 석영(Quarts)재질의 투명한 지그를 사용함으로써 배사조명장치(32)의 빛이 마더글라스를 조사하게 된다. 이러한 마더글라스 지그(33)는 배사조명장치(32)에 의한 분할 마스크의 조명 열화를 방지하게 된다.The
이와 같은 조사가 이루어지면 패턴을 제외한 마더글라스가 밝게 빛나게 되어 패턴과의 명암 차이가 커지게 된다. 이와 같이 패턴과 그외 마더글라스 표면과의 명암 차이가 커지면 마더글라스의 패턴 및 분할마스크 홀(또는 스트라이프)를 통한 위치 정렬 측정을 위해 낙사조명하에서 카메라가 촬영시 정확한 윤곽을 촬영할 수 있게 된다. When the irradiation is made like this, the mother glass except for the pattern shines brightly, and the contrast between the pattern increases. As the contrast between the pattern and the surface of the mother glass increases, the camera can capture an accurate contour when shooting under the fall light to measure the alignment of the pattern through the mother glass pattern and the split mask hole (or stripe).
이때 본 발명은 배사조명장치는 일반적인 광원 대신 LED를 광원으로 한 LED 조명장치로 구성하였다. 특히 본 발명에서 사용되는 LED 조명장치는 조명장치의 열에 의한 분할마스크 등의 조명 열화를 방지하기 위해 광원이 측면에 설치된 에지형 LED 조명장치를 사용하였다. 에지형 LED 조명장치는 일반적으로 최근 LCD TV등의 백라이트로 사용되는 공지의 구성이고, 상용의 제품형식 중 어느 것을 사용해도 되므로 구체적인 구조나 구성은 생략한다.At this time, the present invention is configured to the LED lighting device using the LED light source instead of the general light source. In particular, the LED lighting device used in the present invention used an edge type LED lighting device provided with a light source on the side to prevent the deterioration of lighting such as a split mask by the heat of the lighting device. Edge type LED lighting apparatus is a well-known configuration generally used as a backlight of LCD TVs, etc. in recent years, and specific structures or configurations are omitted since any of commercially available product types may be used.
참고로 상기 낙사조명장치는 카메라 렌즈의 둘레에 설치된 링 플레쉬 또는 렌즈와 별도의 위치에 설치된 하부방향 조사용 플레쉬이다.
For reference, the fall lighting device is a ring flash installed around the camera lens or a downward irradiation flash installed at a position separate from the lens.
또한 상기 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치는 미설명되었지만 복수개의 실린더를 통해 승하강되도록 구성되고, 프레임 및 마더글라스를 지지하는 구조가 구비되고, 또한 이 장치를 전체를 수평방향으로 이송하는 이송장치가 구비되는데 이와 같은 구성은 일반적인 업다운 장치 구성이므로, 도시되거나 도시되지 않았어도 통상의 지식을 가진자가 도면을 통해 용이하게 실시 할 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다. In addition, the mother glass and the illumination lighting up-down device is not described, but is configured to move up and down through a plurality of cylinders, and has a structure for supporting the frame and the mother glass, and also the transfer device for transporting the device in the horizontal direction Although such a configuration is a general up-down device configuration, even if it is not shown or illustrated, a person having ordinary knowledge can be easily carried out through the drawings, detailed description thereof will be omitted.
또한 도면중 마더글라스, 마더글라스지그 및 배사조명장치를 로딩하여 위치시키고 지지하는 수단들은 서로 간섭하는 것처럼 보이나 실제로는 로딩하는 작동을 보인 것으로 모든 로딩작업이 끝나면 배사조명장치 상부에는 투명재질의 매사조명장치와 마더글라스가 위치하고, 마더글라스 상부에 아주 근접되게 이송되어 인장되면서 위치를 매칭하고 있는 분할 마스크만 위치하게 됨은 주지의 사실이다.
In addition, the means for loading, positioning, and supporting the mother glass, mother glass jig, and the plumbing lighting device in the drawing appear to interfere with each other, but in fact, the loading operation is shown. It is well known that the device and the mother glass are located, and only the splitting masks that match the position while being transported and tensioned very close to the top of the mother glass are located.
상기 X,Y,Z 방향으로 이송하는 이송장치(4)는 수평 이동형 그리퍼와 동일방향으로 이동하는 가이드레일 및 가이드블록으로 이루어진 한쌍의 X방향 이송장치(41)와, 한쌍의 X방향 이송장치의 가이드블록간을 가로질러 형성된 가이드레일 및 가이드블록으로 이루어진 Y방향 이송장치(42)와, Y방향 이송장치의 가이드블록에 설치되어 상하로 승하강하도록 구성된 Z방향 이송장치(43)로 구성되어, 이 Z방향 이송장치에 레이저변위센서 및 레이저용접장치가 장치되게 된다. The conveying
이러한 이송장치의 구동원리 역시 일반적인 구성이라 통상의 지식을 가진자가 도면을 통해 용이하게 실시 할 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.
Since the driving principle of such a transfer device is also a general configuration, a person skilled in the art can easily carry out the drawings, and thus detailed description thereof will be omitted.
또한 도면에서 미설명 되었으나 본 발명의 장치 구성은 클린룸안에 설치되는 것으로, 이는 고도의 청정도를 요구하는 반도체나 TV 또는 마스크프레임 제조공정에서 일상적으로 이루어지는 환경이므로 구체적인 설명은 생략한다.
In addition, although not described in the drawings, the device configuration of the present invention is installed in a clean room, which is a routine environment in a semiconductor, TV, or mask frame manufacturing process requiring high cleanliness, and thus, a detailed description thereof will be omitted.
도 8은 본 발명의 한 실시예에 따라 Y방향 그리퍼가 분할형 마스크의 Y스커트를 인장하는 작용을 보인 예시도이다. 도시된 바와 같이 롤러 승하강 유닛(2203)의 승하강에 따라 마스크 가이드롤러(2201)가 상승하거나 하강하여 분할마스크(71)의 길이방향 기준 양단의 양측방향에 형성된 Y방향 스커트(711)에 장력을 인가하거나 풀어주면서 마스크 클램퍼(2206)의 인장력을 도와주는 것을 알 수 있다. 이와 같은 마스크 가이드롤러(2201)가 없으면 마스크 클램퍼(2206)가 Y방향 스커트(711)를 파지하여 인장시 Y방향 스커트(711)의 각도가 너무 껏이는 문제와 분할마스크 그리퍼(21)의 파지력을 저하시키거나 파손시킬 문제가 있지만 이러한 문제점이 마스크 가이드롤러(2201) 때문에 해결된다.8 is an exemplary view showing the action of the Y-direction gripper to tension the Y skirt of the split mask in accordance with an embodiment of the present invention. As shown in the drawing, the
또한 마스크 클램퍼(2206)는 마스크 클램퍼 실린더(2207)의 작동에 따라 클램퍼의 상부쪽이 들리거나 내려가 파지를 하게 된다.In addition, the
또한 마스크 클램퍼(2206)에 의한 인장력은 인장실린더(2209)가 전후진 함에 따라 파지된 Y방향 스커트에 대한 인장력을 조절하게 된다. 이러한 인장력 조절에 따라 폭이 큰 분할마스크의 주름이 방지되게 된다. 이와 같이 주름이 방지된 상태에서 용접이 이루어지게 용접이 끝난후 스트레칭된 인장력이 유지되어 고정세의 마스크프레임어셈블리가 제조되게 된다.In addition, the tensile force by the
용접후 Y방향 스커트는 제거하여 이웃하는 분할마스크에 대한 간섭을 없애야 한다. 제거방법은 레이저용접장치를 이용하여 커팅하면 된다.After welding, the Y-direction skirt should be removed to eliminate interference with neighboring split masks. The removal method may be cut using a laser welding device.
이와 같이 Y방향 스커트가 제거되면 다시 처음부터 분할마스크를 가지고 와서 위치 정도를 측정후 용접하면 된다.
In this way, if the Y-direction skirt is removed, bring the split mask from the beginning and measure the position and weld.
도 9는 본 발명에 따른 Y방향그리퍼가 분할형 마스크의 Y스커트를 인장에 따른 주름 높이 개선을 보인 그래프이다. 이로부터 본 발명에 따른 Y방향그리퍼에 의한 Y방향스커트에 인장력을 가한상태에서 용접함에 따른 효과를 알 수 있다. 왼쪽분할마스크에서의 라인1, 라인2, 라인3에서의 주름 높이 변화는 순서대로 오른쪽 하부 그래프의 계열 1, 2, 3에 해당하는 것으로, 이러한 라인 3개에서의 그래프 값은 각 Line의 Min(최소)-Max(최대) 높이 값이 20㎛임을 알 수 있다 종래 Line의 Min(최소)-Max(최대) 높이 값이 120㎛에서 획기적으로 개선된 것임을 알 수 있다. 상기 그래프에서 좌측 Y축 값의 단위는 mm이고, 우측 X 축값인 1 ~34까지의 값은 좌측에 도시된 분할마스크의 각 라인 1, 2, 3에서의 측정 지점 개수이다.
9 is a graph showing the improvement of the pleat height of the Y-direction gripper according to the present invention according to the tension of the Y skirt of the split mask. From this, it can be seen that the effect of welding in a state in which the tensile force is applied to the Y-direction skirt by the Y-direction gripper according to the present invention. The change in the crease height in
도 10은 본 발명의 배사조명하에 촬영된 PPA 측정 결과와 종래 방식 측정결과를 보인 예시도이다. 10 is an exemplary view showing a PPA measurement result and a conventional method measurement results taken under the illumination of the present invention.
도시된 바와 같이 낙사조명을 이용시는 분할마스크 표면거칠기 및 불균일한 에칭상태에 의한 난반사 등으로 인한 노이즈 등으로 조명의 휘도 균일성 저하문제가 있다. 또한 해상도 증대로 인한 스트라이프 폭이 줄어듦으로 인한 상부 낙사조명에 의한 그림자 때문에 스트라이프 경계부문의 확인 불가 문제 등등이 있어 낙사조명 방식만으로는 정확한 위치 정렬 확인 측정이 한계에 봉착하게 된다. 이 때문에 설사 마더글라스 패턴의 위치가 스트라이프의 틈새 공간부에 제대로 정렬하여 있어도 측정이 불가능할 수도 있다는 문제점이 있었다.As shown in the drawing, there is a problem of deterioration in luminance uniformity due to noise due to a split mask surface roughness and diffuse reflection due to an uneven etching state. In addition, there is a problem in that the stripe boundary area cannot be identified due to the shadow of the upper fallout light due to the decrease in the stripe width due to the increase in resolution. For this reason, even if the position of the mother glass pattern is properly aligned with the gap space of the stripe, there is a problem that the measurement may not be possible.
하지만 본 발명에 따른 배사조명이 제공됨으로써 종래 낙사 조명만을 사용할 때 발생하던 표면 거칠기 등에 의한 문제 발생이 해결되어 카메라에 의해 촬영된 영상이 선명한 명암을 가진 영상을 얻었음을 알 수 있다. 이와 같이 분할마스크의 홀(또는 스프라이프)의 오픈공간에 마더글라스의 패턴이 균일한 간격을 가졌음을 확인할 수 있는 선명한 영상이 뒷받침됨으로 인해 본 발명의 수평 이동형 그리퍼의 분할마스크 그리퍼가 분할마스크를 파지한 상태에서 정확한 프레임 위치로 위치시켜 인장력을 가할수 있고, 여기에 Y방향 그리퍼가 Y방향스커트에 대한 인장력을 가해 고정세의 마스크프레임어셈블리가 제조되게 된다. 즉, PPA Accuracy가 향상되게 된다.
However, by providing the illumination according to the present invention it can be seen that the problem caused by the surface roughness, etc., which occurred when using only conventional fall lighting is solved, so that the image captured by the camera obtains a clear contrast image. As such, the clear mask image of which the mother glass pattern has a uniform spacing is supported in the open space of the hole of the split mask, or the split mask gripper of the horizontally movable gripper of the present invention holds the split mask. In one state, the tension can be applied by positioning the frame in the correct position, and the Y-direction gripper exerts a tension on the Y-direction skirt to produce a high-definition mask frame assembly. That is, PPA Accuracy is improved.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
(1) : 리니어서보모터 (2) : 수평 이동형 그리퍼
(3) : 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치 (4) : 이송장치
(5) : 비전 및 레이저 용접장치 (6) : 분할마스크 로딩장치
(11) : 가이드 레일 (12) : 가이드블록
(21) : 분할마스크 그리퍼 (22) : Y방향 그리퍼
(31) : 마더글라스 (32) : 배사조명장치
(33) : 마더글라스 지그 (41) : X방향 이송장치
(42) : Y방향 이송장치 (43) : Z방향 이송장치
(51) : 낙사조명장치가 설치된 카메라
(52) : 레이저변위센서 및 레이저용접장치
(71) : 분할마스크 (72) : 프레임
(711) : Y방향 스커트 (2201) : 마스크 가이드롤러
(2202) : 롤러 지지구 (2203) : 롤러 승하강 유닛
(2204) : 슬라이드 블록 (2205) : 지지체
(2206) : 마스크 클램프 (2207) : 마스크 클램퍼 실린더
(2208) : 클램프블럭 (2209) : 인장실린더
(2210) : 경사블록 (2211) : 가이드레일Description of the Related Art
(1): Liner servo motor (2): Horizontal movable gripper
(3): Mother glass and boat lighting up-down device (4): Feeding device
(5): Vision and laser welding device (6): Split mask loading device
(11): guide rail 12: guide block
(21): Split mask gripper (22): Y direction gripper
(31): mother glass (32): boat lighting system
(33): mother jig (41): X direction feeder
(42): Y-direction feeder (43): Z-direction feeder
(51): camera equipped with a fall lighting device
(52): laser displacement sensor and laser welding device
(71): split mask 72: frame
(711): Y-direction skirt (2201): mask guide roller
(2202): roller support 2203: roller lifting unit
(2204): slide block (2205): support
(2206): mask clamp 2207: mask clamper cylinder
(2208): clamp block (2209): tension cylinder
(2210): inclined block (2211): guide rail
Claims (7)
상기 리니어서보모터에 각각 탑재되어 분할마스크(71)를 파지후 인장력을 가하는 복수개의 분할마스크 그리퍼(21)와, 상기 분할마스크 양측면에 형성된 Y방향스커트를 파지하고 인장하는 Y방향 그리퍼(22)로 분할 마스크를 설정된 프레임 위치까지 수평이동시키는 수평 이동형 그리퍼(2)와;
고정 설치된 프레임 하부쪽으로 마더글라스(31)와 마더글라스쪽으로 조명을 비추는 배사조명장치(32)를 순차 로딩하는 마더글라스 및 배사조명 업다운 장치(3)와;
상기 마스크 이송용 리니어서보모터 상부쪽에 설치되어 하부에 탑재된 비전 및 레이저 용접장치를 X,Y,Z 방향으로 이송하는 이송장치(4)와;
상기 이송장치에 탑재된 낙사조명장치가 설치된 카메라(51), 레이저변위센서 및 레이저용접장치(52)를 구비한 비전 및 레이저 용접장치(5);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 AMOLED Panel 제조공정 중 증착용 Mask Frmae Assumbly 공정에 있어 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
A pair of split mask transfer liner motor 1;
A plurality of split mask grippers 21 mounted on the liner servo motor respectively to hold a split mask 71 and apply a tensile force, and a Y direction gripper 22 to grip and stretch a Y direction skirt formed on both sides of the split mask. A horizontal movable gripper (2) for horizontally moving the division mask to a set frame position;
A mother glass and a ship lighting up-down device 3 for sequentially loading the mother glass 31 toward the bottom of the fixed frame and the ship lighting device 32 illuminating toward the mother glass;
A transfer device (4) installed at an upper side of the liner servo motor for transferring the mask and transferring the vision and laser welding devices mounted at the bottom in the X, Y, and Z directions;
AMOLED Panel manufacturing process characterized in that it comprises ;; vision and laser welding device (5) having a camera 51, a laser displacement sensor and a laser welding device (52) installed with an illumination device mounted on the transfer device; An apparatus for manufacturing a split mask frame assembly having a gripper device and an emission lighting device for manufacturing a horizontal mask frame assembly for manufacturing a large-area TV or mobile AMOLED panel for a large-area mask framing assembly process.
상기 수평 이동형 그리퍼(2)는 리니어서보모터(1)를 구성하는 가이드 레일(11) 및 가이드 레일 상부에 설치된 가이드블록(12) 상부에 복수개의 분할마스크 그리퍼(21) 및 복수개의 분할마스크 그리퍼(21) 양측단에 설치된 Y방향 그리퍼(22)가 연동되어 이송되도록 구성된 것을 특징으로 하는 AMOLED Panel 제조공정 중 증착용 Mask Frmae Assumbly 공정에 있어 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
The method according to claim 1,
The horizontal movable gripper 2 includes a plurality of split mask grippers 21 and a plurality of split mask grippers on the guide rail 11 constituting the liner servo motor 1 and on the guide block 12 installed on the guide rail. 21) Evaporation mask during the AMOLED Panel manufacturing process, characterized in that the Y-direction grippers 22 installed at both ends are interlocked and transported, and a horizontal mask for manufacturing large-area TVs or AMOLED panels for mobiles Split mask frame assembly manufacturing device with gripper device and emission lighting device for manufacturing frame assembly.
상기 Y방향 그리퍼(22)는 분할마스크(71)에 형성된 Y방향 스커트(711)를 지지하는 마스크 가이드롤러(2201)와;
이 가이드롤러를 업다운시키는 롤러 승하강 유닛(2203)과;
상기 Y방향 스커트(711)를 파지하는 마스크 클램퍼(2206)와;
마스크 클램퍼를 작동시키는 마스크 클램퍼 실린더(2207)와;
상기 마스크 클램퍼와 마스크 클램프 실린더를 탑재한 클램프블럭(2208)과;
상기 클램프블럭을 전후진 하여 인장력을 가하는 인장실린더(2209);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 AMOLED Panel 제조공정 중 증착용 Mask Frmae Assumbly 공정에 있어 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
The method according to claim 1 or 2,
The Y-direction gripper 22 includes a mask guide roller 2201 for supporting the Y-direction skirt 711 formed on the division mask 71;
A roller raising and lowering unit 2203 for raising and lowering the guide roller;
A mask clamper 2206 for holding the Y-direction skirt 711;
A mask clamper cylinder 2207 for operating the mask clamper;
A clamp block (2208) on which the mask clamper and the mask clamp cylinder are mounted;
A tension cylinder (2209) for applying a tensile force by advancing and retracting the clamp block; a number for manufacturing a large area TV or mobile AMOLED panel in a mask mask assembly process for deposition during the AMOLED Panel manufacturing process Split mask frame assembly manufacturing device with gripper device and emission lighting device for manufacturing balanced mask frame assembly.
상기 클램프블럭은 그 하부에 경사방향 전후진을 가이드하는 경사블록(2210)과;
경사블록 하부에 결합된 가이드블록(2204)을 분할마스크 그리퍼의 전후진 방향에 따라 슬라이딩 시키는 가이드 레일(2211)이 설치된 것을 특징으로 하는 AMOLED Panel 제조공정 중 증착용 Mask Frmae Assumbly 공정에 있어 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
The method according to claim 3,
The clamp block is a slope block 2210 for guiding the forward and backward directions in the lower portion;
In the AMOLED Panel manufacturing process, the guide rail 2211 is installed to slide the guide block 2204 coupled to the lower side of the inclined block according to the forward and backward directions of the split mask gripper. A device for manufacturing a split mask frame assembly having a gripper device and an illuminating device for manufacturing a horizontal mask frame assembly for manufacturing a TV or mobile AMOLED panel.
상기 마더글라스(31)는 그 하부에 석영(Quarts) 재질의 투명한 마더글라스 지그(33)가 위치하여 지지토록 구성한 것을 특징으로 하는 AMOLED Panel 제조공정 중 증착용 Mask Frmae Assumbly 공정에 있어 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
The method according to claim 1,
The mother glass 31 is a large area TV in the deposition mask Frmae Assumbly process of the AMOLED Panel manufacturing process, characterized in that the quartz mother jig 33 of quartz (Quarts material) is positioned to support the lower portion thereof. Or a device for manufacturing a split mask frame assembly having a gripper device and an emission lighting device for producing a horizontal mask frame assembly for the production of AMOL LED panel for mobile.
상기 배사조명장치는 LED를 광원으로 한 LED 조명장치인 것을 특징으로 하는 AMOLED Panel 제조공정 중 증착용 Mask Frmae Assumbly 공정에 있어 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
The method according to claim 1,
In the AMOLED Panel manufacturing process, the emission lighting device is an LED lighting device using LED as a light source. In the mask mask assembly process for deposition, a horizontal mask frame assembly is manufactured for manufacturing a large area TV or mobile AMOLED panel. A device for manufacturing a split mask frame assembly with a gripper device and an illuminator for the same.
상기 LED 조명장치는 광원이 측방향에서 제공되는 에지형 LED 조명장치인 것을 특징으로 하는 AMOLED Panel 제조공정 중 증착용 Mask Frmae Assumbly 공정에 있어 대면적의 ＴＶ 또는 모바일용 ＡＭＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 수평형 Mask Frame Assembly 제작을 위한 그리퍼 장치 및 배사조명장치를 가진 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
The method of claim 6,
The LED lighting device is an edge type LED lighting device provided with a light source in a lateral direction, and a horizontal mask for manufacturing a large-area TV or mobile AMOLED panel in a Frmae Assumbly process for AMOLED Panel manufacturing process Split mask frame assembly manufacturing device with gripper device and emission lighting device for manufacturing frame assembly.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020110085262A KR101272299B1 (en) | 2011-08-25 | 2011-08-25 | Apparatus for manufacturing divided mask frame assembly for manufacturing AMOLED panel |
| CN201210299195.5A CN102881652B (en) | 2011-08-25 | 2012-08-21 | Segmentation mask framework components manufactured by AMOLED panel manufacturing |
| TW101130679A TWI503049B (en) | 2011-08-25 | 2012-08-23 | Apparatus for manufacturing divided mask frame assembly for big size of amoled multi cell tv and mobile panel using horizontal moving type gripper and anticline lighting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020110085262A KR101272299B1 (en) | 2011-08-25 | 2011-08-25 | Apparatus for manufacturing divided mask frame assembly for manufacturing AMOLED panel |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20130022586A true KR20130022586A (en) | 2013-03-07 |
| KR101272299B1 KR101272299B1 (en) | 2013-06-07 |
Family
ID=47482930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020110085262A KR101272299B1 (en) | 2011-08-25 | 2011-08-25 | Apparatus for manufacturing divided mask frame assembly for manufacturing AMOLED panel |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101272299B1 (en) |
| CN (1) | CN102881652B (en) |
| TW (1) | TWI503049B (en) |
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| CN109843503A (en) * | 2016-10-19 | 2019-06-04 | 百超激光有限公司 | Conveying equipment, method and computer program product at least one material processor to be loaded and unloaded |
| KR20190085277A (en) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 주식회사 티지오테크 | Supporter and producing system of mask integrated frame comprising the same |
| KR20190085276A (en) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 주식회사 티지오테크 | Producing system of mask integrated frame |
| KR102011723B1 (en) * | 2018-04-20 | 2019-08-19 | 주식회사 티지오테크 | Producing device of mask integrated frame |
| KR20190096896A (en) * | 2019-08-09 | 2019-08-20 | 주식회사 티지오테크 | Producing method of mask integrated frame |
| KR20190096895A (en) * | 2019-08-09 | 2019-08-20 | 주식회사 티지오테크 | Producing system of mask integrated frame |
| KR20200063638A (en) * | 2018-11-28 | 2020-06-05 | 주식회사 오럼머티리얼 | Producing device of mask integrated frame |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE102016209649A1 (en) * | 2015-07-08 | 2017-01-12 | Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft | Device for printing multi-dimensional objects |
| KR102640219B1 (en) * | 2016-09-12 | 2024-02-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | Division mask |
| KR101898612B1 (en) * | 2017-11-30 | 2018-09-13 | 주식회사 한송네오텍 | Dual tension type welding apparatus for manufacturing AMOLED mobile mask frame assembly and manufacturing method of AMOLED mobile mask frame assembly using thereof |
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| JP6930734B2 (en) * | 2018-01-25 | 2021-09-01 | 株式会社ブイ・テクノロジー | Board holding device and board inspection device |
| KR102130446B1 (en) | 2019-02-20 | 2020-07-06 | 주식회사 한송네오텍 | Pitch adjustable large dual gripper for manufacturing mask frame assembly |
| WO2022056742A1 (en) * | 2020-09-16 | 2022-03-24 | Abb Schweiz Ag | Gripper and method of operating the same |
| KR20230020631A (en) | 2021-08-03 | 2023-02-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | System for inspecting thin glass |
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| JP4341385B2 (en) * | 2003-11-26 | 2009-10-07 | 凸版印刷株式会社 | Manufacturing method of vapor deposition mask |
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2011
- 2011-08-25 KR KR1020110085262A patent/KR101272299B1/en active IP Right Grant
-
2012
- 2012-08-21 CN CN201210299195.5A patent/CN102881652B/en active Active
- 2012-08-23 TW TW101130679A patent/TWI503049B/en active
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| KR20190122598A (en) * | 2018-04-20 | 2019-10-30 | 주식회사 티지오테크 | Producing device of mask integrated frame |
| KR20190122599A (en) * | 2018-04-20 | 2019-10-30 | 주식회사 티지오테크 | Producing device of mask integrated frame |
| KR20200063638A (en) * | 2018-11-28 | 2020-06-05 | 주식회사 오럼머티리얼 | Producing device of mask integrated frame |
| KR20190096896A (en) * | 2019-08-09 | 2019-08-20 | 주식회사 티지오테크 | Producing method of mask integrated frame |
| KR20190096895A (en) * | 2019-08-09 | 2019-08-20 | 주식회사 티지오테크 | Producing system of mask integrated frame |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102881652A (en) | 2013-01-16 |
| TW201306652A (en) | 2013-02-01 |
| TWI503049B (en) | 2015-10-01 |
| KR101272299B1 (en) | 2013-06-07 |
| CN102881652B (en) | 2015-02-11 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
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