KR102047414B1 - Apparatus for inspecting glass - Google Patents

Apparatus for inspecting glass Download PDF

Info

Publication number
KR102047414B1
KR102047414B1 KR1020120158552A KR20120158552A KR102047414B1 KR 102047414 B1 KR102047414 B1 KR 102047414B1 KR 1020120158552 A KR1020120158552 A KR 1020120158552A KR 20120158552 A KR20120158552 A KR 20120158552A KR 102047414 B1 KR102047414 B1 KR 102047414B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass
unit
inspection
seating
camera
Prior art date
Application number
KR1020120158552A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20140087836A (en
Inventor
조민선
윤한수
이종명
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020120158552A priority Critical patent/KR102047414B1/en
Publication of KR20140087836A publication Critical patent/KR20140087836A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102047414B1 publication Critical patent/KR102047414B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본원발명은 글라스 검사장치에 관한 것으로서, 유기발광 층이 형성된 복수 개의 기판이 구획되어 있는 글라스를 내부에 수용하는 글라스 수용부와, 상기 글라스 수용부의 내부에 배치되고, 상기 글라스가 안착되는 글라스 안착부와, 상기 글라스 안착부의 상부에 배치되고, 상기 글라스로 전원을 공급하는 전원 공급부 및 상기 글라스 수용부의 일측면과 대향하도록 상기 글라스 수용부의 외부에 배치되는 글라스 검사부를 포함하고, 상기 글라스 검사부와 대향하는 상기 글라스 수용부의 일측면은 상기 글라스의 일측면이 노출되도록 투명 윈도우로 형성되는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a glass inspection apparatus, comprising a glass accommodating portion accommodating a glass in which a plurality of substrates on which an organic light emitting layer is formed is partitioned, and a glass seating portion disposed in the glass accommodating portion and seated therein. And a glass inspection unit disposed above the glass seating unit, the power supply unit for supplying power to the glass, and a glass inspection unit disposed outside the glass receiving unit so as to face one side of the glass receiving unit, and facing the glass inspection unit. One side of the glass receiving portion is characterized in that the transparent window is formed so that one side of the glass is exposed.

Description

글라스 검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING GLASS}Glass Inspection Equipment {APPARATUS FOR INSPECTING GLASS}

본원발명은 글라스 검사장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a glass inspection device.

현재 정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 전기영동표시장치(Electro Phoretic Display; EPD), 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 표시장치의 사용이 증가하고 있다.With the development of information technology, the market for a display device, which is a connection medium between a user and information, is growing. Accordingly, organic light emitting display (OLED), electrophoretic display (EPD), liquid crystal display (LCD) and plasma display panel (PDP) The use of display devices such as these is increasing.

앞서 설명된 표시장치 중 유기전계발광표시장치(OLED)는 진공이 형성된 챔버 내부에 글라스가 수용되어 유기발광 층의 증착 공정이 진행되는데 이때 상기 증착 공정이 수행되는 증착 공정 중에는 상기 글라스의 증착 불량을 모니터링 할 수 없는 문제점이 있다.
Among the display devices described above, the organic light emitting display device (OLED) is accommodated in a chamber in which a vacuum is formed, and thus the deposition process of the organic light emitting layer is performed. In this case, the deposition failure of the glass is prevented during the deposition process. There is a problem that cannot be monitored.

본원발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 창출된 것으로서, 본원발명의 목적은 유기발광 층의 증착 공정이 진행 중인 글라스 또는 증착 공정이 완료된 글라스를 수용하는 글라스 수용부의 일측면이 투명 윈도우로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 글라스 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
The present invention was created to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to provide a transparent window on one side of a glass accommodating part for accommodating the glass in which the deposition process of the organic light emitting layer is in progress or the glass in which the deposition process is completed. It is to provide a glass inspection device, characterized in that formed.

본원발명은 글라스 검사장치에 관한 것으로서, 유기발광 층이 형성된 복수 개의 기판이 구획되어 있는 글라스를 내부에 수용하는 글라스 수용부와, 상기 글라스 수용부의 내부에 배치되고, 상기 글라스가 안착되는 글라스 안착부와, 상기 글라스 안착부의 상부에 배치되고, 상기 글라스로 전원을 공급하는 전원 공급부 및 상기 글라스 수용부의 일측면과 대향하도록 상기 글라스 수용부의 외부에 배치되는 글라스 검사부를 포함하고, 상기 글라스 검사부와 대향하는 상기 글라스 수용부의 일측면은 상기 글라스의 일측면이 노출되도록 투명 윈도우로 형성되는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a glass inspection apparatus, comprising a glass accommodating portion accommodating a glass in which a plurality of substrates on which an organic light emitting layer is formed is disposed, and a glass seating portion disposed in the glass accommodating portion and seated therein. And a glass inspection unit disposed on an upper portion of the glass seating unit, a power supply unit for supplying power to the glass, and a glass inspection unit disposed outside the glass receiving unit so as to face one side of the glass receiving unit, and facing the glass inspection unit. One side of the glass receiving portion is characterized in that the transparent window is formed so that one side of the glass is exposed.

또한, 상기 투명 윈도우는 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다. The transparent window may be made of any one of tempered glass, acrylic, quartz glass (Quartz), or Pyrex.

또한, 상기 글라스 검사부는 상기 글라스의 암점과 휘점 및 상기 글라스의 색좌표와 휘도를 검사하기 위한 카메라 검사부와, 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 이송부 및 상기 카메라 검사부 및 이송부를 지지하기 위한 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. The glass inspection unit may include a camera inspection unit for inspecting dark spots and bright spots of the glass and color coordinates and luminance of the glass, a transfer unit for transferring the camera inspection unit, and a support unit for supporting the camera inspection unit and the transfer unit. It features.

또한, 상기 카메라 검사부는 상기 글라스의 일측면을 촬영하여 상기 글라스의 암점과 휘점를 검사하기 위한 복 수개의 카메라로 구성되는 제1 카메라부 및 상기 제1 카메라부의 일측면을 따라 이동 가능하게 결합되고, 상기 글라스의 색좌표와 휘도를 검사하기 위한 제2 카메라부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the camera inspecting unit is movably coupled along one side of the first camera unit and a plurality of cameras composed of a plurality of cameras for photographing one side of the glass to examine the dark and bright spots of the glass And a second camera unit for inspecting color coordinates and luminance of the glass.

또한, 상기 이송부는 상기 글라스의 일측면과 수평한 방향으로 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 제1 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the transfer unit is characterized in that it comprises a first transfer means for transferring the camera inspection unit in a direction horizontal to one side of the glass.

또한, 상기 이송부는 상기 글라스의 일측면과 수직한 방향으로 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 제2 이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The transfer unit may further include second transfer means for transferring the camera inspection unit in a direction perpendicular to one side of the glass.

또한, 상기 지지부는 상기 글라스의 일측면과 수평방향으로 이동하는 상기 이송부의 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the support portion is characterized in that it comprises a guide rail for guiding the movement of the transfer portion to move in a horizontal direction with one side of the glass.

또한, 상기 글라스 안착부는 상기 글라스를 지지하기 위하여, 일정 간격 서로 이격되어 상기 글라스 수용부 내부에 배치되는 복수 개의 지지플레이트 및 일단은 상기 글라스 수용부의 하면과 결합하고, 타단은 각각의 상기 지지플레이트의 양 끝단과 고정결합하는 복수 개의 지지바를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the glass seating portion is spaced apart from each other to support the glass, a plurality of support plates disposed inside the glass receiving portion and one end is coupled to the lower surface of the glass receiving portion, the other end of each of the support plate It characterized in that it comprises a plurality of support bars fixedly coupled to both ends.

또한, 상기 글라스 안착부는 내부에 개구부가 형성되고, 상기 글라스의 외곽을 지지하기 위한 외곽 프레임으로 형성된 글라스 안착부재 및 상기 글라스 안착부재에 안착된 상기 글라스를 상기 전원공급부 방향으로 리프트 오프 시키는 승강부를 포함하고, 상기 외곽 프레임으로는 복수 개의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 한다. The glass seating part may include an opening formed therein, a glass seating member formed as an outer frame for supporting the outer edge of the glass, and a lifter configured to lift off the glass seated on the glass seating member toward the power supply. The outer frame may include a plurality of through holes.

또한, 상기 글라스 안착부재는 상기 개구부를 가로질러 상기 글라스의 일측면을 지지하기 위한 복수 개의 내부 프레임을 더 포함하고, 상기 내부 프레임으로는 복수 개의 관통홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the glass seating member further comprises a plurality of inner frames for supporting one side of the glass across the opening, characterized in that the inner frame is formed with a plurality of through holes.

또한, 상기 지지플레이트와 상기 외곽 프레임 및 내부 프레임은 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The support plate, the outer frame and the inner frame may be made of any one of tempered glass or acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex.

또한, 상기 승강부는 상기 글라스 안착부재와 대응되는 크기의 베이스 프레임 및 상기 베이스 프레임으로부터 상기 글라스 안착부재 방향으로 돌출 형성된 복수 개의 리프트 핀을 포함하고, 상기 리프트 핀은 상기 관통홀을 관통하여 상기 글라스를 상기 글라스 안착부재로부터 리프트 오프 시키는 것을 특징으로 한다. In addition, the lifting unit includes a base frame having a size corresponding to the glass seating member and a plurality of lift pins protruding from the base frame toward the glass seating member, wherein the lift pins penetrate the through-holes to provide the glass. Lift off from the glass seating member.

또한, 상기 리프트 핀은 탄성 재질로 이루어진 충격흡수 부재가 끝단에 형성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the lift pin is characterized in that the shock absorbing member made of an elastic material is formed at the end.

본원발명의 실시예에 따른 글라스 검사장치를 이용함으로써, 글라스 수용부의 내부에 수용된 글라스에 유기발광 층을 증착하는 증착 공정 중에도 글라스의 결함을 모니터링(monitoring) 할 수 있는 효과가 있다. By using the glass inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, there is an effect that can monitor the defects of the glass even during the deposition process of depositing the organic light emitting layer on the glass accommodated in the glass receiving portion.

그리고, 유기발광 층의 증착 공정이 완료된 글라스를 글라스 수용부의 내부에 배치한 상태에서도 상기 글라스의 결함을 판정할 수 있기 때문에 상기 글라스를 외부 오염으로부터 방지할 수 있는 효과가 있다. In addition, since the defect of the glass can be determined even in a state in which the glass in which the deposition process of the organic light emitting layer is completed is disposed inside the glass accommodating part, the glass can be prevented from external contamination.

또한, 글라스 수용부의 외부에 준비된 별도의 검사 영역으로 상기 글라스를 이동시키지 않아도 상기 글라스의 결함을 상기 글라스 수용부의 내부에서도 판정할 수 있기 때문에, 제조공정에 소요되는 시간(tack time) 및 제조비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, since defects of the glass can be determined even inside the glass accommodating part without moving the glass to a separate inspection area prepared outside of the glass accommodating part, it is possible to reduce the tack time and manufacturing cost required for the manufacturing process. There is an effect that can be reduced.

도 1은 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치의 단면도.
도 2는 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치의 사시도.
도 3은 본원발명의 제1 실시예에 글라스 검사장치를 구성하는 투명 윈도우의 평면도.
도 4는 본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치의 단면도.
도 5는 본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치의 사시도.
도 6은 본원발명의 제2 실시예에 따른 승강부의 구동을 도시한 사시도.
1 is a cross-sectional view of a glass inspection device according to a first embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a glass inspection device according to a first embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a transparent window constituting a glass inspection device in a first embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view of a glass inspection device according to a second embodiment of the present invention.
5 is a perspective view of a glass inspection device according to a second embodiment of the present invention.
Figure 6 is a perspective view showing the drive of the lifting unit according to a second embodiment of the present invention.

본원발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 또한, 본원발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본원발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.The objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings. In the present specification, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components as possible, even if displayed on different drawings have the same number as possible. In addition, terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본원발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치의 단면도이고, 도 2는 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치의 사시도이다. 본원발명의 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치(100)는 글라스 수용부(110), 글라스 안착부(120), 전원 공급부(130), 글라스 검사부(140)를 포함한다. 1 is a cross-sectional view of a glass inspection device according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of a glass inspection device according to a first embodiment of the present invention. The glass inspection apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention includes a glass receiving portion 110, a glass seating portion 120, a power supply 130, and a glass inspection portion 140.

그리고, 본원발명의 제1 실시예에 따른 상기 글라스 검사장치(100)를 구성하는 상기 글라스 수용부(110)의 내부의 구조를 좀더 명확히 하고자, 도 1에 도시되었던 상기 글라스 수용부(110)와 상기 전원 공급부(130)의 도시는 도 2에서는 생략하였다. And, in order to clarify the structure of the interior of the glass accommodating portion 110 constituting the glass inspection device 100 according to the first embodiment of the present invention, and the glass accommodating portion 110 shown in FIG. The illustration of the power supply unit 130 is omitted in FIG.

보다 구체적으로, 상기 글라스 수용부(110)는 내부로 글라스(10)를 수용하고, 상기 글라스(10)에는 유기발광 층이 형성된 복수 개의 기판(미도시)이 구획되어 상기 글라스 수용부(110)의 내부에 수용된다.More specifically, the glass accommodating part 110 accommodates the glass 10 therein, and the glass 10 is divided into a plurality of substrates (not shown) on which an organic light emitting layer is formed, and thus the glass accommodating part 110 is provided. Is housed inside.

또한, 상기 글라스(10)를 수용하는 상기 글라스 수용부(110)는 챔버 또는 글로버 박스(glove box)와 같은 형태이고, 내부가 진공 또는 질소(N2) 환경으로 이루어지는 것이 바람직하다.
In addition, the glass accommodating part 110 accommodating the glass 10 may have a shape such as a chamber or a glove box, and the inside of the glass accommodating part 110 may be a vacuum or nitrogen (N 2) environment.

도 3은 본원발명의 제1 실시예에 글라스 검사장치를 구성하는 투명 윈도우의 평면도로서, 본원발명의 기술적 특징인 투명 윈도우(111)가 도시되어 있다. 3 is a plan view of a transparent window constituting a glass inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention, and a transparent window 111 which is a technical feature of the present invention is shown.

보다 구체적으로, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상기 투명 윈도우(111)는 이후 기술할 상기 글라스 검사부(140)와 대향하는 상기 글라스 수용부(110)의 일측면에 형성되는 것이 바람직하다. More specifically, as shown in FIGS. 1 to 3, the transparent window 111 may be formed on one side of the glass accommodating part 110 facing the glass inspecting part 140 to be described later.

이로써, 상기 투명 윈도우(111)를 통하여 상기 글라스 수용부(110) 내부에 수용된 상기 글라스(10)의 일측면을 상기 글라스 검사부(140) 방향으로 노출하게 된다.As a result, one side surface of the glass 10 accommodated in the glass accommodating part 110 is exposed through the transparent window 111 toward the glass inspecting part 140.

그리고, 상기 글라스 검사부(140)가 상기 글라스(10)의 일측면을 검사하기 용이하도록 상기 투명 윈도우(111)는 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the transparent window 111 may be made of any one of tempered glass, acrylic, quartz glass (Quartz), or Pyrex (Pyrex) so that the glass inspection unit 140 easily inspects one side of the glass 10. It is preferable to make.

또한, 도 3a에 도시된 바와 같이 본원발명의 제1 실시예에 따른 상기 투명 윈도우(111)는 복수 개로 구성되거나 도 3b에 도시된 바와 같이 하나의 윈도우(111)로 구성될 수 있다.
In addition, as illustrated in FIG. 3A, the transparent window 111 according to the first embodiment of the present invention may be configured in plural or as one window 111 as illustrated in FIG. 3B.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 글라스 안착부(120)는 상기 글라스 수용부(110)의 내부에 배치되고, 상기 글라스 안착부(120)의 상부에 상기 글라스(10)가 안착하게 된다. As shown in FIGS. 1 and 2, the glass seating part 120 is disposed inside the glass receiving part 110, and the glass 10 rests on the glass seating part 120. do.

보다 구체적으로, 본원발명의 제1 실시예에 따른 상기 글라스 안착부(120)는 복수 개의 지지플레이트(121)와 복수 개의 지지바(122)를 포함한다. More specifically, the glass seating part 120 according to the first embodiment of the present invention includes a plurality of support plates 121 and a plurality of support bars 122.

즉, 상기 지지플레이트(121)는 상기 글라스(10)를 지지하기 위한 것으로서 일정 간격 서로 이격되어 상기 글라스 수용부(110) 내부에 배치되는 것이 바람직하다. That is, the support plate 121 is for supporting the glass 10, and is preferably spaced apart from each other at a predetermined interval and disposed inside the glass accommodating part 110.

또한, 상기 지지바(122)는 상기 지지플레이트(121)를 지지하기 위한 것으로서 일단은 상기 글라스 수용부(110)의 하면과 결합하고, 타단은 상기 지지플레이트(121)의 양 끝단과 고정결합된다. In addition, the support bar 122 is to support the support plate 121, one end is coupled to the lower surface of the glass receiving portion 110, the other end is fixedly coupled to both ends of the support plate 121. .

그리고, 상기 지지플레이트(121)는 상기 투명 윈도우(111)과 동일한 재질인 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the support plate 121 is preferably made of any one of the same material as the transparent window 111, such as tempered glass, acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex (Pyrex).

보다 구체적으로, 상기 글라스 수용부(110) 내부에서 유기발광 층의 증착 공정이 수행되는 경우, 별도의 글라스 이송수단이 필요하지 않다. More specifically, when the deposition process of the organic light emitting layer is performed in the glass accommodating part 110, no separate glass transfer means is required.

이에 따라서, 본원발명의 실시예에 따른 글라스 검사장치(100)를 이용함으로써, 상기 글라스 수용부(110) 내부에 수용된 상기 글라스(10)에 유기발광 층을 증착하는 증착 공정 중에도 상기 글라스(10)의 결함을 모니터링(monitoring) 할 수 있는 효과가 있다. Accordingly, by using the glass inspection apparatus 100 according to the embodiment of the present invention, the glass 10 even during the deposition process of depositing an organic light emitting layer on the glass 10 accommodated inside the glass receiving portion 110. It is effective to monitor defects.

또한, 상기 글라스 수용부(110)와 연결된 별도의 또 다른 글라스 수용부 내에서 유기발광 층의 증착 공정이 수행되는 경우 상기 글라스(10)를 이송하기 위하여 복수 개의 핑거를 구비하는 로봇이 상기 글라스(10)를 이송하여 본원발명의 실시예에 따른 상기 글라스 안착부(120)에 안착시켜야 한다. In addition, when the deposition process of the organic light emitting layer is performed in another glass receiving unit connected to the glass receiving unit 110, a robot having a plurality of fingers for transporting the glass 10 may include the glass ( 10) to be transported to be seated on the glass seating portion 120 according to an embodiment of the present invention.

따라서, 상기 글라스 안착부(120)를 구성하는 상기 복수 개의 지지플레이트(121)는 상기 로봇의 핑거가 이동가능하게 수용되도록 일정 간격 이격되어 배치되는 것이 바람직하다.
Therefore, the plurality of support plates 121 constituting the glass seating part 120 are preferably spaced apart from each other so that the fingers of the robot are movable.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 전원 공급부(130)는 상기 글라스 안착부(120)의 상부에 배치되도록 상기 글라스 수용부(110) 내부에 구비된다. As shown in FIG. 1, the power supply 130 is provided inside the glass accommodating part 110 to be disposed above the glass seating part 120.

보다 구체적으로, 상기 글라스(10)가 상기 글라스 안착부(120)에 안착되면 상기 전원 공급부(130)는 상기 글라스(10)에 형성된 전원공급 패드와 전기적으로 연결된다. More specifically, when the glass 10 is seated on the glass seating part 120, the power supply 130 is electrically connected to a power supply pad formed on the glass 10.

그리고, 상기 전원 공급부(130)는 상기 글라스(10)에 전원을 공급하게 됨으로써 상기 글라스(10)에 증착된 복수 개의 유기발광 층은 자발광하게 된다. In addition, the power supply unit 130 supplies power to the glass 10 so that the plurality of organic light emitting layers deposited on the glass 10 emit light.

즉, 본원발명의 실시예에 따른 글라스 검사장치(100)는 유기발광 층이 형성된 상기 글라스(10)의 암점과 휘점 그리고 색좌표와 휘도를 동시에 모두 검사하기 위한 것이다. That is, the glass inspection apparatus 100 according to the embodiment of the present invention is to inspect both the dark point and the bright point, the color coordinate and the luminance of the glass 10 in which the organic light emitting layer is formed.

이를 위해서 상기 글라스(10)의 유기발광 층의 자발광을 위해서는 외부 전원이 공급되어야 하는데 상기 글라스 검사장치(100)를 구성하는 상기 전원 공급부(130)를 통하여 상기 글라스(10)는 외부 전원을 인가받게 된다. To this end, an external power source must be supplied for self-emission of the organic light emitting layer of the glass 10. The glass 10 applies external power through the power supply unit 130 constituting the glass inspection apparatus 100. Will receive.

상기 글라스 검사부(140)는 상기 글라스 수용부(110)의 일측면에 형성된 상기 투명 윈도우(111)와 대향하도록 상기 글라스 수용부(110)의 외부에 배치되는 것이 바람직하다. The glass inspecting unit 140 may be disposed outside the glass accommodating part 110 to face the transparent window 111 formed on one side of the glass accommodating part 110.

보다 구체적으로, 상기 글라스 검사부(140)는 카메라 검사부(141), 이송부(142), 지지부(143)를 포함한다. More specifically, the glass inspection unit 140 includes a camera inspection unit 141, a transfer unit 142, a support unit 143.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 카메라 검사부(141)는 상기 투명 윈도우(111) 방향으로 일측면이 노출된 상기 글라스(10)를 촬영하기 위한 것이다. As shown in FIG. 2, the camera inspection unit 141 is for photographing the glass 10 in which one side is exposed in the direction of the transparent window 111.

보다 구체적으로 상기 카메라 검사부(141)는 상기 글라스(10)의 암점과 휘점 및 상기 글라스(10)의 색좌표와 휘도를 모두 검사하기 위한 것으로서 제1 카메라부(141a)와 제2 카메라부(141b)로 구성될 수 있다. More specifically, the camera inspecting unit 141 is to inspect both the dark point and the bright point of the glass 10, and the color coordinates and the brightness of the glass 10, and the first camera unit 141a and the second camera unit 141b. It can be configured as.

즉, 상기 제1 카메라부(141a)는 상기 글라스(10)의 일측면을 촬영하여 상기 글라스(10)의 암점과 휘점을 검사하기 위한 것으로서 복 수개의 카메라로 구성될 수 있다. That is, the first camera unit 141a is configured to inspect the dark and bright spots of the glass 10 by photographing one side of the glass 10 and may include a plurality of cameras.

또한, 상기 제2 카메라부(141b)는 상기 글라스(10)의 일측면을 촬영하여 상기 글라스(10)의 색좌표와 휘도를 검사한다. In addition, the second camera unit 141b photographs one side of the glass 10 to inspect color coordinates and luminance of the glass 10.

보다 구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제2 카메라부(141b)는 복 수개의 카메라로 구성되는 상기 제1 카메라부(141a)와는 달리 하나의 카메라로 구성되어 상기 제1 카메라부(141a)의 일측면을 따라 이동 가능하게 결합 되는 것이 바람직하다. More specifically, as shown in FIG. 2, the second camera unit 141b is configured as one camera unlike the first camera unit 141a including a plurality of cameras, and thus, the first camera unit 141a. It is preferable to be coupled to move along one side of).

이에 따라서, 유기발광 층의 증착 공정이 완료된 상기 글라스(10)를 상기 글라스 수용부(110) 내부에 배치한 상태에서도 상기 글라스(10)의 결함을 판정할 수 있기 때문에 외부의 오염원으로부터 상기 글라스(10)가 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. Accordingly, the defect of the glass 10 can be determined even when the glass 10 in which the deposition process of the organic light emitting layer is completed is disposed inside the glass accommodating part 110. 10) is effective to prevent the contamination.

또한, 상기 글라스 수용부(110) 외부에 준비된 별도의 검사 영역으로 상기 글라스(10)를 이동시키지 않아도 상기 글라스(10)의 결함을 상기 글라스 수용부(110) 내부에서도 판정할 수 있기 때문에, 제조공정에 소요되는 시간(tack time) 및 제조비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, since the defect of the glass 10 can be determined even inside the glass accommodating part 110 without moving the glass 10 to a separate inspection area prepared outside the glass accommodating part 110, There is an effect that can reduce the tack time and manufacturing cost of the process.

상기 이송부(142)는 상기 투명 윈도우(111) 방향으로 노출된 상기 글라스(10)의 일측면을 기준으로 상기 카메라 검사부(141)를 이동시키기 위한 것으로서, 제1 이송수단(미도시)과 제2 이송수단(미도시)으로 구성될 수 있다. The transfer unit 142 is to move the camera inspection unit 141 based on one side of the glass 10 exposed in the direction of the transparent window 111, and the first transfer means (not shown) and the second It may be configured as a conveying means (not shown).

보다 구체적으로, 상기 제1 이송수단(미도시)은 상기 글라스(10)의 일측면과 수평한 방향으로 상기 카메라 검사부(141)를 이송시키는 것이 바람직하다. More specifically, the first transfer means (not shown) preferably transfers the camera inspection unit 141 in a direction parallel to one side of the glass 10.

이로써. 상기 제1 카메라부(141a) 및 제2 카메라부(141b)는 상기 글라스(10)의 일단으로부터 끝단까지 선형적으로 이동함으로써 상기 글라스(10)의 내에 구획되어 있는 복수 개의 기판을 검사하게 된다.By this. The first camera unit 141a and the second camera unit 141b linearly move from one end to the end of the glass 10 to inspect a plurality of substrates partitioned in the glass 10.

또한, 상기 글라스(10)의 일측면과 수직한 방향으로 상기 제1 카메라부(141a) 및 제2 카메라부(141b)를 이송시키는 제 2 이송수단(미도시)을 더 포함할 수 있다.In addition, it may further include a second transfer means (not shown) for transferring the first camera portion 141a and the second camera portion 141b in a direction perpendicular to one side of the glass 10.

이로써, 상기 제1 카메라부(141a) 및 제2 카메라부(141b)는 상기 글라스(10)의 일측면에 근접하게 접근함으로써 상기 글라스(10)의 검사 및 측정 정확도가 향상될 수 있다.
As a result, the first camera unit 141a and the second camera unit 141b may be closer to one side of the glass 10, thereby improving inspection and measurement accuracy of the glass 10.

상기 지지부(143)는 상기 카메라 검사부(141)와 상기 이송부(142)를 지지하기 위한 것으로서, 스테이지 또는 갠트리(gantry) 형상으로 이루어질 수 있으며 상기 이송부(142)의 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일(143a)이 형성되는 것이 바람직하다.
The support part 143 is for supporting the camera inspecting part 141 and the conveying part 142, and may be formed in a stage or gantry shape, and a guide rail 143a for guiding the movement of the conveying part 142. ) Is preferably formed.

도 4는 본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치의 단면도이고, 도 5는 본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치의 사시도이고, 도 6은 본원발명의 제2 실시예에 따른 승강부의 구동을 도시한 사시도이다. 4 is a cross-sectional view of a glass inspection device according to a second embodiment of the present invention, Figure 5 is a perspective view of a glass inspection device according to a second embodiment of the present invention, Figure 6 is a second embodiment of the present invention It is a perspective view which shows the drive of a lifting part.

그리고, 본원발명의 제2 실시예에 따른 상기 글라스 검사장치(200)를 구성하는 상기 글라스 수용부(110)의 내부의 구조를 좀더 명확히 하고자, 도 4에 도시되었던 상기 글라스 수용부(110)와 상기 전원 공급부(130)의 도시는 도 5에서는 생략하였다. And, in order to clarify the structure of the interior of the glass accommodating portion 110 constituting the glass inspection apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention, and the glass accommodating portion 110 shown in FIG. An illustration of the power supply unit 130 is omitted in FIG. 5.

본 실시예를 설명함에 있어 이전 실시예와 동일 또는 대응되는 구성요소에 대한 설명은 생략하기로 하며 동일한 도면부호를 기재하였다. 이하, 이를 참조하여 본 실시예에 따른 글라스 검사장치에 대해 설명하기로 한다.In the description of the present embodiment, the description of the same or corresponding components as the previous embodiment will be omitted and the same reference numerals will be described. Hereinafter, the glass inspection apparatus according to the present embodiment will be described with reference to this.

본원발명의 제2 실시예에 따른 글라스 검사장치(200)는 제1 실시예에 따른 글라스 검사장치(100)를 구성하는 상기 글라스 수용부(110)와 전원 공급부(130) 및 글라스 검사부(140)와 동일하고, 상기 글라스 안착부(120)에 있어서 기술적 구성의 차이가 있는 것을 특징으로 한다.The glass inspection apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention includes the glass accommodating unit 110, the power supply unit 130, and the glass inspection unit 140 constituting the glass inspection apparatus 100 according to the first embodiment. And the same, there is a difference in the technical configuration in the glass seating portion 120.

보다 구체적으로, 본원발명의 제2 실시예에 따른 상기 글라스 검사장치(200)를 구성하는 글라스 안착부(220)는 글라스 안착부재(221) 및 승강부(227)를 포함한다.More specifically, the glass seating portion 220 constituting the glass inspection apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention includes a glass seating member 221 and the lifting unit 227.

상기 글라스(10)의 외곽을 지지하기 위하여 상기 글라스 안착부재(221)는 내부에 개구부가 형성된 사각 형상의 외곽 프레임(222)으로 이루어지는 것이 바람직하다.In order to support the outside of the glass 10, the glass seating member 221 may be formed of a rectangular outer frame 222 having an opening formed therein.

또한, 상기 외곽 프레임(222)에는 복 수개의 관통홀(224)이 형성될 수 있다. In addition, a plurality of through holes 224 may be formed in the outer frame 222.

그리고, 도 4 및 도 6에 도시되 바와 같이 상기 글라스 안착부재(221)는 상기 개구부를 가로질러 상기 글라스(10)의 일측면을 지지하기 위한 복수 개의 내부 프레임(225)을 더 포함할 수 있다. 4 and 6, the glass seating member 221 may further include a plurality of inner frames 225 for supporting one side of the glass 10 across the opening. .

또한, 상기 내부 프레임(225)에는 복수 개의 관통홀(226)이 형성될 수 있다. In addition, a plurality of through holes 226 may be formed in the inner frame 225.

이에 따라서, 상기 외곽 프레임(222) 및 내부 프레임(225)으로 복수 개의 관통홀(224, 226)이 형성됨으로써 후술할 상기 승강부(227)를 구성하는 복수 개의 리프트 핀(227b)이 상기 복수 개의 관통홀(224, 226)을 관통하여 상기 글라스 안착부재(221) 위로 돌출 형성될 수 있다. Accordingly, a plurality of through holes 224 and 226 are formed in the outer frame 222 and the inner frame 225 so that the plurality of lift pins 227b constituting the lifting unit 227 will be described. It may penetrate through the through-holes 224 and 226 and protrude above the glass seating member 221.

또한, 상기 외곽 프레임(222)과 내부 프레임(225)은 앞서 설명한 상기 투명 윈도우(111)와 동일하게 투명 재질인 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어질 수 있다. In addition, the outer frame 222 and the inner frame 225 is made of any one of a transparent material, such as tempered glass, acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex (transparent material), similar to the transparent window 111 described above. Can be done.

이에 따라서, 상기 글라스(10)가 상기 글라스 안착부재(221)의 상면에 안착되더라도 상기 글라스 안착부재(221)는 투명 재질로 이루어지기에 상기 카메라 검사부(141)가 상기 글라스(10)의 일측면을 촬영하는데 장애물이 되지 않기 때문에 보다 정확한 검사 및 측정을 할 수 있는 효과가 있다.
Accordingly, even when the glass 10 is seated on the upper surface of the glass seating member 221, the glass seating member 221 is made of a transparent material, so that the camera inspecting unit 141 has one side surface of the glass 10. Because it does not become an obstacle to photographing, there is an effect that can make more accurate inspection and measurement.

상기 승강부(227)는 상기 글라스 안착부재(221)에 안착된 상기 글라스(10)를 상기 전원 공급부(130) 방향으로 리프트 오프(lift off) 시킨다.The elevating part 227 lifts off the glass 10 seated on the glass seating member 221 toward the power supply 130.

보다 구체적으로, 상기 승강부(227)는 베이스 프레임(227a), 복수 개의 리프트 핀(227b)을 포함한다.
More specifically, the lifting unit 227 includes a base frame 227a and a plurality of lift pins 227b.

상기 베이스 프레임(227a)은 상기 글라스 안착부재(221)와 대응되는 크기로 형성되는 것이 바람직하다. The base frame 227a may be formed to have a size corresponding to that of the glass seating member 221.

또한, 복수 개의 리프트 핀(227b)은 상기 베이스 프레임(227a)으로부터 상기 글라스 안착부재(221)의 방향으로 돌출 형성되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the plurality of lift pins 227b protrude from the base frame 227a in the direction of the glass seating member 221.

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 리프트 핀(227b)의 끝단은 상기 글라스(10)와 맞닿게 되기 때문에 상기 글라스(10)의 파손을 방지하기 위하여 탄성 재질로 형성되는 충격흡수 부재(228b)가 구비될 수 있다. 6, the end of the lift pin 227b is in contact with the glass 10, so that the shock absorbing member 228b is formed of an elastic material to prevent breakage of the glass 10. It may be provided.

보다 구체적으로, 상기 글라스 수용부(110)와 연결된 별도의 또 다른 글라스 수용부에서 유기발광 층의 증착 공정을 수행하는 경우, 복수 개의 핑거를 구비하는 로봇이 상기 글라스(10)를 상기 글라스 수용부(110)의 내부로 이송하게 된다. More specifically, when the deposition process of the organic light emitting layer is performed in another glass receiving unit connected to the glass receiving unit 110, a robot having a plurality of fingers moves the glass 10 to the glass receiving unit. It is transferred to the inside of 110.

이때. 상기 글라스(10)를 상기 글라스 안착부재(221)에 바로 안착시킬 경우, 상기 글라스(10)가 파손될 수 있다.At this time. When the glass 10 is directly seated on the glass seating member 221, the glass 10 may be damaged.

따라서, 상기 글라스(10)가 얹혀진 로봇이 상기 글라스 수용부(110)내부로 진입하는 동안 상기 승강부(227)가 상기 글라스 안착부재(221) 방향으로 상승하게 된다. Therefore, the lifting unit 227 is raised in the direction of the glass seating member 221 while the robot on which the glass 10 is placed enters the glass accommodating part 110.

이에 따라서, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 승강부(227)를 구성하는 상기 복수 개의 리프트 핀(227b)은 상기 글라스 안착부재(221)에 형성된 상기 복수 개의 관통홀(224, 226)을 관통하게 되어 상기 글라스 안착부재(221) 위로 돌출된다. Accordingly, as illustrated in FIG. 6, the plurality of lift pins 227b constituting the lifting unit 227 may pass through the plurality of through holes 224 and 226 formed in the glass seating member 221. To protrude above the glass seating member 221.

그 다음, 상기 로봇은 상기 글라스(10)를 상기 복수 개의 리프트 핀(227b)에 안착하게 된다. The robot then mounts the glass 10 on the plurality of lift pins 227b.

그 다음, 상기 승강부(227)는 상기 글라스 안착부재(221)와 대향되는 방향으로 느린 속도로 하강하게 되고 이에 따라서 상기 글라스(10)는 상기 글라스 안착부재(221)에 안착하게 된다. Then, the lifting unit 227 is lowered at a slow speed in the direction opposite to the glass seating member 221 and accordingly the glass 10 is seated on the glass seating member 221.

만약, 검사가 완료된 상기 글라스(10)를 상기 글라스 수용부(110)의 외부로 반출해야할 경우, 상기 승강부(227)는 상기 글라스 안착부재(221) 방향으로 상승하게 되고 이에 따라서 상기 글라스(10)를 상기 글라스 안착부재(221)로부터 리프트 오프 시키게 되며 상기 로봇이 상기 글라스(10)를 수거해 갈 수 있다.
If the inspection is to be carried out of the glass 10 to the outside of the glass receiving portion 110, the lifting unit 227 is raised in the direction of the glass seating member 221 and accordingly the glass 10 ) Is lifted off from the glass seating member 221 and the robot may collect the glass 10.

이상 본원발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본원발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본원발명에 따른 글라스 검사장치는 이에 한정되지 않으며, 본원발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for explaining the present invention in detail, and the glass inspection apparatus according to the present invention is not limited thereto, and the general knowledge in the art within the technical spirit of the present invention. It is obvious that modifications and improvements are possible by those who have them.

본원발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본원발명의 영역에 속하는 것으로 본원발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

10: 글라스 100: 글라스 검사장치
110: 글라스 수용부 120: 글라스 안착부
130: 전원 공급부 140: 글라스 검사부
10: glass 100: glass inspection device
110: glass receiving portion 120: glass seating portion
130: power supply unit 140: glass inspection unit

Claims (13)

유기발광 층이 형성된 복수 개의 기판이 구획되어 있는 글라스를 내부에 수용하는 글라스 수용부;
상기 글라스 수용부의 내부에 배치되고, 상기 글라스가 안착되는 글라스 안착부;
상기 글라스 안착부의 상부에 배치되고, 상기 글라스로 전원을 공급하는 전원 공급부; 및
상기 글라스 수용부의 일측면과 대향하도록 상기 글라스 수용부의 외부에 배치되는 글라스 검사부를 포함하고,
상기 글라스 검사부와 대향하는 상기 글라스 수용부의 일측면은 상기 글라스의 일측면이 노출되도록 투명 윈도우로 형성되고,
상기 글라스 안착부는
상기 글라스를 지지하기 위하여, 일정 간격 서로 이격되어 상기 글라스 수용부 내부에 배치되는 복수 개의 지지플레이트; 및
일단은 상기 글라스 수용부의 하면과 결합하고, 타단은 각각의 상기 지지플레이트의 양 끝단과 고정결합하는 복수 개의 지지바를 포함하며,
상기 투명 윈도우와 상기 지지플레이트는 상기 글라스 검사부와 상기 글라스 사이에 배치된 글라스 검사장치.
A glass accommodating part accommodating a glass in which a plurality of substrates on which an organic light emitting layer is formed is partitioned;
A glass seating part disposed in the glass receiving part and in which the glass is seated;
A power supply unit disposed on the glass seating unit and supplying power to the glass; And
It includes a glass inspection unit disposed on the outside of the glass receiving portion to face one side of the glass receiving portion,
One side of the glass accommodating part facing the glass inspection part is formed as a transparent window so that one side of the glass is exposed,
The glass seating portion
In order to support the glass, a plurality of support plates spaced apart from each other by a predetermined interval disposed inside the glass receiving portion; And
One end is coupled to the lower surface of the glass receiving portion, the other end includes a plurality of support bars fixedly coupled to both ends of each of the support plate,
And the transparent window and the support plate are disposed between the glass inspecting portion and the glass.
제1 항에 있어서,
상기 투명 윈도우는
강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 글라스 검사장치.
According to claim 1,
The transparent window
Glass inspection device made of any one of tempered glass or acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex (Pyrex).
제1 항에 있어서,
상기 글라스 검사부는
상기 글라스의 암점과 휘점 및 상기 글라스의 색좌표와 휘도를 검사하기 위한 카메라 검사부;
상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 이송부; 및
상기 카메라 검사부 및 이송부를 지지하기 위한 지지부를 포함하는 글라스 검사장치.
According to claim 1,
The glass inspection unit
A camera inspection unit for inspecting dark spots and bright spots of the glass and color coordinates and luminance of the glass;
A transfer unit for transferring the camera inspection unit; And
Glass inspection apparatus including a support for supporting the camera inspection unit and the transfer unit.
제3 항에 있어서,
상기 카메라 검사부는
상기 글라스의 일측면을 촬영하여 상기 글라스의 암점과 휘점를 검사하기 위한 복 수개의 카메라로 구성되는 제1 카메라부; 및
상기 제1 카메라부의 일측면을 따라 이동 가능하게 결합되고, 상기 글라스의 색좌표와 휘도를 검사하기 위한 제2 카메라부를 포함하는 글라스 검사장치.
The method of claim 3, wherein
The camera inspection unit
A first camera unit including a plurality of cameras for photographing one side of the glass and inspecting dark and bright spots of the glass; And
And a second camera unit coupled to the first camera unit to be movable along one side, and configured to inspect color coordinates and luminance of the glass.
제3 항에 있어서,
상기 이송부는
상기 글라스의 일측면과 수평한 방향으로 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 제1 이송수단을 포함하는 글라스 검사장치.
The method of claim 3, wherein
The transfer unit
And a first transfer means for transferring the camera inspection part in a direction parallel to one side of the glass.
제5 항에 있어서,
상기 이송부는
상기 글라스의 일측면과 수직한 방향으로 상기 카메라 검사부를 이송시키기 위한 제2 이송수단을 더 포함하는 글라스 검사장치.
The method of claim 5,
The transfer unit
And a second transfer means for transferring the camera inspection part in a direction perpendicular to one side of the glass.
제3 항에 있어서,
상기 지지부는
상기 글라스의 일측면과 수평방향으로 이동하는 상기 이송부의 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일을 포함하는 글라스 검사장치.
The method of claim 3, wherein
The support portion
Glass inspection apparatus comprising a guide rail for guiding the movement of the conveying portion moving in one direction and the horizontal direction of the glass.
제1 항에 있어서,
상기 지지플레이트는 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 글라스 검사장치.
According to claim 1,
The support plate is a glass inspection device made of any one of tempered glass or acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex (Pyrex).
유기발광 층이 형성된 복수 개의 기판이 구획되어 있는 글라스를 내부에 수용하는 글라스 수용부;
상기 글라스 수용부의 내부에 배치되고, 상기 글라스가 안착되는 글라스 안착부;
상기 글라스 안착부의 상부에 배치되고, 상기 글라스로 전원을 공급하는 전원 공급부; 및
상기 글라스 수용부의 일측면과 대향하도록 상기 글라스 수용부의 외부에 배치되는 글라스 검사부를 포함하고,
상기 글라스 검사부와 대향하는 상기 글라스 수용부의 일측면은 상기 글라스의 일측면이 노출되도록 투명 윈도우로 형성되고,
상기 글라스 안착부는
내부에 개구부가 형성되고, 상기 글라스의 외곽을 지지하기 위한 외곽 프레임으로 형성된 글라스 안착부재; 및
상기 글라스 안착부재에 안착된 상기 글라스를 상기 전원공급부 방향으로 리프트 오프 시키는 승강부를 포함하고,
상기 외곽 프레임으로는 복수 개의 관통홀이 형성되는 글라스 검사장치.
A glass accommodating part accommodating a glass in which a plurality of substrates on which an organic light emitting layer is formed is partitioned;
A glass seating part disposed in the glass receiving part and in which the glass is seated;
A power supply unit disposed on the glass seating unit and supplying power to the glass; And
It includes a glass inspection unit disposed on the outside of the glass receiving portion to face one side of the glass receiving portion,
One side of the glass accommodating part facing the glass inspection part is formed as a transparent window so that one side of the glass is exposed,
The glass seating portion
An opening formed therein, and a glass seating member formed of an outer frame for supporting an outer portion of the glass; And
And a lifter configured to lift off the glass seated on the glass seating member in the direction of the power supply,
And a plurality of through holes formed in the outer frame.
제9 항에 있어서,
상기 글라스 안착부재는
상기 개구부를 가로질러 상기 글라스의 일측면을 지지하기 위한 복수 개의 내부 프레임을 더 포함하고,
상기 내부 프레임으로는 복수 개의 관통홀이 형성되는 글라스 검사장치.
The method of claim 9,
The glass seating member
Further comprising a plurality of internal frames for supporting one side of the glass across the opening,
And a plurality of through holes formed in the inner frame.
제10 항에 있어서,
상기 외곽 프레임 및 상기 내부 프레임은 강화 글라스 또는 아크릴 또는 석영 글라스(Quartz) 또는 파이렉스(Pyrex) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 글라스 검사장치.
The method of claim 10,
The outer frame and the inner frame is a glass inspection device made of any one of tempered glass or acrylic or quartz glass (Quartz) or Pyrex (Pyrex).
제9 항에 있어서,
상기 승강부는
상기 글라스 안착부재와 대응되는 크기의 베이스 프레임; 및
상기 베이스 프레임으로부터 상기 글라스 안착부재 방향으로 돌출 형성된 복수 개의 리프트 핀을 포함하고,
상기 리프트 핀은 상기 관통홀을 관통하여 상기 글라스를 상기 글라스 안착부재로부터 리프트 오프 시키는 글라스 검사장치.
The method of claim 9,
The lifting unit
A base frame having a size corresponding to the glass seating member; And
A plurality of lift pins protruding from the base frame toward the glass seating member;
The lift pin penetrates the through hole to lift off the glass from the glass seating member.
제12 항에 있어서,
상기 리프트 핀은
탄성 재질로 이루어진 충격흡수 부재가 끝단에 형성되는 글라스 검사장치.
The method of claim 12,
The lift pin
Glass inspection device is formed at the end of the shock absorbing member made of an elastic material.
KR1020120158552A 2012-12-31 2012-12-31 Apparatus for inspecting glass KR102047414B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120158552A KR102047414B1 (en) 2012-12-31 2012-12-31 Apparatus for inspecting glass

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120158552A KR102047414B1 (en) 2012-12-31 2012-12-31 Apparatus for inspecting glass

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140087836A KR20140087836A (en) 2014-07-09
KR102047414B1 true KR102047414B1 (en) 2019-11-21

Family

ID=51736682

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120158552A KR102047414B1 (en) 2012-12-31 2012-12-31 Apparatus for inspecting glass

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102047414B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108106996B (en) * 2017-12-25 2024-05-28 通彩智能科技集团有限公司 Glass detects holds platform

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005156924A (en) 2003-11-26 2005-06-16 Toppan Printing Co Ltd Holder for inspection apparatus
KR101011637B1 (en) * 2008-06-24 2011-01-28 참엔지니어링(주) Wafer fabrication apparatus having buffer modules and method for performing function thereof
KR101032088B1 (en) 2008-12-31 2011-05-02 엘아이지에이디피 주식회사 Apparatus for inspecting substrate

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100763019B1 (en) * 2005-03-31 2007-10-02 윈텍 주식회사 System and its method for inspection of FPD

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005156924A (en) 2003-11-26 2005-06-16 Toppan Printing Co Ltd Holder for inspection apparatus
KR101011637B1 (en) * 2008-06-24 2011-01-28 참엔지니어링(주) Wafer fabrication apparatus having buffer modules and method for performing function thereof
KR101032088B1 (en) 2008-12-31 2011-05-02 엘아이지에이디피 주식회사 Apparatus for inspecting substrate

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140087836A (en) 2014-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101115874B1 (en) Apparatus for testing array
KR101052490B1 (en) Array test device
CN106873195B (en) Probe unit replacing device
KR102007718B1 (en) Turnover type display cell test equipment and controlling method for the same
JP5555757B2 (en) Board inspection equipment
KR20120122316A (en) Mobile Camera Lens Inspection System
CN108672312A (en) Optical detector, optical detecting method and computer readable storage medium
KR101663755B1 (en) Index type liquid crystal cell inspecting apparatus
KR102047414B1 (en) Apparatus for inspecting glass
KR20070117188A (en) Apparatus and method for inspection of display panel
KR101807195B1 (en) Array test apparatus
WO2019054345A1 (en) Inspection device
KR101322164B1 (en) Apparatus for inspecting display cells
KR200496308Y1 (en) Systems and methods for finding circuitry and pixel defects in display panels
KR100837599B1 (en) Stage for glass panel
KR20180091510A (en) Display cell test equipment
KR102656883B1 (en) Substrate stage and apparatus for inspecting display cells having the same
KR101373423B1 (en) Apparatus for inspecting display cells
KR20070118770A (en) Denting and crack inspecting apparatus
KR101169765B1 (en) Glass inspecting device
KR20140000500A (en) Auto-lighting apparatus and driving method thereof
KR20180070337A (en) Substrate inspection device and method of substrate inspection using the same
KR101373507B1 (en) Apparatus for inspecting display cells
KR20180015203A (en) A apparatus for testing a substrate of liquid crystal display both sides
KR100676818B1 (en) Panel inspection apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right